JPH03271108A - 窒化アルミニウム粉末の製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム粉末の製造方法Info
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- JPH03271108A JPH03271108A JP6958090A JP6958090A JPH03271108A JP H03271108 A JPH03271108 A JP H03271108A JP 6958090 A JP6958090 A JP 6958090A JP 6958090 A JP6958090 A JP 6958090A JP H03271108 A JPH03271108 A JP H03271108A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は窒化アルミニウム(AD N)粉末の製造方法
に関する。
に関する。
[従来の技術]
窒化アルミニウムは、高熱伝導性、電気絶縁性を有する
が、従来安定で純度の高い窒化アルミニウムの粉末は製
造できなかったことから、熱伝導率の高い焼結体は得ら
れていなかった。しかし、この近年、窒化アルミニウム
粉末の製造技術並びに焼結技術の進歩によって、200
w/IK以上の高熱伝導性を有する焼結体が開発されて
いる。
が、従来安定で純度の高い窒化アルミニウムの粉末は製
造できなかったことから、熱伝導率の高い焼結体は得ら
れていなかった。しかし、この近年、窒化アルミニウム
粉末の製造技術並びに焼結技術の進歩によって、200
w/IK以上の高熱伝導性を有する焼結体が開発されて
いる。
また、一般に窒化アルミニウムには、酸素が固溶し易く
、酸素が固溶すると格子定数が小さくなり、熱伝導率が
大きく低下することが知られている。
、酸素が固溶すると格子定数が小さくなり、熱伝導率が
大きく低下することが知られている。
これよりアルミナ(AII203)の還元窒化法による
窒化アルミニウム粉末の製造においても製造された窒化
アルミニウム粉末に残存する酸素量を下げる必要がある
が合理的に酸素が充分に低下したものは得られていない
。
窒化アルミニウム粉末の製造においても製造された窒化
アルミニウム粉末に残存する酸素量を下げる必要がある
が合理的に酸素が充分に低下したものは得られていない
。
窒化アルミニウムの代表的な製造方法として、アルミニ
ウムの直接窒化法、カーボンによるアルミナ還元窒化法
が挙げられる。
ウムの直接窒化法、カーボンによるアルミナ還元窒化法
が挙げられる。
ここでアルミニウムの直接窒化法では、粉砕工程におけ
る不純分の混入等の問題点があり、実際工業的には後者
のアルミナ還元窒化法が主流となっている。
る不純分の混入等の問題点があり、実際工業的には後者
のアルミナ還元窒化法が主流となっている。
アルミナ還元窒化法としては、窒素(N)源として窒素
(N2)ガス、アンモニア(NH3)ガス、またこれら
の混合ガスを用いることが知られている。
(N2)ガス、アンモニア(NH3)ガス、またこれら
の混合ガスを用いることが知られている。
従来の還元窒化法においては、アルミナもしくはアルミ
ナ水和物とカーボンの混合物にN源となるN2.NH,
またはN2−NH,混合ガス、N2−H2混合ガス、N
2−Ar混合ガスを雰囲気ガスとして接触させ、一般に
1450℃以上の高温で2〜6時間保持して窒化アルミ
ニウムを合成する方法が提案されている(特開昭63−
225506号公報)。
ナ水和物とカーボンの混合物にN源となるN2.NH,
またはN2−NH,混合ガス、N2−H2混合ガス、N
2−Ar混合ガスを雰囲気ガスとして接触させ、一般に
1450℃以上の高温で2〜6時間保持して窒化アルミ
ニウムを合成する方法が提案されている(特開昭63−
225506号公報)。
[発明が解決しようとする課題]
前述の製造方法において、アルミナもしくはアルミナ水
和物とカーボンの混合粉末またはその造粒物をグラファ
イト製トレイに充填して行われるが、充填量を多くする
と充填層下部とN源となるガスとの接触性が悪くなり、
合成に長い時間を要するという欠点を有した。
和物とカーボンの混合粉末またはその造粒物をグラファ
イト製トレイに充填して行われるが、充填量を多くする
と充填層下部とN源となるガスとの接触性が悪くなり、
合成に長い時間を要するという欠点を有した。
そこで、本発明の技術的課題は、N源を効率良く供給し
、短時間で、効率良く窒化アルミニウム粉末を製造でき
る方法を提供することにある。
、短時間で、効率良く窒化アルミニウム粉末を製造でき
る方法を提供することにある。
[課題を解決するための手段]
反応物質であるアルミナもしくはアルミナ水和物とカー
ボンの混合物に回転炉を用いて新鮮なN含有ガスを連続
的に供給することにより、合成時間の短縮化を行う。
ボンの混合物に回転炉を用いて新鮮なN含有ガスを連続
的に供給することにより、合成時間の短縮化を行う。
また、アルミナもしくはアルミナ水和物とカーボンの混
合物中にN源としてN含有物質である尿素(CO(NH
2) 21を混入させることにより、N含有ガスのみを
N源とする場合と比較してより効率良く合成にNを供給
することができ、更なる合成時間の短縮化を実現できる
。
合物中にN源としてN含有物質である尿素(CO(NH
2) 21を混入させることにより、N含有ガスのみを
N源とする場合と比較してより効率良く合成にNを供給
することができ、更なる合成時間の短縮化を実現できる
。
本発明はこれらの方法を併用することにより、経済的に
低酸素濃度の窒化アルミニウム粉末を得ることができる
ものである。
低酸素濃度の窒化アルミニウム粉末を得ることができる
ものである。
本発明はアルミナもしくはアルミナ水和物とカーボンと
の混合物をNを含む雰囲気中で加熱反応させて窒化アル
ミニウム粉末を製造する方法において、前記混合物にN
含有物質を添加して、回転炉を用いて加熱し、還元窒化
反応を行うことを特徴とする窒化アルミニウム粉末の製
造方法を提供するものである。
の混合物をNを含む雰囲気中で加熱反応させて窒化アル
ミニウム粉末を製造する方法において、前記混合物にN
含有物質を添加して、回転炉を用いて加熱し、還元窒化
反応を行うことを特徴とする窒化アルミニウム粉末の製
造方法を提供するものである。
本発明を更に詳述する。
本発明において、窒化アルミニウム粉末の原料であるア
ルミナは、窒化アルミニウム焼結体の熱伝導度に悪影響
を及ぼすFe、Mg、Si等の元素が少ない高純度かつ
微粒のものを用いる必要がある。
ルミナは、窒化アルミニウム焼結体の熱伝導度に悪影響
を及ぼすFe、Mg、Si等の元素が少ない高純度かつ
微粒のものを用いる必要がある。
本発明に使用されるカーボンとしては、板状粒子である
グラファイトは、反応ガス及び生成ガスの拡散の妨げと
なるため、また、硫黄分を多く含有するものは、反応性
が悪いだけでなく、合成炉内の汚れを引き起こす可能性
があるため好ましくなく、微粒で比較的反応性の良いア
セチレンブラックが好ましい。
グラファイトは、反応ガス及び生成ガスの拡散の妨げと
なるため、また、硫黄分を多く含有するものは、反応性
が悪いだけでなく、合成炉内の汚れを引き起こす可能性
があるため好ましくなく、微粒で比較的反応性の良いア
セチレンブラックが好ましい。
本発明に使用される窒素含有物質としては、多くの無機
態窒素(硫酸アンモニウム、塩化アンモニウム、硝酸ア
ンモニウム等)、有機態窒素(石灰窒素、尿素、アンモ
ニア化泥炭等)が挙げられるが、不純物、N含有率、作
業性、経済性を考慮すると尿素(CO(NI(2) 2
)が好ましい。
態窒素(硫酸アンモニウム、塩化アンモニウム、硝酸ア
ンモニウム等)、有機態窒素(石灰窒素、尿素、アンモ
ニア化泥炭等)が挙げられるが、不純物、N含有率、作
業性、経済性を考慮すると尿素(CO(NI(2) 2
)が好ましい。
この尿素は肥料として多く用いられており、比較的安価
であるだけでなく、高純度である。
であるだけでなく、高純度である。
これらの原料の配合比は、アルミナとカーボンでモル比
C/AD 203−4〜6が好ましく、カーボンが少な
い場合、反応性か悪くなる。
C/AD 203−4〜6が好ましく、カーボンが少な
い場合、反応性か悪くなる。
逆にカーボンが多い場合は、窒化アルミニウム合成後の
余剰カーボン除去工程が難しくコストが高くなる。
余剰カーボン除去工程が難しくコストが高くなる。
尿素の添加量は、アルミナとモル比で、CO(NH2)
2 /A11203−0.15〜1.00が好ましい。
2 /A11203−0.15〜1.00が好ましい。
モル比が0,15以下の場合はその効果が薄く、1.0
0以上と大きくなると原料混合物単位体積当りの窒化ア
ルミニウム採取量が少なくなる。
0以上と大きくなると原料混合物単位体積当りの窒化ア
ルミニウム採取量が少なくなる。
これらの原料に増粘剤としてポリエチレングリコールな
どを、また、バインダーとしてイソプロピルアルコール
、エタノールなどを加え、充分に混合した後、造粒、乾
燥し、加熱処理を行う。
どを、また、バインダーとしてイソプロピルアルコール
、エタノールなどを加え、充分に混合した後、造粒、乾
燥し、加熱処理を行う。
回転炉は反応ガスとしてN2.NH3、N2H2、N2
NHJガスのいずれかを向流式で用いることが望ま
しい。合成処理温度は、1600〜1950℃の範囲で
、処理時間は、20〜120分が望ましい。
NHJガスのいずれかを向流式で用いることが望ま
しい。合成処理温度は、1600〜1950℃の範囲で
、処理時間は、20〜120分が望ましい。
ここで、合成温度が1600℃以下の場合合成に長時間
を要し、また高温で長時間保持する場合、著しい粒成長
を起こす危険性があるので好ましくない。
を要し、また高温で長時間保持する場合、著しい粒成長
を起こす危険性があるので好ましくない。
この還元窒化反応による窒化アルミニウム合成の後、余
剰カーボンの除去は酸化性雰囲気中で680〜750℃
の温度で2〜4時間加熱処理して行うことが適当である
。その理由は、加熱温度が680℃以下の場合において
は、カーボン除去に長時間要し、750℃以上の場合、
窒化アルミニウムの急激な酸化が起こるからである。
剰カーボンの除去は酸化性雰囲気中で680〜750℃
の温度で2〜4時間加熱処理して行うことが適当である
。その理由は、加熱温度が680℃以下の場合において
は、カーボン除去に長時間要し、750℃以上の場合、
窒化アルミニウムの急激な酸化が起こるからである。
本発明において得られた窒化アルミニウム粉末は、低酸
素濃度であり、高熱伝導性の焼結体の原料として有用で
ある。
素濃度であり、高熱伝導性の焼結体の原料として有用で
ある。
[実施例]
以下に本発明の実施例について説明する。
(実施例1)
純度99.9%以上、中心粒径1μm以下のアルミナを
灰分0.4%のカーボンブラ・ツクとモル比c/A(1
20,−6,0の割合で、またN源として第1表に示す
尿素(0産化学(株)製工業用尿素)をアルミナとのモ
ル比 CO(NH2)27AD 20s−0,25の割合で混
合した。その際バインダーとしてイソプロピルアルコー
ルをアルミナ、カーボンブラ・ツク総量の90νt%、
増粘性剤としてポリエチレングリコールを2wt%添加
した。これらを充分に混合、混練した後、押出型成形機
にてφ1■、長さ2〜7自塵の円柱状ベレットに造粒す
る。
灰分0.4%のカーボンブラ・ツクとモル比c/A(1
20,−6,0の割合で、またN源として第1表に示す
尿素(0産化学(株)製工業用尿素)をアルミナとのモ
ル比 CO(NH2)27AD 20s−0,25の割合で混
合した。その際バインダーとしてイソプロピルアルコー
ルをアルミナ、カーボンブラ・ツク総量の90νt%、
増粘性剤としてポリエチレングリコールを2wt%添加
した。これらを充分に混合、混練した後、押出型成形機
にてφ1■、長さ2〜7自塵の円柱状ベレットに造粒す
る。
造粒したベレットを乾燥した後、回転炉で連続的に加熱
処理した。原料ベレットは1.0 [kg/hr]で投
入し、雰囲気ガスとしてN2ガスを50[N /sin
]の速度で回転炉出口側から人口側へと向流式に供給
する。
処理した。原料ベレットは1.0 [kg/hr]で投
入し、雰囲気ガスとしてN2ガスを50[N /sin
]の速度で回転炉出口側から人口側へと向流式に供給
する。
第1表:尿素(0産化学(株)製工業用尿素)の不純物
調査結果 第2表から、尿素の添加により反応性が向上することが
わかる。
調査結果 第2表から、尿素の添加により反応性が向上することが
わかる。
第2表
回転炉における加熱処理条件は、1680℃温度域を1
0厘in通過させることとした。
0厘in通過させることとした。
回転炉において、窒化アルミニウムを合成したベレット
中に残存するカーボンを大気中で700℃、3時間熱処
理することにより除去する。
中に残存するカーボンを大気中で700℃、3時間熱処
理することにより除去する。
このようにして得られた窒化アルミニウム粉末の窒素含
有量を第2表に示した。
有量を第2表に示した。
また、尿素添加量を変化させて実施例1と同様に作製し
た粉末についても第2表に示した。更に、比較例として
尿素無添加のものについても実施例1と同様にして作製
した粉末も示した。
た粉末についても第2表に示した。更に、比較例として
尿素無添加のものについても実施例1と同様にして作製
した粉末も示した。
(実施例2)
実施例1と同様に原料ペレットを作製し、回転炉で連続
的に加熱処理した。
的に加熱処理した。
原料ペレットは、1.0 [kg/hr]で投入し、雰
囲気ガスとしてN2ガスを50 [il /sin ]
の速度で回転炉出口側から人口側へと向流式に供給する
。
囲気ガスとしてN2ガスを50 [il /sin ]
の速度で回転炉出口側から人口側へと向流式に供給する
。
回転炉における加熱処理条件として、1680℃温度域
10m1n通過後、1950℃温度域に10厘in通過
させるものとする。
10m1n通過後、1950℃温度域に10厘in通過
させるものとする。
回転炉において、窒化アルミニウムを合成したペレット
中に残存するカーボンを大fi中で700℃、3時間熱
処理することにより除去する。
中に残存するカーボンを大fi中で700℃、3時間熱
処理することにより除去する。
得られた窒化アルミニウム粉末の特性値を第3表に示し
た。また、走査型電子顕微鏡で観察した粉末を第1図に
示した。
た。また、走査型電子顕微鏡で観察した粉末を第1図に
示した。
これより得られた窒化アルミニウム粉末は、低酸素濃度
であり、−次粒子が1.0μm以下の微粒であった。
であり、−次粒子が1.0μm以下の微粒であった。
せることは、合成に必要なN源をN含有ガスにのみ求め
ることより効率的であるため反応性を大きく向上させる
ことができる。特に、N含有物質として尿素を用いた場
合には、この尿素は高純度であるものを比較的安価に購
入できるため、経済的である。
ることより効率的であるため反応性を大きく向上させる
ことができる。特に、N含有物質として尿素を用いた場
合には、この尿素は高純度であるものを比較的安価に購
入できるため、経済的である。
尚、更に、窒化アルミニウム粉末の合成に回転炉を用い
ることはよりいっそうの反応時間の短縮につながり、高
熱伝導性の窒化アルミニウム焼結体の原料として有用な
低酸素濃度の窒化アルミニウム粉末を工業的に安価に供
給できる。
ることはよりいっそうの反応時間の短縮につながり、高
熱伝導性の窒化アルミニウム焼結体の原料として有用な
低酸素濃度の窒化アルミニウム粉末を工業的に安価に供
給できる。
第3表
第1図は本発明の実施例2に係る粉末の一次粒子の粒子
構造を示す走査型電子顕微鏡写真である。 [発明の効果〕 本発明によれば、窒化アルミニウム粉末の合成において
、原料中にN含有物質(尿素)を添加さ?、1 1〆\、 ′−10
構造を示す走査型電子顕微鏡写真である。 [発明の効果〕 本発明によれば、窒化アルミニウム粉末の合成において
、原料中にN含有物質(尿素)を添加さ?、1 1〆\、 ′−10
Claims (1)
- 1、アルミナもしくはアルミナ水和物とカーボンとの混
合物を窒素を含む雰囲気中で加熱反応させて窒化アルミ
ニウム粉末を製造する方法において、前記混合物に窒素
含有物質を添加して、回転炉を用いて加熱し、還元窒化
反応を行うことを特徴とする窒化アルミニウム粉末の製
造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6958090A JPH03271108A (ja) | 1990-03-22 | 1990-03-22 | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6958090A JPH03271108A (ja) | 1990-03-22 | 1990-03-22 | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03271108A true JPH03271108A (ja) | 1991-12-03 |
Family
ID=13406889
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6958090A Pending JPH03271108A (ja) | 1990-03-22 | 1990-03-22 | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03271108A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5384291A (en) * | 1993-06-25 | 1995-01-24 | The Dow Chemical Company | Carbothermal synthesis precursors |
JP2007191383A (ja) * | 2005-12-19 | 2007-08-02 | Ngk Insulators Ltd | 窒化アルミニウム粉末、窒化アルミニウム質セラミックス焼結体、半導体製造装置用部材、窒化アルミニウム発光材料、及び窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
JP2016164112A (ja) * | 2015-03-06 | 2016-09-08 | ナショナル チュン−シャン インスティテュート オブ サイエンス アンド テクノロジー | 雰囲気が制御される炭素熱還元法によって窒化アルミニウム粉体の製造方法 |
CN110642304A (zh) * | 2019-10-09 | 2020-01-03 | 上海师范大学 | 一种超级电容器用三金属氮化物材料及其制备方法 |
-
1990
- 1990-03-22 JP JP6958090A patent/JPH03271108A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5384291A (en) * | 1993-06-25 | 1995-01-24 | The Dow Chemical Company | Carbothermal synthesis precursors |
JP2007191383A (ja) * | 2005-12-19 | 2007-08-02 | Ngk Insulators Ltd | 窒化アルミニウム粉末、窒化アルミニウム質セラミックス焼結体、半導体製造装置用部材、窒化アルミニウム発光材料、及び窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
JP2016164112A (ja) * | 2015-03-06 | 2016-09-08 | ナショナル チュン−シャン インスティテュート オブ サイエンス アンド テクノロジー | 雰囲気が制御される炭素熱還元法によって窒化アルミニウム粉体の製造方法 |
CN110642304A (zh) * | 2019-10-09 | 2020-01-03 | 上海师范大学 | 一种超级电容器用三金属氮化物材料及其制备方法 |
CN110642304B (zh) * | 2019-10-09 | 2021-12-31 | 上海师范大学 | 一种超级电容器用三金属氮化物材料及其制备方法 |
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