JPS60120589A - プリント回路基板の製造方法 - Google Patents
プリント回路基板の製造方法Info
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- JPS60120589A JPS60120589A JP22816783A JP22816783A JPS60120589A JP S60120589 A JPS60120589 A JP S60120589A JP 22816783 A JP22816783 A JP 22816783A JP 22816783 A JP22816783 A JP 22816783A JP S60120589 A JPS60120589 A JP S60120589A
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- Japan
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- circuit board
- printed circuit
- plating
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は無電解メッキ法により導体パターンを形成する
アディティブプリント回路基板製造方法に関するもので
ある。
アディティブプリント回路基板製造方法に関するもので
ある。
電子機器商品の小型、薄型化等によりプリント基板の配
線密度は急激に増加している。アディティブ法はこのよ
うなプリント基板要求に答えられるものとして注目され
ている。中でもフルアディティブ法は高密度かつ低コス
ト金満足される製造方法として注目されている。メツキ
レジストラ用いたフルアディティブ法ではCG−4(I
’GK社)IAP−11(日立製作所)等が実用化され
ているが、絶縁抵抗が同一基材で製造したサブトラクト
法によるものより落ちるとbつだ欠点を有していた。つ
まpCC−4においては基材及び接着層全体にPd等の
メッキ触媒が多量に添加さ九てbるため絶縁抵抗の低下
をまねく、又’A P −I[K iいては接着剤全面
にPd触媒t−塗布するために、導体以外のメツキレシ
ストの下にも不必要なPdが残存するためである。?:
、のためにサブトラクト法よシも10 ”〜1(14程
度絶縁抵抗が低下した。絶縁抵抗のこのような低下は増
々高密度化するプリント基板製造上の問題として残され
てtnfC。
線密度は急激に増加している。アディティブ法はこのよ
うなプリント基板要求に答えられるものとして注目され
ている。中でもフルアディティブ法は高密度かつ低コス
ト金満足される製造方法として注目されている。メツキ
レジストラ用いたフルアディティブ法ではCG−4(I
’GK社)IAP−11(日立製作所)等が実用化され
ているが、絶縁抵抗が同一基材で製造したサブトラクト
法によるものより落ちるとbつだ欠点を有していた。つ
まpCC−4においては基材及び接着層全体にPd等の
メッキ触媒が多量に添加さ九てbるため絶縁抵抗の低下
をまねく、又’A P −I[K iいては接着剤全面
にPd触媒t−塗布するために、導体以外のメツキレシ
ストの下にも不必要なPdが残存するためである。?:
、のためにサブトラクト法よシも10 ”〜1(14程
度絶縁抵抗が低下した。絶縁抵抗のこのような低下は増
々高密度化するプリント基板製造上の問題として残され
てtnfC。
本発明はかかる欠点にがんがみ、絶縁抵抗をあげるため
のメッキ触′/S、塗布技術についてのものである。
のメッキ触′/S、塗布技術についてのものである。
しかるに本発明の目的は、あらかじめメツキレシストが
塗布された基板の、導体部だけに選択的にメッキ触媒を
塗布し、しかる後に無電解メッキ法により該触媒上に導
体を形成することにあ多、プリント基板としては絶縁抵
抗を大1] K u pさせることにある。
塗布された基板の、導体部だけに選択的にメッキ触媒を
塗布し、しかる後に無電解メッキ法により該触媒上に導
体を形成することにあ多、プリント基板としては絶縁抵
抗を大1] K u pさせることにある。
本発明を工程を追ってよシ詳細に説明する。
本発明に用いられる絶縁基板としては、ガラスエポキシ
、紙エポキシ、紙フェノール等のりジット高分子基材、
ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルサルフォ
ン、BTレジン、ポリエステル、エポキシポリブタジェ
ン等のフレキシブル基材、ポリエーテルサルフォン、ポ
リサルフォン。
、紙エポキシ、紙フェノール等のりジット高分子基材、
ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルサルフォ
ン、BTレジン、ポリエステル、エポキシポリブタジェ
ン等のフレキシブル基材、ポリエーテルサルフォン、ポ
リサルフォン。
ポリエーテルイミド等の熱可塑性基材、スチール、黄銅
、アルミ等のメタル基材であり、これらをこのまま使用
するか、メッキの密着性をあげるためにゴム管を含んだ
接着剤を塗布した形で用いられる。代表的な接着剤とし
ては工Cエジャパン社製エバーグリップ777、特公昭
58−80760等である。
、アルミ等のメタル基材であり、これらをこのまま使用
するか、メッキの密着性をあげるためにゴム管を含んだ
接着剤を塗布した形で用いられる。代表的な接着剤とし
ては工Cエジャパン社製エバーグリップ777、特公昭
58−80760等である。
このような接着剤付き又は接着剤の付かないアンクラツ
ド材の表面を粗化する工程に入る。これはメッキの密着
性を上けるためであシ、この工程によシ基板表面は微少
な凸凹が生じ、水ぬれ性が向上する。粗化方法としては
よく知られたクロム酸・硫酸混液を中心とした液が用い
られる。これは基板材料、又は接着剤の種類によシ様々
である。
ド材の表面を粗化する工程に入る。これはメッキの密着
性を上けるためであシ、この工程によシ基板表面は微少
な凸凹が生じ、水ぬれ性が向上する。粗化方法としては
よく知られたクロム酸・硫酸混液を中心とした液が用い
られる。これは基板材料、又は接着剤の種類によシ様々
である。
しばしば接着剤の付かない基材を用いる場合には、DM
F 、DME O、IMF等の溶剤に浸漬してから前記
混酸処理することもよく知られた方法である。混酸処理
した後は亜硫酸水素す) IJウム等で中和されるのが
普通である。
F 、DME O、IMF等の溶剤に浸漬してから前記
混酸処理することもよく知られた方法である。混酸処理
した後は亜硫酸水素す) IJウム等で中和されるのが
普通である。
次にこのように粗面化された基板の非回路形成部分にメ
ツキレシスト皮膜で被覆する工程に入る。
ツキレシスト皮膜で被覆する工程に入る。
メツキレシストはピン間1木程度のものはスクリーン印
刷、オフセット印刷、タコ印刷法等の印刷法によシ形成
され、より高密度のものはドライフィルム、液体感光性
レジスト等を用いた写真法により形成される。前者に使
用される代表的なものとしては、太陽インク製5−22
東京応化’JJOBZ−4000等でアク、後者として
はデュポン社製ドライフイルムバクレル、%Jm昭58
−25618のような液体感光性レジストがある。ハン
ダ耐熱性を有し、60〜70℃、PHII〜13のアル
カリに用Hγ以上劇えうるものが必須条件でちる。
刷、オフセット印刷、タコ印刷法等の印刷法によシ形成
され、より高密度のものはドライフィルム、液体感光性
レジスト等を用いた写真法により形成される。前者に使
用される代表的なものとしては、太陽インク製5−22
東京応化’JJOBZ−4000等でアク、後者として
はデュポン社製ドライフイルムバクレル、%Jm昭58
−25618のような液体感光性レジストがある。ハン
ダ耐熱性を有し、60〜70℃、PHII〜13のアル
カリに用Hγ以上劇えうるものが必須条件でちる。
次にPH川用上のアルカリに超音波照射下浸漬する工程
であるが、この工程はメツキレシスト面と接着剤露出面
(回路部)のぬれ性のコントラストラよp顕著に付与す
るための工程である。微細パターン(ライン巾250μ
以下)になるとこの工程を入れた方がより選択性がたか
ぐなる。PH1O以下では効果が小さい、NαOH,K
OH,CGCOH)2等のアルカリ及びアルカリ土類金
属を主体としたもので界面活性剤を混入し、ても良い。
であるが、この工程はメツキレシスト面と接着剤露出面
(回路部)のぬれ性のコントラストラよp顕著に付与す
るための工程である。微細パターン(ライン巾250μ
以下)になるとこの工程を入れた方がより選択性がたか
ぐなる。PH1O以下では効果が小さい、NαOH,K
OH,CGCOH)2等のアルカリ及びアルカリ土類金
属を主体としたもので界面活性剤を混入し、ても良い。
40℃以上の処理の方が効果がたかく、短時間ですむ。
市販のこのような処理に概当するものとしては、ディプ
ソール社製ディプンール→0があげられる。
ソール社製ディプンール→0があげられる。
又、通常このようなアルカリ処理工程の後にはH2S
O,(5〜IIJチ)等による中和を行なう、この工程
によ多レジスト上の水の接触角は2θで600以上、接
着材面は30’以下がファインパターンの場合でも得ら
れる。
O,(5〜IIJチ)等による中和を行なう、この工程
によ多レジスト上の水の接触角は2θで600以上、接
着材面は30’以下がファインパターンの場合でも得ら
れる。
次にこのようにアルカリでコンディショニングされ水ぬ
れ性忙十分なコントラストが付与された基板の接着剤面
〔回路部〕にのみ選択的にメッキする工程に入る。通常
無電解メッキに先立っての触媒処理はs、、Ci、が用
いられるが、S%C,6゜を用いると接着剤上のみにメ
ッキを析出することは不可能である。すなわちEnCI
/、のローンベアが、この程度の水ぬれ性のコントラス
ト差だけではレジスト及び接着剤に強く吸着し、Pd等
の次に続く触媒を基板全面に析出させ目的とする選択性
を得ることができない。本発明者らは13%(J。
れ性忙十分なコントラストが付与された基板の接着剤面
〔回路部〕にのみ選択的にメッキする工程に入る。通常
無電解メッキに先立っての触媒処理はs、、Ci、が用
いられるが、S%C,6゜を用いると接着剤上のみにメ
ッキを析出することは不可能である。すなわちEnCI
/、のローンベアが、この程度の水ぬれ性のコントラス
ト差だけではレジスト及び接着剤に強く吸着し、Pd等
の次に続く触媒を基板全面に析出させ目的とする選択性
を得ることができない。本発明者らは13%(J。
を全く使わない前処理工程を開発することによル、露出
した接着剤面のみにPd等の触媒を選択的に析出させる
方法を見出した。
した接着剤面のみにPd等の触媒を選択的に析出させる
方法を見出した。
それは、Pd、Pi等の白金属y Au r A(I
e Cu、H6,Fe、coから選ばれた1種以上を含
む金属塩からなる水溶液に浸漬し、次に還元剤でこれら
の金属を析出させる方法によル達成した。
e Cu、H6,Fe、coから選ばれた1種以上を含
む金属塩からなる水溶液に浸漬し、次に還元剤でこれら
の金属を析出させる方法によル達成した。
上記金属の中で特に有用なのは、Pd、Au、Ag、C
uである。又塩としては、PdCi2 、塩化金酸+A
17!”Sr’πso4等の無機塩、クエン酸、酒石酸
、EDTA 、グリシン等の錯塩が用いられる。特に代
表的なPdCi12について述べるなら、1θ危のP
d CA、を含む0.1チHCIk水溶液に5分開環度
浸漬し、水洗することにより、レジスト上のPdC,l
)、は洗い落とされる(レジスト上はPdC,l、液に
ぬれない。)1方接着剤表面はよ(PdCi、液にぬれ
粗面化工程で形成された凸凹が存在するためにPdC1
,はこの凸凹の中に留まり1簡単な水洗程度では脱離し
ない。
uである。又塩としては、PdCi2 、塩化金酸+A
17!”Sr’πso4等の無機塩、クエン酸、酒石酸
、EDTA 、グリシン等の錯塩が用いられる。特に代
表的なPdCi12について述べるなら、1θ危のP
d CA、を含む0.1チHCIk水溶液に5分開環度
浸漬し、水洗することにより、レジスト上のPdC,l
)、は洗い落とされる(レジスト上はPdC,l、液に
ぬれない。)1方接着剤表面はよ(PdCi、液にぬれ
粗面化工程で形成された凸凹が存在するためにPdC1
,はこの凸凹の中に留まり1簡単な水洗程度では脱離し
ない。
つまp表面のぬれ性と、形状により選択的に接着剤表面
のみにPdC1,、が塗布されたことになる。
のみにPdC1,、が塗布されたことになる。
次にこれらの金属塩から金属に還元するに足る能力をも
った還元剤液に浸漬する。ホルマリン。
った還元剤液に浸漬する。ホルマリン。
次亜リン酸又は塩、アミンボラン類又はその塩。
水素化ホウ素塩から選ばれた1種以上を含む水溶液がこ
のような能力を有する。どれ全選択するか及びどのよう
な条件(温度、時間等)下で行なうかは前工程で使われ
た金属塩の種類、PH等にょル異なる。PdC,l、、
を用いたならば次亜リン酸ナトリウムlυ2μ、常温で
10分間開環の浸漬、EDTACui用いるならばP
H12,5,60℃でポルマリン20q!である。この
工程にょシ、接着剤表面のみに存在した金属塩は金属に
還元され、次に続くメッキの触媒となる。このような還
元剤に浸漬後簡単な(接着剤面にキズを伺けない程度の
)ブラッシング等もレジスト上にわずかに、Pd等が残
っていたならば有効であるが、通常は必要としない。
のような能力を有する。どれ全選択するか及びどのよう
な条件(温度、時間等)下で行なうかは前工程で使われ
た金属塩の種類、PH等にょル異なる。PdC,l、、
を用いたならば次亜リン酸ナトリウムlυ2μ、常温で
10分間開環の浸漬、EDTACui用いるならばP
H12,5,60℃でポルマリン20q!である。この
工程にょシ、接着剤表面のみに存在した金属塩は金属に
還元され、次に続くメッキの触媒となる。このような還
元剤に浸漬後簡単な(接着剤面にキズを伺けない程度の
)ブラッシング等もレジスト上にわずかに、Pd等が残
っていたならば有効であるが、通常は必要としない。
次に無電解メッキ工程によシ導体回路を形成する。プリ
ント基板には通常cz、N<の無電解メッキが用いられ
る。
ント基板には通常cz、N<の無電解メッキが用いられ
る。
本発明のプロセスによシ完全に選択的に接着剤面のみに
触媒が塗布され、しかるに選択的に無電解メッキが可能
となる。このプロセスによりメツキレシストの下の接着
剤面にはメッキ触媒が塗布されていないために絶縁抵抗
の大巾upfもたらす。又従′来のアディティブ法では
必ず触媒処理後ニ熱処理(触媒の焼付け、メツキレジス
)V)mNけ等)工程が入るために触媒の活性時間の接
続が問題となるが本法により解決される。又スルホール
基板を用いる場合、スルホール穴明は後、メツキレシス
トバターニングまでに熱処理(触媒の焼付け)工程が入
るため基板の収縮がおこフ、穴位置ずれを起こしやすか
ったが本法によpこれも解決される。
触媒が塗布され、しかるに選択的に無電解メッキが可能
となる。このプロセスによりメツキレシストの下の接着
剤面にはメッキ触媒が塗布されていないために絶縁抵抗
の大巾upfもたらす。又従′来のアディティブ法では
必ず触媒処理後ニ熱処理(触媒の焼付け、メツキレジス
)V)mNけ等)工程が入るために触媒の活性時間の接
続が問題となるが本法により解決される。又スルホール
基板を用いる場合、スルホール穴明は後、メツキレシス
トバターニングまでに熱処理(触媒の焼付け)工程が入
るため基板の収縮がおこフ、穴位置ずれを起こしやすか
ったが本法によpこれも解決される。
以下実施例により本発明を説明する。
実施例1
住友ベークライト社製接着剤付きコンポジット基板Ff
L−8970にICドリリングマシンを用いネルホール
穴明けを行なった。次に8002μクロム酸、200%
/A硫酸から成る混酸にω℃。
L−8970にICドリリングマシンを用いネルホール
穴明けを行なった。次に8002μクロム酸、200%
/A硫酸から成る混酸にω℃。
15m1n間浸漬して接着剤表面の粗化を行なった。
次に水洗し100℃で乾燥後、太陽インキ社製メツキレ
ジス)S−22に両面スクリーン印刷し、120℃で1
時間加熱硬化させた。
ジス)S−22に両面スクリーン印刷し、120℃で1
時間加熱硬化させた。
次にディプソール社製ディプソール+ 0 (PH12
゜5)を1fμ含む水溶液に50℃で5分間超音波照射
下浸漬した。水洗後5%Hza04で1分間中和し水洗
した。乾燥後接触角を測定したところレジスト面上は2
θで65°、接着剤面上は20°であった。
゜5)を1fμ含む水溶液に50℃で5分間超音波照射
下浸漬した。水洗後5%Hza04で1分間中和し水洗
した。乾燥後接触角を測定したところレジスト面上は2
θで65°、接着剤面上は20°であった。
次にPdCA、に含む市販液であるレッドシュマー(日
本カニゼン)の8倍希釈液に超音波照射下5分間浸漬し
た。次に水洗後、30 yy*の次亜リン1さlナトリ
ウムを含む50℃の液に10分間浸漬しPdCE2kP
dに還元した0次に水洗後無電5C1Lメッキ液である
室町化学9MK−480で加分CUメッキした。次に水
洗後厚付は無電解Cuメッキ液であるシンプレイ社製Q
、−525を用いω℃で20Hrメツキし35μ厚のC
Uメッキ導体を得たJIEI法により基板品質をチェッ
クしたところ全てクリアーした。特に絶縁抵抗値は用1
5Ω以上でありサブトラクト法で得た以上の値を示した
(サブトラクト法の場合エツチングされずに表面には原
子レベルのClが残存しているために基材の抵抗よりや
や劣る)又従来のアディティブプロセスの場合OEM−
3基材では用10〜10’冨であシ約1()3以上の絶
縁抵抗のupがもたらされた。
本カニゼン)の8倍希釈液に超音波照射下5分間浸漬し
た。次に水洗後、30 yy*の次亜リン1さlナトリ
ウムを含む50℃の液に10分間浸漬しPdCE2kP
dに還元した0次に水洗後無電5C1Lメッキ液である
室町化学9MK−480で加分CUメッキした。次に水
洗後厚付は無電解Cuメッキ液であるシンプレイ社製Q
、−525を用いω℃で20Hrメツキし35μ厚のC
Uメッキ導体を得たJIEI法により基板品質をチェッ
クしたところ全てクリアーした。特に絶縁抵抗値は用1
5Ω以上でありサブトラクト法で得た以上の値を示した
(サブトラクト法の場合エツチングされずに表面には原
子レベルのClが残存しているために基材の抵抗よりや
や劣る)又従来のアディティブプロセスの場合OEM−
3基材では用10〜10’冨であシ約1()3以上の絶
縁抵抗のupがもたらされた。
実施例2
基板として紙フェノールである住友ベークライト社4p
b−9805に用い、ノくンチング法でスルホールを形
成した。次に実施例と同様の面粗化を行なった後120
℃、30分乾燥した。次に特願昭5 g −25618
K従ってウレタンアクリレート変性ポリブタジェン樹脂
を両面30μ厚にカーテンコートした。写真法を用い露
光、現像を行ない、160℃で加分間レジスト焼成を行
なってメツキレシストを形成した。
b−9805に用い、ノくンチング法でスルホールを形
成した。次に実施例と同様の面粗化を行なった後120
℃、30分乾燥した。次に特願昭5 g −25618
K従ってウレタンアクリレート変性ポリブタジェン樹脂
を両面30μ厚にカーテンコートした。写真法を用い露
光、現像を行ない、160℃で加分間レジスト焼成を行
なってメツキレシストを形成した。
次にKOH5%水溶液に60℃で5分間超音波照射下浸
漬した。水洗後5%H2・S O4で1分間中和し水洗
した。乾燥後接触角を測定したところレジスト面上は2
θで68°、接着剤面上は23°であった。
漬した。水洗後5%H2・S O4で1分間中和し水洗
した。乾燥後接触角を測定したところレジスト面上は2
θで68°、接着剤面上は23°であった。
次に塩化金酸1危を含むl % 1−IJ水溶液に10
分間浸漬した後、水洗しなりでジメチルアミンボランの
1()vβ液に(資)℃で15分間浸漬した。水洗後、
実施例と同様の無電解CUメッキ液によりアディティブ
回路基板を製造した。絶縁抵抗は1111!Ωであり、
従来のアディティブ法で紙フエノール基材で得られる値
10’〜1g1lよシも1()2〜I(戸程度upがは
かられた。これも又サブトラクト法で得た基板以上でお
った。
分間浸漬した後、水洗しなりでジメチルアミンボランの
1()vβ液に(資)℃で15分間浸漬した。水洗後、
実施例と同様の無電解CUメッキ液によりアディティブ
回路基板を製造した。絶縁抵抗は1111!Ωであり、
従来のアディティブ法で紙フエノール基材で得られる値
10’〜1g1lよシも1()2〜I(戸程度upがは
かられた。これも又サブトラクト法で得た基板以上でお
った。
以上本発明を実施例をあげて説明したが、本発明によシ
アデイテイププリント回路基板の絶縁抵抗。大巾な、が
はかられ、今後増々高密度ブ1ノント基板が望まれるこ
とカムら工業的価イ直はた〃・いり又前述の寸法精度対
応力、触媒の活性時間等の問題も本法により同時に解決
されるのでその工業的価値はたがいものであるO 本発明により得られ九アデイテイ7°回路基板は一コン
ピューター、プリンター、時H士、TV等産業用から民
生用まで巾広く用いられるり 以 上 出願人 株式会社諏訪精工舎
アデイテイププリント回路基板の絶縁抵抗。大巾な、が
はかられ、今後増々高密度ブ1ノント基板が望まれるこ
とカムら工業的価イ直はた〃・いり又前述の寸法精度対
応力、触媒の活性時間等の問題も本法により同時に解決
されるのでその工業的価値はたがいものであるO 本発明により得られ九アデイテイ7°回路基板は一コン
ピューター、プリンター、時H士、TV等産業用から民
生用まで巾広く用いられるり 以 上 出願人 株式会社諏訪精工舎
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 アディティブ法による回路基板の製造方法において、 (α1 絶縁基板表面を粗面化する工程1b1 絶縁基
板の粗化面の非回路形成部分をメツキレシスト皮膜で被
覆する工程 (cl P H10以上のアルカリに超音波照射下浸漬
する工程 (di 該基板をPd、Pt等の白金属e AlLt
Ag、C1t、Ni、FB、CQから選ばれた一種以上
を含む金属塩から成る水溶液に浸漬する工程 Igl ホルマリン、次亜リン酸文はその塩、アミンボ
ラン類又はその塩、水素化ホウ素塩から選ばれた1種以
上金倉む水溶液に浸漬する工程(ハ 無電解メッキにょ
シ導体回路を形成する工程kJ1次含むことを特徴とす
るプリント回路基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22816783A JPS60120589A (ja) | 1983-12-02 | 1983-12-02 | プリント回路基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22816783A JPS60120589A (ja) | 1983-12-02 | 1983-12-02 | プリント回路基板の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60120589A true JPS60120589A (ja) | 1985-06-28 |
Family
ID=16872275
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22816783A Pending JPS60120589A (ja) | 1983-12-02 | 1983-12-02 | プリント回路基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60120589A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01500472A (ja) * | 1986-08-06 | 1989-02-16 | マクダーミッド,インコーポレーテッド | 印刷回路板の製造方法 |
JPH08199367A (ja) * | 1995-01-20 | 1996-08-06 | Kenseidou Kagaku Kogyo Kk | 樹脂成形品の任意の表面部分に密着金属層を形成する方法 |
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JPS5227618A (en) * | 1975-07-15 | 1977-03-02 | Rca Corp | Device for positioning original disk for energy beam recorder |
JPS5722432A (en) * | 1980-06-02 | 1982-02-05 | Mitsubishi Electric Corp | Flywheel |
-
1983
- 1983-12-02 JP JP22816783A patent/JPS60120589A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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