JPS6011441B2 - 感湿素子 - Google Patents

感湿素子

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Publication number
JPS6011441B2
JPS6011441B2 JP55055139A JP5513980A JPS6011441B2 JP S6011441 B2 JPS6011441 B2 JP S6011441B2 JP 55055139 A JP55055139 A JP 55055139A JP 5513980 A JP5513980 A JP 5513980A JP S6011441 B2 JPS6011441 B2 JP S6011441B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
moisture
sensing element
moisture sensing
present
thin film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP55055139A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS56152201A (en
Inventor
孝男 指田
英夫 小林
賢一 山根
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Chino Corp
Original Assignee
Chino Works Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Chino Works Ltd filed Critical Chino Works Ltd
Priority to JP55055139A priority Critical patent/JPS6011441B2/ja
Publication of JPS56152201A publication Critical patent/JPS56152201A/ja
Publication of JPS6011441B2 publication Critical patent/JPS6011441B2/ja
Expired legal-status Critical Current

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  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
  • Non-Adjustable Resistors (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は金属酸化物薄膜から成り、湿度を電気抵抗の変
化として測定する感湿素子に関するものである。
周知のように、一般に金属酸化物は水分吸着性にすぐれ
ているため、この性質を利用して、感溢素子材料として
用いることができる。
また、酸化物であることから空気中で安定で、かつ、耐
熱性が良好であるという特徴を有している。近年、金属
酸化物のこれらの性質を利用した、金属酸化物セラミッ
ク感湿素子が開発されている。しかしながら、金属酸化
物は一般に酸化物半導体すなわちサーミスタとしての特
性を有し、比抵抗、温度係数ともに大きいという欠点を
有している。
そして、各種組成の感湿素子が提案されているが、ほと
んど実用化されていないのが実情である。本発明の目的
は、以上の点に鑑み、比較的小さい比抵抗、温度係数を
有し、かつ、再現性、互換性、応答性等の良好な実用化
可能な感湿素子を提供するものである。
以下図面に従って、本発明を説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す構成説明図である。図
において１はガラス、アルミナセラミツク等の絶縁性基
板、２はスパッタリング、蒸着あるいは印刷により形成
された電極、３はＣ虫Ｑ−Ｔｉ０亥藤湿薄膜、４，５は
ともにリード線である。このような本発明の感湿素子は
、例えばスパッタリングまたは蒸着によって製作できる
。
そして各種実験により、特に、組成比 Ｃ＆０４ ９９．９〜９０．５ｈｏｌ％ Ｔｉ〇２ ０．１〜５．仇ｈ。
１％ を有する薄膜からなる感湿素子が最適であることが判明
した。
この理由は、次のようである。
まず、Ｃ功０４はこれのみでは感湿特性が小さく、実用
に適さない。これはＴｉ０２を加えることにより改善さ
れるが、同時に比抵抗、温度係数も増加し、ＴｉＱが５
０ｈｏｌ％を超えると、やはり実用に通さなくなる。第
２図にＣな０４にＴｉＱを１．８ｈｏｌ％添加した素子
の湿度特性を例示する。
以ヒ述べたように、本発明は、組成比 ＣＧ０４ ９９．９〜９５．仇ｈｏｌ％ Ｔｉ〇２ ０．１〜５．仇ｈ。
１％ を有する薄膜からなる感湿素子である。
従って、本発明の感湿素子は、組成が好適であるため、
高精度で「再現性、互換性にすぐれ、また薄膜であるた
め、鱗結体とは異なり、湿度変化および温度変化に対す
る応答性が良好である。
また製作も容易で歩留りも良く、コスト的にも安〈、工
業的に多くの利点を有するものである。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の一実施例を示す礎成説明図、第２図
は、湿度特性を示す説明図である。 １・・・…絶縁性基板、２・・・・・・電極、３・・・
・・・薄膜、４，５……リード線。 髪１図 髪之図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 組成比 Ｃｏ＿３Ｏ＿４ ９９．９〜９５．０ｍｏｌ％ＴｉＯ＿
    ２ ０．１〜５．０ｍｏｌ％を有する薄膜からなること
    を特徴とする感湿素子。
JP55055139A 1980-04-25 1980-04-25 感湿素子 Expired JPS6011441B2 (ja)

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JP55055139A JPS6011441B2 (ja) 1980-04-25 1980-04-25 感湿素子

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JPS56152201A JPS56152201A (en) 1981-11-25
JPS6011441B2 true JPS6011441B2 (ja) 1985-03-26

Family

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Family Applications (1)

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JP55055139A Expired JPS6011441B2 (ja) 1980-04-25 1980-04-25 感湿素子

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JP (1) JPS6011441B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS641223A (en) * 1987-06-23 1989-01-05 Elna Co Ltd Chip type solid electrolytic capacitor
JPH0289820U (ja) * 1988-12-28 1990-07-17

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS641223A (en) * 1987-06-23 1989-01-05 Elna Co Ltd Chip type solid electrolytic capacitor
JPH0289820U (ja) * 1988-12-28 1990-07-17

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JPS56152201A (en) 1981-11-25

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