JPS623007A - 窒化アルミニウム粉末の製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム粉末の製造方法Info
- Publication number
- JPS623007A JPS623007A JP13888585A JP13888585A JPS623007A JP S623007 A JPS623007 A JP S623007A JP 13888585 A JP13888585 A JP 13888585A JP 13888585 A JP13888585 A JP 13888585A JP S623007 A JPS623007 A JP S623007A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- powder
- nitriding
- aluminum
- aluminum nitride
- fluorine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
- C01B21/072—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with aluminium
- C01B21/0722—Preparation by direct nitridation of aluminium
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、窒化アルミニウム製造の分野に属し、特にそ
の微粉末を製造するに当って粉砕を必要とせずに１μｍ
以下の微粒で、かつ等軸（球状）に近い形の窒化アルミ
ニウム粉を工業的に量産する有利な方法を提供する。
の微粉末を製造するに当って粉砕を必要とせずに１μｍ
以下の微粒で、かつ等軸（球状）に近い形の窒化アルミ
ニウム粉を工業的に量産する有利な方法を提供する。
（従来の技術）
窒化アルミニウムの製造に関しては、従来金属アルミニ
ウム粉末を窒素ガスあるいはアンモニアガス気流中で加
熱する直接金属窒化法が知られている（特公昭３６−２
１１６４号、特開昭５９−３０１２号、特公昭４７−４
０６４０号、特公昭４９−４５４７９号）。ところで、
金属アルミニウムの窒化反応は急激な発熱を伴い約２０
００℃の高温になる。このように高温になるとアルミニ
ウム粒は互いに凝集して大きくなり、窒化反応速度が著
しく低下する。さらには焼結化が進み非常に固い塊状と
なり、次工程での粉砕が必要となる。そこで上記各公報
に開示されている各発明は、いずれもこのような発熱を
抑制する方法を述べている。
ウム粉末を窒素ガスあるいはアンモニアガス気流中で加
熱する直接金属窒化法が知られている（特公昭３６−２
１１６４号、特開昭５９−３０１２号、特公昭４７−４
０６４０号、特公昭４９−４５４７９号）。ところで、
金属アルミニウムの窒化反応は急激な発熱を伴い約２０
００℃の高温になる。このように高温になるとアルミニ
ウム粒は互いに凝集して大きくなり、窒化反応速度が著
しく低下する。さらには焼結化が進み非常に固い塊状と
なり、次工程での粉砕が必要となる。そこで上記各公報
に開示されている各発明は、いずれもこのような発熱を
抑制する方法を述べている。
すなわち、■発熱時に、アルミニウム粒の凝集を防止す
るために、担体として窒化アルミニウム粉末またはぶつ
化アルミニウムを添加する方法（特公昭３６−２１１６
４号）や■同じ目的で窒化アルミニウム粉のみを添加す
る方法（特公昭４７−４０６４０号）、■原料アルミニ
ウムの反応性を小さくするためにけい素化合物でアルミ
ニウム粉の表面を被覆する方法、（特開昭５９−３０１
２号）■窒素源として有機化合物を用いて窒化反応を促
進する方法（特公昭４９−４５４７９号）などがある。
るために、担体として窒化アルミニウム粉末またはぶつ
化アルミニウムを添加する方法（特公昭３６−２１１６
４号）や■同じ目的で窒化アルミニウム粉のみを添加す
る方法（特公昭４７−４０６４０号）、■原料アルミニ
ウムの反応性を小さくするためにけい素化合物でアルミ
ニウム粉の表面を被覆する方法、（特開昭５９−３０１
２号）■窒素源として有機化合物を用いて窒化反応を促
進する方法（特公昭４９−４５４７９号）などがある。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、これらの方法は前記■や■においては、
ぶつ化アルミニウムや窒化アルミニウムの添加量が多い
ため、新しく生成する窒化アルミニウムの収率が悪く、
そして前記■の方法においては、有機化合物の添加量が
多いために同様に窒化アルミニウム粉の収率が悪くなる
。しかも、これらの粉末中の不純物含有量が多くなり、
前記■の方法ではぶつ化アルミニウム中のふっ素、前記
■の方法ではけい素、前記■の方法では炭素などが最終
製品中に残留する可能性があること、また、このように
多量の添加物を混合して焼成しても、前記■、■、■各
方法に合方法は主として７００”Ｃ以上の高温焼成に転
るために、粒子が凝集して焼結しやすくなる。そのため
、１μｍ以下の超微粒粉末を得ようとするには、粉砕に
頼らざるを得ないのが実情である。さらに、前記■の方
法については、アルミニウムの融点以下で予備焼成する
が、このあと１０００℃の高温で３時間保持するために
、前記■、■、■各方法と開方法高温域での反応を主眼
にしていることになる。
ぶつ化アルミニウムや窒化アルミニウムの添加量が多い
ため、新しく生成する窒化アルミニウムの収率が悪く、
そして前記■の方法においては、有機化合物の添加量が
多いために同様に窒化アルミニウム粉の収率が悪くなる
。しかも、これらの粉末中の不純物含有量が多くなり、
前記■の方法ではぶつ化アルミニウム中のふっ素、前記
■の方法ではけい素、前記■の方法では炭素などが最終
製品中に残留する可能性があること、また、このように
多量の添加物を混合して焼成しても、前記■、■、■各
方法に合方法は主として７００”Ｃ以上の高温焼成に転
るために、粒子が凝集して焼結しやすくなる。そのため
、１μｍ以下の超微粒粉末を得ようとするには、粉砕に
頼らざるを得ないのが実情である。さらに、前記■の方
法については、アルミニウムの融点以下で予備焼成する
が、このあと１０００℃の高温で３時間保持するために
、前記■、■、■各方法と開方法高温域での反応を主眼
にしていることになる。
以上説明したように、従来の各方法では、アルミニウム
の窒化に際して起こる大きな発熱によるアルミニウム粒
子の凝集と焼結による固化を防止するために多量の添加
物を使用している。しかし多量の添加物を使用するにも
がかわらず、その効果が小さく、その上、逆に不純物含
有量を増加させる結果になっているところに問題点があ
った。
の窒化に際して起こる大きな発熱によるアルミニウム粒
子の凝集と焼結による固化を防止するために多量の添加
物を使用している。しかし多量の添加物を使用するにも
がかわらず、その効果が小さく、その上、逆に不純物含
有量を増加させる結果になっているところに問題点があ
った。
（問題点を解決するための手段）
上述したような従来技術が抱える各種の問題点に対し本
発明は、アルミニウム粉末を窒素ガス気流中にて加熱窒
化することによって窒化アルミニウム粉末を製造するに
際し、従来法の欠点である反応に伴う発熱を抑制し、そ
のことによって合成後に粉砕する必要のない軟質な超微
粉を経済的に量産する方法を提供する。
発明は、アルミニウム粉末を窒素ガス気流中にて加熱窒
化することによって窒化アルミニウム粉末を製造するに
際し、従来法の欠点である反応に伴う発熱を抑制し、そ
のことによって合成後に粉砕する必要のない軟質な超微
粉を経済的に量産する方法を提供する。
すなわち、本発明は金属アルミニウムに対し、０．５〜
８．０ｗｔ％のふっ素含有アンモニウム化合物と５〜３
０ｗｔ％の窒化アルミニウム粉末とを加えてなる混合物
を、窒化性雰囲気中において４３０〜６５０℃の温度範
囲に一定時間保持する加熱を行い、その後さらに同雰囲
気中にて９００〜１３００℃の温度域にて加熱すること
を特徴とする窒化アルミニウム粉末の製造方法にかかる
ものである。
８．０ｗｔ％のふっ素含有アンモニウム化合物と５〜３
０ｗｔ％の窒化アルミニウム粉末とを加えてなる混合物
を、窒化性雰囲気中において４３０〜６５０℃の温度範
囲に一定時間保持する加熱を行い、その後さらに同雰囲
気中にて９００〜１３００℃の温度域にて加熱すること
を特徴とする窒化アルミニウム粉末の製造方法にかかる
ものである。
（作 用）
本発明の着想の特徴は、アルミニウム粉末と窒素ガスと
の急激な反応による大きな発熱を抑えることによって、
■粉末合成原料中のアルミニウム純分を増加させ（収率
向上）、■粉砕工程を省略できる微粒の窒化アルミニウ
ム粉末を得るようにした点にある。
の急激な反応による大きな発熱を抑えることによって、
■粉末合成原料中のアルミニウム純分を増加させ（収率
向上）、■粉砕工程を省略できる微粒の窒化アルミニウ
ム粉末を得るようにした点にある。
上述した急激な反応を防止するためには、アルミニウム
粉末と、窒素ガスとの反応をできるだけ低温で進める必
要がある。もしこの反応を７００℃以上の高温で行うと
すれば、発熱反応が激しく起こり、上述したようにアル
ミニウム粒が凝集して粗大粒となり、同時に焼結が起こ
り固くなる（凝集と焼結を防ぐためには原料中の窒化ア
ルミニウム粉の添加量を従来法のように増加せねばなら
ない）。
粉末と、窒素ガスとの反応をできるだけ低温で進める必
要がある。もしこの反応を７００℃以上の高温で行うと
すれば、発熱反応が激しく起こり、上述したようにアル
ミニウム粒が凝集して粗大粒となり、同時に焼結が起こ
り固くなる（凝集と焼結を防ぐためには原料中の窒化ア
ルミニウム粉の添加量を従来法のように増加せねばなら
ない）。
さて、このような低温で反応させるためには、■窒化率
が低下しないような反応（窒化）促進剤を準備する必要
があり、■このような窒化促進剤によって、生成する窒
化アルミニウム粉の純度が低下しないようにすること、
■反応促進剤の使用量を微量でも窒化反応が進むように
しなければならない。
が低下しないような反応（窒化）促進剤を準備する必要
があり、■このような窒化促進剤によって、生成する窒
化アルミニウム粉の純度が低下しないようにすること、
■反応促進剤の使用量を微量でも窒化反応が進むように
しなければならない。
そこで本発明者らは、低温域でアルミニウムと窒素ガス
の反応を促進させる反応促進剤を選択すべく検討をした
結果、まず該促進剤は保持すべき特性として、以下の条
件を具備しなければならないことが判った。
の反応を促進させる反応促進剤を選択すべく検討をした
結果、まず該促進剤は保持すべき特性として、以下の条
件を具備しなければならないことが判った。
（１） アルミニウムの融点以下の温度で熱分解し含
窒素源となるもの。
窒素源となるもの。
（２）上記（１）と同様に低温で分解して、ガス化し粉
体を多孔質とし、雰囲気、窒素ガスの侵人を良くする組
成のもの。
体を多孔質とし、雰囲気、窒素ガスの侵人を良くする組
成のもの。
（３）不純物元素を残留しない組成のもの（炭素。
酸素、けい素、鉄他）
（４）金属アルミニウム粉と表面の酸化膜を除去し、窒
素との反応を促進しやすのするもの。
素との反応を促進しやすのするもの。
（５）アルミニウム粉と反応して、低温で窒化しやすい
性質のアルミニウム複合体を形成するもの。
性質のアルミニウム複合体を形成するもの。
結局、本発明に用いる反応促進剤は、基本的に窒素とふ
っ素と水素を同時に含むような成分であれば全て使用可
能である。一般的にはふっ素含有アンモニウム化合物で
あるぶつ化アンモニウム（ＮＨｔＦ）、ぶつ化水素アン
モニウム（ＮＨａＨＦｚ）が使用できる。その他、ＮＪ
６Ｆｚ、ＮＨ４Ｈ４Ｆ５ＩＮＨｎＩＩｓＦａ、 ＮＨ３
Ｆなどの化合物も使用可能であると考えられる。
っ素と水素を同時に含むような成分であれば全て使用可
能である。一般的にはふっ素含有アンモニウム化合物で
あるぶつ化アンモニウム（ＮＨｔＦ）、ぶつ化水素アン
モニウム（ＮＨａＨＦｚ）が使用できる。その他、ＮＪ
６Ｆｚ、ＮＨ４Ｈ４Ｆ５ＩＮＨｎＩＩｓＦａ、 ＮＨ３
Ｆなどの化合物も使用可能であると考えられる。
これらの化合物は、溶液中ではＮＯ，”、ＮＨ３，ＩＰ
などに分離している。一方、原料になる微粒のアルミニ
ウム粉は、表面がアルミナ被膜で覆われていて窒素との
反応性が鈍くなっている。
などに分離している。一方、原料になる微粒のアルミニ
ウム粉は、表面がアルミナ被膜で覆われていて窒素との
反応性が鈍くなっている。
そこで、このアルミニウム粉を前記化合物（例えばぶつ
化アンモニウム： Ｎ）１．Ｆ）の溶液に浸漬すると、
表面被膜は除去されて活性な面が現われ、同時に（ＮＨ
４） Ｊ Ｉ Ｆ＆のアルミニウム複塩がアルミニウム
粒の表面に生成する。これを窒素気流中で加熱すると、
３００〜４００℃の比較的低温範囲で分解し、ぶつ化物
ガス（ＮＨ４ＨＦ２）を放出し、材料を多孔性にし、さ
らに窒素源（ＮＨｚ）との反応時に担体となる分子状の
Ｉ’１ｌＦ３を提供するので、アルミニウム表面では低
い温度で活発な窒化反応が進行するようになる。
化アンモニウム： Ｎ）１．Ｆ）の溶液に浸漬すると、
表面被膜は除去されて活性な面が現われ、同時に（ＮＨ
４） Ｊ Ｉ Ｆ＆のアルミニウム複塩がアルミニウム
粒の表面に生成する。これを窒素気流中で加熱すると、
３００〜４００℃の比較的低温範囲で分解し、ぶつ化物
ガス（ＮＨ４ＨＦ２）を放出し、材料を多孔性にし、さ
らに窒素源（ＮＨｚ）との反応時に担体となる分子状の
Ｉ’１ｌＦ３を提供するので、アルミニウム表面では低
い温度で活発な窒化反応が進行するようになる。
本発明は、上記反応（窒化）促進剤と粉末アルミニウム
の混合物を、窒素ガスもしくはアンモニアガスまたはこ
れらの混合物ガスなどの窒化性ガス気流中つまり窒化性
雰囲気中で、まず４３０〜６５０℃の低温度域で一定時
間加熱焼成する。本発明の場合、かかる低温域でも数時
間の保持により窒化反応を著しく進行させることができ
る。温度範囲の下限は、４３０℃より低くなると窒化率
が小さくなり長い反応時間が必要となる。一方上限の温
度二６５０℃を越えると窒化反応による発熱量が大きく
なり焼結するので合成物を粉砕しなければならなくなる
。好ましくは４８０℃〜５６０℃の温度範囲で行うのが
よい。
の混合物を、窒素ガスもしくはアンモニアガスまたはこ
れらの混合物ガスなどの窒化性ガス気流中つまり窒化性
雰囲気中で、まず４３０〜６５０℃の低温度域で一定時
間加熱焼成する。本発明の場合、かかる低温域でも数時
間の保持により窒化反応を著しく進行させることができ
る。温度範囲の下限は、４３０℃より低くなると窒化率
が小さくなり長い反応時間が必要となる。一方上限の温
度二６５０℃を越えると窒化反応による発熱量が大きく
なり焼結するので合成物を粉砕しなければならなくなる
。好ましくは４８０℃〜５６０℃の温度範囲で行うのが
よい。
上記処理を経て窒化反応を行った後の合成物は、大部分
窒化アルミニウムに転化しているが、ごく一部には未反
応のアルミニウムが残留している。
窒化アルミニウムに転化しているが、ごく一部には未反
応のアルミニウムが残留している。
そこで該合成物粉末の温度を先と同様の窒素ガス気流中
で９００〜１３００℃に温度域に約１時間保持すること
により、窒化反応を急激に進行させ、窒化反応を完全に
完了させる。この温度加熱により生成物中に残留するふ
っ素は分解され、ガス状となって除去される。この加熱
は未反応のアルミニウム粒にだけに寄与するのでアルミ
ニウム粒子間の凝集は生じず、得られた生成物は非常に
軟質となり、粉砕を必要とせず、解砕によＩ／）０．７
〜１．０μｍの微粉末が得られる。なお、上限・下限に
ついては９００℃未満では未反応アルミニウムが残留し
、１３００℃以上では窒化アルミニウムの焼結がおこる
ので粉砕を要するようになる。
で９００〜１３００℃に温度域に約１時間保持すること
により、窒化反応を急激に進行させ、窒化反応を完全に
完了させる。この温度加熱により生成物中に残留するふ
っ素は分解され、ガス状となって除去される。この加熱
は未反応のアルミニウム粒にだけに寄与するのでアルミ
ニウム粒子間の凝集は生じず、得られた生成物は非常に
軟質となり、粉砕を必要とせず、解砕によＩ／）０．７
〜１．０μｍの微粉末が得られる。なお、上限・下限に
ついては９００℃未満では未反応アルミニウムが残留し
、１３００℃以上では窒化アルミニウムの焼結がおこる
ので粉砕を要するようになる。
ふっ素含有アンモニウム化合物は原料アルミニウムに対
して０．５〜８．０ｖｔ％（０，００４〜０．０６４モ
ル）に当る量の配合が適しており、０．５ｗｔ％以下で
は窒化反応が十分に進まないし、８．０ｗｔ％以上では
生成物に残留するふっ素が多くなり、除去に時間゛がか
かる。好ましくは２〜６ｗｔ％である。これらの反応促
進剤は、粉末添加および水、アルコール（有機溶媒）に
よる溶液添加が有効であるが、溶液添加が窒化率向上の
点から適している。その場合、溶液濃度は１〜２０ｗｔ
％の範囲が適している。
して０．５〜８．０ｖｔ％（０，００４〜０．０６４モ
ル）に当る量の配合が適しており、０．５ｗｔ％以下で
は窒化反応が十分に進まないし、８．０ｗｔ％以上では
生成物に残留するふっ素が多くなり、除去に時間゛がか
かる。好ましくは２〜６ｗｔ％である。これらの反応促
進剤は、粉末添加および水、アルコール（有機溶媒）に
よる溶液添加が有効であるが、溶液添加が窒化率向上の
点から適している。その場合、溶液濃度は１〜２０ｗｔ
％の範囲が適している。
もし１ｗｔ％以下の濃度溶液を用いると溶液の量が多く
なり、その蒸発に時間がかかり過ぎる。一方２０ｗ ｔ
％より大きくなると、使用する溶液の量が少なくなるの
で原料全体に溶液が均一に混合しない。
なり、その蒸発に時間がかかり過ぎる。一方２０ｗ ｔ
％より大きくなると、使用する溶液の量が少なくなるの
で原料全体に溶液が均一に混合しない。
本発明によれば原料中に配合する窒化アルミニウム粉は
、窒化反応を促進する担体となるので一定割合添加する
のが好ましい。添加量とじては、窒化率が高位に安定す
る５ｗｔ％以上から上限は製造コストの観点から問題に
ならない範囲の３０ｗｔ％に決められる。
、窒化反応を促進する担体となるので一定割合添加する
のが好ましい。添加量とじては、窒化率が高位に安定す
る５ｗｔ％以上から上限は製造コストの観点から問題に
ならない範囲の３０ｗｔ％に決められる。
（実施例）
第１表は、本発明の効果を確めるために行った実験結果
（２９列）について示している。実験魚１〜１０は焼成
温度と合成粉の窒化率（粉の純度）、その他の特性値と
の対比を示している。実験結果磁１１〜２１はふっ素含
有アンモニウム化合物と粉の特性値の対比を示し、実験
Ｎａ２２−２９は焼成前に配合する原料中の窒化アルミ
ニウム粉の配合比と粉の特性値を示している。
（２９列）について示している。実験魚１〜１０は焼成
温度と合成粉の窒化率（粉の純度）、その他の特性値と
の対比を示している。実験結果磁１１〜２１はふっ素含
有アンモニウム化合物と粉の特性値の対比を示し、実験
Ｎａ２２−２９は焼成前に配合する原料中の窒化アルミ
ニウム粉の配合比と粉の特性値を示している。
本発明法につき第１表の実験隘５を用いて具体的に説明
する。まず原料のアルミニウム粉に対してＮ）１４．Ｆ
の１０％水溶液を、Ｎ）１．Ｆの量がアルミニウム粉に
対して３．８χになるように添加した。これを乾燥後さ
らに窒化アルミニウムを、全原料に対して１５ｗｔ％に
なるように添加し、よく混合し、窒素気流中で５２５℃
に加熱し５時間保持した。その後混合物を同じく窒素気
流中で１１５０℃で１時間加熱し、残りのアルミニウム
粉の窒化反応を起こさせた。
する。まず原料のアルミニウム粉に対してＮ）１４．Ｆ
の１０％水溶液を、Ｎ）１．Ｆの量がアルミニウム粉に
対して３．８χになるように添加した。これを乾燥後さ
らに窒化アルミニウムを、全原料に対して１５ｗｔ％に
なるように添加し、よく混合し、窒素気流中で５２５℃
に加熱し５時間保持した。その後混合物を同じく窒素気
流中で１１５０℃で１時間加熱し、残りのアルミニウム
粉の窒化反応を起こさせた。
その際に混合物中のフッ素は、ガス状で除去できた。こ
の反応により得られた合成物は非常に軟質で、解砕する
と０．５〜０．８μｍの超微粉になった。
の反応により得られた合成物は非常に軟質で、解砕する
と０．５〜０．８μｍの超微粉になった。
形状は等軸状で粒度分布も非常に狭い粉末が得ら。
れた。
（発明の効果）
以上説明したように本発明によれば、得られた窒化アル
ミニウム粉末について見ると、粒径は原料アルミニウム
粉末よりも細か＜ （０，７〜１．０μｍ）、その粒径
分布も狭くて異常粒（粗大粒）は全く見られず、いかも
、形状は等軸粒を示してした。しかも粉末の焼結性も良
く、緻密化し易いものが得られた。要するに本発明に従
うと、常圧焼結法によって比較的低い温度でしかも焼結
助剤の量も僅かで、密度の高い焼結磁器が得られるよう
になった。
ミニウム粉末について見ると、粒径は原料アルミニウム
粉末よりも細か＜ （０，７〜１．０μｍ）、その粒径
分布も狭くて異常粒（粗大粒）は全く見られず、いかも
、形状は等軸粒を示してした。しかも粉末の焼結性も良
く、緻密化し易いものが得られた。要するに本発明に従
うと、常圧焼結法によって比較的低い温度でしかも焼結
助剤の量も僅かで、密度の高い焼結磁器が得られるよう
になった。
Claims (1)
- １、金属アルミニウム粉末に対し、０．５〜８．０ｗｔ
％のふっ素含有アンモニウム化合物と５〜３０ｗｔ％の
窒化アルミニウム粉末とを加えてなる混合物を、窒化性
雰囲気中において４３０〜６５０℃の温度範囲に一定時
間保持する加熱を行い、その後さらに同雰囲気中にて９
００〜１３００℃の温度域にて加熱することを特徴とす
る窒化アルミニウム粉末の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13888585A JPS623007A (ja) | 1985-06-27 | 1985-06-27 | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13888585A JPS623007A (ja) | 1985-06-27 | 1985-06-27 | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS623007A true JPS623007A (ja) | 1987-01-09 |
| JPH0327481B2 JPH0327481B2 (ja) | 1991-04-16 |
Family
ID=15232389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13888585A Granted JPS623007A (ja) | 1985-06-27 | 1985-06-27 | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS623007A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6159439A (en) * | 1996-12-26 | 2000-12-12 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Process for producing aluminum nitride |
| US7022301B2 (en) | 2001-02-02 | 2006-04-04 | Ibaragi Laboratory Co., Ltd. | Process for producing aluminum nitride and aluminum nitride |
| CN107986246A (zh) * | 2016-10-26 | 2018-05-04 | 河北正雍新材料科技有限公司 | 一种铝粉氮化法制备球形氮化铝粉体的方法 |
| US10442692B2 (en) | 2016-03-10 | 2019-10-15 | Alcom | Manufacturing method of aluminium nitride and aluminum nitride prepared by the same |
-
1985
- 1985-06-27 JP JP13888585A patent/JPS623007A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6159439A (en) * | 1996-12-26 | 2000-12-12 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Process for producing aluminum nitride |
| US7022301B2 (en) | 2001-02-02 | 2006-04-04 | Ibaragi Laboratory Co., Ltd. | Process for producing aluminum nitride and aluminum nitride |
| US10442692B2 (en) | 2016-03-10 | 2019-10-15 | Alcom | Manufacturing method of aluminium nitride and aluminum nitride prepared by the same |
| CN107986246A (zh) * | 2016-10-26 | 2018-05-04 | 河北正雍新材料科技有限公司 | 一种铝粉氮化法制备球形氮化铝粉体的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0327481B2 (ja) | 1991-04-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4117095A (en) | Method of making α type silicon nitride powder | |
| US4145224A (en) | Method for enhancing the crystallization rate of high purity amorphous Si3 N4 powder, powders produced thereby and products therefrom | |
| JPS6112844B2 (ja) | ||
| US4224073A (en) | Active silicon carbide powder containing a boron component and process for producing the same | |
| US4208215A (en) | Method for enhancing the crystallization rate of high purity amorphous Si3 N2 powder by intimate contact with a titanium containing material | |
| JPS623007A (ja) | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 | |
| JPH07309611A (ja) | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 | |
| US4501723A (en) | Method of making yttrium silicon oxynitrides | |
| JPS58213617A (ja) | 炭窒化チタン粉末の製造法 | |
| JPS5884108A (ja) | 高純度α型窒化珪素の製法 | |
| JPS58213618A (ja) | 複合炭窒化物固溶体粉末の製造法 | |
| JPH10203806A (ja) | 窒化硼素粉末の製造方法 | |
| JPH0375485B2 (ja) | ||
| JPH07216474A (ja) | 高純度金属クロムの製造方法 | |
| JPS6317210A (ja) | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 | |
| JPH01264914A (ja) | 窒化アルミニウム粉末及び粉末組成物の製造方法 | |
| JPS61201608A (ja) | 高純度窒化アルミニウム粉末の製造方法 | |
| JPS6227004B2 (ja) | ||
| JPH10332861A (ja) | 一窒化ウランの製造方法 | |
| JPH03271108A (ja) | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 | |
| JPH06279124A (ja) | 窒化ケイ素焼結体の製造方法 | |
| JPS58213619A (ja) | 複合炭窒化物固溶体粉末の製造法 | |
| JPH0575688B2 (ja) | ||
| JPS6111887B2 (ja) | ||
| JPS63274606A (ja) | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |