JPS60109019A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPS60109019A JPS60109019A JP21730783A JP21730783A JPS60109019A JP S60109019 A JPS60109019 A JP S60109019A JP 21730783 A JP21730783 A JP 21730783A JP 21730783 A JP21730783 A JP 21730783A JP S60109019 A JPS60109019 A JP S60109019A
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- JP
- Japan
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- thin film
- magnetic head
- film magnetic
- disk
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 19
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical group [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 claims 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims 1
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 6
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 3
- -1 nitrogen ions Chemical class 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 2
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 2
- 235000006732 Torreya nucifera Nutrition 0.000 description 1
- 244000111306 Torreya nucifera Species 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N nitrogen Substances N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N trimethyl(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)C(F)(F)C(F)(F)F MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
- G11B5/3106—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing where the integrated or assembled structure comprises means for conditioning against physical detrimental influence, e.g. wear, contamination
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B23/00—Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture
- G11B23/50—Reconditioning of record carriers; Cleaning of record carriers ; Carrying-off electrostatic charges
- G11B23/505—Reconditioning of record carriers; Cleaning of record carriers ; Carrying-off electrostatic charges of disk carriers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気ディスク装置用薄膜磁気ヘッドにかかる。
従来薄膜磁気ヘッドのスライダー材料はアルミナ・チタ
ン・カーバイト（Ａｔ、０．・ＴｉＣ）を使用している
。このスライダー材料のビッカース硬度は２０００であ
り、非常に硬い材料である。現用の磁気ディスク装置に
おいては、薄膜ヘッドと磁気ディスクがコンタクト・ス
タートストップ（以下ＣＣＳと略称）動作をする。この
時の磨擦、ｊヒ耗を少くするため通常磁気ディスクの表
面には潤滑剤が塗布されている。この潤滑剤の効果と、
ヘッド表面とディスク表面の特性の効果とによシコーテ
ィングディスク（γ−Ｆｅ２Ｏ３）の場合コンタクト・
スタート・ストップ回数２万回を達成している。
ン・カーバイト（Ａｔ、０．・ＴｉＣ）を使用している
。このスライダー材料のビッカース硬度は２０００であ
り、非常に硬い材料である。現用の磁気ディスク装置に
おいては、薄膜ヘッドと磁気ディスクがコンタクト・ス
タートストップ（以下ＣＣＳと略称）動作をする。この
時の磨擦、ｊヒ耗を少くするため通常磁気ディスクの表
面には潤滑剤が塗布されている。この潤滑剤の効果と、
ヘッド表面とディスク表面の特性の効果とによシコーテ
ィングディスク（γ−Ｆｅ２Ｏ３）の場合コンタクト・
スタート・ストップ回数２万回を達成している。
しかしながら、薄膜磁気ディスク（例えばＣｏ−Ｎ１−
Ｐメッキディスク、γ−Ｆｅ２０３スパッタディスク）
の場合、コーティングディスクに比較して硬度は小さく
、非常にクララシーしやすい。又従来、薄膜磁気ヘッド
自身は自己向滑性はもっていないという欠点を有してい
た。
Ｐメッキディスク、γ−Ｆｅ２０３スパッタディスク）
の場合、コーティングディスクに比較して硬度は小さく
、非常にクララシーしやすい。又従来、薄膜磁気ヘッド
自身は自己向滑性はもっていないという欠点を有してい
た。
本発明の目的は、これらの問題点を改善した自己■滑性
を有する薄膜磁気ヘッドを提供することにある。
を有する薄膜磁気ヘッドを提供することにある。
本発明による薄膜磁気ヘッドはスライダーの浮表面層が
良好な潤滑特性（低摩擦係数）を有している。
良好な潤滑特性（低摩擦係数）を有している。
以下本発明による薄膜磁気ヘッドを実施例によシ説明す
る。
る。
実施例
図に示される様な薄膜磁気ヘッドスライダ−（材質：
ＡｌＴｉＣ）に窒素イオンをイオン注入装置により電圧
条件を変化させることによシ注入深さが１００ＯＡまで
の数点の前記薄膜磁気ヘッドスライダ−を作製した。そ
の結果とくに注入深さがｓｏＸ＋：Ｄ大きいものが注入
前と比べて大幅に摩擦係数が減少した。炭素イオン、ホ
ウ素イオンについても同様の実験を行なったかやはシイ
オン注入深さが５０′Ａよシ大きい場合にとくに大きな
摩擦係数の減少が確認された。
ＡｌＴｉＣ）に窒素イオンをイオン注入装置により電圧
条件を変化させることによシ注入深さが１００ＯＡまで
の数点の前記薄膜磁気ヘッドスライダ−を作製した。そ
の結果とくに注入深さがｓｏＸ＋：Ｄ大きいものが注入
前と比べて大幅に摩擦係数が減少した。炭素イオン、ホ
ウ素イオンについても同様の実験を行なったかやはシイ
オン注入深さが５０′Ａよシ大きい場合にとくに大きな
摩擦係数の減少が確認された。
本実施１タリによる薄膜磁気ヘッドを用いてＣ８Ｓ特性
を測定した結果、ｉｑ膜ディスクに対して２００００回
のＣ８Ｓテストに対して（Ｌ’Ｊら問題ないことがわか
った。
を測定した結果、ｉｑ膜ディスクに対して２００００回
のＣ８Ｓテストに対して（Ｌ’Ｊら問題ないことがわか
った。
さらに本発明は他のスライダー材料や従来のバルクフェ
ライトヘッドにも適用可能であることは言うまでもない
。
ライトヘッドにも適用可能であることは言うまでもない
。
図は本実施例に用いた薄膜磁気ヘッドのスライダの外観
図である。 １はスライダー ２はトランスデー−サ ３．４は望索イオンが注入された層
図である。 １はスライダー ２はトランスデー−サ ３．４は望索イオンが注入された層
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １珪−も四に九降昨母薄膜磁気ヘッドにおいて、そのス
ライダーの浮揚面に、窒素原子、炭素原子。 シ・人よ− ホウ素原子の中から選ばれた１ｍ子が注入されているこ
とを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21730783A JPS60109019A (ja) | 1983-11-18 | 1983-11-18 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21730783A JPS60109019A (ja) | 1983-11-18 | 1983-11-18 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60109019A true JPS60109019A (ja) | 1985-06-14 |
Family
ID=16702096
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21730783A Pending JPS60109019A (ja) | 1983-11-18 | 1983-11-18 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60109019A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997022119A1 (en) * | 1995-12-11 | 1997-06-19 | International Business Machines Corporation | Magnetic recording device |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5293661A (en) * | 1976-01-28 | 1977-08-06 | Atomic Energy Authority Uk | Metal processing die and method of treating the die |
| JPS582279A (ja) * | 1981-06-23 | 1983-01-07 | ユナイテツド・キングドム・アトミツク・エナ−ヂイ・オ−ソリテイ | 炭化ケイ素の機械的性質の改質法 |
| JPS58177511A (ja) * | 1982-04-09 | 1983-10-18 | Alps Electric Co Ltd | 磁気ヘツド |
-
1983
- 1983-11-18 JP JP21730783A patent/JPS60109019A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5293661A (en) * | 1976-01-28 | 1977-08-06 | Atomic Energy Authority Uk | Metal processing die and method of treating the die |
| JPS582279A (ja) * | 1981-06-23 | 1983-01-07 | ユナイテツド・キングドム・アトミツク・エナ−ヂイ・オ−ソリテイ | 炭化ケイ素の機械的性質の改質法 |
| JPS58177511A (ja) * | 1982-04-09 | 1983-10-18 | Alps Electric Co Ltd | 磁気ヘツド |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997022119A1 (en) * | 1995-12-11 | 1997-06-19 | International Business Machines Corporation | Magnetic recording device |
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