JPS63276769A - 磁気ヘッドスライダ - Google Patents
磁気ヘッドスライダInfo
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- JPS63276769A JPS63276769A JP62112988A JP11298887A JPS63276769A JP S63276769 A JPS63276769 A JP S63276769A JP 62112988 A JP62112988 A JP 62112988A JP 11298887 A JP11298887 A JP 11298887A JP S63276769 A JPS63276769 A JP S63276769A
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- head slider
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Landscapes
- Hard Magnetic Materials (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
本発明は磁気ディスク装置に用いられるＴｉＣを含むＡ
ｌ ｚＯ，系セラミックスからなる磁気ヘッドスライ
ダにおいて、該スライダにおける媒体対向面の少なくと
もスライドレール表面に露呈するＴｉＣ成分を、カーボ
ン、または二硫化モリブデン等からなる固体潤滑剤成分
と置換した表面構成とすることにより、スライドレール
面に安定した潤滑性を保持せしめて磁気ディスク媒体に
対する磁気ヘッドスライダの耐久性を向上したものであ
る。
ｌ ｚＯ，系セラミックスからなる磁気ヘッドスライ
ダにおいて、該スライダにおける媒体対向面の少なくと
もスライドレール表面に露呈するＴｉＣ成分を、カーボ
ン、または二硫化モリブデン等からなる固体潤滑剤成分
と置換した表面構成とすることにより、スライドレール
面に安定した潤滑性を保持せしめて磁気ディスク媒体に
対する磁気ヘッドスライダの耐久性を向上したものであ
る。
本発明は磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘッドスラ
イダの改良に係り、特にＴｉＣを含むアルミナ系セラミ
ックスからなる磁気ヘッドスライダにおけるスライドレ
ール面に潤滑性を持たせてヘンドクラッシュを防止し、
磁気ディスク媒体に対する耐久性の向上を図った磁気ヘ
ッドスライダの構成に関するものである。
イダの改良に係り、特にＴｉＣを含むアルミナ系セラミ
ックスからなる磁気ヘッドスライダにおけるスライドレ
ール面に潤滑性を持たせてヘンドクラッシュを防止し、
磁気ディスク媒体に対する耐久性の向上を図った磁気ヘ
ッドスライダの構成に関するものである。
コンピュータシステムの大容量ファイル装置として用い
られる磁気ディスク装置では、近来、情報量の増大によ
り益々大容量化、高密度記録化が要求されている。この
ため、従来の塗膜磁気ディスクやバルク磁気ヘッドの代
わりに上記要求に対して有利な連続スパッタリング法等
により形成される薄膜磁気ディスク媒体やＴｉＧを含む
Ａ ｌ 、０゜系セラミックスからなるスライダを用い
た薄膜磁気ヘッドが採用されつつある。
られる磁気ディスク装置では、近来、情報量の増大によ
り益々大容量化、高密度記録化が要求されている。この
ため、従来の塗膜磁気ディスクやバルク磁気ヘッドの代
わりに上記要求に対して有利な連続スパッタリング法等
により形成される薄膜磁気ディスク媒体やＴｉＧを含む
Ａ ｌ 、０゜系セラミックスからなるスライダを用い
た薄膜磁気ヘッドが採用されつつある。
またこのような薄膜ディスク媒体に対する高密度記録化
に伴って薄膜磁気ヘッドスライダの低浮上動作が不可欠
であり、このため、停止時は磁気ヘッドスライダが磁気
ディスク媒体面に接触されており、該磁気ディスク媒体
の回転が速くなるにつれて磁気ヘッドスライダが低浮上
される、所謂ＣＳ Ｓ （Ｃｏｎｔａｃｔ ５ｔａｒｔ
５ｔｏｐ）方式が広く用いられている。
に伴って薄膜磁気ヘッドスライダの低浮上動作が不可欠
であり、このため、停止時は磁気ヘッドスライダが磁気
ディスク媒体面に接触されており、該磁気ディスク媒体
の回転が速くなるにつれて磁気ヘッドスライダが低浮上
される、所謂ＣＳ Ｓ （Ｃｏｎｔａｃｔ ５ｔａｒｔ
５ｔｏｐ）方式が広く用いられている。
かかる方式では磁気ディスク媒体の回転起動時、及び停
止時には磁気ヘッドスライダが磁気ディスク媒体に必ず
接触摺動することから、磁気ディスク媒体表面に潤滑剤
を塗布するなどの特別な表面処理を施して、該磁気ディ
スク媒体面及び磁気ヘッドスライダの接触による損傷を
防止している。
止時には磁気ヘッドスライダが磁気ディスク媒体に必ず
接触摺動することから、磁気ディスク媒体表面に潤滑剤
を塗布するなどの特別な表面処理を施して、該磁気ディ
スク媒体面及び磁気ヘッドスライダの接触による損傷を
防止している。
しかし、ヘッド浮上量の低減に伴って高速回転する磁気
ディスク媒体と浮上する磁気ヘッドスライダとが接触す
る確率も増加することから、更にヘッドクラッシュを引
き起こし易くなる傾向にある。このため、磁気ヘッドス
ライダの媒体対向面にも潤滑性を持たせて、浮上安定性
とヘッドクラッシュに対する安全性を高めた磁気ヘッド
スライダが必要とされている。
ディスク媒体と浮上する磁気ヘッドスライダとが接触す
る確率も増加することから、更にヘッドクラッシュを引
き起こし易くなる傾向にある。このため、磁気ヘッドス
ライダの媒体対向面にも潤滑性を持たせて、浮上安定性
とヘッドクラッシュに対する安全性を高めた磁気ヘッド
スライダが必要とされている。
従来の磁気ヘッドスライダは第３図に示すようにＴｉＣ
を含むＡ ｇ ｚｏｓ系セラミックス、例えばＡＺｚＯ
３粒子とＴｉｃ粒子とを略７対３の割合で混合焼結され
た加工性の良好な非磁性のＡ ｌ ｚｏａ−ＴｉＣセラ
ミックスからなるスライダ用基板を研削加工により、媒
体対向面（理解し易くするために上向きで示している）
の空気流入端側から流出部側に向かって、該空気流入端
に平滑研磨仕上げがなされた傾斜面１３と浮上力発生面
を有する一対のスライドレール１２が形成され、かかる
スライダ本体１１における各スライドレール１２の内の
、少なくとも一方のスライドレール１２の空気流出側の
後端部に、記録再生用の薄膜磁気トランスデユーサ１４
が設けられた構成からなっている。
を含むＡ ｇ ｚｏｓ系セラミックス、例えばＡＺｚＯ
３粒子とＴｉｃ粒子とを略７対３の割合で混合焼結され
た加工性の良好な非磁性のＡ ｌ ｚｏａ−ＴｉＣセラ
ミックスからなるスライダ用基板を研削加工により、媒
体対向面（理解し易くするために上向きで示している）
の空気流入端側から流出部側に向かって、該空気流入端
に平滑研磨仕上げがなされた傾斜面１３と浮上力発生面
を有する一対のスライドレール１２が形成され、かかる
スライダ本体１１における各スライドレール１２の内の
、少なくとも一方のスライドレール１２の空気流出側の
後端部に、記録再生用の薄膜磁気トランスデユーサ１４
が設けられた構成からなっている。
ところでこのような磁気ヘッドスライダを構成するＡ
１ｚＯｚ−ＴｉＣセラミックスはビッカース硬度が２０
００と非常に硬く、優れた耐摩耗性を有しているが、そ
の反面、Ｃ８Ｓ方式のように磁気ディスクとの接触摺動
が続くと、磁気ディスク媒体と磁気ヘッドスライダ間で
の潤滑特性が、例え磁気ディスクの表面に潤滑処理が施
されていても低下して行き、ヘッドクラッシュを発生さ
せて、ディスク媒体面は勿論のこと、スライダ側の記録
再生用磁気トランスデユーサも損傷し易くなるという問
題があり、信頬性が著しく低下する欠点があった。
１ｚＯｚ−ＴｉＣセラミックスはビッカース硬度が２０
００と非常に硬く、優れた耐摩耗性を有しているが、そ
の反面、Ｃ８Ｓ方式のように磁気ディスクとの接触摺動
が続くと、磁気ディスク媒体と磁気ヘッドスライダ間で
の潤滑特性が、例え磁気ディスクの表面に潤滑処理が施
されていても低下して行き、ヘッドクラッシュを発生さ
せて、ディスク媒体面は勿論のこと、スライダ側の記録
再生用磁気トランスデユーサも損傷し易くなるという問
題があり、信頬性が著しく低下する欠点があった。
本発明は上記した従来の問題点に鑑み、磁気ヘントスラ
イダにおける媒体対向面の少な（とも浮上力発生用のス
ライドレール面を耐摩耗性を維持した状態で安定な潤滑
特性を保持せしめた構成とし、ヘッドクラッシュの発生
を防止した新規な磁気ヘッドスライダを提供することを
目的とするものである。
イダにおける媒体対向面の少な（とも浮上力発生用のス
ライドレール面を耐摩耗性を維持した状態で安定な潤滑
特性を保持せしめた構成とし、ヘッドクラッシュの発生
を防止した新規な磁気ヘッドスライダを提供することを
目的とするものである。
本発明は上記目的を達成するため、ＴｉＣを含むＡ Ｉ
ｔ ｚ（ｈ系セラミックスからなるヘッドスライダにお
ける、媒体対向面の少なくとも浮上力発生用のスライド
レール面に露呈するＴｉＣ成分のみを、例えばフロロカ
ーボンガスを用いたドライエンチング法により選択的に
取り去り、その跡にカーボン、または二硫化モリブデン
等からなる固体潤滑剤成分を埋設した、所謂スライドレ
ール表面に露呈するＴｉＣ成分を固体潤滑剤成分と置換
した構成とする。
ｔ ｚ（ｈ系セラミックスからなるヘッドスライダにお
ける、媒体対向面の少なくとも浮上力発生用のスライド
レール面に露呈するＴｉＣ成分のみを、例えばフロロカ
ーボンガスを用いたドライエンチング法により選択的に
取り去り、その跡にカーボン、または二硫化モリブデン
等からなる固体潤滑剤成分を埋設した、所謂スライドレ
ール表面に露呈するＴｉＣ成分を固体潤滑剤成分と置換
した構成とする。
本発明の磁気ヘッドスライダでは、ＴｉＣを含むへ！２
０３系セラミックスからなるヘッドスライダにおける媒
体対向面の、少なくとも浮上力発生用のスライドレール
面が、数面に露呈するＴｉＣ成分を固体潤滑剤成分と置
換した状態とされているため、該スライドレール面は本
来の優れた耐摩耗性と安定な潤滑性とを兼ね備えた状態
となり、磁気ヘッドスライダの浮上安定性とヘッドクラ
ッシュに対する安全性が高められる。
０３系セラミックスからなるヘッドスライダにおける媒
体対向面の、少なくとも浮上力発生用のスライドレール
面が、数面に露呈するＴｉＣ成分を固体潤滑剤成分と置
換した状態とされているため、該スライドレール面は本
来の優れた耐摩耗性と安定な潤滑性とを兼ね備えた状態
となり、磁気ヘッドスライダの浮上安定性とヘッドクラ
ッシュに対する安全性が高められる。
以下図面を用いて本発明の実施例について詳細に説明す
る。
る。
第１図は本発明に係る磁気ヘッドスライダの一実施例を
示す斜視図であり、構成を理解し易くするために媒体対
向面を上向きにして示している。
示す斜視図であり、構成を理解し易くするために媒体対
向面を上向きにして示している。
なお、第４図と同等部分には同一符号を付した。
図において、本実施例は基本となるスライダ本体１１の
構成は従来の構成と同様であるが、第１図の実施例が第
４図の例と異なる点は、ＴｉＣ−Ａ １ｚ（ｈセラミッ
クスからなるスライダ本体１１における浮上力発生用の
スライドレール１２の表面２１を、第２図の部分拡大要
部断面図に示すように、該表面に無数に露呈点在するＴ
ｉＣ成分２２を例えばカーボンからなる固体潤滑剤成分
２４と置換した表面２１状態にして、へ２□０３成分２
３等の本来の優れた耐摩耗性に加えて、新たに安定な潤
滑性を兼ね備えた構成としたことである。
構成は従来の構成と同様であるが、第１図の実施例が第
４図の例と異なる点は、ＴｉＣ−Ａ １ｚ（ｈセラミッ
クスからなるスライダ本体１１における浮上力発生用の
スライドレール１２の表面２１を、第２図の部分拡大要
部断面図に示すように、該表面に無数に露呈点在するＴ
ｉＣ成分２２を例えばカーボンからなる固体潤滑剤成分
２４と置換した表面２１状態にして、へ２□０３成分２
３等の本来の優れた耐摩耗性に加えて、新たに安定な潤
滑性を兼ね備えた構成としたことである。
かくすれば、磁気ディスク媒体に対する耐摩耗性は勿論
のこと、潤滑特性が著しく向上し、ヘッドクラッシュを
防止することできる。
のこと、潤滑特性が著しく向上し、ヘッドクラッシュを
防止することできる。
次に前記ＴｉＣ−Ａ ｌ ｚｏｓセラミックスからなる
スライダ本体１１における浮上力発生用のスライドレー
ル１２の表面に無数に露呈点在するＴｉＣ成分２２を、
例えばカーボンからなる固体潤滑剤成分２４と置換した
表面２１状態に形成する方法を説明する。
スライダ本体１１における浮上力発生用のスライドレー
ル１２の表面に無数に露呈点在するＴｉＣ成分２２を、
例えばカーボンからなる固体潤滑剤成分２４と置換した
表面２１状態に形成する方法を説明する。
先ず、図示しない記録再生用の薄膜磁気トランスデユー
サが付設されたＡ ｌ ｔＯ，・ＴｉＣ等からなるスラ
イダ用基板を、研削加工、及び研磨加工工程によりスラ
イダ形状に形成した後、該スライドレール１２の表面に
無数に露呈点在するＴｉＣ成分２２をプラズマエツチン
グ法、例えばＣＦ４等のフロロカーボンガスによるプラ
ズマにより選択的にエツチング除去する。
サが付設されたＡ ｌ ｔＯ，・ＴｉＣ等からなるスラ
イダ用基板を、研削加工、及び研磨加工工程によりスラ
イダ形状に形成した後、該スライドレール１２の表面に
無数に露呈点在するＴｉＣ成分２２をプラズマエツチン
グ法、例えばＣＦ４等のフロロカーボンガスによるプラ
ズマにより選択的にエツチング除去する。
この際、Ａ ！ｌ ２０３成分２３及び該スライドレー
ル１２面と同一面に露出する図示しない薄膜磁気トラン
スデユーサのＮｉ−ＦｅやアモルファスＣｏ−Ｚｒ等か
らなる磁極はエツチングされる恐れはない。
ル１２面と同一面に露出する図示しない薄膜磁気トラン
スデユーサのＮｉ−ＦｅやアモルファスＣｏ−Ｚｒ等か
らなる磁極はエツチングされる恐れはない。
引き続きそのエツチング後のスライドレール１２表面に
スパッタリング法等により、例えば潤滑性を有するカー
ボンを被着形成し、更にその膜面を直下のへβ２０３成
分２３の面が露出するまで研磨仕上げを行うことにより
、前記ＴｉＣ成分２２が除去された部分にカーボンが埋
設された、所謂表面に無数に露呈点在するＴｉＣ成分２
２をカーボンからなる固体潤滑剤成分２４と置換した潤
滑性を有するスライドレール表面２１が形成された磁気
ヘッドスライダを得ることできる。
スパッタリング法等により、例えば潤滑性を有するカー
ボンを被着形成し、更にその膜面を直下のへβ２０３成
分２３の面が露出するまで研磨仕上げを行うことにより
、前記ＴｉＣ成分２２が除去された部分にカーボンが埋
設された、所謂表面に無数に露呈点在するＴｉＣ成分２
２をカーボンからなる固体潤滑剤成分２４と置換した潤
滑性を有するスライドレール表面２１が形成された磁気
ヘッドスライダを得ることできる。
因に、本実施例による磁気ヘッドスライダと従来の磁気
ヘッドスライダを、それぞれ連続スパッタにより形成さ
れ、かつ潤滑表面処理が施されてなるγ−Ｆｅ、０．磁
気ディスク媒体に対して、連続摺動を行い摩擦係数の変
化を比較した結果を第３図に示す。
ヘッドスライダを、それぞれ連続スパッタにより形成さ
れ、かつ潤滑表面処理が施されてなるγ−Ｆｅ、０．磁
気ディスク媒体に対して、連続摺動を行い摩擦係数の変
化を比較した結果を第３図に示す。
この図により明らかなように従来の磁気ヘッドスライダ
の潤滑性が鎖！ｉｌＢで示されるように、時間経過に伴
って悪化して行くのに対して、本実施例による磁気ヘッ
ドスライダの潤滑性は、実線Ａで示されるようにほぼ一
定の潤滑性が安定に維持されており、本発明による優れ
た効果が確認されている。
の潤滑性が鎖！ｉｌＢで示されるように、時間経過に伴
って悪化して行くのに対して、本実施例による磁気ヘッ
ドスライダの潤滑性は、実線Ａで示されるようにほぼ一
定の潤滑性が安定に維持されており、本発明による優れ
た効果が確認されている。
尚、以上の実施例ではＡｌ２Ｏ２・ＴｉＣセラミックス
からなるスライダ本体を用いた場合の例について説明し
たが、本発明はその例に限定されるものではなく、例え
ばＴｉＣを含む他のＡ Ｉ 、０．セラミックスからな
るスライダ本体を用いた場合にも同様な効果が得られる
。
からなるスライダ本体を用いた場合の例について説明し
たが、本発明はその例に限定されるものではなく、例え
ばＴｉＣを含む他のＡ Ｉ 、０．セラミックスからな
るスライダ本体を用いた場合にも同様な効果が得られる
。
またＴｉＣ成分と置換する固体潤滑剤成分としては、カ
ーボンのみに限定されるものではなく、例えば二硫化モ
リブデン、弗化カーボン、窒化ポロン、弗素樹脂材、或
いはワックス状の脂肪酸や弗素系固体潤滑剤等を用いた
場合にも同様な効果が得られる。
ーボンのみに限定されるものではなく、例えば二硫化モ
リブデン、弗化カーボン、窒化ポロン、弗素樹脂材、或
いはワックス状の脂肪酸や弗素系固体潤滑剤等を用いた
場合にも同様な効果が得られる。
以上の説明から明らかなように、本発明に係る磁気ヘン
トスライダによれば、浮上力発生用のスライドレール面
が本来の優れた耐摩耗性と長期にわたり安定な潤滑性と
を兼ね備えた状態となり、磁気ヘッドスライダの浮上安
定性とヘッドクラッシュに対する安全性が著しく高めら
れる。その結果、該磁気ヘッドスライダと磁気ディスク
媒体の耐久性が向上する。
トスライダによれば、浮上力発生用のスライドレール面
が本来の優れた耐摩耗性と長期にわたり安定な潤滑性と
を兼ね備えた状態となり、磁気ヘッドスライダの浮上安
定性とヘッドクラッシュに対する安全性が著しく高めら
れる。その結果、該磁気ヘッドスライダと磁気ディスク
媒体の耐久性が向上する。
従って、特にコンタクトスタートストップ（Ｃ３Ｓ）方
式の磁気ヘッドスライダとして適用することにより、実
用上価れた効果を奏する。
式の磁気ヘッドスライダとして適用することにより、実
用上価れた効果を奏する。
第１図は本発明に係る磁気ヘッドスライダの一実施例を
示す斜視図、 第２図は本発明に係る磁気ヘッドスライダにおけるスラ
イドレールの表面部分を示す 要部拡大断面図、 第３図は本発明の磁気ヘッドスライダと従来の磁気ヘッ
ドスライダの潤滑特性を比較 して示す図、 第４図は従来の磁気ヘッドスライダを説明するための斜
視図である。 第１図及び第２図において、 １１はスライダ本体、１２はスライドレール、１３は傾
斜面、２１はスライドレール表面、２２はＴｉＣ成分、
２３はＡ １２０．ｌ成分、２４は固体潤滑剤成分をそ
れぞれ示す。 オＮ季ζ月−ズラｒＩ：ｔ−ｈＪ面幹を１＝１喝１豪ｐ
書ケ歯ｉ］第２図 第ｊ凶 Ｏ払１ｉ並五へッド゛スラｆり（禾Ｔ摩叫ぜ日第４図
示す斜視図、 第２図は本発明に係る磁気ヘッドスライダにおけるスラ
イドレールの表面部分を示す 要部拡大断面図、 第３図は本発明の磁気ヘッドスライダと従来の磁気ヘッ
ドスライダの潤滑特性を比較 して示す図、 第４図は従来の磁気ヘッドスライダを説明するための斜
視図である。 第１図及び第２図において、 １１はスライダ本体、１２はスライドレール、１３は傾
斜面、２１はスライドレール表面、２２はＴｉＣ成分、
２３はＡ １２０．ｌ成分、２４は固体潤滑剤成分をそ
れぞれ示す。 オＮ季ζ月−ズラｒＩ：ｔ−ｈＪ面幹を１＝１喝１豪ｐ
書ケ歯ｉ］第２図 第ｊ凶 Ｏ払１ｉ並五へッド゛スラｆり（禾Ｔ摩叫ぜ日第４図
Claims (3)
- （１）媒体対向面の気流流通方向に浮上力発生用のスラ
イドレール（１２）を備えたＴｉＣを含むＡｌ＿２Ｏ＿
３系セラミックスからなるスライダの構成において、上
記媒体対向面の少なくともスライドレール（１２）表面
に露呈するＴｉＣ成分（２２）を固体潤滑剤成分（２４
）と置換した構成としたことを特徴とする磁気ヘッドス
ライダ。 - （２）上記スライダがＡｌ＿２Ｏ＿３・ＴｉＣセラミッ
クスからなることを特徴とする特許請求の範囲第（１）
項に記載した磁気ヘッドスライダ。 - （３）上記固体潤滑剤成分（２４）がカーボン、若しく
は二硫化モリブデンからなることを特徴とする特許請求
の範囲第（１）項に記載した磁気ヘッドスライダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62112988A JPS63276769A (ja) | 1987-05-08 | 1987-05-08 | 磁気ヘッドスライダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62112988A JPS63276769A (ja) | 1987-05-08 | 1987-05-08 | 磁気ヘッドスライダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63276769A true JPS63276769A (ja) | 1988-11-15 |
Family
ID=14600606
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62112988A Pending JPS63276769A (ja) | 1987-05-08 | 1987-05-08 | 磁気ヘッドスライダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63276769A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5231613A (en) * | 1990-01-19 | 1993-07-27 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magneto-optical recording device |
| US5386400A (en) * | 1990-01-19 | 1995-01-31 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magneto-optical head device having a lubricated member |
| US5943187A (en) * | 1997-06-18 | 1999-08-24 | International Business Machines Corporation | Carbon overcoat for a slider with improved step coverage |
| KR100469246B1 (ko) * | 2001-12-21 | 2005-02-02 | 엘지전자 주식회사 | 광 기록용 슬라이더 |
| US20110059336A1 (en) * | 2009-09-08 | 2011-03-10 | International Business Machines Corporation | Magnetic head with textured surfaces |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58166562A (ja) * | 1982-03-25 | 1983-10-01 | インタ−ナシヨナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−シヨン | 磁気ヘツド・スライダ |
| JPS61177693A (ja) * | 1985-01-31 | 1986-08-09 | Fujitsu Ltd | 浮上型磁気ヘツドスライダ |
| JPS61260481A (ja) * | 1985-05-13 | 1986-11-18 | Fujitsu Ltd | 浮上型磁気ヘツド |
-
1987
- 1987-05-08 JP JP62112988A patent/JPS63276769A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58166562A (ja) * | 1982-03-25 | 1983-10-01 | インタ−ナシヨナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−シヨン | 磁気ヘツド・スライダ |
| JPS61177693A (ja) * | 1985-01-31 | 1986-08-09 | Fujitsu Ltd | 浮上型磁気ヘツドスライダ |
| JPS61260481A (ja) * | 1985-05-13 | 1986-11-18 | Fujitsu Ltd | 浮上型磁気ヘツド |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5231613A (en) * | 1990-01-19 | 1993-07-27 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magneto-optical recording device |
| US5386400A (en) * | 1990-01-19 | 1995-01-31 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magneto-optical head device having a lubricated member |
| US5943187A (en) * | 1997-06-18 | 1999-08-24 | International Business Machines Corporation | Carbon overcoat for a slider with improved step coverage |
| KR100469246B1 (ko) * | 2001-12-21 | 2005-02-02 | 엘지전자 주식회사 | 광 기록용 슬라이더 |
| US20110059336A1 (en) * | 2009-09-08 | 2011-03-10 | International Business Machines Corporation | Magnetic head with textured surfaces |
| US8416526B2 (en) * | 2009-09-08 | 2013-04-09 | International Business Machines Corporation | Magnetic head with textured surfaces |
| US9011704B2 (en) | 2009-09-08 | 2015-04-21 | International Business Machines Corporation | Methods for texturing magnetic head surface |
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