JPS60131810A - 窒化イツトリウムの製造方法 - Google Patents

窒化イツトリウムの製造方法

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Publication number
JPS60131810A
JPS60131810A JP23907583A JP23907583A JPS60131810A JP S60131810 A JPS60131810 A JP S60131810A JP 23907583 A JP23907583 A JP 23907583A JP 23907583 A JP23907583 A JP 23907583A JP S60131810 A JPS60131810 A JP S60131810A
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JP
Japan
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yttrium
metallic
atmosphere
lumps
lump
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Pending
Application number
JP23907583A
Other languages
English (en)
Inventor
Mikio Fukuhara
幹夫 福原
Kunio Shibuki
渋木 邦夫
Taketo Hayashi
林 武人
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tungaloy Corp
Original Assignee
Toshiba Tungaloy Co Ltd
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B21/00Nitrogen; Compounds thereof
    • C01B21/06Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
    • C01B21/0615Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with transition metals other than titanium, zirconium or hafnium
    • C01B21/063Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with transition metals other than titanium, zirconium or hafnium with one or more actinides, e.g. UN, PuN
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2006/00Physical properties of inorganic compounds
    • C01P2006/80Compositional purity

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、窒化イツトリウム粉末の製造方法に係り、容
易に製造できしかも、高品質である窒化イツトリウムの
製造方法に関する。
窒化イツトリウムは、大気圧の空気中で準安定で、加水
分解して酸化物(Y2O3)となるために製造技術上及
び保管上からも問題があって実験的に作製されていても
未だ市販されていないのが現状である。窒化イツトリウ
ムを作製するための出発原料がハロゲン化合物、例えば
YCl3の場合にはYCl3そのものが蒸気圧が高く還
元に高温を必要とするのと大気中での潮解性からY2O
3になりやすく、Y2O3からYNへの還元窒化反応が
1400℃以上の温度を必要とするためにYCl3から
YNへの窒化反応が困歿となり、しかも高品質なYNを
得るのが雌かしいという問題がある。出発原料が金属イ
ツトリウムの場合は金属イツトリウムの活性が強いため
に空気中で容易に酸化されてY2O3になってしまう。
このことから微細な金属イツトリウム粉末になるに従っ
て粉末の表面が短時間で酸化されてY2O3となり、金
属イツトリウム粉末からYNへの還元窒化反応を困難に
しているという問題がある。
本発明は、上記のような観点により工業化が困難とされ
ていた窒化イツトリウムを簡便で容易に製造し、しかも
高品質で保管上の問題も解消できるように考慮した窒化
イツトリウムの製造方法の提供を目的とする。
窒化硅素基セラミックスを作製するには焼鰐iを促進し
て緻密な焼結体にするために焼結促進剤が必要であり、
特iこ品質の安定な窒化硅素基セラミックスを作製する
ためには焼結促進剤として窒化イツトリウムが必要であ
るという期待に応えるべく研究を重ねた結果経済的で高
品質な窒化イツトが重要な問題であると確認することに
よつ【本発明を完成したものである。
本発明の窒化イツ)9ウムの製造方法は、50μm以上
の金属イツトリウムからなる塊状物をNH3又はNH3
とN2もしくはNH3力よび/またはN2とH2の雰囲
気中で800℃〜1400℃に加熱して窒化するもので
ある。このように50μm以上の金属イツトリウムから
なる塊状物を出発原料とすることによって金属イツトリ
ウムの表面酸化を防ぐようにしたものである。こめ塊状
物としては粉末状のもの又は鍛造によって成形した板状
物を切断しそできた切屑でもよく、特に金属イツトリウ
ム゛のインゴットを切削してできたり粉である場合には
割合形状が均一でしかも容易に必要量を人手することが
できる。この切粉が不連続形切削によってできる切粉で
ある場合には窒化イツ) リウムの製造における各工程
間及び各工程内での取り扱いが一層容易である。切断又
は切削によつ【できた塊状物は、微粉末状のものに比較
して表面酸化が生じ難くしからせん断及び破断によって
適当なシャープエツジを有した塊状物であることから還
元窒化反応を促進して低温での窒化及び短時間での窒化
を可能にするものである。
本発明め窒化イツトリウムの製造方法の内、還元窒化反
応は金属イツトリウムからなる塊状物をMo、Ti、Z
r、Ta等の高融点金属製容器に詰めて、この容器を反
応炉内の温度及び雰囲気を設定すればよい。反応炉内の
温度が800℃迄は還元反応が主体になり、800℃〜
1400℃では窒化反応が主体になる。このために80
0℃迄は反応炉内の雰囲気中に142ガスが多量に混在
しているのがよく、特に出発原料が粉末状で50μmに
近い細粉の場合にはN2ガスが多量に混在していること
が望ましい。
H2ガス分圧が商い場合には500℃迄の昇温において
金属イツトリウムが・水素化イツトリウムとなり、50
0℃〜8OO℃では脱水素しズ活性なイツトリウムとな
つズ窒化反応が促進される。NHaガスは、800.t
ll:以下の温度に動いて2NH3→N2+3H2の分
解反応が成る程度進行しているために反応炉内雰囲気は
NH8単独又はNH3+N 2混合ガスでもよいがN2
ガス効果からNH8+H2混合ガスJ・N 2 +H2
混合ガス又はNH3+N2+H2混合ガスにすることが
望ましい。特に反応炉内のN2ガスは、800℃迄にあ
ける還元反応を主体とするのみでなく、800℃以上に
おける窒化反応においても触媒作用となるのとN2ガス
よりもNH3ガスの方が窒化反応の促進性にすぐれてい
ることか、ら反応炉内雰囲気はNHs+H2混合ガスが
・好ましい。
本発明の窒化イツトリウムの製造方法によつ文得られる
窒化イツトリウムは、’50pm以−1−の塊状物であ
るために大気中でも割合酸化され難い。このために窒化
後の塊状物からなる窒化イツ) IJウムは、反応炉内
から取り出して保管器に移し換えオ作業工程間での酸化
反応による変質を考慮する必′要カーなく、保管容器に
詰めた後浮管容器を乾燥空気文は望ましくはN2ガスも
しぐは不活性ガ戎によって密封しておくと”長期間の保
管ができる。この塊状物からなる窒化イツトリウムは、
□必要なときに保管容器から取り出してウレタレ内張の
シリ:/f−中で一層ビニニル又はナイロン製の被覆鋼
球ボールと共にヘキ′サン等の溶媒によって湿式粉砕す
れば容易に粉砕されて50μm未満の必要な粒子サイ゛
ズの窒化イットリ゛□ウム粉末が得られる。
以下に実施例に従つ【本発明の窒化イツトリウムの製造
方法を具体的に説萌する。
実施例 □ 0.5〜2朋の金属イツトリウムの切粉soo tをM
o製容器に詰め【、この容器を反応炉内にセットして炉
゛内を真空にした後N2ガス2t/minとNH31t
/minを流入し一炉西がNH3+H2’混合ガス雰囲
気になってから1000℃迄8.3℃/minの昇温速
度で加熱し、1000℃で60分間保持し、次に炉内を
H22t/minの雰囲気にして冷却した。
こうして得た窒化イツトリウムは、化学分析の結果13
.47重量%Nを持つYNO,99の塊状物で、純度は
99.9%であった。
なお、使用したH2及びNH3ガスは各々Pt触媒を用
いた吸着塔及びドライアイス、アセ1−ンのトラップに
よりH2Oを除去し精製したもので各々のガス露点はH
2が一80℃、Nl−l3が一45゛Cであった。
特許出願人 東芝夕ンガロイ株式会社

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1) 50μm以上の金属イツトリウムからなる塊状
    物をNH3又はNH3とN2もしくはNH3力よび/ま
    たはN2とN2の雰囲気中刃800℃〜1400℃に加
    熱して窒化することを特徴とする窒化イツトリウムの製
    造方法。
  2. (2)上記塊状物がインゴットを切削してできた切粉で
    あることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の窒化
    イツトリウムの製造方法。
  3. (3)上記雰囲気がNH3とN2の混合ガスであること
    を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の窒化イツトリ
    ウムの製造方法。
JP23907583A 1983-12-19 1983-12-19 窒化イツトリウムの製造方法 Pending JPS60131810A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0432014U (ja) * 1990-07-13 1992-03-16
JP2010059047A (ja) * 2008-08-04 2010-03-18 Santoku Corp 希土類窒化物およびその製造方法、ならびに磁気冷凍材料および蓄冷材料
JP2021091572A (ja) * 2019-12-10 2021-06-17 太平洋セメント株式会社 窒化イットリウムの製造方法

Cited By (3)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0432014U (ja) * 1990-07-13 1992-03-16
JP2010059047A (ja) * 2008-08-04 2010-03-18 Santoku Corp 希土類窒化物およびその製造方法、ならびに磁気冷凍材料および蓄冷材料
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