JPS60144999A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、被搬送物の積み降ろしを行う所謂ライニング
フォークの代りに、被搬送物。を搬送方向の前後から挾
持する挾持手段を備え、当該挟持手段で被搬送物の積み
降ろしを行えるようにしたＩｌｌ送装置に関するもので
ある。

被搬送物として例えば−側面に開放する複数段の支持棚
を備えた面形のキャリヤが取り扱われる場合、当該キャ
リヤをその支持棚カ月般送装置の移動方向に向かって開
放する向きに搬送装置に積み込まなければならないとき
、当該キャリヤの支持棚上に収納されている物が搬送装
置の停止時に慣性で支持棚上から前方へ飛び出ず恐れが
ある。このような不都合を回避するためには、前記キャ
リヤ自体に収納物の飛び出し防止策を講じたり、搬送装
置側にキャリヤの支持棚開放部を開閉するカバーを設け
るようなことが考えられるが、前者の方法では搬送系以
外の箇所でのキャリヤの取り扱い方法及び装置を変える
必要が生じるため、影響が大きく実用的でない。後者の
方法では搬送装置そのものの大巾なコストアンプを免れ
ないばかりでなく、キャリヤの積み降ろしに要する時間
が長くなり、能率低下を伴う欠点がある。

本発明は上記のような問題点を解消することの出来る搬
送装置を提供せんとするものであって、以下にその一実
施例を添付の例示図に基づいて説明する。

第１図及び第２図に於て、１ば無人搬送車であって、予
め設定された走行経路上を電磁誘導方式や光電誘導方式
等の自動走行制御によって自走するものであり、搭載バ
ッテリーにより駆動され且つ自動操向制御される１榮向
兼用駆動車輪２と自在車輪６とを備えている。４ば搬送
車１の中央上部に設けられた被搬送物支持部であり、５
ば前記被搬送物支持部４を開閉自在に取り囲むカバーで
ある。ごのカバー５は、被搬送物支持部４の後方に立設
された固定壁６と、この固定１ｉ６の前方で当該固定壁
６にり］して遠近方向（１般送車移動方向）に移動可ｆ
ｉヒで且つ前記固定壁６例のめ開放した可動囲壁７とか
ら構成され、この可動囲壁７が固定壁６側に移動して可
動囲壁７の開放部周縁が固定壁６の周縁部に当接するこ
とにより、被搬送物支持部４の上方空間が略密閉状にカ
バーされる。

第３図に示すように前記カバー５の可動囲壁７は、固定
壁６と対向する前側垂直壁部７ａと上側水平壁部７ｂと
が互いに内部空間か連通ずる二重構造に構成され、上側
水平壁部７ｂの上側壁板は着脱交換自在な板状フィルタ
ー８によって構成されており、前側垂直壁部７ａ内には
、外側に開１コする空気取入れ口９ａから吸入した空気
を前記両壁部７ａ、７ｂ内のＬ形空間１０を経由さ−Ｕ
て前記板状フィルター８から可動囲壁７内の空間１１に
送入するファン９が設げられている。前記板状フィルタ
ー８としては、超ＬＳＩ工場や精密機械工場等のクリー
ンルームに使用されている所謂ＩＩＥＰＡフィルターか
好適である。６０ば前記可動囲壁７を前後移動させる開
閉手段であって、モーター５１によって正逆任意の方向
に駆動されるｌ１ｆｊ幀６２と、この越１ＩＩｉ＋ｌ＋
　ｙ　２に螺嵌し１↓つ前記可動囲壁７の底部に数句け
られた雌ねじ体５ｉ５とから構成されている。

第３図及び第４図に示すように、前記被搬送物支持Ｂ［
４４には、搬送車移動方向に相対向する一グ・１の被搬
送物挟持用バー１２ａ、１２ｂか設げられている。ごの
挾持用パーｉ２ａ、１２ｂは、被搬送物支持部４の床板
４ａに形成されたス’Ｊ　）ｌ−１３ａ、１３ｂを」二
重に貫通ずる支持部材１４ａ。

１４ｂによって一端が片持ち状に支持され“Ｃいる。前
記支持部材１４ａ、１４ｂは、前記床板４ａの下側に設
けられた駆動装置１５によって駆動される。前記駆動装
置１５は、前後水平方向（搬送車移動方向）に移動可能
な可動基台１６、この可動基台１６の前後位置調整手段
１７、前記可動基台１６上に昇降自在に支持された昇降
台１８、この昇降台１８の高さ調整手段１９、前記昇降
台１８上に後端部を水平横向き支！１ｌ１２０によって
支持された上下傾動可能なチルト台２１、このチルト台
２１の傾動手段２２、前記チルト台２１上にスライドガ
イドロッド２５を介して左右横方向に横動可能に支持さ
れた横動台２４、この横動台２４を横動させる左右位置
調整手段２５、前記横動台２４上に夫々スライドガイド
ロッド２６と螺軸２７ａ、２７ｂとを介して前後方向に
移動可能に支持された前後一対の駆動台２３ａ、２８ｂ
、及びこれ等両駆動台２８ａ、２８ｂを互いに接近離間
移動させる駆動手段２９から構成されており、前記一対
の支持部材１４ａ、１４ｂば前記一対の駆動台２８ａ、
２８ｂに取付けられている。

前記可動基台１６の前後位置調整手段１７は、可動基台
１６に連設されたラックギヤ６４と、ごのラックギヤ６
４に咬合し且つモーター３５により正逆任意の方向に駆
動されるピニオンギヤ５６とから構成されている。前記
昇降台１８の高さ調整手段１？は、昇降台１８から連設
されたランクギヤろ７と、このラックギヤ５７に咬合し
且つ可動基台１６側に軸支されたピニオンギヤ、及びこ
のピニオンギヤを正逆任意の方向に駆動するモーター５
８とから構成されている。前記チルト台２１の傾動手段
２２ば、チルト台２１の遊端部を支持し且つ昇降台１８
上に軸支された偏心カム５９と、この偏心カム６９を正
逆任意の方向に駆動するモーター４０とから構成されて
いる。

前記横動台２４の左右位置調整手段２５ば、チルト台２
１上に支承され且つモーター４１により正逆任意の方向
に駆動される螺軸４２と、この螺ｌ１ｉｌＩ１４２に螺
嵌し且つ横動台２４の下側に取（ｑりられた雌ねじ休４
６とから構成されている。前記駆動台２８ａ、２８ｂの
駆動手段２９は、当該駆動台２８ａ、２８ｂが螺嵌し且
つ互いにねじ方向が逆向きの螺軸２７ａ、２７ｂと、こ
の螺軸２７ａ、２７ｂを正逆任意の方向に駆動するモー
ター４４どから構成されている。

使用方法について説明すると、搬送車１を被搬送物受は
取り位置で停止させ、カバー５の可動囲壁７を、開閉手
段！１０の螺軸３２をモーター６１で回転させて第３図
に示すように開動限位置まで移動させ、被搬送物支持部
４を開放させる。そして左右位置調整手段２５のモータ
ー４１により螺軸４２を回転させて横動台２４を第４図
に示す後退限位置から横方向に移動させることにより、
一対の挟持用バー１２ａ、’１２ｂを支持部材１４ａ、
１４ｂ及び駆動台２８ａ、２８ｂと共に搬送車１から横
方向へ突出移動させる。この一対の挟持用バー１２ａ、
１２ｂの突出移動によめ、搬送車停止位置の側方所定箇
所に載置されている被搬送物、例えばウェハキャリヤ４
５の両側に前記一対の挾持用バー１２ａ、１２ｂが位置
することになる。この後、駆動台駆動手段２９のモータ
ー４４により螺軸２７ａ、２７ｂを回転させて再駆動台
２８ａ、２８ｂと共に一対の挾持用バーｉ２ａ。

１２ｂを互いに接近移動させるごとにより、中間に位置
しているウェハキャリヤ４５を両挟持用バー１２ａ、１
２ｂで挾持させる。

次に高さｔｌｉｌ整手段１９のモーター６８によりラッ
クギヤ′５７に咬合するピニオンギヤを回転させて昇降
台１８を所定量上昇させることにより、一対の挟持用バ
ー１２ａ、１２ｂによって挟持されているウェハキャリ
ヤ４５を昇降台１８、チルト台２１、及び横動台２４と
共に所定量持ら上げる。そして左右位置調整手段２５の
モーター４１により螺軸４２を逆回転させて横動台２４
を第４図に示す後退限位置まで後退移動させ、前記ウェ
ハキャリヤ４５を横動台２４と共に搬送車１上の被搬送
物支持＆＋！　４上へ引き込み、更に傾動手段２２のモ
ーター４０により偏心カム３９を所定角度回転させてチ
ルト台２１を支軸２５の周りで上方へ傾動させることに
より、一対の挟持用バー１２ａ、１２ｂで挾持されてい
るウェハキャリヤ４５を横動台２４と共に第５図に示す
ように前上がりに傾斜させる。このときウェハキャリヤ
４５ば、多段に形成されているウェハ支持棚４６の出し
入れ口４６ａが１１１１１送車１の前進方向に向かって
開口する向きに支持されており、従って前記のようにウ
ェハキャリヤ４５が前上がりに傾斜せしめられると、そ
のウェハ支持棚４６が出し入れ口４６　ａ　ｆＩＩＩＪ
程高くなるように傾斜することになり、ウェハ支持棚４
６に収納されているウェハが搬送車１の停止時等に出し
入れ目４６ａから飛び出ずのを防止し得る。

上記のようにウェハキャリヤ４５を被搬送物支持部４上
にＩＢ人したならば、開閉手段５０のモーター′５１に
より螺軸５２を回転させてカバー５の可動囲壁７を第５
図に示すように固定壁６に当接する位置まで移動させる
ことにより、被搬送物支持部４上に搬入されたウェハキ
ャリヤ４５を可動囲壁７と固定壁６とで取り囲み、外界
から遮断する。そしてファン９を稼動させて外気をフィ
ルター８で清浄化した状態で可動囲壁７と固定壁６とで
取り囲まれた空間１１内に送り込むことにより、ウェハ
キャリヤ４５の周囲空間に清浄な空気流を発生させ、外
界の塵埃を含む空気が前記空間１１内に１受入すること
によってウェハキャリヤ４５及びその内部に収納されて
いるウェハが汚染されるのを防止することが出来る。

尚、空間１１内に送り込まれた清浄な空気は、可動囲壁
７と固定壁６との間等に生じる隙間やスリン）１ｉ５ａ
、ｌｉｍｂを通じて外界に流出するが、適当な位置に空
気流出口を設けておくことも出来る。又、搬送車１の走
行中はウェハキャリヤ４５が第５図に示すように一対の
挟持用バー１２ａ、１２ｂで空中に保持され−ζいる状
態であるから、振動等により挟持用バー１２ａ、１２ｂ
からウェハキャリヤ４５がｌ））り落ちる恐れのあると
きは、ウェハキャリヤ４５に挾持用バー１２ａ、１２ｂ
の上にのる突起を設けたり、ウェハキャリヤ４５に形成
した凹部に挟持用バー１２ａ、１２ｂが嵌合するように
構成することが出来る。

上記のように被搬送物支持部４上のクリーンエリア内に
支持された状態のウェハキャリヤ４５は、搬送車１の自
動走行により所定位置まで搬送されるが、搬送されたウ
ェハキャリヤ４５を搬送車停止位置の側方に設置されて
いる受け取り台等へ搬出する作業は、上記の搬入作業と
は逆の手順で行うことが出来る。このとき搬送車１の停
止位置に誤差がある場合は、前後位置調整手段１７のモ
ーター３５でピニオンギヤ′６６を回転させて可動基台
１６を前後方向に移動させることにより、一対の挟持用
バー１２ａ、１２ｂで挾持されているウェハキャリヤ４
５を昇降台１８、チルト台２１、及び横動台２４と共に
前後方向に位置調整することが出来る。

本発明の搬送装置は上記実施例のように、被搬送物を搬
送方向の前後から挾持する挾持手段（実施例では一対の
挾持用バー１２ａ、１．２ｂ）、当該挟持手段を開閉す
る開閉手段（実施例では一対の駆動台２８ａ、２８ｂ及
びその駆動手段２９）、前記挟持手段を搬送方向に対し
て左右横方向に出退移動させる手段（実施例では横動台
２４と左右位置調整手段２５）、及び前記挟持手段を昇
降させる手段（実施例では昇降台１８及び高さ調整手段
１９）を備えた搬送装置であって、更に前記挟持手段を
、当該挟持手段で挾持された被搬送物が所定角度傾斜す
るようにＩＩＪｉ動させる手段（実施例ではチルト台２
１及び傾動手段２２）を設けて成るものである。

従ってこの本発明搬送装置によれば、前記挟持手段で搬
送装置上に積み込まれるときの被搬送物、即ち支持棚付
きキャリヤの向きと前記傾動手段による傾動方向との相
対関係さえ考慮しておくことにより、挟持手段で積み込
まれた支持棚付きキャリヤを、その収納物出し入れ口側
が高くなるように傾斜させた状態で搬送することが出来
る。従って仮に前記キャリヤの収納物出し入れ口が搬送
装置の前進方向に向いて開放されてい、る場合でも、搬
送装置の停止時に慣性で収納物が飛び出ずのを未然に防
止し得る。

しかも、キャリヤ自体には何等手段を講じる必要もなく
、搬送装置側に於てもキャリヤの積み降ろしに必要な挟
持手段そのものを傾動させるのであるから、単に傾動手
段を付加するだけで安価に所期の目的を達成し得る。又
、キャリヤを常時挾持している挟持手段を傾動させるの
であるから、キャリヤの積み降ろし所要時間が大ｒｐに
長くなることもない。更に搬送中も挟持手段でキャリヤ
を挟持させているので、ＩＪＩＪ送中にキャリヤ自体が
不測に運動するのを防止することが出来、安全性も向上
する。

尚、実施例ではキャリヤの向きに従って当該キャリヤを
前玉がりに傾斜させるように構成したが、積み込まれる
ときのキャリヤの向きに応じて後ろ上がり又は左右何れ
かが上がるように伸動させることも可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図ば側面図、第２図は平面図、第３図は要部の縦断
側面図、第４図は要部の縦断背面図、第５図は被搬送物
搬送状態での要部の縦断側面図である。 １・・・無人搬送車、４・・・被搬送物支持部、５・・
・開閉自在なカバー、６・・・固定壁、７・・・可動囲
壁、８・・・板状フィルター、？・・・ファン、１０・
・・空気流動空部、１１・・・可動囲壁内の空間、１２
ａ、１２ｂ・・・一対の挾持用バー、１４ａ、１４ｂ・
・・支持部材、１５・・・駆動手段、１６・・・可動基
台、１７・・・前後位置調整手段、１８・・・昇降台、
１９・・・高さ調整手段、２０・・・支軸、２１・・・
チルト台、２２・・・（駆動手段、２５．２６−・・ス
ライドガイドロンド、２４・・・横動台、２５・・・左
右位置調整手段、２７ａ、２７ｂ、３２．４２・！１１
軸、２８ａ、２８ｂ−・駆動台、２９・・・駆動台駆動
手段、′５０・・・カバー開閉手段、ｉ５１，５５，３
８，４０，４Ｌ　４４・・・モーター、３３．４３・・
・雌ねじ体、３４．ｉ５７・・・ラックギヤ、６６・・
・ピニオンギヤ、６９・・・偏心カム、４５・・・ウェ
ハキャリヤ（被Ｉｌｌ送物）、４６・・・ウェハ支持棚
、４６ａ・・・出し入れ口。 自発手続ネ市正書（方式） 特許庁長官殿 ■、小事件表示 昭和５９年特許願第０００６８４号 ２、発明の名称 搬送装置 ３．７ｉｌｉ正をする者 事件との関係　特許出願人 住所　大阪府大阪市西淀川区御幣島３丁目２番１１号名
称　（３６４）大福機工株式会社 昭和　年　月　日 ５、補正の対象 （１）明細書全文 ６、補正の内容

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被搬送物を搬送方向の前後から挾持する挟持手段、当該
   挟持手段を開閉する開閉手段、前記挟持手段を搬送方向
   に対して左右横方向に出退移動させる手段、及び前記挟
   持手段を昇降させる手段を備えた搬送装置であって、更
   に前記挟持手段を、当該挟持手段で挾持された被搬送物
   が所定角度傾斜するように傾動させる手段を設けて成る
   搬送装置。