JP2848354B2 - 磁気ヘッドスライダおよび磁気ディスク装置 - Google Patents
磁気ヘッドスライダおよび磁気ディスク装置Info
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- JP2848354B2 JP2848354B2 JP8243256A JP24325696A JP2848354B2 JP 2848354 B2 JP2848354 B2 JP 2848354B2 JP 8243256 A JP8243256 A JP 8243256A JP 24325696 A JP24325696 A JP 24325696A JP 2848354 B2 JP2848354 B2 JP 2848354B2
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- magnetic head
- head slider
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ヘッドスライ
ダおよび磁気ディスク装置に関し、特に、磁気ヘッドス
ライダが磁気ディスク媒体と密接して相対移動し、記録
再生を行う接触式磁気ディスク装置に関する。
ダおよび磁気ディスク装置に関し、特に、磁気ヘッドス
ライダが磁気ディスク媒体と密接して相対移動し、記録
再生を行う接触式磁気ディスク装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、情報記憶ファイルの分野におい
て、高記録密度化が着実に向上している。このため、磁
気ディスク装置では、情報の書き込み・読み出しを行う
磁気ヘッドと情報を保持している磁気ディスク媒体との
間隙をより小さくすることが、高密度記録化の重要な要
素の１つとなっている。磁気ヘッドと磁気ディスク媒体
との間隙を小さくするために、磁気ヘッドが磁気ディス
ク媒体面に接触摺動しながら記録再生を行う、いわゆ
る、接触式磁気ディスク装置が開発されている（例え
ば、「Ｈ．Ｈａｍｉｌｔｏｎ：Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ
Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｊａｐａ
ｎ， Ｖｏｌ．１５，Ｓｕｐｐｌｅｍｅｎｔ Ｎｏ．Ｓ
２（１９９１）４８３」、および「特願平５−５０８８
０８号（特表平５−８１４４９５号公報）」参照）。
て、高記録密度化が着実に向上している。このため、磁
気ディスク装置では、情報の書き込み・読み出しを行う
磁気ヘッドと情報を保持している磁気ディスク媒体との
間隙をより小さくすることが、高密度記録化の重要な要
素の１つとなっている。磁気ヘッドと磁気ディスク媒体
との間隙を小さくするために、磁気ヘッドが磁気ディス
ク媒体面に接触摺動しながら記録再生を行う、いわゆ
る、接触式磁気ディスク装置が開発されている（例え
ば、「Ｈ．Ｈａｍｉｌｔｏｎ：Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ
Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｊａｐａ
ｎ， Ｖｏｌ．１５，Ｓｕｐｐｌｅｍｅｎｔ Ｎｏ．Ｓ
２（１９９１）４８３」、および「特願平５−５０８８
０８号（特表平５−８１４４９５号公報）」参照）。
【０００３】この種の接触式磁気ディスク装置では、磁
気ディスク媒体と磁気ヘッドスライダのコンタクトパッ
ドとの接触による両者の摩耗損傷を防ぐために、磁気デ
ィスク媒体上に潤滑剤が塗布される。
気ディスク媒体と磁気ヘッドスライダのコンタクトパッ
ドとの接触による両者の摩耗損傷を防ぐために、磁気デ
ィスク媒体上に潤滑剤が塗布される。
【０００４】しかし、このような接触式磁気ディスク装
置では、磁気ディスク媒体の高速回転による遠心力によ
って磁気ディスク媒体上の潤滑剤が外周部に移動するこ
とによって、磁気ディスク媒体の内周部や中周部では潤
滑剤の膜厚が減少してしまう現象が生じている。
置では、磁気ディスク媒体の高速回転による遠心力によ
って磁気ディスク媒体上の潤滑剤が外周部に移動するこ
とによって、磁気ディスク媒体の内周部や中周部では潤
滑剤の膜厚が減少してしまう現象が生じている。
【０００５】なお、浮上式磁気ディスク装置において
も、ＣＳＳ（Ｃｏｎｔａｃｔ Ｓｔａｒｔ Ｓｔｏｐ）
方式が採用される場合には、動作開始時に磁気ヘッドス
ライダが磁気ディスク媒体から浮上するまでの間、およ
び停止時に磁気ディスク媒体の回転が停止するまでの間
には、磁気ヘッドスライダと磁気ディスク媒体とが摺動
状態にある。したがって、このような磁気ディスク装置
においては、磁気ディスク媒体上に潤滑剤が塗布されて
おり、潤滑剤の枯渇に関する問題も生じている。
も、ＣＳＳ（Ｃｏｎｔａｃｔ Ｓｔａｒｔ Ｓｔｏｐ）
方式が採用される場合には、動作開始時に磁気ヘッドス
ライダが磁気ディスク媒体から浮上するまでの間、およ
び停止時に磁気ディスク媒体の回転が停止するまでの間
には、磁気ヘッドスライダと磁気ディスク媒体とが摺動
状態にある。したがって、このような磁気ディスク装置
においては、磁気ディスク媒体上に潤滑剤が塗布されて
おり、潤滑剤の枯渇に関する問題も生じている。
【０００６】このような従来の浮上式磁気ディスク装置
に関する「磁気ディスク媒体上の潤滑剤が枯渇するのを
防ぐための技術」としては、磁気ディスク媒体上の保護
膜として水素化炭素や窒素化炭素を用い、さらにその上
に塗布する潤滑剤を極性基を有するようにすることによ
って潤滑剤と保護膜との結合を強めることが行われてい
た（「特開平６−３３３２３１号公報」参照）。
に関する「磁気ディスク媒体上の潤滑剤が枯渇するのを
防ぐための技術」としては、磁気ディスク媒体上の保護
膜として水素化炭素や窒素化炭素を用い、さらにその上
に塗布する潤滑剤を極性基を有するようにすることによ
って潤滑剤と保護膜との結合を強めることが行われてい
た（「特開平６−３３３２３１号公報」参照）。
【０００７】さらには、従来の接触式磁気ディスク装置
に関する「磁気ディスク媒体上の潤滑剤が枯渇するのを
防ぐための技術」としては、ヘッド・サスペンションに
毛細管現象によって潤滑剤を磁気ディスク媒体表面に供
給するヘッド・サスペンション・ウィック統合システム
が適用されていた（「特開平６−２２３５３３号公報」
参照）。
に関する「磁気ディスク媒体上の潤滑剤が枯渇するのを
防ぐための技術」としては、ヘッド・サスペンションに
毛細管現象によって潤滑剤を磁気ディスク媒体表面に供
給するヘッド・サスペンション・ウィック統合システム
が適用されていた（「特開平６−２２３５３３号公報」
参照）。
【０００８】また、「磁気ディスク媒体上の潤滑剤が枯
渇するのを防ぐための技術」の他の技術として、コンタ
クトパッドの前縁がその後縁より幅を広くすることによ
って、コンタクトパッドの下の磁気ディスク媒体上の潤
滑剤の減少を抑制していた（「特開平６−１２８０８号
公報」および「特開平６−４４７１８号公報」参照）。
また、磁気ヘッドが磁気ディスク媒体の内周から外周ま
で移動したときにスキュー角が発生しても、コンタクト
パッドの下の潤滑剤の減少を抑制するために、コンタク
トパッドの形を適正化した発明が、「特開平７−１４７
０７０号公報」に開示されている。コンタクトパッドの
側面の角度を、スキュー角の最大絶対値よりも大きくす
ることにより、磁気ヘッドスライダが磁気ディスク媒体
内径から外径に移動するとき、コンタクトパッドのシー
ク動作の全角度範囲にわたって潤滑剤減少抑制効果を発
揮させている。また、前記「特開平７−１４７０７０号
公報」には、コンタクトパッド形状として、その前縁部
が、後縁部と非平行であることが記述されているが、こ
の効果は、スキュー付きの前縁部は、局所ディスク速度
が低いディスク内径で余分のエア・ベアリング揚力を提
供し、局部ディスク速度がより高いためにエア・ベアリ
ング効果が大きいディスク外径でより小さな揚力を提供
することが目的であった。
渇するのを防ぐための技術」の他の技術として、コンタ
クトパッドの前縁がその後縁より幅を広くすることによ
って、コンタクトパッドの下の磁気ディスク媒体上の潤
滑剤の減少を抑制していた（「特開平６−１２８０８号
公報」および「特開平６−４４７１８号公報」参照）。
また、磁気ヘッドが磁気ディスク媒体の内周から外周ま
で移動したときにスキュー角が発生しても、コンタクト
パッドの下の潤滑剤の減少を抑制するために、コンタク
トパッドの形を適正化した発明が、「特開平７−１４７
０７０号公報」に開示されている。コンタクトパッドの
側面の角度を、スキュー角の最大絶対値よりも大きくす
ることにより、磁気ヘッドスライダが磁気ディスク媒体
内径から外径に移動するとき、コンタクトパッドのシー
ク動作の全角度範囲にわたって潤滑剤減少抑制効果を発
揮させている。また、前記「特開平７−１４７０７０号
公報」には、コンタクトパッド形状として、その前縁部
が、後縁部と非平行であることが記述されているが、こ
の効果は、スキュー付きの前縁部は、局所ディスク速度
が低いディスク内径で余分のエア・ベアリング揚力を提
供し、局部ディスク速度がより高いためにエア・ベアリ
ング効果が大きいディスク外径でより小さな揚力を提供
することが目的であった。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の接触式
磁気ディスク装置では、磁気ディスク媒体の高速回転に
よる遠心力によって磁気ディスク媒体上の潤滑剤が外周
部に移動することによって、磁気ディスク媒体の内周部
や外周部では潤滑剤の膜厚が減少してしまうので、磁気
ディスク媒体や磁気ヘッドスライダ（コンタクトパッ
ド）が摩耗損傷してしまうという問題点があった。そし
て、このような問題点は、接触式磁気ディスク装置に関
する高記録密度および高信頼性の実現の障害となってい
た。
磁気ディスク装置では、磁気ディスク媒体の高速回転に
よる遠心力によって磁気ディスク媒体上の潤滑剤が外周
部に移動することによって、磁気ディスク媒体の内周部
や外周部では潤滑剤の膜厚が減少してしまうので、磁気
ディスク媒体や磁気ヘッドスライダ（コンタクトパッ
ド）が摩耗損傷してしまうという問題点があった。そし
て、このような問題点は、接触式磁気ディスク装置に関
する高記録密度および高信頼性の実現の障害となってい
た。
【００１０】このような問題点を回避するために、ＣＳ
Ｓ方式の浮上式磁気ディスク装置で採用されている「潤
滑剤と保護膜との結合を強める技術」により、接触式磁
気ディスクにおいて磁気ディスク媒体上の潤滑剤と保護
膜との結合力を強めても、磁気ディスク媒体や磁気ヘッ
ドスライダの摩耗損傷を防ぐことはできなかった。その
理由は、接触式磁気ディスク装置では、磁気ヘッドスラ
イダと磁気ディスク媒体とが常に接触しているために、
磁気ディスク媒体上の潤滑剤が移動しやすく、磁気ディ
スク媒体上の潤滑剤と保護膜との結合力を強めた効果が
ほとんど生じないためである。
Ｓ方式の浮上式磁気ディスク装置で採用されている「潤
滑剤と保護膜との結合を強める技術」により、接触式磁
気ディスクにおいて磁気ディスク媒体上の潤滑剤と保護
膜との結合力を強めても、磁気ディスク媒体や磁気ヘッ
ドスライダの摩耗損傷を防ぐことはできなかった。その
理由は、接触式磁気ディスク装置では、磁気ヘッドスラ
イダと磁気ディスク媒体とが常に接触しているために、
磁気ディスク媒体上の潤滑剤が移動しやすく、磁気ディ
スク媒体上の潤滑剤と保護膜との結合力を強めた効果が
ほとんど生じないためである。
【００１１】また、磁気ディスク媒体上にウィックによ
って潤滑剤を供給する方法は１μm以下の薄い潤滑膜に
適用することが困難であり、高記録密度に対応した接触
式磁気ディスクには適用できなかった。その理由は、潤
滑膜を厚くすると磁気ヘッドと磁気ディスク媒体との間
隔が大きくなってしまい、記録密度が磁気ヘッドと磁気
ディスク媒体との距離に大きく依存するので高記録密度
を達成できないからである。
って潤滑剤を供給する方法は１μm以下の薄い潤滑膜に
適用することが困難であり、高記録密度に対応した接触
式磁気ディスクには適用できなかった。その理由は、潤
滑膜を厚くすると磁気ヘッドと磁気ディスク媒体との間
隔が大きくなってしまい、記録密度が磁気ヘッドと磁気
ディスク媒体との距離に大きく依存するので高記録密度
を達成できないからである。
【００１２】さらに、「特開平６−１２８０８号公
報」、「特開平６−４４７１８号公報」および「特開平
７−１４７０７０号公報」に開示してあるコンタクトパ
ッドの形状では、遠心力によって潤滑剤が外周部に移動
してしまうことを防止することは困難である。その理由
は、これらのコンタクトパッド形状では潤滑剤を磁気デ
ィスク媒体の外周部から内周部へ移動させることができ
ないからである。
報」、「特開平６−４４７１８号公報」および「特開平
７−１４７０７０号公報」に開示してあるコンタクトパ
ッドの形状では、遠心力によって潤滑剤が外周部に移動
してしまうことを防止することは困難である。その理由
は、これらのコンタクトパッド形状では潤滑剤を磁気デ
ィスク媒体の外周部から内周部へ移動させることができ
ないからである。
【００１３】本発明の目的は、上述の点に鑑み、磁気デ
ィスク媒体や磁気ヘッドスライダの摩耗損傷の防止を十
分な程度に実現し、高記録密度で高信頼性の磁気ディス
ク装置を提供することにある。特に、遠心力により外周
方向に移動した潤滑剤を内周方向へ移動させることがで
きる磁気ヘッドスライダを提供することにある。また、
その磁気ヘッドスライダを備えた磁気ディスク装置を提
供することにある。
ィスク媒体や磁気ヘッドスライダの摩耗損傷の防止を十
分な程度に実現し、高記録密度で高信頼性の磁気ディス
ク装置を提供することにある。特に、遠心力により外周
方向に移動した潤滑剤を内周方向へ移動させることがで
きる磁気ヘッドスライダを提供することにある。また、
その磁気ヘッドスライダを備えた磁気ディスク装置を提
供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明の作用について説
明する。
明する。
【００１５】図１は、本発明の磁気ヘッドスライダの一
例を示した斜視図である。磁気ヘッドスライダ進行方向
前方に溝を形成したコンタクトパッドＡを２つ配置し、
磁気ヘッドスライダ進行方向後方に非対称形状のコンタ
クトパッドＢを１つ配置したものである。これらのコン
タクトパッドＡおよびコンタクトパッドＢは、磁気ディ
スク媒体と密接して相対移動する際の圧力を受ける部分
として作用すると同時に、磁気ディスク媒体上に塗布さ
れた潤滑剤を外周部から内周部へ移動させる機能を有し
ていることが特徴である。
例を示した斜視図である。磁気ヘッドスライダ進行方向
前方に溝を形成したコンタクトパッドＡを２つ配置し、
磁気ヘッドスライダ進行方向後方に非対称形状のコンタ
クトパッドＢを１つ配置したものである。これらのコン
タクトパッドＡおよびコンタクトパッドＢは、磁気ディ
スク媒体と密接して相対移動する際の圧力を受ける部分
として作用すると同時に、磁気ディスク媒体上に塗布さ
れた潤滑剤を外周部から内周部へ移動させる機能を有し
ていることが特徴である。
【００１６】図２（ａ）は、本発明の磁気ヘッドスライ
ダに用いるコンタクトパッドが磁気ディスク媒体上を摺
動している状態を表している図である。図２（ｂ）は、
従来の磁気ヘッドスライダに用いられているコンタクト
パッドが磁気ディスク媒体上を摺動している状態を表し
ている図である。図２（ｂ）では潤滑剤がコンタクトパ
ッドでかき分けられている状態が磁気ディスク媒体の内
周方向と外周方向で対称となっているが、図２（ａ）の
本発明に用いるコンタクトパッドでは潤滑剤の流れが内
外周で非対称となっており、外周部から内周部へ潤滑剤
が移動していることがわかる。
ダに用いるコンタクトパッドが磁気ディスク媒体上を摺
動している状態を表している図である。図２（ｂ）は、
従来の磁気ヘッドスライダに用いられているコンタクト
パッドが磁気ディスク媒体上を摺動している状態を表し
ている図である。図２（ｂ）では潤滑剤がコンタクトパ
ッドでかき分けられている状態が磁気ディスク媒体の内
周方向と外周方向で対称となっているが、図２（ａ）の
本発明に用いるコンタクトパッドでは潤滑剤の流れが内
外周で非対称となっており、外周部から内周部へ潤滑剤
が移動していることがわかる。
【００１７】図３は、本発明の磁気ヘッドスライダに用
いる別のコンタクトパッドを示す図（ａ）とこのコンタ
クトパッドが磁気ディスク媒体上を摺動している状態を
表している図（ｂ）である。コンタクトパッドの磁気ヘ
ッドスライダ進行方向最前方部（Ａ点）と最内周部（Ｂ
点）を結ぶ線分（ＡＢ）の半径方向成分（ＡＢ’）の大
きさを、コンタクトパッドの磁気ヘッドスライダ進行方
向最前方部（Ａ点）と最外周部（Ｃ点）を結ぶ線分（Ａ
Ｃ）の半径方向成分（ＡＣ’）の大きさよりも大きくす
ることによって、図２で示したコンタクトパッドＡと同
様に、潤滑剤の流れが内外周で非対称となっており、外
周部から内周部へ潤滑剤を移動させることができる。
いる別のコンタクトパッドを示す図（ａ）とこのコンタ
クトパッドが磁気ディスク媒体上を摺動している状態を
表している図（ｂ）である。コンタクトパッドの磁気ヘ
ッドスライダ進行方向最前方部（Ａ点）と最内周部（Ｂ
点）を結ぶ線分（ＡＢ）の半径方向成分（ＡＢ’）の大
きさを、コンタクトパッドの磁気ヘッドスライダ進行方
向最前方部（Ａ点）と最外周部（Ｃ点）を結ぶ線分（Ａ
Ｃ）の半径方向成分（ＡＣ’）の大きさよりも大きくす
ることによって、図２で示したコンタクトパッドＡと同
様に、潤滑剤の流れが内外周で非対称となっており、外
周部から内周部へ潤滑剤を移動させることができる。
【００１８】本発明では、磁気ヘッドスライダが磁気デ
ィスク媒体上を摺動する力をコンタクトパッドの形状に
よって潤滑剤を外周から内周へ移動させる力に変換して
いることが動作原理となっている。これによって、磁気
ディスク媒体上の潤滑剤が内周部や中周部においても枯
渇することを防止できる。
ィスク媒体上を摺動する力をコンタクトパッドの形状に
よって潤滑剤を外周から内周へ移動させる力に変換して
いることが動作原理となっている。これによって、磁気
ディスク媒体上の潤滑剤が内周部や中周部においても枯
渇することを防止できる。
【００１９】さらに、一定時間間隔ごとに磁気ヘッドス
ライダを磁気ディスク媒体の外周部から内周部に向かっ
てシーク動作を行うこと、または、磁気ディスク装置が
一定時間シーク動作を行わなかった場合に、磁気ヘッド
スライダを磁気ディスク媒体の外周部から内周部に向か
ってシーク動作を行うことによって、潤滑剤の枯渇の防
止効果が顕著になる。その理由は、シーク動作間隔が長
すぎたり、磁気ディスク媒体の全面にわたってシーク動
作を行わなかったりすると、磁気ディスク媒体全面に潤
滑剤を再供給できなくなるからである。
ライダを磁気ディスク媒体の外周部から内周部に向かっ
てシーク動作を行うこと、または、磁気ディスク装置が
一定時間シーク動作を行わなかった場合に、磁気ヘッド
スライダを磁気ディスク媒体の外周部から内周部に向か
ってシーク動作を行うことによって、潤滑剤の枯渇の防
止効果が顕著になる。その理由は、シーク動作間隔が長
すぎたり、磁気ディスク媒体の全面にわたってシーク動
作を行わなかったりすると、磁気ディスク媒体全面に潤
滑剤を再供給できなくなるからである。
【００２０】また、磁気ヘッドスライダの質量が０．１
ｍｇ以上１０ｍｇ以下にすることによっても、潤滑剤の
枯渇の防止効果が顕著になる。その理由は、磁気ヘッド
スライダの質量が小いさすぎるとコンタクトパッドが潤
滑剤を掻き分けるときの抵抗によって摺動が不安定にな
り潤滑剤供給ができなくなってしまい、磁気ヘッドスラ
イダの質量が大きすぎると磁気ディスク媒体に追従でき
なくなり潤滑剤供給ができなくなってしまうからであ
る。
ｍｇ以上１０ｍｇ以下にすることによっても、潤滑剤の
枯渇の防止効果が顕著になる。その理由は、磁気ヘッド
スライダの質量が小いさすぎるとコンタクトパッドが潤
滑剤を掻き分けるときの抵抗によって摺動が不安定にな
り潤滑剤供給ができなくなってしまい、磁気ヘッドスラ
イダの質量が大きすぎると磁気ディスク媒体に追従でき
なくなり潤滑剤供給ができなくなってしまうからであ
る。
【００２１】本発明によると、以上の原理に基づき、磁
気ヘッドスライダおよび磁気ディスク媒体の摩耗損傷を
防止することができ、磁気ディスク装置に関する高記録
密度および高信頼性を実現することができる。
気ヘッドスライダおよび磁気ディスク媒体の摩耗損傷を
防止することができ、磁気ディスク装置に関する高記録
密度および高信頼性を実現することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】次に、本発明の接触式磁気ディス
ク装置の具体的な実施の形態について説明する。
ク装置の具体的な実施の形態について説明する。
【００２３】図４は本発明の接触式磁気ディスク装置の
基本構成を示す断面図である。
基本構成を示す断面図である。
【００２４】基板４５には、直径９０mmおよび厚さ０．
３mmのガラスが用いられる。
３mmのガラスが用いられる。
【００２５】下地層４６には、スパッタ法によってＣｒ
を１００nmの膜厚に成膜して形成される。
を１００nmの膜厚に成膜して形成される。
【００２６】磁性体４７は、スパッタ法によってＣｏＣ
ｒＴａＰｔを３０nmの膜厚に成膜して形成される。
ｒＴａＰｔを３０nmの膜厚に成膜して形成される。
【００２７】保護膜４８は、スパッタ法によってダイヤ
モンドライクカーボンを５nmの膜厚に成膜して形成され
る。
モンドライクカーボンを５nmの膜厚に成膜して形成され
る。
【００２８】潤滑剤４９は、ディップ法によってパーフ
ルオロポリエーテルを、原則として１０nmの膜厚に成膜
して形成される。なお、後述するように、潤滑剤４９の
膜厚は変更させる。この場合に、潤滑剤４９の膜厚の変
化は、ディップ溶液の濃度を制御することによって実現
される。
ルオロポリエーテルを、原則として１０nmの膜厚に成膜
して形成される。なお、後述するように、潤滑剤４９の
膜厚は変更させる。この場合に、潤滑剤４９の膜厚の変
化は、ディップ溶液の濃度を制御することによって実現
される。
【００２９】サスペンションばね４１は、長さ１０mm、
幅０．５mmおよび厚さ０．０３mmのステンレスが用いら
れる。サスペンションばねによって、磁気ヘッドスライ
ダを磁気ディスク媒体に押し付けるときの荷重は５００
ｍｇｆとした。
幅０．５mmおよび厚さ０．０３mmのステンレスが用いら
れる。サスペンションばねによって、磁気ヘッドスライ
ダを磁気ディスク媒体に押し付けるときの荷重は５００
ｍｇｆとした。
【００３０】ばね支持機構４２は、長さ１５mm、幅３mm
および厚さ１mmのステンレスが用いられる。
および厚さ１mmのステンレスが用いられる。
【００３１】シーク機構４３はボイスコイルモータが用
いられる。
いられる。
【００３２】磁気ヘッドスライダ１０は、基本的には幅
１mm、長さ１．２mmおよび厚さ０．３mmのＡｌ2 Ｏ3 −
ＴｉＣが用いられ、その質量は２ｍｇである。また、磁
気ヘッドスライダの質量を変化させる場合には、磁気ヘ
ッドスライダの寸法または材質を変化させた。
１mm、長さ１．２mmおよび厚さ０．３mmのＡｌ2 Ｏ3 −
ＴｉＣが用いられ、その質量は２ｍｇである。また、磁
気ヘッドスライダの質量を変化させる場合には、磁気ヘ
ッドスライダの寸法または材質を変化させた。
【００３３】磁気記録再生素子４０は、ＮｉＦｅ合金薄
膜をヨーク材料とした薄膜ヘッドが用いられる。
膜をヨーク材料とした薄膜ヘッドが用いられる。
【００３４】コンタクトパッドＡ１１は、Ａｌ2 Ｏ3 −
ＴｉＣ基板上にケミカルベーパーデポジション法によっ
てダイヤモンドライクカーボンを４μm 堆積させた後、
アルゴンイオンによるミリング加工によって形成したも
のを用いた。コンタクトパッド表面のパターン形状は、
後述するように、マスク形状およびミリング条件を変化
させることによって変化させた。
ＴｉＣ基板上にケミカルベーパーデポジション法によっ
てダイヤモンドライクカーボンを４μm 堆積させた後、
アルゴンイオンによるミリング加工によって形成したも
のを用いた。コンタクトパッド表面のパターン形状は、
後述するように、マスク形状およびミリング条件を変化
させることによって変化させた。
【００３５】図１に本発明の磁気ヘッドスライダの実施
の形態の斜視図を示す。図１に示した磁気ヘッドスライ
ダは、磁気ヘッドスライダ進行方向前方に溝を形成した
円形コンタクトパッドＡを２個、後方に図３に示した形
状のコンタクトパッドＢを１個配置した。これら２つの
コンタクトパッドは、それぞれ以下の位置に配置した。
コンタクトパッドＡは、磁気ヘッドスライダ進行方向前
方の縁から５０μm 、内周および外周の縁からそれぞれ
５０μm の位置を中心として直径３０μm とした。コン
タクトパッドＢは、磁気ヘッドスライダ進行方向後方の
縁から５０μmの内外周の中心位置に配置した。なお、
コンタクトパッドの溝深さは１０nm、溝の幅は５μm 、
溝の長手方向とスライダ進行方向とのなす角度を３０度
とした。また、図３に示したコンタクトパッドの寸法
は、ＡＣ’＝１０μm 、ＡＢ’＝２０μm 、Ｂ’Ｄ＝３
０μm 、Ｃ’Ｅ＝３０μm とした。
の形態の斜視図を示す。図１に示した磁気ヘッドスライ
ダは、磁気ヘッドスライダ進行方向前方に溝を形成した
円形コンタクトパッドＡを２個、後方に図３に示した形
状のコンタクトパッドＢを１個配置した。これら２つの
コンタクトパッドは、それぞれ以下の位置に配置した。
コンタクトパッドＡは、磁気ヘッドスライダ進行方向前
方の縁から５０μm 、内周および外周の縁からそれぞれ
５０μm の位置を中心として直径３０μm とした。コン
タクトパッドＢは、磁気ヘッドスライダ進行方向後方の
縁から５０μmの内外周の中心位置に配置した。なお、
コンタクトパッドの溝深さは１０nm、溝の幅は５μm 、
溝の長手方向とスライダ進行方向とのなす角度を３０度
とした。また、図３に示したコンタクトパッドの寸法
は、ＡＣ’＝１０μm 、ＡＢ’＝２０μm 、Ｂ’Ｄ＝３
０μm 、Ｃ’Ｅ＝３０μm とした。
【００３６】また、内外周非対称コンタクトパッドに溝
を形成したスライダの例を図５に示す。溝形成と内外周
非対称を組み合わせることによって、それぞれ単独に用
いる場合よりも効果が顕著になることが期待される。こ
のコンタクトパッドの形状は、図３におけるＡＣ’＝１
０μm 、ＡＢ’＝２０μm 、Ｂ’Ｄ＝３０μm 、Ｃ’Ｅ
＝３０μm とし、溝深さは５０nm、溝の幅は７μm 、溝
の長手方向とスライダ進行方向とのなす角度を４５度と
し、溝の中心がコンタクトパッドの重心位置を通るよう
に溝の位置を配置した。
を形成したスライダの例を図５に示す。溝形成と内外周
非対称を組み合わせることによって、それぞれ単独に用
いる場合よりも効果が顕著になることが期待される。こ
のコンタクトパッドの形状は、図３におけるＡＣ’＝１
０μm 、ＡＢ’＝２０μm 、Ｂ’Ｄ＝３０μm 、Ｃ’Ｅ
＝３０μm とし、溝深さは５０nm、溝の幅は７μm 、溝
の長手方向とスライダ進行方向とのなす角度を４５度と
し、溝の中心がコンタクトパッドの重心位置を通るよう
に溝の位置を配置した。
【００３７】これらの磁気ヘッドスライダを、図４に示
したように、サスペンションばね４１に取り付け、この
サスペンションばねは、ばね支持機構４２を介してシー
ク機構４３に取り付けられる。磁気ヘッドスライダ１０
は毎分５４００回転で回転してる磁気ディスク媒体４４
に密接して摺動させ、シーク機構４３によって磁気ディ
スク媒体の半径方向に移動させている。
したように、サスペンションばね４１に取り付け、この
サスペンションばねは、ばね支持機構４２を介してシー
ク機構４３に取り付けられる。磁気ヘッドスライダ１０
は毎分５４００回転で回転してる磁気ディスク媒体４４
に密接して摺動させ、シーク機構４３によって磁気ディ
スク媒体の半径方向に移動させている。
【００３８】なお、基板４５、下地層４６、磁性体４
７、保護膜４８、潤滑剤４９、磁気ヘッドスライダ１
０、磁気記録再生素子４０、サスペンションばね４１、
ばね支持機構４２、シーク機構４３およびコンタクトパ
ッドＡ１１の材料，形成方法などは特に限定されるもの
ではなく、公知の材料，形成方法を特別な制限なく用い
ることができる。
７、保護膜４８、潤滑剤４９、磁気ヘッドスライダ１
０、磁気記録再生素子４０、サスペンションばね４１、
ばね支持機構４２、シーク機構４３およびコンタクトパ
ッドＡ１１の材料，形成方法などは特に限定されるもの
ではなく、公知の材料，形成方法を特別な制限なく用い
ることができる。
【００３９】
［実施例１〜実施例７］ 図２（ａ）に示したコンタク
トパッドＡを、磁気ヘッドスライダ進行方向前方の縁か
ら５０μm 、内周および外周の縁からそれぞれ５０μm
の位置を中心としたところに２個、磁気ヘッドスライダ
進行方向後方の縁から５０μm の内外周の中心位置に１
個配置した磁気ヘッドスライダを用いた。コンタクトパ
ッドの直径は３０μm 、溝の幅は５μm 、溝の長手方向
とスライダ進行方向とのなす角度を３０度とした。磁気
ディスク媒体上にはパーフルオロポリエーテル系潤滑剤
を１０nm塗布した。コンタクトパッドの溝深さは表１に
示したように０．１nm〜３０００nmと変化させた。
トパッドＡを、磁気ヘッドスライダ進行方向前方の縁か
ら５０μm 、内周および外周の縁からそれぞれ５０μm
の位置を中心としたところに２個、磁気ヘッドスライダ
進行方向後方の縁から５０μm の内外周の中心位置に１
個配置した磁気ヘッドスライダを用いた。コンタクトパ
ッドの直径は３０μm 、溝の幅は５μm 、溝の長手方向
とスライダ進行方向とのなす角度を３０度とした。磁気
ディスク媒体上にはパーフルオロポリエーテル系潤滑剤
を１０nm塗布した。コンタクトパッドの溝深さは表１に
示したように０．１nm〜３０００nmと変化させた。
【００４０】
【表１】
【００４１】［実施例８〜実施例１５］ 図３に示した
コンタクトパッドＢを、磁気ヘッドスライダ進行方向後
方の縁から５０μm 、内周および外周の縁からそれぞれ
５０μm の位置を中心としたところに２個、磁気ヘッド
スライダ進行方向前方の縁から５０μm の内外周の中心
位置に１個配置した磁気ヘッドスライダを用いた。コン
タクトパッド形状は、図３において、Ｂ’Ｄ＝３０μm
、Ｃ’Ｅ＝３０μm とした。ＡＢ’の長さおよびＡ
Ｃ’の長さを表２に示したようにＡＢ’の長さを１０μ
m または２０μm としたとき、ＡＣ’の長さを５〜３０
μm と変化させた。磁気ディスク媒体上には炭化水素系
潤滑剤を１０nm塗布した。
コンタクトパッドＢを、磁気ヘッドスライダ進行方向後
方の縁から５０μm 、内周および外周の縁からそれぞれ
５０μm の位置を中心としたところに２個、磁気ヘッド
スライダ進行方向前方の縁から５０μm の内外周の中心
位置に１個配置した磁気ヘッドスライダを用いた。コン
タクトパッド形状は、図３において、Ｂ’Ｄ＝３０μm
、Ｃ’Ｅ＝３０μm とした。ＡＢ’の長さおよびＡ
Ｃ’の長さを表２に示したようにＡＢ’の長さを１０μ
m または２０μm としたとき、ＡＣ’の長さを５〜３０
μm と変化させた。磁気ディスク媒体上には炭化水素系
潤滑剤を１０nm塗布した。
【００４２】
【表２】
【００４３】［実施例１６〜実施例２３］ 図２（ａ）
に示したコンタクトパッドＡを、磁気ヘッドスライダ進
行方向前方の縁から５０μm 、内周および外周の縁から
それぞれ５０μm の位置を中心としたところに２個、磁
気ヘッドスライダ進行方向後方の縁から５０μm の内外
周の中心位置に１個配置した磁気ヘッドスライダを用い
た。コンタクトパッドの直径は３０μm 、溝の幅は５μ
m 、溝の長手方向とスライダ進行方向とのなす角度を４
０度とした。コンタクトパッドの溝深さは１００nmとし
た。磁気ディスク媒体上に塗布された潤滑剤はパーフル
オロポリエーテル系潤滑剤であり、膜厚は表３に示した
ように０．１〜３００μm と変化させた。
に示したコンタクトパッドＡを、磁気ヘッドスライダ進
行方向前方の縁から５０μm 、内周および外周の縁から
それぞれ５０μm の位置を中心としたところに２個、磁
気ヘッドスライダ進行方向後方の縁から５０μm の内外
周の中心位置に１個配置した磁気ヘッドスライダを用い
た。コンタクトパッドの直径は３０μm 、溝の幅は５μ
m 、溝の長手方向とスライダ進行方向とのなす角度を４
０度とした。コンタクトパッドの溝深さは１００nmとし
た。磁気ディスク媒体上に塗布された潤滑剤はパーフル
オロポリエーテル系潤滑剤であり、膜厚は表３に示した
ように０．１〜３００μm と変化させた。
【００４４】
【表３】
【００４５】［実施例２４〜実施例３１］ 図３に示し
たコンタクトパッドＢを、磁気ヘッドスライダ進行方向
前方の縁から５０μm 、内周および外周の縁からそれぞ
れ５０μm の位置を中心としたところに２個、磁気ヘッ
ドスライダ進行方向後方の縁から５０μm の内外周の中
心位置に１個配置した磁気ヘッドスライダを用いた。コ
ンタクトパッド形状は、図３において、ＡＣ’＝１０μ
m 、ＡＢ’＝２０μm、Ｂ’Ｄ＝３０μm 、Ｃ’Ｅ＝３
０μm とした。磁気ディスク媒体上に塗布された潤滑剤
はパーフルオロポリエーテル系潤滑剤であり、膜厚は表
３に示したように０．１〜３００μm と変化させた。
たコンタクトパッドＢを、磁気ヘッドスライダ進行方向
前方の縁から５０μm 、内周および外周の縁からそれぞ
れ５０μm の位置を中心としたところに２個、磁気ヘッ
ドスライダ進行方向後方の縁から５０μm の内外周の中
心位置に１個配置した磁気ヘッドスライダを用いた。コ
ンタクトパッド形状は、図３において、ＡＣ’＝１０μ
m 、ＡＢ’＝２０μm、Ｂ’Ｄ＝３０μm 、Ｃ’Ｅ＝３
０μm とした。磁気ディスク媒体上に塗布された潤滑剤
はパーフルオロポリエーテル系潤滑剤であり、膜厚は表
３に示したように０．１〜３００μm と変化させた。
【００４６】［実施例３２］ 図５に示したコンタクト
パッドＤを、磁気ヘッドスライダ進行方向前方の縁から
５０μm 、内周および外周の縁からそれぞれ５０μm の
位置を中心としたところに２個、磁気ヘッドスライダ進
行方向後方の縁から５０μmの内外周の中心位置に１個
配置した磁気ヘッドスライダを用いた。コンタクトパッ
ドＤは、図３におけるＡＣ’＝１０μm 、ＡＢ’＝２０
μm 、Ｂ’Ｄ＝３０μm 、Ｃ’Ｅ＝３０μm とし、溝深
さは５０nm、溝の幅は７μm 、溝の長手方向とスライダ
進行方向とのなす角度を４５度とし、溝の中心がコンタ
クトパッドの重心位置を通るように溝の位置を配置し
た。磁気ディスク媒体上に塗布された潤滑剤はパーフル
オロポリエーテル系潤滑剤であり、膜厚は１０nmとし
た。
パッドＤを、磁気ヘッドスライダ進行方向前方の縁から
５０μm 、内周および外周の縁からそれぞれ５０μm の
位置を中心としたところに２個、磁気ヘッドスライダ進
行方向後方の縁から５０μmの内外周の中心位置に１個
配置した磁気ヘッドスライダを用いた。コンタクトパッ
ドＤは、図３におけるＡＣ’＝１０μm 、ＡＢ’＝２０
μm 、Ｂ’Ｄ＝３０μm 、Ｃ’Ｅ＝３０μm とし、溝深
さは５０nm、溝の幅は７μm 、溝の長手方向とスライダ
進行方向とのなす角度を４５度とし、溝の中心がコンタ
クトパッドの重心位置を通るように溝の位置を配置し
た。磁気ディスク媒体上に塗布された潤滑剤はパーフル
オロポリエーテル系潤滑剤であり、膜厚は１０nmとし
た。
【００４７】［実施例３３〜実施例４２］ 図３に示し
たコンタクトパッドＢを、磁気ヘッドスライダ進行方向
前方の縁から８０μm 、内周および外周の縁からそれぞ
れ７０μm の位置を中心としたところに２個、磁気ヘッ
ドスライダ進行方向後方の縁から６０μm の内外周の中
心位置に１個配置した磁気ヘッドスライダを用いた。コ
ンタクトパッド形状は、図３において、ＡＣ’＝１２μ
m 、ＡＢ’＝２３μm、Ｂ’Ｄ＝３５μm 、Ｃ’Ｅ＝３
５μm とした。磁気ディスク媒体上に塗布された潤滑剤
はパーフルオロポリエーテル系潤滑剤であり、膜厚は１
０nmとした。磁気ヘッドスライダの質量を表４に示した
ように０．０１〜５０ｍｇと変化させた。
たコンタクトパッドＢを、磁気ヘッドスライダ進行方向
前方の縁から８０μm 、内周および外周の縁からそれぞ
れ７０μm の位置を中心としたところに２個、磁気ヘッ
ドスライダ進行方向後方の縁から６０μm の内外周の中
心位置に１個配置した磁気ヘッドスライダを用いた。コ
ンタクトパッド形状は、図３において、ＡＣ’＝１２μ
m 、ＡＢ’＝２３μm、Ｂ’Ｄ＝３５μm 、Ｃ’Ｅ＝３
５μm とした。磁気ディスク媒体上に塗布された潤滑剤
はパーフルオロポリエーテル系潤滑剤であり、膜厚は１
０nmとした。磁気ヘッドスライダの質量を表４に示した
ように０．０１〜５０ｍｇと変化させた。
【００４８】
【表４】
【００４９】［比較例］ 本発明の実施例と従来技術と
の比較を行うために、本発明の考え方を採用しない従来
の磁気ヘッドスライダの例（比較例）として、図２
（ｂ）に示したコンタクトパッドＣを、磁気ヘッドスラ
イダ進行方向前方の縁から５０μm 、内周および外周の
縁からそれぞれ５０μm の位置を中心としたところに２
個、磁気ヘッドスライダ進行方向後方の縁から５０μm
の内外周の中心位置に１個配置した磁気ヘッドスライダ
を用いた。コンタクトパッドの直径は３０μm とした。
磁気ディスク媒体上に塗布された潤滑剤の膜厚は１００
nmとした。
の比較を行うために、本発明の考え方を採用しない従来
の磁気ヘッドスライダの例（比較例）として、図２
（ｂ）に示したコンタクトパッドＣを、磁気ヘッドスラ
イダ進行方向前方の縁から５０μm 、内周および外周の
縁からそれぞれ５０μm の位置を中心としたところに２
個、磁気ヘッドスライダ進行方向後方の縁から５０μm
の内外周の中心位置に１個配置した磁気ヘッドスライダ
を用いた。コンタクトパッドの直径は３０μm とした。
磁気ディスク媒体上に塗布された潤滑剤の膜厚は１００
nmとした。
【００５０】上記の実施例１〜実施例４２および比較例
に示した磁気ヘッドスライダを、毎分５４００回転の磁
気ディスク媒体上に、半径２３mmから４２mmの範囲を１
分間に１回磁気ディスク媒体の全面をシークし、その後
ランダムな半径位置で摺動させ記録再生を行った。これ
らの動作を繰り返すような摺動耐久性試験を行った。接
触式磁気ディスク装置の信頼性評価方法として記録再生
信号のエラーレイトが初期値の２倍になったときの稼働
時間求めた。この摺動耐久性試験の試験結果（稼働時
間）を表１〜表４に示す。
に示した磁気ヘッドスライダを、毎分５４００回転の磁
気ディスク媒体上に、半径２３mmから４２mmの範囲を１
分間に１回磁気ディスク媒体の全面をシークし、その後
ランダムな半径位置で摺動させ記録再生を行った。これ
らの動作を繰り返すような摺動耐久性試験を行った。接
触式磁気ディスク装置の信頼性評価方法として記録再生
信号のエラーレイトが初期値の２倍になったときの稼働
時間求めた。この摺動耐久性試験の試験結果（稼働時
間）を表１〜表４に示す。
【００５１】［実施例４３〜実施例５２］ 図３に示し
たコンタクトパッドＢを、磁気ヘッドスライダ進行方向
前方の縁から５０μm 、内周および外周の縁からそれぞ
れ５０μm の位置を中心としたところに２個、磁気ヘッ
ドスライダ進行方向後方の縁から５０μm の内外周の中
心位置に１個配置した磁気ヘッドスライダを用いた。コ
ンタクトパッド形状は、図３において、ＡＣ’＝１０μ
m 、ＡＢ’＝２０μm、Ｂ’Ｄ＝３０μm 、Ｃ’Ｅ＝３
０μm とした。磁気ディスク媒体上にフッ素化炭素系潤
滑剤を１０nm塗布した。これらの磁気ヘッドスライダ
を、毎分５４００回転の磁気ディスク媒体上に、半径２
３mmから４２mmの範囲を表５に示した潤滑剤供給シーク
時間ごとに外周から内周に向かって１回シーク動作を行
い、その後ランダムな半径位置で摺動させ記録再生を行
った。これらの動作を繰り返すような摺動耐久性試験を
行った。接触式磁気ディスク装置の信頼性評価方法とし
て記録再生信号のエラーレイトが初期値の２倍になった
ときの稼働時間求めた。この摺動耐久性試験の試験結果
（稼働時間）を表５に示す。
たコンタクトパッドＢを、磁気ヘッドスライダ進行方向
前方の縁から５０μm 、内周および外周の縁からそれぞ
れ５０μm の位置を中心としたところに２個、磁気ヘッ
ドスライダ進行方向後方の縁から５０μm の内外周の中
心位置に１個配置した磁気ヘッドスライダを用いた。コ
ンタクトパッド形状は、図３において、ＡＣ’＝１０μ
m 、ＡＢ’＝２０μm、Ｂ’Ｄ＝３０μm 、Ｃ’Ｅ＝３
０μm とした。磁気ディスク媒体上にフッ素化炭素系潤
滑剤を１０nm塗布した。これらの磁気ヘッドスライダ
を、毎分５４００回転の磁気ディスク媒体上に、半径２
３mmから４２mmの範囲を表５に示した潤滑剤供給シーク
時間ごとに外周から内周に向かって１回シーク動作を行
い、その後ランダムな半径位置で摺動させ記録再生を行
った。これらの動作を繰り返すような摺動耐久性試験を
行った。接触式磁気ディスク装置の信頼性評価方法とし
て記録再生信号のエラーレイトが初期値の２倍になった
ときの稼働時間求めた。この摺動耐久性試験の試験結果
（稼働時間）を表５に示す。
【００５２】
【表５】
【００５３】［実施例５３〜実施例６２］ 図３に示し
たコンタクトパッドＢを、磁気ヘッドスライダ進行方向
前方の縁から５０μm 、内周および外周の縁からそれぞ
れ５０μm の位置を中心としたところに２個、磁気ヘッ
ドスライダ進行方向後方の縁から５０μm の内外周の中
心位置に１個配置した磁気ヘッドスライダを用いた。コ
ンタクトパッド形状は、図３において、ＡＣ’＝１０μ
m 、ＡＢ’＝２０μm、Ｂ’Ｄ＝３０μm 、Ｃ’Ｅ＝３
０μm とした。磁気ディスク媒体上にシリコーン油系潤
滑剤を１０nm塗布した。これらの磁気ヘッドスライダ
を、毎分５４００回転の磁気ディスク媒体上に、半径２
３mmから４２mmの範囲を、ランダムな時間間隔でシーク
動作させ、無シーク動作の時間が表６に示した潤滑剤供
給基準時間を越えた場合に、外周から内周に向かって１
回シーク動作を行い、その後ランダムな半径位置で摺動
させ記録再生を行った。これらの動作を繰り返すような
摺動耐久性試験を行った。接触式磁気ディスク装置の信
頼性評価方法として記録再生信号のエラーレイトが初期
値の２倍になったときの稼働時間求めた。この摺動耐久
性試験の試験結果（稼働時間）を表６に示す。
たコンタクトパッドＢを、磁気ヘッドスライダ進行方向
前方の縁から５０μm 、内周および外周の縁からそれぞ
れ５０μm の位置を中心としたところに２個、磁気ヘッ
ドスライダ進行方向後方の縁から５０μm の内外周の中
心位置に１個配置した磁気ヘッドスライダを用いた。コ
ンタクトパッド形状は、図３において、ＡＣ’＝１０μ
m 、ＡＢ’＝２０μm、Ｂ’Ｄ＝３０μm 、Ｃ’Ｅ＝３
０μm とした。磁気ディスク媒体上にシリコーン油系潤
滑剤を１０nm塗布した。これらの磁気ヘッドスライダ
を、毎分５４００回転の磁気ディスク媒体上に、半径２
３mmから４２mmの範囲を、ランダムな時間間隔でシーク
動作させ、無シーク動作の時間が表６に示した潤滑剤供
給基準時間を越えた場合に、外周から内周に向かって１
回シーク動作を行い、その後ランダムな半径位置で摺動
させ記録再生を行った。これらの動作を繰り返すような
摺動耐久性試験を行った。接触式磁気ディスク装置の信
頼性評価方法として記録再生信号のエラーレイトが初期
値の２倍になったときの稼働時間求めた。この摺動耐久
性試験の試験結果（稼働時間）を表６に示す。
【００５４】
【表６】
【００５５】表１〜表６の実施例１〜実施例６２の試験
結果および比較例の試験結果を参照すると、以下の〜
に示す考察が可能となる。
結果および比較例の試験結果を参照すると、以下の〜
に示す考察が可能となる。
【００５６】 第１実施例〜第７実施例および比較例
に関する試験結果を参照すると、コンタクトパッドの摺
動面に、磁気ヘッドスライダの進行方向を前方としたと
きに前方外周部から後方内周部に向かう溝を作製した場
合には、溝を作製しなかった場合（比較例の場合）に比
べて、エラーレイトが初期値の２倍になった稼働時間が
少なくとも４倍以上になっている。すなわち、コンタク
トパッドの摺動面に、磁気ヘッドスライダの進行方向を
前方としたときに前方外周部から後方内周部に向かう溝
を設けることによって、高記録密度で高信頼性の磁気デ
ィスク装置を提供できるという効果を得ることができ
る。
に関する試験結果を参照すると、コンタクトパッドの摺
動面に、磁気ヘッドスライダの進行方向を前方としたと
きに前方外周部から後方内周部に向かう溝を作製した場
合には、溝を作製しなかった場合（比較例の場合）に比
べて、エラーレイトが初期値の２倍になった稼働時間が
少なくとも４倍以上になっている。すなわち、コンタク
トパッドの摺動面に、磁気ヘッドスライダの進行方向を
前方としたときに前方外周部から後方内周部に向かう溝
を設けることによって、高記録密度で高信頼性の磁気デ
ィスク装置を提供できるという効果を得ることができ
る。
【００５７】 前記溝の深さが１nm以上１０００nm以
下の場合にエラーレイトが初期値の２倍になった稼働時
間が大きくなっている。すなわち、前記溝構造の深さを
１nm以上１０００nm以下にすることによって、より効果
的に磁気ディスク装置の性能を向上させることができ
る。
下の場合にエラーレイトが初期値の２倍になった稼働時
間が大きくなっている。すなわち、前記溝構造の深さを
１nm以上１０００nm以下にすることによって、より効果
的に磁気ディスク装置の性能を向上させることができ
る。
【００５８】 第８実施例〜第１５実施例を比較する
と、図３におけるＡＢ’長さをＡＣ’長さよりも大きく
した場合に、エラーレイトが初期値の２倍になった稼働
時間が３７倍以上になっている。すなわち、コンタクト
パッドの形状として、コンタクトパッドの磁気ヘッドス
ライダ進行方向最前方部と最内周部を結ぶ線分の半径方
向成分の大きさを、コンタクトパッドの磁気ヘッドスラ
イダ進行方向最前方部と最外周部を結ぶ線分の半径方向
成分の大きさよりも大きくすることによっても、高記録
密度で高信頼性の磁気ディスク装置を提供できるという
効果を得ることができる。
と、図３におけるＡＢ’長さをＡＣ’長さよりも大きく
した場合に、エラーレイトが初期値の２倍になった稼働
時間が３７倍以上になっている。すなわち、コンタクト
パッドの形状として、コンタクトパッドの磁気ヘッドス
ライダ進行方向最前方部と最内周部を結ぶ線分の半径方
向成分の大きさを、コンタクトパッドの磁気ヘッドスラ
イダ進行方向最前方部と最外周部を結ぶ線分の半径方向
成分の大きさよりも大きくすることによっても、高記録
密度で高信頼性の磁気ディスク装置を提供できるという
効果を得ることができる。
【００５９】 第１６実施例〜第３１実施例を比較す
ると、潤滑剤の膜厚を１nm以上１００nm以下とした場合
に、エラーレイトが初期値の２倍になった稼働時間が５
倍以上になっている。すなわち、潤滑剤膜厚は１nm以上
１００nm以下がより適切な範囲であることがわかる。
ると、潤滑剤の膜厚を１nm以上１００nm以下とした場合
に、エラーレイトが初期値の２倍になった稼働時間が５
倍以上になっている。すなわち、潤滑剤膜厚は１nm以上
１００nm以下がより適切な範囲であることがわかる。
【００６０】 第３２実施例，第５実施例および第９
実施例を比較すると、実施例３２のエラーレイトが初期
値の２倍になった稼働時間が、実施例５および実施例９
のそれよりも著しく長くなっている。すなわち、コンタ
クトパッドの形状として、コンタクトパッドの磁気ヘッ
ドスライダ進行方向最前方部と最内周部を結ぶ線分の半
径方向成分の大きさを、コンタクトパッドの磁気ヘッド
スライダ進行方向最前方部と最外周部を結ぶ線分の半径
方向成分の大きさよりも大きくし、かつ、コンタクトパ
ッドの摺動面に、磁気ヘッドスライダの進行方向を前方
としたときに前方外周部から後方内周部に向かう溝構造
を設けることによって、「高記録密度で高信頼性の磁気
ディスク装置を提供できる」という効果がさらに顕著に
なる。
実施例を比較すると、実施例３２のエラーレイトが初期
値の２倍になった稼働時間が、実施例５および実施例９
のそれよりも著しく長くなっている。すなわち、コンタ
クトパッドの形状として、コンタクトパッドの磁気ヘッ
ドスライダ進行方向最前方部と最内周部を結ぶ線分の半
径方向成分の大きさを、コンタクトパッドの磁気ヘッド
スライダ進行方向最前方部と最外周部を結ぶ線分の半径
方向成分の大きさよりも大きくし、かつ、コンタクトパ
ッドの摺動面に、磁気ヘッドスライダの進行方向を前方
としたときに前方外周部から後方内周部に向かう溝構造
を設けることによって、「高記録密度で高信頼性の磁気
ディスク装置を提供できる」という効果がさらに顕著に
なる。
【００６１】 第３３実施例〜第４２実施例を比較す
ると、磁気ヘッドスライダの質量を０．１ｍｇ以上１０
ｍｇ以下とした場合に、それ以外の場合と比較してエラ
ーレイトが初期値の２倍になった稼働時間が少なくとも
４倍以上になっている。すなわち、磁気ヘッドスライダ
の質量は０．１ｍｇ以上１０ｍｇ以下がより適切な範囲
であることがわかる。
ると、磁気ヘッドスライダの質量を０．１ｍｇ以上１０
ｍｇ以下とした場合に、それ以外の場合と比較してエラ
ーレイトが初期値の２倍になった稼働時間が少なくとも
４倍以上になっている。すなわち、磁気ヘッドスライダ
の質量は０．１ｍｇ以上１０ｍｇ以下がより適切な範囲
であることがわかる。
【００６２】 第４３実施例〜第５２実施例を比較す
ると、潤滑剤供給シーク時間を１分以上１時間以下とし
た場合に、それ以外の場合と比較してエラーレイトが初
期値の２倍になった稼働時間が少なくとも２倍以上にな
っている。すなわち、潤滑剤供給シーク時間は１分以上
１時間以下がより適切な範囲であることがわかる。
ると、潤滑剤供給シーク時間を１分以上１時間以下とし
た場合に、それ以外の場合と比較してエラーレイトが初
期値の２倍になった稼働時間が少なくとも２倍以上にな
っている。すなわち、潤滑剤供給シーク時間は１分以上
１時間以下がより適切な範囲であることがわかる。
【００６３】 第５３実施例〜第６２実施例を比較す
ると、潤滑剤供給基準時間を１分以上１時間以下とした
場合に、それ以外の場合と比較してエラーレイトが初期
値の２倍になった稼働時間が少なくとも２倍以上になっ
ている。すなわち、潤滑剤供給基準時間は１分以上１時
間以下がより適切な範囲であることがわかる。
ると、潤滑剤供給基準時間を１分以上１時間以下とした
場合に、それ以外の場合と比較してエラーレイトが初期
値の２倍になった稼働時間が少なくとも２倍以上になっ
ている。すなわち、潤滑剤供給基準時間は１分以上１時
間以下がより適切な範囲であることがわかる。
【００６４】以上の〜に示す考察から、本発明の磁
気ディスク装置では、従来の磁気ディスク装置と比較し
て少なくとも４倍以上の耐久性が達成され、高信頼性を
確保することができることが分かる。
気ディスク装置では、従来の磁気ディスク装置と比較し
て少なくとも４倍以上の耐久性が達成され、高信頼性を
確保することができることが分かる。
【００６５】また、以上の〜に示す考察から、本発
明の接触式磁気ディスク装置における「コンタクトパッ
ドの溝の深さ」、およびが「潤滑剤膜厚」にはそれぞれ
以下の範囲の値が適切な値であることが分かる。
明の接触式磁気ディスク装置における「コンタクトパッ
ドの溝の深さ」、およびが「潤滑剤膜厚」にはそれぞれ
以下の範囲の値が適切な値であることが分かる。
【００６６】「コンタクトパッドの溝の深さ」：１nm以
上１０００nm以下 「潤滑剤膜厚」：１nm以上１００nm以下 なお、以上のように一定の適切な値の範囲が存在する理
論的根拠は、以下にあると考えられる。
上１０００nm以下 「潤滑剤膜厚」：１nm以上１００nm以下 なお、以上のように一定の適切な値の範囲が存在する理
論的根拠は、以下にあると考えられる。
【００６７】「コンタクトパッドの溝の深さ」について
は、１nm未満のようにあまりに小さいと本発明を適用し
たことにならず、１０００nmより大きいと溝に空気流に
よる圧力が働いてしまい、潤滑剤が溝の中を流れるのを
妨げることにより本発明の効果が発揮されないからであ
る。
は、１nm未満のようにあまりに小さいと本発明を適用し
たことにならず、１０００nmより大きいと溝に空気流に
よる圧力が働いてしまい、潤滑剤が溝の中を流れるのを
妨げることにより本発明の効果が発揮されないからであ
る。
【００６８】「潤滑剤膜厚」については、あまりに小さ
いと潤滑剤が磁気ディスク媒体の媒体面に強く吸着し潤
滑剤を外周から内周に移動しにくくなり本発明の効果が
発揮されなく、また、あまりに大きいと磁気ヘッドの記
録再生特性が悪くなるからである。
いと潤滑剤が磁気ディスク媒体の媒体面に強く吸着し潤
滑剤を外周から内周に移動しにくくなり本発明の効果が
発揮されなく、また、あまりに大きいと磁気ヘッドの記
録再生特性が悪くなるからである。
【００６９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
以下に示すような効果が生じる。
以下に示すような効果が生じる。
【００７０】遠心力によって磁気ディスク媒体の外周部
に移動してしまう潤滑剤を、コンタクトパッドの摺動面
に磁気ヘッドスライダの進行方向を前方としたときに前
方外周部から後方内周部に向かう溝を設けることによっ
て、または、コンタクトパッドの磁気ヘッドスライダ進
行方向最前方部と最内周部を結ぶ線分の半径方向成分の
大きさを、コンタクトパッドの磁気ヘッドスライダ進行
方向最前方部と最外周部を結ぶ線分の半径方向成分の大
きさよりも大きくすることによって、磁気ディスク媒体
の内周部および中周部の潤滑剤の膜厚の減少や枯渇を防
止または制御できることである。これにより、磁気ヘッ
ドスライダおよび磁気ディスク媒体の摩耗損傷を防止す
ることができ、高記録密度で高信頼性の磁気ディスク装
置を提供できる。
に移動してしまう潤滑剤を、コンタクトパッドの摺動面
に磁気ヘッドスライダの進行方向を前方としたときに前
方外周部から後方内周部に向かう溝を設けることによっ
て、または、コンタクトパッドの磁気ヘッドスライダ進
行方向最前方部と最内周部を結ぶ線分の半径方向成分の
大きさを、コンタクトパッドの磁気ヘッドスライダ進行
方向最前方部と最外周部を結ぶ線分の半径方向成分の大
きさよりも大きくすることによって、磁気ディスク媒体
の内周部および中周部の潤滑剤の膜厚の減少や枯渇を防
止または制御できることである。これにより、磁気ヘッ
ドスライダおよび磁気ディスク媒体の摩耗損傷を防止す
ることができ、高記録密度で高信頼性の磁気ディスク装
置を提供できる。
【図１】本発明の磁気ヘッドスライダの基本構成を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図２】本発明の磁気ヘッドスライダの原理および動作
を説明するための図であり、コンタクトパッド周辺の潤
滑剤の流れる状態を示している。
を説明するための図であり、コンタクトパッド周辺の潤
滑剤の流れる状態を示している。
【図３】本発明の磁気ヘッドスライダの原理および動作
を説明するための図であり、別のコンタクトパッドにつ
いて潤滑剤の流れる状態を示している。
を説明するための図であり、別のコンタクトパッドにつ
いて潤滑剤の流れる状態を示している。
【図４】本発明の磁気ディスク装置の基本構成を示す断
面図である。
面図である。
【図５】本発明の磁気ヘッドスライダに用いるコンタク
トパッドの構造を示す図である。
トパッドの構造を示す図である。
１０ 磁気ヘッドスライダ １１ コンタクトパッドＡ １２ コンタクトパッドＢ ２１ 潤滑剤の流れ ２２ コンタクトパッドＣ ２１ 磁気ディスク媒体 ４０ 磁気記録再生素子 ４１ サスペンションばね ４２ ばね支持機構 ４３ シーク機構 ４４ 磁気ディスク媒体 ４５ 基板 ４６ 下地層 ４７ 磁性体 ４８ 保護膜 ４９ 潤滑剤 ５０ コンタクトパッドＤ
Claims (11)
- 【請求項１】磁気ヘッドおよびコンタクトパッドを備え
る磁気ヘッドスライダにおいて、磁気ディスク媒体表面
に塗布された潤滑剤を、前記磁気ヘッドスライダの摺動
に伴い磁気ディスク媒体の外周部から内周部へ移動させ
る構造を、前記コンタクトパッドの摺動面に設けること
を特徴とする磁気ヘッドスライダ。 - 【請求項２】コンタクトパッドの摺動面に、磁気ヘッド
スライダの進行方向を前方としたときに前方外周部から
後方内周部に向かう溝を設けることを特徴とする請求項
１記載の磁気ヘッドスライダ。 - 【請求項３】コンタクトパッドに設けた前記溝の深さが
１nm以上１０００nm以下であることを特徴とする請求項
２記載の磁気ヘッドスライダ。 - 【請求項４】コンタクトパッドの形状として、コンタク
トパッドの磁気ヘッドスライダ進行方向最前方部と最内
周部を結ぶ線分の半径方向成分の大きさを、コンタクト
パッドの磁気ヘッドスライダ進行方向最前方部と最外周
部を結ぶ線分の半径方向成分の大きさよりも大きくする
ことを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダ。 - 【請求項５】コンタクトパッドの形状として、コンタク
トパッドの磁気ヘッドスライダ進行方向最前方部と最内
周部を結ぶ線分の半径方向成分の大きさを、コンタクト
パッドの磁気ヘッドスライダ進行方向最前方部と最外周
部を結ぶ線分の半径方向成分の大きさよりも大きくし、
かつコンタクトパッドの摺動面に、磁気ヘッドスライダ
の進行方向を前方としたときに前方外周部から後方内周
部に向かう溝を設けることを特徴とする請求項１記載の
磁気ヘッドスライダ。 - 【請求項６】磁気ヘッドおよびコンタクトパッドを備え
る磁気ヘッドスライダにおいて、磁気ディスク媒体表面
に塗布された潤滑剤を、前記磁気ヘッドスライダの摺動
に伴い磁気ディスク媒体の外周部から内周部へ移動させ
る構造を、前記コンタクトパッドの摺動面に設け、か
つ、磁気ヘッドスライダの質量が０．１ｍｇ以上１０ｍ
ｇ以下であることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。 - 【請求項７】表面に潤滑剤が塗布された磁気ディスク媒
体と、この磁気ディスク媒体上に密接された状態で相対
移動されて情報を記録または再生する磁気ヘッドと、こ
の磁気ヘッドとコンタクトパッドとを備えた磁気ヘッド
スライダと、この磁気ヘッドスライダを前記磁気ディス
ク媒体に押圧させる支持ばねとからなる磁気ディスク装
置において、前記磁気ヘッドスライダが請求項１〜６の
いずれかに記載の磁気ヘッドスライダであることを特徴
とする磁気ディスク装置。 - 【請求項８】磁気ディスク媒体に塗布された潤滑剤の膜
厚が１nm以上１００nm以下であることを特徴とする請求
項７記載の磁気ディスク装置。 - 【請求項９】請求項７記載の磁気ディスク装置であっ
て、一定時間間隔ごとに前記磁気ヘッドスライダを磁気
ディスク媒体の外周部から内周部に向かって潤滑剤供給
シーク動作を行うことを特徴とする磁気ディスク装置。 - 【請求項１０】請求項７記載の磁気ディスク装置であっ
て、無シーク動作間隔が潤滑剤供給基準時間に達する
と、磁気ヘッドスライダを磁気ディスク媒体の外周部か
ら内周部に向かってシーク動作を行うことを特徴とする
磁気ディスク装置。 - 【請求項１１】潤滑剤供給シーク動作間隔が１分以上１
時間以下であることを特徴とする請求項９または１０記
載の磁気ディスク装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8243256A JP2848354B2 (ja) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | 磁気ヘッドスライダおよび磁気ディスク装置 |
| US08/929,096 US5889635A (en) | 1996-09-13 | 1997-09-15 | Magnetic head slider and magnetic disk apparatus for redistributing a lubricant |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8243256A JP2848354B2 (ja) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | 磁気ヘッドスライダおよび磁気ディスク装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1091901A JPH1091901A (ja) | 1998-04-10 |
| JP2848354B2 true JP2848354B2 (ja) | 1999-01-20 |
Family
ID=17101172
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8243256A Expired - Fee Related JP2848354B2 (ja) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | 磁気ヘッドスライダおよび磁気ディスク装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5889635A (ja) |
| JP (1) | JP2848354B2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| US6373658B2 (en) * | 1998-03-19 | 2002-04-16 | Seagate Technology Llc | Optimum location for slider landing pads |
| JP2000322852A (ja) * | 1999-05-11 | 2000-11-24 | Sony Corp | 磁気記録再生装置 |
| US6608735B1 (en) | 2000-10-04 | 2003-08-19 | Seagate Technology Llc | Asymmetric tapered air bearing slider |
| WO2002033698A1 (en) * | 2000-10-13 | 2002-04-25 | Seagate Technology Llc | Disc drive slider having textured pads |
| US20060262451A1 (en) * | 2005-05-18 | 2006-11-23 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Hard-disk drive design for contact recording applications |
| JP4529925B2 (ja) * | 2006-03-15 | 2010-08-25 | 富士電機デバイステクノロジー株式会社 | コンタクト磁気記録方式用の磁気ディスク媒体およびそれを用いた固定磁気記録装置 |
| US20090013203A1 (en) * | 2007-07-02 | 2009-01-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method and apparatus for power saving mode in hard disk drive |
| US9368137B2 (en) * | 2014-10-17 | 2016-06-14 | HGST Netherlands B.V. | Self-cleaning recording heads based on actuator seek profile |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5612808A (en) * | 1979-07-06 | 1981-02-07 | Hitachi Ltd | Switchboard bus |
| EP0911809A3 (en) * | 1992-01-20 | 2006-11-15 | Fujitsu Limited | Magnetic head assembly, method of manufacturing the same, and magnetic disk apparatus |
| US5285337A (en) * | 1992-04-30 | 1994-02-08 | International Business Machines Corporation | Liquid-bearing data recording disk file with transducer carrier having support struts |
| US5396383A (en) * | 1992-12-29 | 1995-03-07 | International Business Machines | Integral lubricating fluid delivery system for a flying head in a magnetic disk storage system |
| TW226464B (ja) * | 1992-12-29 | 1994-07-11 | Ibm | |
| JPH06333231A (ja) * | 1993-05-21 | 1994-12-02 | Nec Corp | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
| US5418667A (en) * | 1993-08-03 | 1995-05-23 | International Business Machines Corporation | Slider with transverse ridge sections supporting air-bearing pads and disk drive incorporating the slider |
-
1996
- 1996-09-13 JP JP8243256A patent/JP2848354B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-09-15 US US08/929,096 patent/US5889635A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1091901A (ja) | 1998-04-10 |
| US5889635A (en) | 1999-03-30 |
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