JPS60113512A - 弾性表面波フイルタ - Google Patents
弾性表面波フイルタInfo
- Publication number
- JPS60113512A JPS60113512A JP21949983A JP21949983A JPS60113512A JP S60113512 A JPS60113512 A JP S60113512A JP 21949983 A JP21949983 A JP 21949983A JP 21949983 A JP21949983 A JP 21949983A JP S60113512 A JPS60113512 A JP S60113512A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- etching
- acoustic wave
- surface acoustic
- wave filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02984—Protection measures against damaging
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は弾性表面波フィルタに関する。
弾性表面波フィルタは例えば第１図に示すように、圧電
性基板（１）上に入力電極（２）と出力電極（３）がち
シ、２つの゛電極（２）、（３）は２つの対向するくし
型電極（４１、（５） 、 （６） 、 （７ンがそれ
ぞれの電極指（８） 、 １９） 。
性基板（１）上に入力電極（２）と出力電極（３）がち
シ、２つの゛電極（２）、（３）は２つの対向するくし
型電極（４１、（５） 、 （６） 、 （７ンがそれ
ぞれの電極指（８） 、 １９） 。
（１０） 、 ａυを相互に差し込むように交叉した構
造のすだれ状′ｄ極になっている。図中、ａ２１は出力
電極（３ン内を伝搬する表面波の平面的な位相の乱れを
補償する≠…かダミー電極である。
造のすだれ状′ｄ極になっている。図中、ａ２１は出力
電極（３ン内を伝搬する表面波の平面的な位相の乱れを
補償する≠…かダミー電極である。
そして従来は、圧電性基板上に金属膜を被着させてその
上にレジストを塗布し、レジストに露光によシミ極のパ
ターンを転写してレジストマスクを形成させ、エツチン
グ液を使用してレジストマスクがない部分の金属膜を溶
解させるという方法によって弾性表面波フィルタを得て
いる。
上にレジストを塗布し、レジストに露光によシミ極のパ
ターンを転写してレジストマスクを形成させ、エツチン
グ液を使用してレジストマスクがない部分の金属膜を溶
解させるという方法によって弾性表面波フィルタを得て
いる。
しかしながら上述の方法によって得た弾性表面波フ・「
ルタにあっては、第２図に示すように、すだれ状電極の
最端部電極（１３）が不所望に他の電極よシ細くなって
いて、設計通多の特性が得られないことがおる。この原
因は上述の方法のエツチング工程に起因する。丁なわち
金属膜を溶解させ電極のパターンを形成するのに、エツ
チング液に圧電性基板を浸し−ＣＩｇ１ｍさせ、エツチ
ング液をかく拌しながらエツチングを行なう。しかしこ
の際、すだれ状電極部の内部はレジストパターンにかこ
まれているので、最端部電極部と比較して新しいエツチ
ング液と接触し難く、すなわちエツチング液のまわシが
遅く、最端部電極部とそれ以外の電極部ではエツチング
速度に差が生じる。よってすだれ状電極部内部の金属膜
の膜厚方向のエツチングが終了したときには、もうすで
にすだれ状電極部外部の金属膜の膜厚方向のエツチング
は終了しているため、最端部電極部の電極ノくターンが
存在しない側のエツチングが必要以上に進み最端部電極
（１りは細くなる。
ルタにあっては、第２図に示すように、すだれ状電極の
最端部電極（１３）が不所望に他の電極よシ細くなって
いて、設計通多の特性が得られないことがおる。この原
因は上述の方法のエツチング工程に起因する。丁なわち
金属膜を溶解させ電極のパターンを形成するのに、エツ
チング液に圧電性基板を浸し−ＣＩｇ１ｍさせ、エツチ
ング液をかく拌しながらエツチングを行なう。しかしこ
の際、すだれ状電極部の内部はレジストパターンにかこ
まれているので、最端部電極部と比較して新しいエツチ
ング液と接触し難く、すなわちエツチング液のまわシが
遅く、最端部電極部とそれ以外の電極部ではエツチング
速度に差が生じる。よってすだれ状電極部内部の金属膜
の膜厚方向のエツチングが終了したときには、もうすで
にすだれ状電極部外部の金属膜の膜厚方向のエツチング
は終了しているため、最端部電極部の電極ノくターンが
存在しない側のエツチングが必要以上に進み最端部電極
（１りは細くなる。
本発明はこのような従来の欠点を解決するためになされ
たもので、すだれ状電極の最端部電極の細シをなくして
所望の特性の得ることの可能な弾性表面波フィルタの提
供を目的としている。
たもので、すだれ状電極の最端部電極の細シをなくして
所望の特性の得ることの可能な弾性表面波フィルタの提
供を目的としている。
すなわち本発明は、圧電性基板上にすだれ状電極を形成
してなる弾性表面波フィルタにおいて、すだれ状′１極
の最端部電極の外側に隣接するようにダミー電極を設け
たことを特徴とする。
してなる弾性表面波フィルタにおいて、すだれ状′１極
の最端部電極の外側に隣接するようにダミー電極を設け
たことを特徴とする。
に示すようにＡ７のすだれ状電極の最端部電極（１３１
の外側に隣接するように、最端部電極（２）と同じ長さ
をした一対のダミー電極（１４）を設けられる。
の外側に隣接するように、最端部電極（２）と同じ長さ
をした一対のダミー電極（１４）を設けられる。
すなわち本発明によれば電極を形成するエツチング時に
、すだれ状電極の各゛電極部は、ダミー電極ａ優の相当
部にレジストマスクが設けられたことによシ、すべて同
じエツチング状態になる。したがって、すだれ状電極部
内部と最端部電極部（＋３）のすぐ外側（（９の金属膜
の膜厚方向のエツチング速度の差はなくなるので、従来
のように最端部電極α段の細夛が生じることはない。し
かもダミー電極ａ（は最端部電極α□□□と同じ長さに
しであるので、特性も設計通シのものが得られる。
、すだれ状電極の各゛電極部は、ダミー電極ａ優の相当
部にレジストマスクが設けられたことによシ、すべて同
じエツチング状態になる。したがって、すだれ状電極部
内部と最端部電極部（＋３）のすぐ外側（（９の金属膜
の膜厚方向のエツチング速度の差はなくなるので、従来
のように最端部電極α段の細夛が生じることはない。し
かもダミー電極ａ（は最端部電極α□□□と同じ長さに
しであるので、特性も設計通シのものが得られる。
以上説明したように本発明の弾性表面波フィルタはすだ
れ状電極の最端部電極の外部に隣接するようにダミー電
極を設けることによシ、すだれ状電極の各電極部のエツ
チング状態は同じになシ、前記最端部電極部のすぐ外側
の金属膜の膜厚方向のエツチングが終了した後の横方向
のエツチングの影響はなくなって、前記最端部電極の細
シがなくなる。なお上述の実施例では重みづけを施した
すだれ状電極の場合について説明したが、本発明は正規
型のすだれ状′Ｉｔ極についても適用できる。
れ状電極の最端部電極の外部に隣接するようにダミー電
極を設けることによシ、すだれ状電極の各電極部のエツ
チング状態は同じになシ、前記最端部電極部のすぐ外側
の金属膜の膜厚方向のエツチングが終了した後の横方向
のエツチングの影響はなくなって、前記最端部電極の細
シがなくなる。なお上述の実施例では重みづけを施した
すだれ状電極の場合について説明したが、本発明は正規
型のすだれ状′Ｉｔ極についても適用できる。
第１図は弾性表面波フィルタを示す平面図、第２図は従
来の方法によって得たすだれ状電極の平面図、第３図は
本発明の実施例を示す図である。 （す・・・圧′シ性基板 Ｑ３）・・・最端部電極 θ荀・・ダミー１ａ極 代理人 弁理士 則 近 恵 佑（ほか１名）第 １
図 第 ３ 図
来の方法によって得たすだれ状電極の平面図、第３図は
本発明の実施例を示す図である。 （す・・・圧′シ性基板 Ｑ３）・・・最端部電極 θ荀・・ダミー１ａ極 代理人 弁理士 則 近 恵 佑（ほか１名）第 １
図 第 ３ 図
Claims (1)
- 圧電性基板上にすだれ状電極を形成してなる弾性表面波
フィルタにおいて、すだれ状電極の最端部電極の外側に
隣接するようにダミー電極を設けたことを特徴とする弾
性表面波フィルタ。、
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21949983A JPS60113512A (ja) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | 弾性表面波フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21949983A JPS60113512A (ja) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | 弾性表面波フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60113512A true JPS60113512A (ja) | 1985-06-20 |
Family
ID=16736410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21949983A Pending JPS60113512A (ja) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | 弾性表面波フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60113512A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6416730U (ja) * | 1987-07-22 | 1989-01-27 | ||
| JPH01317012A (ja) * | 1988-06-17 | 1989-12-21 | Toko Inc | 弾性表面波フィルタの製造方法 |
-
1983
- 1983-11-24 JP JP21949983A patent/JPS60113512A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6416730U (ja) * | 1987-07-22 | 1989-01-27 | ||
| JPH01317012A (ja) * | 1988-06-17 | 1989-12-21 | Toko Inc | 弾性表面波フィルタの製造方法 |
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