JPS60136018A - 磁気抵抗効果型磁気ヘツド - Google Patents
磁気抵抗効果型磁気ヘツドInfo
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- JPS60136018A JPS60136018A JP24617983A JP24617983A JPS60136018A JP S60136018 A JPS60136018 A JP S60136018A JP 24617983 A JP24617983 A JP 24617983A JP 24617983 A JP24617983 A JP 24617983A JP S60136018 A JPS60136018 A JP S60136018A
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- JP
- Japan
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- magnetic
- thin film
- yoke
- magneto
- substrate
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/3906—Details related to the use of magnetic thin film layers or to their effects
- G11B5/3916—Arrangements in which the active read-out elements are coupled to the magnetic flux of the track by at least one magnetic thin film flux guide
- G11B5/3919—Arrangements in which the active read-out elements are coupled to the magnetic flux of the track by at least one magnetic thin film flux guide the guide being interposed in the flux path
- G11B5/3922—Arrangements in which the active read-out elements are coupled to the magnetic flux of the track by at least one magnetic thin film flux guide the guide being interposed in the flux path the read-out elements being disposed in magnetic shunt relative to at least two parts of the flux guide structure
- G11B5/3925—Arrangements in which the active read-out elements are coupled to the magnetic flux of the track by at least one magnetic thin film flux guide the guide being interposed in the flux path the read-out elements being disposed in magnetic shunt relative to at least two parts of the flux guide structure the two parts being thin films
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は再生磁気ヘッドに適用して好適な磁気抵抗効果
型磁気ヘッド(以下MRヘッドという)に係る。
型磁気ヘッド(以下MRヘッドという)に係る。
背景技術とその問題点
磁気抵抗効果薄膜(以−卜’MR薄験という)が磁気媒
体(磁気テープ)との対接向より後退位置に配置される
と共に、磁気ヨークを用いたヨーク型のMRへノドが提
案されている。このヨーク型のMRヘッドは、例えば第
1図にその要部の拡大断面図を示し、第2図にその拡大
路線的平面図をポすように、例えばNi−Zn系フェラ
イトよりなる高抵抗の磁性基体+11の表面に凹溝(l
a)が形成され、その凹jli(la)内にガラス等の
絶縁性の非磁性充填部材(2)が充填される。磁性基体
<U及び充填部材(2)の各表面は同一面とされる。
体(磁気テープ)との対接向より後退位置に配置される
と共に、磁気ヨークを用いたヨーク型のMRへノドが提
案されている。このヨーク型のMRヘッドは、例えば第
1図にその要部の拡大断面図を示し、第2図にその拡大
路線的平面図をポすように、例えばNi−Zn系フェラ
イトよりなる高抵抗の磁性基体+11の表面に凹溝(l
a)が形成され、その凹jli(la)内にガラス等の
絶縁性の非磁性充填部材(2)が充填される。磁性基体
<U及び充填部材(2)の各表面は同一面とされる。
そして、充填部材(2)の表面及び磁性基体(l)の表
面に跨がる如く、例えばN1−re系合金、或いはN1
−Go系合金等よりなるMR薄膜(4)が被着形成され
、このMR薄膜(4)の両端から導出される金等の非磁
性のリード導電層(11) 、(12)が磁性基体(1
1の表面上に被着形成される。そして、このMR)%l
膜(4)の一端部の上に、磁性基体(11、リード導電
層(11) 、(12)及びMR*膜1alノ各表hi
t−6iつ絶縁層(5)を介してNi−Pg系合金等の
磁性層よりなる磁気ヨーク(6)が、MR薄11111
(4)上を横切る方向に形成される。そして、磁気ヨ
ーク(6)の内端部が絶縁層(6)を介し°ζMR薄膜
(4)の一端と磁気的に連結される。磁気ヨーク(6)
の外端部は、非磁性層、即ち絶縁層(5)を介して磁性
基体+11と対向し、この磁気日−り(6)と磁性基体
(11との間に磁気ギャップgが形成されるようになさ
れる。そして、MR#111+a、磁気ヨーク(6)を
覆って非磁性絶縁性保鏝層(8)が被覆され、これの上
に接着剤層(9)によって保護基体01が接着される。
面に跨がる如く、例えばN1−re系合金、或いはN1
−Go系合金等よりなるMR薄膜(4)が被着形成され
、このMR薄膜(4)の両端から導出される金等の非磁
性のリード導電層(11) 、(12)が磁性基体(1
1の表面上に被着形成される。そして、このMR)%l
膜(4)の一端部の上に、磁性基体(11、リード導電
層(11) 、(12)及びMR*膜1alノ各表hi
t−6iつ絶縁層(5)を介してNi−Pg系合金等の
磁性層よりなる磁気ヨーク(6)が、MR薄11111
(4)上を横切る方向に形成される。そして、磁気ヨ
ーク(6)の内端部が絶縁層(6)を介し°ζMR薄膜
(4)の一端と磁気的に連結される。磁気ヨーク(6)
の外端部は、非磁性層、即ち絶縁層(5)を介して磁性
基体+11と対向し、この磁気日−り(6)と磁性基体
(11との間に磁気ギャップgが形成されるようになさ
れる。そして、MR#111+a、磁気ヨーク(6)を
覆って非磁性絶縁性保鏝層(8)が被覆され、これの上
に接着剤層(9)によって保護基体01が接着される。
そし°ζ、両基体il+及びQlと磁気ヨーク(6)の
前端側か切削研磨されて磁気媒体との対接面(11)が
形成される。かくして、磁性基体+11−磁気ギャソプ
g−磁気ローク161− M R薄膜(4)−磁性基体
(11によって閉磁路が形成される。
前端側か切削研磨されて磁気媒体との対接面(11)が
形成される。かくして、磁性基体+11−磁気ギャソプ
g−磁気ローク161− M R薄膜(4)−磁性基体
(11によって閉磁路が形成される。
しかして、MR*賎1a)に電流lを流すことによって
、その各磁気ギヤツブgに対接ないしは対向する磁気記
録媒体よりの、これに記録された記録磁化による信号磁
界がMR@膜(4)に与えられ、これによる抵抗変化に
基ずく電気的信号、即ち再生出力信号がMR5%@膜(
4)の両端に得られ、リード導電層(11) 、(12
)を通じて出力される。
、その各磁気ギヤツブgに対接ないしは対向する磁気記
録媒体よりの、これに記録された記録磁化による信号磁
界がMR@膜(4)に与えられ、これによる抵抗変化に
基ずく電気的信号、即ち再生出力信号がMR5%@膜(
4)の両端に得られ、リード導電層(11) 、(12
)を通じて出力される。
そして、かかる磁気ヘッドが、磁性基体(11、その凹
溝(la)、非磁性充填部材(2)を共通として、多数
形成されることにより、PCM信号再生用のマルチチャ
ンネルヘッドが構成される。
溝(la)、非磁性充填部材(2)を共通として、多数
形成されることにより、PCM信号再生用のマルチチャ
ンネルヘッドが構成される。
かかる磁気ヘッドは磁性基体+11の表面に於いて、M
R薄膜(4)と対向する部分に凹溝(1a)が形成され
ているため、MR薄NfI4(41の中央付近から磁性
基体+11へ漏洩する磁束が軽減されるので、磁気的効
率が高いという利点がある。
R薄膜(4)と対向する部分に凹溝(1a)が形成され
ているため、MR薄NfI4(41の中央付近から磁性
基体+11へ漏洩する磁束が軽減されるので、磁気的効
率が高いという利点がある。
ところで、かかる磁気ヘッドは、MR薄膜(4)を磁性
基体(11に磁気的に連結するために、MHI膜(4)
が非磁性充填部材(2)及び磁性基体+1)の各表面に
跨って被着形成されているため、次のような欠点がある
。
基体(11に磁気的に連結するために、MHI膜(4)
が非磁性充填部材(2)及び磁性基体+1)の各表面に
跨って被着形成されているため、次のような欠点がある
。
MR1i膜(4)の凹溝(la)、即ち充填部材(2)
への重ね合せ精度は、以下の種々の要因によって低下す
るため、MR#膜(41の幅Wを大きくしなければなら
ず、このため磁性基体(1)上の重なり部分の幅りも大
きくなり、再生出力レベルに有効な部分の幅への全体の
幅Wに対する率が小さくなって再生出力レベルが小さく
なり、損失が多い他に、出力レベルにバラツキが生じる
。
への重ね合せ精度は、以下の種々の要因によって低下す
るため、MR#膜(41の幅Wを大きくしなければなら
ず、このため磁性基体(1)上の重なり部分の幅りも大
きくなり、再生出力レベルに有効な部分の幅への全体の
幅Wに対する率が小さくなって再生出力レベルが小さく
なり、損失が多い他に、出力レベルにバラツキが生じる
。
MR@li!<4)の充填部材<11への重ね合せ精度
の低下の要因としては、次のようなものがある。凹溝(
1a)を機械加工により形成する際の送すビソチ娯差、
溝幅のばらつき、チンピング、MRII膜(4)の形成
のためのマスクの磁性基体(1)に対する位置合せ誤差
等がある。又、凹溝(1a)内に非磁性充填部材(2)
を充填する際の、磁性基体il+の磁気的特性の劣化が
ある。更に、凹溝(1a)内に充填部材(2)を充填し
た後、磁性基体+11及び充填部材(2)の表面をラッ
ピングするが、それでも充填部材(2)の周縁と磁性基
体(11との境界部分に100人オーダーの段差が生じ
、又、その境界部分にμ謝オーダーの凹凸が生じるが、
MR1f11!+4はその厚さが数100人程度と極く
薄いことから、それへの影響は頗る大きい。
の低下の要因としては、次のようなものがある。凹溝(
1a)を機械加工により形成する際の送すビソチ娯差、
溝幅のばらつき、チンピング、MRII膜(4)の形成
のためのマスクの磁性基体(1)に対する位置合せ誤差
等がある。又、凹溝(1a)内に非磁性充填部材(2)
を充填する際の、磁性基体il+の磁気的特性の劣化が
ある。更に、凹溝(1a)内に充填部材(2)を充填し
た後、磁性基体+11及び充填部材(2)の表面をラッ
ピングするが、それでも充填部材(2)の周縁と磁性基
体(11との境界部分に100人オーダーの段差が生じ
、又、その境界部分にμ謝オーダーの凹凸が生じるが、
MR1f11!+4はその厚さが数100人程度と極く
薄いことから、それへの影響は頗る大きい。
発明の目的
かかる点に繻み、本発明は再生出力レベルが大で、しか
もその出力レベルのばらつきの少ない磁気抵抗効果型磁
気ヘッドを提案しようとするものである。
もその出力レベルのばらつきの少ない磁気抵抗効果型磁
気ヘッドを提案しようとするものである。
発明の概要
本発明による磁気抵抗効果型磁気ヘッドは、表面に凹溝
が形成され、その凹溝内に非磁性充填部材が充填された
磁性基体と、非磁性充填部材の露出表面−ヒのみに被着
形成された磁気抵抗効果)1!膜と、磁性基体の表向の
端部と対向して磁気ギャップが形成されると共に、磁気
抵抗効果薄膜の一端と磁気的に連結された第1の磁気ヨ
ークと、磁性基体と磁気的に連結されると共に、磁気抵
抗効果薄膜の他端と磁気的に連結された第2の磁気ヨー
クとを具備して成ることを特徴とするものである。
が形成され、その凹溝内に非磁性充填部材が充填された
磁性基体と、非磁性充填部材の露出表面−ヒのみに被着
形成された磁気抵抗効果)1!膜と、磁性基体の表向の
端部と対向して磁気ギャップが形成されると共に、磁気
抵抗効果薄膜の一端と磁気的に連結された第1の磁気ヨ
ークと、磁性基体と磁気的に連結されると共に、磁気抵
抗効果薄膜の他端と磁気的に連結された第2の磁気ヨー
クとを具備して成ることを特徴とするものである。
かかる本発明によれば、再生出力レベルが大で、しかも
出力レベルのばらつきの少ない磁気抵抗効果型磁気ヘッ
ドを得ることができる。
出力レベルのばらつきの少ない磁気抵抗効果型磁気ヘッ
ドを得ることができる。
実施例
以下に、第3図及び第4図を参照して、本発明の一実施
例を詳細に説明するも、第3図及び第4図に於いて、上
述の第1図及び第2図と対応する部分には同一符号を付
して重複説明を省略する。
例を詳細に説明するも、第3図及び第4図に於いて、上
述の第1図及び第2図と対応する部分には同一符号を付
して重複説明を省略する。
例えばNi−Zn系フェライトよりなる高抵抗の磁性基
体(11の表面に凹溝(1a)が形成され、その凹溝(
1a)内にガラス等の絶縁性の非磁性充填部材(2)が
充填される。磁性基体+11及び充填部材(2)の各表
面は同一面とされる。
体(11の表面に凹溝(1a)が形成され、その凹溝(
1a)内にガラス等の絶縁性の非磁性充填部材(2)が
充填される。磁性基体+11及び充填部材(2)の各表
面は同一面とされる。
そして、充填部材(2)の表面(露出表面)上のみに、
例えばNi −Fe系合金、或いはN1−Go系合金等
よりなるMR薄膜(4)が被着形成され、このMR薄膜
(4)の両端から導出される金等の非磁性のリード導電
層(11) 、(12)が充填部材(2)及び磁性基体
11)の表面上に亘って被着形成される。そして、この
MR薄膜(4)の上に、磁性基体+11、リード導電層
(11) 、(i2)及びMR薄膜(4)の各表面を覆
う絶縁層(5)を介してNl −Fe系合金等の磁性層
よりなる第1及び第2の磁気ヨーク(6)及び(7)が
、MR薄験(4)上を横切る方向に、且つMR″# 5
1 (4)上において所要の間隔、即ち不連続部Gを介
して形成される。
例えばNi −Fe系合金、或いはN1−Go系合金等
よりなるMR薄膜(4)が被着形成され、このMR薄膜
(4)の両端から導出される金等の非磁性のリード導電
層(11) 、(12)が充填部材(2)及び磁性基体
11)の表面上に亘って被着形成される。そして、この
MR薄膜(4)の上に、磁性基体+11、リード導電層
(11) 、(i2)及びMR薄膜(4)の各表面を覆
う絶縁層(5)を介してNl −Fe系合金等の磁性層
よりなる第1及び第2の磁気ヨーク(6)及び(7)が
、MR薄験(4)上を横切る方向に、且つMR″# 5
1 (4)上において所要の間隔、即ち不連続部Gを介
して形成される。
そして、第1及び第2の磁気ヨークf6)、(7)の各
内端部が絶縁層(5)を介してMR薄Ifl! 141
の両端と磁気的に連結される。第1の磁気ヨーク(6)
の夕4端部は、非磁性層、即ち絶縁層(5)を介して磁
性基体+11と対向し、この第1の磁気ヨーク(6)と
磁性基体(1)との間に磁気ギャップgが形成されるよ
うになされる。
内端部が絶縁層(5)を介してMR薄Ifl! 141
の両端と磁気的に連結される。第1の磁気ヨーク(6)
の夕4端部は、非磁性層、即ち絶縁層(5)を介して磁
性基体+11と対向し、この第1の磁気ヨーク(6)と
磁性基体(1)との間に磁気ギャップgが形成されるよ
うになされる。
第2の磁気ヨーク(7)の外端は、絶縁層(5)に穿設
された窓(5a)を通じて磁性基体+11に直接接触せ
しめられて磁気的に連結される。四m(2’rの底部、
即ち非磁性充填部材(2)の1には銅等より成るバイア
ス導体(31が充填される。そし”(、MR薄膜(4)
、第1及び第2の磁気ヨーク(6)及び(7)を覆って
非磁性絶縁性床NN(s+が被覆され、これの上に接着
剤層(9)によって保護基体0Iが接着される。そして
、両基体(11及び(1(lと第1の磁気ヨーク(6)
の前端側が切削研磨されて磁気媒体との対接面(11)
が形成される。かくして、磁性基体(1)−磁気ギャソ
プg−第1の磁気ヨーク+61−M R薄膜(4)−第
2の磁気ヨーク+71−磁性基体(1)によって閉磁路
が形成される。
された窓(5a)を通じて磁性基体+11に直接接触せ
しめられて磁気的に連結される。四m(2’rの底部、
即ち非磁性充填部材(2)の1には銅等より成るバイア
ス導体(31が充填される。そし”(、MR薄膜(4)
、第1及び第2の磁気ヨーク(6)及び(7)を覆って
非磁性絶縁性床NN(s+が被覆され、これの上に接着
剤層(9)によって保護基体0Iが接着される。そして
、両基体(11及び(1(lと第1の磁気ヨーク(6)
の前端側が切削研磨されて磁気媒体との対接面(11)
が形成される。かくして、磁性基体(1)−磁気ギャソ
プg−第1の磁気ヨーク+61−M R薄膜(4)−第
2の磁気ヨーク+71−磁性基体(1)によって閉磁路
が形成される。
しかして、バイアス導体(3)にバイアス磁界発生用の
電流Inを流すことにより、MRsl*+41に所要の
バイアス磁界をりえ、MR薄M (4)に電流■を流す
ことによって、その各磁気ギャップgに対接ないしは対
向する磁気記録媒体よりの、これに記録された記録磁化
による信号磁界がMR薄膜(4)に与えられ、これによ
る抵抗変化に基ずく電気的信号、即ち群生出力信号がM
R*険t4)の両端に得られる。
電流Inを流すことにより、MRsl*+41に所要の
バイアス磁界をりえ、MR薄M (4)に電流■を流す
ことによって、その各磁気ギャップgに対接ないしは対
向する磁気記録媒体よりの、これに記録された記録磁化
による信号磁界がMR薄膜(4)に与えられ、これによ
る抵抗変化に基ずく電気的信号、即ち群生出力信号がM
R*険t4)の両端に得られる。
そして、かかる磁気ヘッドが、磁性基体+11、その凹
溝(la)、非磁性充填部材(2)、バイアス導体(3
)を共通として、多数形成されることにより、PCM信
号再生用のマルチチャンネルヘッドが構成される。
溝(la)、非磁性充填部材(2)、バイアス導体(3
)を共通として、多数形成されることにより、PCM信
号再生用のマルチチャンネルヘッドが構成される。
かかる磁気ヘッドは磁性基体(11の表面に於いて、M
R薄膜(4)と対向する部分に凹溝(1a)が形成され
ているため、MR*賎(41の中央付近から磁性基体T
l)へ漏洩する磁束が軽減されるので、磁気的効率が高
いという利点があると共に、次のような利点がある。
R薄膜(4)と対向する部分に凹溝(1a)が形成され
ているため、MR*賎(41の中央付近から磁性基体T
l)へ漏洩する磁束が軽減されるので、磁気的効率が高
いという利点があると共に、次のような利点がある。
即ち、MR*Ill+4)が非磁性充填部材(2)の露
出表面上のみに形成されているので、MR薄膜(4)は
磁性基体(11及び充填部材(2)の境界の影響、磁性
基体(11の磁気的特性の劣化の影響を受けず、再生出
力レベルが大きく、その出力レベルのばらつきは少なく
なる。
出表面上のみに形成されているので、MR薄膜(4)は
磁性基体(11及び充填部材(2)の境界の影響、磁性
基体(11の磁気的特性の劣化の影響を受けず、再生出
力レベルが大きく、その出力レベルのばらつきは少なく
なる。
発明の効果
−に述せる本発明によれば、再生出力レベルが大きく、
その出力レベルのばらつきの少ない磁気抵抗効果型磁気
ヘッドを得ることができる。
その出力レベルのばらつきの少ない磁気抵抗効果型磁気
ヘッドを得ることができる。
第1図及び第2図は従来の磁気抵抗効果型磁気ヘッドの
要部をポず断面図及びその部分的平面図、第3図及び第
4図は本発明による磁気抵抗効果型磁気ヘッドの一実施
例の要部を示す断面図及びその一部の平面図である。 (1)は磁性基板、(2)は非磁性充填部材、(3)は
バイアス導体、+41 Ll: M R*賎、(614
;l: 絶縁層、(61,+711:を第1及び第2の
磁気ヨークである。 第1図 第2図 第3図 第4図
要部をポず断面図及びその部分的平面図、第3図及び第
4図は本発明による磁気抵抗効果型磁気ヘッドの一実施
例の要部を示す断面図及びその一部の平面図である。 (1)は磁性基板、(2)は非磁性充填部材、(3)は
バイアス導体、+41 Ll: M R*賎、(614
;l: 絶縁層、(61,+711:を第1及び第2の
磁気ヨークである。 第1図 第2図 第3図 第4図
Claims (1)
- 表面に凹溝が形成され、該凹溝内に非磁性充填部材が充
填された磁性基体と、上記非磁性充填部材の躇出表面上
のみに被着形成された磁気抵抗効果薄膜と、上記磁性基
体の表面の端部と対向して磁気ギャップが形成されると
共に、上記磁気抵抗効果薄膜の一端と磁気的に連結され
た第1の磁気ヨークと、上記磁性基体ぶ磁気的に連結さ
れると共に、上記磁気抵抗効果薄膜の他端と磁気的に連
結された第2の磁気ヨークとを具備して成ることを特徴
とする磁気抵抗効果型磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24617983A JPS60136018A (ja) | 1983-12-23 | 1983-12-23 | 磁気抵抗効果型磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24617983A JPS60136018A (ja) | 1983-12-23 | 1983-12-23 | 磁気抵抗効果型磁気ヘツド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60136018A true JPS60136018A (ja) | 1985-07-19 |
Family
ID=17144688
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24617983A Pending JPS60136018A (ja) | 1983-12-23 | 1983-12-23 | 磁気抵抗効果型磁気ヘツド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60136018A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0616318A2 (en) * | 1993-03-18 | 1994-09-21 | Fujitsu Limited | Magnetoresistive head |
US5995339A (en) * | 1993-03-18 | 1999-11-30 | Fujitsu Limited | Magnetoresistive head with a front flux guide and an embedded MR element |
-
1983
- 1983-12-23 JP JP24617983A patent/JPS60136018A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0616318A2 (en) * | 1993-03-18 | 1994-09-21 | Fujitsu Limited | Magnetoresistive head |
EP0616318A3 (en) * | 1993-03-18 | 1997-02-26 | Fujitsu Ltd | Magnetoresistive head. |
US5995339A (en) * | 1993-03-18 | 1999-11-30 | Fujitsu Limited | Magnetoresistive head with a front flux guide and an embedded MR element |
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