KR100749190B1 - 마모 저항성이 높은 ｓｌｉｐ 패드를 사용한 마모내구성을 갖는 장치 및 그의 형성 방법 - Google Patents
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Abstract
디스크 드라이브는 베이스(112)와 베이스(112)에 회전식으로 부착된 디스크(134)를 포함한다(도 1 참조). 또한 디스크 드라이브는 상기 베이스(112)에 회전식으로 부착된 액추에이터 어셈블리(120) 및 액추에이터 어셈블리(120)를 이동시키는 장치(128)를 포함한다. 액추에이터 어셈블리(120)는 디스크(134)의 표면을 갖는 인터페이스에 적합한 슬라이더(126)를 보유한다. 디스크(134)의 표면은 특정한 경도를 갖는 오버코트를 구비한다. 슬라이더(126)는 리딩 에지(300), 트레일링 에지(310), 및 이들 두 에지 사이에 위치된 공기 베어링 표면(400)을 포함한다. 슬라이더(126)는 다수의 슬라이더 통합 패드(450, 460)를 포함하며, 패드(450, 460)중 적어도 일부는 디스크 표면 경도보다 큰 경도를 갖는다. 모든 슬라이더 통합 패드(450, 460)는 디스크 표면 또는 디스크 표면의 경도보다 단단한 슬라이더(126)의 트레일링 에지(310) 부근에 위치된 패드(450, 460) 그룹중 적어도 하나 보다 단단할 수 있다.
Description
본 발명은 대용량 기억 장치 분야에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 높은 마모 물질 패드를 갖는 공기 베어링 표면을 갖춘 슬라이더 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.
컴퓨터 시스템의 중요한 부품 중 하나는 데이터 저장 장치이다. 컴퓨터 시스템은 데이터가 저장될 수 있는 많은 상이한 공간이 있어야 한다. 컴퓨터 시스템 내에 다량의 데이터를 저장하기 위한 공통 공간 중 하나는 디스크 드라이브 상에 있다. 디스크 드라이브의 가장 기본적인 부품은 회전되는 정보 저장 디스크, 상기 디스크 상의 다양한 위치로 변환기를 이동시키는 액추에이터, 및 디스크에 데이터를 기록하고 디스크로부터 데이터를 판독하는데 사용되는 전기 회로가 있다. 또한 디스크 드라이브는 디스크 표면에 대해 성공적으로 검색되고 기록될 수 있도록 데이터를 인코딩하는 회로를 포함한다. 마이크로프로세서는 디스크 드라이브의 대부분의 동작을 제어할 뿐만 아니라 데이터를 다시 요구 컴퓨터로 제공하며 상기 요구 컴퓨터로부터의 데이터를 디스크에 저장하기 위한 동작을 제어한다.
전형적으로 변환기는 디스크 위에서 비행하도록 공기역학적으로 설계된, 슬라이더라 불리는 작은 세라믹 블록 상에 위치된다. 슬라이더는 디스크와의 변환 관계로 디스크 위를 통과한다. 대부분의 슬라이더는 레일을 포함하며 레일들 사이에 캐비티를 포함하는 공기 베어링 표면("ABS")를 포함한다. 디스크가 회전할 때, 레일 사이에 공기가 빨려들어와 디스크 표면에 압력이 인가되어, 디스크로부터 헤드가 멀어지게 된다. 동시에 공기 베어링 표면의 캐비티 또는 함몰부를 통과한 에어 러싱(rushing)은 음압 영역을 생성한다. 음압 또는 흡인력은 레일에 형성된 압력을 상쇄시킨다. 또한 슬라이더는 슬라이더 상에 디스크 표면을 향하도록 하는 힘을 형성하는 로드 스프링에 부착된다. 다양한 힘의 균형이 이루어져 슬라이더는 특정 원하는 비행 높이에서 디스크의 표면 위를 비행한다. 비행 높이는 디스크 표면과 변환 헤드 사이의 간격이고, 전형적으로 에어 윤활막의 두께이다. 이러한 막은 디스크 회전 동안 변환 헤드 및 디스크가 기계적으로 접촉되는 경우 발생할 수 있는 마찰력 및 그로 인한 마모를 없앤다. 일부 디스크 드라이브에서, 슬라이더는 디스크의 표면 위에서 비행하기 보다는 윤활층을 통과한다.
데이터를 나타내는 정보는 저장 디스크의 표면상에 저장된다. 디스크 드라이브 시스템은 저장 디스크 상의 트랙에 저장된 정보를 판독하고 기록한다. 슬라이더에 부착된 판독/기록 헤드 형태의 변환기는 저장 디스크의 양쪽 측면에 위치되어, 변환기가 저장 디스크의 표면 상의 지정된 트랙 중 하나 위에 정확하게 위치되는 경우 저장 디스크 상의 정보를 판독하고 기록한다. 또한 변환기는 타겟 트랙으로 이동된다. 저장 디스크가 회전하고 판독/기록 헤드가 타겟 트랙 위로 정확하게 위치됨에 따라, 판독/기록 헤드는 데이터를 나타내는 정보를 저장 디스크 상에 기록함으로써 트랙 상에 정보를 저장할 수 있다. 유사하게 저장 디스크 상의 판독 데이터는 타겟 트랙 위에 판독/기록 헤드를 위치시키고 저장 디스크 상에 저장된 자료를 판독함으로써 달성된다. 상이한 트랙 상에 기록 또는 상이한 트랙으로부터의 판독을 위해, 판독/기록 헤드는 트랙을 가로질러 방사상으로 선택된 타겟 트랙으로 이동된다.
일반적으로, 디스크 드라이브는 2가지 방법으로 셔트 다운(shut down)된다. 제 1 형태의 디스크 드라이브에서, 액추에이터는 디스크 드라이브가 정지될 때 슬라이더가 디스크와 접촉하는 것을 방지하는 램프(ramp)에 액추에이터 아암의 일부를 내려놓는다. 이러한 형태의 디스크 드라이브는 램프 로드/언로드 디스크 드라이브이다. 다른 형태의 디스크 드라이브는 콘택 개시 및 중지("CSS") 디스크 드라이브이다. CSS 디스크 드라이브에서, 디스크 드라이브가 작동하지 않게 될 때, 슬라이더는 디스크 표면, 전형적으로는 디스크의 내부 또는 외부 직경에 배열된 랜딩 영역상에, 데이터 트랙으로부터 멀리 떨어져 놓여진다. 드라이브 작동 시작시, 스핀들 모터는 슬라이더와 디스크 표면 사이에 정적 마찰(또한 자기 기록 산업계에서는 스틱션(stiction)이라 공지됨)을 극복하기에 충분한 힘을 제공해야 한다. 디스크가 전속력으로 회전한 후, 슬라이더는 디스크 표면으로부터 떨어지고 데이터 트랙 상의 정보를 판독 또는 기록하기 위해 디스크 표면 위에서 비행한다. 콘택 개시/정지 기능성은 종종 콘택 개시/중지 테스트 방법을 사용하여 평가되고, 여기서 드라이브는 각각의 CSS 사이클에서 스틱션 측정과 함께 많은 사이클 동안 반복된 개시 및 중지 모드를 행하도록 작동된다.
디스크 드라이브가 작동하는 동안 디스크와 변환 헤드를 포함하는 슬라이더 사이의 비행 높이는 고도의 기록 밀도를 달성하기 위해 지난 몇 년 동안 상당히 감소되어 왔다. 따라서, 디스크 드라이브가 비행 높이에서의 동작 동안 약간 또는 헤드/디스크 콘택이 없도록 매우 매끄러운 마무리로 디스크 표면을 형성할 필요가 있다. 그러나, 매끄러운 디스크 표면은, 특히 헤드/디스크 인터페이스에서 액체의 존재로 인한 높은 스틱션을 갖는다. 따라서, 자기 기록 산업계에서는 디스크 드라이브의 콘택 개시 및 중지 작업 동안 스틱션을 감소시키기 위해 디스크 표면을 거칠게 하거나 또는 텍스처(texture) 방법이 일반적으로 실시되었다. 표면 텍스처링의 최적화는 디스크 드라이브를 제조하는데 있어 중요한 기술이 되었다.
또다른 기술 경향은 존 텍스처(zone textured) 디스크를 사용하는 것이다. 존 텍스처 디스크에서, 랜딩(landing) 영역(드라이브가 정지될 때 슬라이더가 위치하는 곳)은 레이저 또는 다른 기계적 수단에 의해 텍스처된다. 그러나, 데이터 영역(헤드가 비행 높이에서 정보를 판독 또는 기록하는 곳인 데이터 트랙을 포함)은 드라이브가 작동하는 동안 헤드/디스크 콘택을 감소시키기 위해 텍스처되지 않거나 또는 약간만 텍스처된다. 이러한 기술은 각각의 CSS 랜딩 영역과 데이터 영역 최적화가 고도의 기록 밀도를 위해 낮은 헤드/디스크 간격을 달성하고, 콘택 중지 및 개시 동안 스틱션 감소를 달성하게 한다. 그러나, 존 텍스처 디스크가 드라이브에 사용되는 경우, 헤드가 데이터 영역 내의 디스크 표면과 접촉되는 것을 방지하기 위해 드라이브 어셈블리 동안 일부 특정 절차를 채택해야 한다. 또한, 액추에이터는 헤드 시핑(shipping) 동안 그리고 드라이브가 턴오프된 후 데이터 영역내에 디스크 표면이 접촉하는 것을 방지하기에 충분한 래치(latch) 힘을 제공해야 한다. 이러한 콘택이 발생하는 경우, 매끄러운 데이터 영역에 있는 헤드/디스크 인터페이스에서의 높은 스틱션은 드라이브 구동을 방해한다. 어떤 경우에 있어, 디스크 드라이브를 시작하려고 시도하면 디스크 드라이브의 액추에이터 아암으로부터 슬라이더가 이탈된다.
자기저항성(MR;magnetoresistive) 헤드가 디스크 드라이브 속에 삽입될 때, 탄소 오버코트층은 종종 판독 소자 및 기록 소자의 부식을 방지하기 위해 슬라이드 표면에 형성된다. 슬라이드 표면 상의 탄소 오버코트의 장점 중 하나는 헤드/디스크 인터페이스에서 스틱션이 크게 감소된다는 것이다. 그러나 탄소 오버코트의 주된 단점은 탄소 오버코트의 두께와 같은 양만큼 유효 헤드/디스크 공간이 증가한다는 것이다. 따라서, 최적의 헤드/디스크 인터페이스 설계를 위해 헤드/디스크 자석 공간 조건과 스틱션 조건 사이에 절충안이 요구된다.
고도의 자석 기록 밀도를 달성하기 위해서, 매우 매끄러운 디스크 표면이 사용되어야 하며 슬라이더 표면 상의 탄소 오버코트의 두께는 최소량으로 감소되어야 한다. 상기 목적을 달성하기 위해 2가지 중요한 이슈, 매끄러운 디스크가 사용되는 경우 헤드/디스크 인터페이스에서의 더 낮은 스틱션 및 MR 헤드가 사용되는 경우 주변 환경에 의한 부식에 대한 판독/기록 소자의 보호가 해결되어야 한다.
종래 기술에서 제시된 방법이 "Stiction Free Slider for the Smooth Surface Disc"에 개시되어 있다(IEEE Transactions On Magnetics, Vol.31, No.6, November 1995). IEEE 논문은 3개의 분리 및 격리된 실린더형 탄소 오버코트 패드를 갖는 슬라이더를 개시한다. 패드 중 하나는 슬라이더의 한쪽 단부의 중심에 형성되고, 나머지 2개 패드는 슬라이더의 다른쪽 단부에 형성되며, 서로 분리되며, 각각의 패드는 슬라이더의 측면 에지 중 하나에 근접해 있다. IEEE 논문은 매끄러운 표면 디스크가 디스크 드라이브에서 사용되는 경우 3개의 격리된 패드가 헤드/디스크 인터페이스에서 스틱션을 감소시킨다고 설명하고 있다. 그러나, IEEE 논문에 개시된 3개의 격리된 패드 배열은 몇 가지 단점을 갖는다.
먼저 패드의 유효성은 슬라이더의 프로파일 배향(크라운, 캠버 및 트위스트)에 따른다. 실제 제조 환경에서 직면하는 넓은 범위의 슬라이더 프로파일을 위해, 패드 위치 이외의 슬라이더 부품은 디스크 표면과 콘택될 수 있다. 이런 경우 헤드/디스크 인터페이스에서의 스틱션은 매우 클 것이다. 둘째로, 일단 패드 중 하나가 마모되거나 또는 결함을 갖게 되면 헤드/디스크 인터페이스에 대한 보완 지지체가 없다. 마지막으로, 레이저 존 텍스처 디스크의 경우, 디스크 표면은 분리된 표면 텍스처를 갖고, 몇 개의 분리되고 격리된 패드의 사용은 슬라이더의 패드 위치에서만 헤드/디스크 콘택이 발생하지 않는다.
다수의 탄소 오버코트 패드 또는 돌출부를 제공하는 또다른 방법이 있다. 탄소 오버코트는 슬라이더 표면에 대해 간격을 두고 있는 개별 탄소 오버코트 돌출부의 어레이에서 ABS 표면을 형성하며 ABS 표면의 작고 개별적인 영역을 포함한다. 이러한 기술은 SLIP(슬라이더 통합 패드; slider integrated pad)으로서 간주된다. 일반적으로, 탄소 오버코트 돌출부는 슬라이더 전체 표면의 약 1% 내지 약 15%의 전체 표면 면적을 포함한다. 각각의 탄소 오버코트 돌출부는 1개 이상의 탄소 오버코트 돌출부가 있는 경우에만 헤드/디스크 콘택이 발생하도록 하기에 충분한 두께이지만, 또한 슬라이더의 비행 특성에 거의 영향을 미치지 않도록 충분히 얇다. SLIP의 사용으로, 헤드/디스크 인터페이스의 콘택 면적은 헤드/디스크 인터페이스에서 스틱션을 감소시키기 위해 탄소 오버코트 돌출부의 어레이에 의해 제공된 전체 면적의 1% 내지 15%로 제한된다.
탄소 오버코트형 슬라이더 통합 패드의 사용은 몇 가지 단점을 갖는다. 단점 중 하나는 다이아몬드형 탄소와 같은 탄소로 구성된 슬라이더 통합 패드는디스크 드라이브의 시간에 걸쳐 또는 수명에 걸쳐 마모된다는 것이다. 스틱션을 야기시키는 원인은 슬라이더 또는 헤드의 후방 티핑(tipping)이다. 과도한 패드 마모는 후방 티핑의 문제를 보다 가중시킨다. 또한, 슬라이더에 고정된 변환기 및 슬라이더 사이의 갭은 디스크 드라이브 수명 동안 변한다. 현재, 디스크는 슬라이더 통합 패드보다 단단할 수 있는 상대적으로 단단한 탄소 오버코트로 제공될 수 있다. 이는 과도한 패드 마모 및 후방 티핑 및 스틱션을 야기시킬 수 있다.
현재 SLIP 설계시에, 패드는 이온 빔 증착에 의한 다이아몬드형 탄소(DLC)로 구성된다. 전형적으로 25 GPa의 경도를 갖는 DLC 패드는 매체 상의 탄소 오버코트보다 실제로 더 단단하며, 그의 경도 범위는 스퍼터링된 탄소에 대해 약 10 GPa이고, 이온 빔 탄소에 대해 약 14 GPa 범위에 있다. 그러나, SLIP 패드에 대해 전체 패드 면적이 10,000㎛2 이하이기 때문에, 반복된 콘택 개시-중지 동작 후에 50Å 이하로 패드 마모를 제한하는 것을 만족시킬 수 있도록 얕은 LZT만을 갖거나 또는 LZT를 갖지 않도록 디스크를 설계 하는 것이 항상 문제시 되었다. 부식 문제를 방지하는데 있어 스퍼터링된 탄소 보다 우수한 이온 빔 탄소로 코팅된 매체에 대해, 부분적으로 DLC형 경도로 인해 패드 마모는 특히 심각하다. 더 높은 매체 오버코트 경도는 콘택 개시-중지 테스트시에 패드 마모를 가속화시킨다.
탄소의 경도는 소정 프로세스에서 제어될 수 있다. 이온 빔 증착에서, 단단한 탄소는 이온 빔 증착 프로세스 동안 바이어스 전압을 증가시킴으로써 형성된다. 다른 말로, 바이어스 전압이 높을수록, 형성되는 슬라이더 통합 패드의 경도가 커진다. 그러나, 단단한 탄소의 패드는 덜 단단한 탄소의 패드보다 마모가 빠르기 때문에, 단단한 탄소의 패드 제작은 해결책이 아니다. 예를 들어, 약 120 볼트의 바이어스 전압에서 형성된 슬라이더 통합 패드는 약 10,000 번의 개시 중지 사이클 후 200 옴스트롱 이상 마모된다. 반대로, 약 0 볼트의 바이어스 전압에서 형성된 슬라이더 통합 패드는 약 10,000 번의 개시 중지 사이클 후에 약 50 옴스트롱 이상 마모된다. 따라서, 단순히 단단한 탄소의 슬라이더 통합 패드를 제작하는 것은 단단한 탄소로 이루어진 슬라이더 통합 패드가 다른 탄소 슬라이더 통합 패드 보다 더 마모되는 경향이 있기 때문에 해결책이 아니다.
따라서, 슬라이더 통합 패드가 시간에 걸쳐 마모됨에 따른 슬라이더의 후방 티핑을 방지하는 슬라이더 통합 패드를 포함하는 공기 베어링 표면을 갖춘 슬라이더가 요구된다. 또한, 스틱션 문제를 방지하는 슬라이더 통합 패드를 갖춘 슬라이더가 요구된다. 또한, 디스크 드라이브의 수명에 대해 자기 변환기와 디스크 사이에 보다 일정한 갭 간격을 갖는 슬라이더가 요구된다.
본 발명의 목적은 슬라이더 통합 패드가 시간에 걸쳐 마모됨에 따른 슬라이더의 후방 티핑과 스틱션 문제를 방지하는 슬라이더 통합 패드를 포함하는 공기 베어링 표면을 갖는 슬라이더를 제공하고, 디스크 드라이브의 수명에 대해 자기 변환기와 디스크 사이에 보다 일정한 갭 간격을 갖는 슬라이더를 제공하는 것이다.
디스크 드라이브는 베이스 및 상기 베이스에 회전식으로 부착된 디스크를 포함한다. 디스크는 디스크 상의 오버코트 물질을 포함한다. 오버코트 물질은 제 1 경도를 갖는다. 또한 디스크 드라이브는 공기 베어링 표면이 있는 슬라이더를 갖춘 액추에이터를 포함한다. 공기 베어링 표면은 제 1 경도보다 큰 제 2 경도를 갖는 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드를 포함한다. 일 실시예에서, 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드는 SiC로 형성된다. 또한 슬라이더는 리딩 에지(leading edge) 및 트레일링 에지(trailing edge)를 포함한다. 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드는 슬라이더의 트레일링 에지 부근에 위치된다. 또한, SiC로 형성된 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드 그룹이 있을 수 있다. 슬라이더 통합 패드의 제 1 그룹은 SiC로 형성되고, 슬라이더 통합 패드의 제 2 그룹은 다이아몬드형 탄소로 형성된다. 슬라이더 통합 패드의 제 1 그룹은 슬라이더의 트레일링 에지 부근에 위치된다. 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드는 SiC로 형성되고 디스크 상의 오버코트는 디스크 표면 상에 스퍼터링된 탄소로 구성된다. 또한 오버코트는 바이어스 전압의 존재 하에서 디스크의 표면 상에 증착된 탄소로 구성될 수 있다.
디스크 드라이브는 베이스 및 상기 베이스에 회전식으로 부착된 디스크를 포함한다. 디스크는 디스크 상의 오버코트 물질을 포함한다. 오버코트 물질은 제 1 경도를 갖는다. 또한 디스크 드라이브는 공기 베어링 표면이 있는 슬라이더를 갖춘 액추에이터를 포함한다. 공기 베어링 표면은 제 1 경도보다 큰 제 2 경도를 갖는 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드를 포함한다. 일 실시예에서, 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드는 SiC로 형성된다. 또한 슬라이더는 리딩 에지(leading edge) 및 트레일링 에지(trailing edge)를 포함한다. 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드는 슬라이더의 트레일링 에지 부근에 위치된다. 또한, SiC로 형성된 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드 그룹이 있을 수 있다. 슬라이더 통합 패드의 제 1 그룹은 SiC로 형성되고, 슬라이더 통합 패드의 제 2 그룹은 다이아몬드형 탄소로 형성된다. 슬라이더 통합 패드의 제 1 그룹은 슬라이더의 트레일링 에지 부근에 위치된다. 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드는 SiC로 형성되고 디스크 상의 오버코트는 디스크 표면 상에 스퍼터링된 탄소로 구성된다. 또한 오버코트는 바이어스 전압의 존재 하에서 디스크의 표면 상에 증착된 탄소로 구성될 수 있다.
디스크 드라이브를 위한 슬라이더는 특정한 경도를 갖는 인터페이스 표면을 갖는 인터페이스로 조절된다. 슬라이더는 리딩 에지, 트레일링 에지, 슬라이더의리딩 에지 및 트레일링 에지 사이에 위치된 공기 베어링 표면을 포함한다. 또한, 다수의 슬라이더 통합 패드가 공기 베어링 표면 상에 위치하고 그리고 적어도 소정의 슬라이더 통합 패드는 인터페이스 표면의 경도보다 큰 경도를 갖는다. 인터페이스 표면의 경도보다 큰 경도를 갖는 슬라이더 통합 패드가 슬라이더의 트레일링 에지 부근에 위치된다. 슬라이더의 트레일링 에지 부근에 위치한 이들 슬라이더 통합 패드는 덜 단단한 슬라이더 통합 패드보다 마모가 덜 된다. 슬라이더 통합 패드는 인터페이스 표면의 경도 보다 큰 경도를 갖는다. 슬라이더 통합 패드는 SiC로 형성된다.
또한, 리딩 에지, 트레일링 에지, 및 공기 베어링 표면을 갖는 슬라이더를 형성하는 방법은 제 1 경도를 갖는 제 1 세트의 슬라이더 통합 패드를 형성하는 단계, 및 제 1 경도와 상이한 제 2 경도를 갖는 제 2 세트의 슬라이더 통합 패드를 형성하는 단계를 포함한다. 단단한 제 1 세트의 슬라이더 통합 패드 또는 제 2 세트의 슬라이더 통합 패드는 슬라이더 트레일링 에지 부근에 형성된다. 상기 형성 단계는 제 1 세트의 슬라이더 통합 패드를 형성하기 위해 개구부 어레이를 포함하는 마스크를 제공하는 단계, 및 제 1 세트의 슬라이더 통합 패드를 형성하기 위해 상기 마스크 상에 그리고 상기 마스크내의 개구부를 통해 물질을 증착하는 단계를 포함한다. 또한 상기 형성 단계는 제 2 세트의 슬라이더 통합 패드를 형성하기 위한 개구부의 어레이를 포함하는 마스크를 제공하는 단계를 포함한다. 마스크는 제 1 슬라이더 통합 패드를 덮는다. 다음 제 2 세트의 슬라이더 통합 패드를 형성하기 위해 마스크 내의 개구부를 통해 마스크 상에 물질이 증착된다.
바람직하게, SiC로 구성된 슬라이더 통합 패드를 포함하는 공기 베어링 표면을 갖는 슬라이더는 슬라이더 통합 패드가 시간에 걸쳐 마모됨에 따라 슬라이더가 후방 티핑되는 것을 방지한다. 따라서, SiC로 구성된 슬라이더 통합 패드는 스틱션 문제를 방지하는데 도움을 준다. 또한, SiC로 구성된 슬라이더 통합 패드를 포함하는 슬라이더는 디스크 드라이브의 수명에 대해 자기 변환기 및 디스크 사이에 보다 일정한 갭 간격을 갖는다.
도 1은 다수의 디스크 스택을 갖는 디스크 드라이브의 확대도.
도 2는 디스크와의 변환 관계시 로드 스프링 및 슬라이더의 측면도.
도 3은 슬라이더 및 디스크의 상부도.
도 4는 공기 베어링 표면을 나타내는 슬라이더의 하부도.
도 5는 디스크 상의 탄소 상에 특정 바이어스 전압에 따른 다이아몬드형 탄소 슬라이더 통합 패드의 패드 마모를 나타내는 도면.
도 6은 슬라이더(126) 공기 베어링 표면의 일 실시예의 형성시 제 1 단계를 나타내며, 포워드 슬라이더 통합 패드는 다이아몬드형 탄소로 구성되며 다른 슬라이더 통합 패드는 SiC로 구성된다.
도 7은 슬라이더(126) 공기 베어링 표면의 일 실시예의 형성시 제 2 단계를 나타내며, 포워드 슬라이더 통합 패드는 다이아몬드형 탄소로 구성되며 다른 슬라이더 통합 패드는 SiC로 구성된다.
도 8은 슬라이더 공기 베어링 표면의 또다른 실시예의 형성을 나타내며, 모든 슬라이더 통합 패드는 SiC로 구성된다.
도 9는 컴퓨터 시스템의 개략도.
바람직한 실시예의 이하 상세한 설명은, 상세한 설명의 일부를 형성하며 본 발명을 실시할 수 있는 특정 실시예를 도시하는 첨부된 도면을 참조로 한다. 다른 실시예가 사용될 수 있으며 본 발명의 범주를 이탈하지 않고 구조적 변경이 있을 수 있다.
본 출원에서 개시된 발명은 회전식 또는 선형 동작을 하는 디스크 드라이브의 모든 기계적 구성에 유용한다. 또한, 발명은 표면으로부터 변환기의 언로딩(unloading) 및 변환기의 파킹(parking)이 요구될 수 있는 하드 디스크 드라이브, 집(zip) 드라이브, 플로피 디스크 드라이브 및 다른 형태의 드라이브를 포함하는 모든 형태의 디스크 드라이브에 유용하다. 도 1은 회전식 액추에이터를 갖는 한 형태의 디스크 드라이브(100)의 확대도이다. 디스크 드라이브(100)는 하우징 또는 베이스(112), 및 커버(114)를 포함한다. 베이스(112) 및 커버(114)는 디스크 엔클로저를 형성한다. 액추에이터 샤프트(118) 상의 베이스(112)에 회전식 액추에이터 어셈블리(120)가 부착된다. 액추에이터 어셈블리(120)는 다수의 아암(123)을 갖는 콤-형상(comb-like) 구조물(122)을 포함한다. 콤(122) 상의 개별 아암(123)에 로드 빔 또는 로드 스프링(124)이 부착된다. 또한 로드 빔 또는 로드 스프링은 서스펜션(suspension)으로 간주된다. 자기 변환기(150)를 보유하는 슬라이더(126)가 각각의 로드 스프링 단부에 부착된다. 변환기(150)를 갖춘 슬라이더(126)는 다수 번 헤드라 불리는 것을 형성한다. 주목할 것은 다수의 슬라이더는 1개의 변환기(150)를 갖고 이는 도면에 도시된 것이라는 것이다. 또한 주목할 것은 본 발명은 1개의 변환기(150)가 판독을 위해 일반적으로 사용되고 다른 것이 기록을 위해 일반적으로 사용되는 MR 또는 자기 저항성 헤드로서 간주되는 것과 같은 1개 이상의 변환기를 갖는 슬라이더에 똑같이 적용가능하다. 로드 스프링(124) 및 슬라이더(126)에 대향하는 액추에이터 어셈블리(120)의 단부 상에는 보이스 코일(128)이 위치한다.
베이스(112) 내에는 제 1 자석(130) 및 제 2 자석(131)이 부착된다. 도 1에 도시된 것처럼, 제 2 자석(131)은 커버(114)와 관련된다. 제 1 및 제 2 자석(130, 131), 및 보이스 코일(128)은 액추에이터 샤프트(118) 부근에서 회전하도록 액추에이터 어셈블리(120)에 힘을 인가하는 보이스 코일 모터의 주요 부품이다. 또한 베이스(112)에는 스핀들 모터가 장착된다. 스핀들 모터는 스핀들 허브(133)라 불리는 회전부를 포함한다. 이러한 특정 디스크 드라이브에서, 스핀들 모터는 허브 내에 있다. 도 1에서, 다수의 디스크(134)는 스핀들 허브(133)에 부착된다. 다른 디스크 드라이브에서 단일 디스크 또는 상이한 수의 디스크가 허브에 부착될 수 있다. 본 명세서에서 개시된 발명은 단일 디스크를 갖는 디스크 드라이브 뿐만 아니라 다수의 디스크를 갖는 디스크 드라이브에도 마찬가지로 응용가능하다. 또한 본 명세서에서 개시된 발명은 허브(133) 내에 또는 허브 아래에 있는 스핀들 모터를 갖는 디스크 드라이브에도 마찬가지로 응용가능하다.
도 2는 로드 스프링(124) 및 디스크(134)와 관련하여 변환 관계에 있는 슬라이더(126)의 측면도이다. 로드 스프링(124)은 삼각형 구조로 슬라이더(126)가 디스크(134)와 변환 관계에 있는 경우 슬라이더(126) 상에 작은 로드를 위치시키기 위한 외팔보 스프링으로서 작용한다. 로드 스프링(124)은 액추에이터 아암(123)의 넓은 단부에 부착된다. 도 2에 도시된 로드 스프링(124)은 더 넓은 단부에 스웨이지 개구부 및 스웨이지 플레이트를 갖는다. 스웨이지 개구부 및 스웨이지 플레이트는 스웨이징으로서 간주되는 공정에 의해 로드 스프링(124) 부착에 사용된다. 본 발명의 범주를 벗어나지 않는 다른 부착 방법 또한 사용될 수 있다. 로드 스프링(124)의 자유 단부에 탱(tang)이 부착된다. 슬라이더(126)에 의해 또는 슬라이더(126) 내에 변환기(150)가 보유된다.
도 3은 슬라이더(126) 및 디스크(134)의 상부도이다. 슬라이더(126)는 리딩 에지(300) 및 트레일링 에지(310)을 포함한다. 슬라이더(126)가 디스크(134)와 관련한 변환시에, 슬라이더(126)는 리딩 에지(300)가 전방을 향하는 상태로 디스크(134) 위로 비행하거나 또는 통과한다. 또한 슬라이더(126)는 짐벌링 표면(320)을 포함한다. 짐벌링 표면(320)은 슬라이더(126)가 디스크와 관련하여 변환 관계에 있는 동안 짐벌 딤플(330)이 접촉하는 표면이다.
도 4는 공기 베어링 표면(400)을 나타내는 슬라이더(126)의 하부도이다. 공기 베어링 표면(400)은 디스크(134)와 가장 가까운 곳에 있는 슬라이더(126)의 부분이다(도 3에 도시됨). 공기 베어링 표면(400)은 제 1 측면 레일(410) 및 제 2 측면 레일(412)을 포함하며 이들은 슬라이더(126)의 측면 부근에 위치된다. 공기 베어링 표면(400)은 또한 슬라이더(126)의 리딩 에지(300) 부근에 위치된 리딩 테이퍼 스텝(420)을 포함한다. 공기 베어링 표면(400)은 슬라이더(126)의 트레일링 에지(310) 부근에 위치되는 중심 패드(430)를 포함한다. 측면 레일(410)과 측면 레일(412) 사이 및 리딩(leading) 테이퍼 스텝(420)은 중공 또는 약간 함몰된 영역(440)이다. 디스크(134)가 슬라이더(126)의 공기 베어링 표면(400)을 지나 러싱되는 경우, 공기 베어링 표면(400)에 고압 영역 및 저압 영역이 형성된다. 고압 영역은 리딩 테이퍼 스텝(420) 및, 제 1 측면 레일(410)과 제 2 측면 레일(412)을 포함한다. 다른 고압 영역은 중심 패드(430)에 있다. 캐비티(440)를 통과한 에어 러싱은 음압 또는 흡입력(suction force)을 산출한다. 결과적으로, 캐비티(440) 영역내의 압력은 낮아져, 캐비티는 공기 베어링 표면(400)의 저압 영역으로서 간주된다. 높은 흡입(suction) 슬라이더(126)는 상대적으로 높은 음압 영역(440)을 산출하는 것중 하나이다. 앞서 언급된 것처럼 높은 흡입 베어링은 높은 흡입 베어링을 사용할 때 비행 높이가 덜 변화되고 비행 높이 프로파일은 슬라이더(126)가 디스크(134)의 중심으로부터 다양한 방사상 위치에 위치된다는 사실에도 불구하고 상대적으로 편평하기 때문에 매우 바람직하다. 또한, 높은 흡입력 공기 베어링 슬라이더(126)는 높이에 덜 민감하다.
또한 공기 베어링 표면(400)은 슬라이더 통합 패드(450, 460)를 포함한다. 슬라이더(126)의 트레일링 에지(310)에 매우 가깝게 위치된 슬라이더 통합 패드(460)는 다이아몬드형 탄소보다 단단한 물질로 구성된다. 점선(462)으로 표시된 박스 안의 슬라이더 통합 패드(460)는 슬라이더(126)의 트레일링 에지 부근에 위치된 슬라이더 통합 패드이다. 일 실시예에서, 공기 베어링 표면 상의 다른 슬라이더 통합 패드(450)는 다이아몬드형 탄소로 구성된다. 또다른 실시예에서, 슬라이더 통합 패드(450, 460) 모두는 다이아몬드형 탄소보다 단단한 물질로 구성된다. 다이아몬드형 보다 단단한 물질은 SiC, SiN, 또는 슬라이더(126)의 공기 베어링 표면상에 형성될 수 있는 다른 물질을 포함한다.
또한 디스크(134)(도 1-3) 상에는 탄소 오버코트가 제공된다. 탄소 오버코트는 상이한 바이어스 전압을 갖는 디스크(134) 상에 위치되어 결국 상이한 경도의 디스크(134)를 산출한다. 도 5는 디스크(134) 상의 탄소에 대하여 특정 바이어스 전압에 대한 다이아몬드형 탄소 슬라이더 통합 패드의 패드 마모를 나타낸 것이다. 다른 말로, 다이아몬드형 탄소에 대한 패드 마모의 넓은 편차는 디스크 상의 탄소 오버코트의 상이한 경도를 부여한다. 도 5에 도시된 것처럼 슬라이더 통합 패드상의 마모 범위는 50-250 옴스트롱이다. 약 50 옴스트롱으로의 이러한 마모의 제한은 헤드-디스크 인터페이스의 일정한 스틱션 특성을 달성하는데 바람직하다. 트레일링 에지 부근에 위치된 슬라이더 통합 패드(460)를 위해, SiC와 같은, 다이아몬드형 탄소보다 강한 물질의 사용하는 것은 슬라이더 통합 패드(460)의 과도한 마모를 방지하여 하드 디스크 인터페이스의 안정한 스틱션 성능이 디스크 드라이브(100)의 수명 동안 유지될 수 있다.
도 6 및 도 7은 슬라이더(126) 공기 베어링 표면의 일 실시예의 형성을 나타내며 포워드 슬라이더 통합 패드(450)는 다이아몬드형 탄소로 구성되며 다른 슬라이더 통합 패드(460)는 SiC로 구성된다. 도 6은 슬라이더(126) 공기 베어링 표면의 일실시예의 제 1 형성 단계를 나타내며 포워드 슬라이더 통합 패드(460)는 다이아몬드형 탄소로 구성되며 다른 슬라이더 통합 패드는 SiC로 구성된다. 슬라이더 통합 패드(450)의 다이아몬드형 탄소 어레이는 도 6에 도시된 프로세스 흐름을 수행하는 슬라이더 표면에 형성된다. 슬라이더 통합 패드(450)를 형성하는 어레이에 원형 홀을 갖는 금속 마스크(650)는 슬라이더의 공기 베어링 표면(400)에 인접하게 위치된다. 다음 다이아몬드형 탄소가 예를 들어, 화학적 기상 증착(CVD), 스퍼터링, 또는 이온 빔 증착과 같은 증착 프로세스에 의해 마스크 홀을 통해 슬라이더 공기 베어링 표면(400) 상에 증착된다. SiO2의 제 1층(625)이 금속 마스크(650)를 통해 슬라이더 표면 상에 증착되고 다이아몬드형 탄소층이 슬라이더 통합 패드(450)의 범프를 형성하도록 SiO2층 상부에 증착된다. 다른 실시예에서, SiO2층이 인가되지 않지 않고, 단지 다이아몬드형 탄소가 슬라이더 공기 베어링 표면(400)에만 인가되지만, 다이아몬드형 탄소와 슬라이더 사이의 부착력은 충분히 강하게 제공된다.
도 7은 슬라이더(126) 공기 베어링 표면의 일 실시예의 제 2 형성 단계를 나타내며 포워드 슬라이더 통합 패드는 다이아몬드형 탄소로 구성되며 다른 슬라이더 통합 패드는 SiC로 구성된다. 슬라이더 통합 패드(460)의 SiC 어레이는 도 7에 도시된 프로세스 흐름을 수행하는 슬라이더 표면에 형성된다. 슬라이더 통합 패드(460)을 형성하기 위해 어레이에 원형 홀을 갖는 제 2 금속 마스크(750)가 슬라이더의 공기 베어링 표면(400) 부근에 위치된다. 다음, 예를 들어 화학적 기상 증착(CVD), 스퍼터링, 이온 빔 증착과 같은 증착 프로세스에 의해 마스크 홀을 통해 슬라이더 공기 베어링 표면(400)상에 SiC가 증착된다. SiO2의 제 1층(625)이 금속 마스크(750)를 통해 슬라이더 표면 상에 증착되고 SiC층이 슬라이더 통합 패드(460)의 범프를 형성하도록 SiO2층의 상부에 증착된다. 또다른 실시에에서, SiO2층이 인가되지 않고, 슬라이더 공기 베어링 표면(400)에는 단지 SiC층만이 인가되지만, SiC와 슬라이더 사이의 부착력은 충분히 강하게 제공된다.
도 8은 슬라이더(126) 공기 베어링 표면의 또다른 실시예 형성을 나타내며, 슬라이더 통합 패드(450, 460) 모두는 SiC로 구성된다. 이하 본 발명의 실시예를 설명한다. 슬라이더 통합 패드(450, 460)의 SiC 어레이는 도 8에 도시된 프로세스 흐름 이후에 슬라이더 표면에 형성된다. 원형 홀을 갖는 금속 마스크(850)가 슬라이더(126)의 공기 베어링 표면(400) 부근에 위치된다. 다음 SiC가 예를 들어, 화학적 기상 증착(CVD), 스퍼터링, 또는 이온 빔 증착과 같은 증착 프로세스에 의해 마스크 홀을 통해 슬라이더 공기 베어링 표면(400) 상에 증착된다. 먼저 SiO2층(625)이 금속 마스크(850)를 통해 슬라이더 공기 베어링 표면(400)에 증착되고 범프 또는 슬라이더 통합 패드(450, 460)를 형성하기 위해 SiO2 층의 상부에 SiC층이 증착된다. 다음 슬라이더는 슬라이더 제조를 달성하기 위해 종래의 다른 프로세스로 이동된다. 또다른 실시예에서, 어떠한 SiO2층도 인가되지 않고, 슬라이더 공기 베어링 표면(400)에 단지 SiC층 만이 인가되나, SiC와 슬라이더 공기 베어링 표면(400) 사이의 접착력은 충분히 강하게 제공되어 선택된 수의 개시 및 중지 사이클 동안 디스크 드라이브의 수명이 지속될 수 있다.
바람직하게, 공기 베어링 표면을 갖는 슬라이더는 슬라이더 통합 패드가 시간에 따라 보다 서서히 마모됨에 따라 슬라이더가 후방 티핑되는 것을 방지하는 SiC로 구성된 슬라이더 통합 패드를 포함한다. 따라서 SiC로 구성된 슬라이더 통합 패드는 보다 영구적이며 스틱션(stiction) 문제를 해결하는데 도움을 준다. 또한, SiC로 구성된 슬라이더 통합 패드를 갖는 슬라이더는 디스크 드라이브의 수명에 걸쳐 자기 변환기와 디스크 사이에 보다 일정한 갭 간격을 갖는다.
도 9는 컴퓨터 시스템의 개략도이다. 바람직하게, 본 발명은 컴퓨터 시스템(2000)에 적합하다. 또한 컴퓨터 시스템(2000)은 전자 시스템 또는 정보 처리 시스템일 수 있고, 중앙 처리 장치, 메모리 및 시스템 버스를 포함한다. 정보 처리 시스템은 중앙 처리 장치(2004), 랜덤 액서스 메모리(2032), 및 중앙 처리 장치(2004) 및 랜덤 액서스 메모리(2032)가 연통되도록 연결하는 시스템 버스(2030)을 포함한다. 정보 처리 시스템(2002)은 상기 설명된 램프(ramp)를 포함하는 디스크 드라이브 장치를 포함한다. 또한 정보 처리 시스템(2002)은 입/출력 버스(2010) 및 입출력 버스(2010)에 부착될 수 있는 2012, 2014, 2016, 2018, 2020, 및 2022와 같은 몇 개의 주변 장치를 포함할 수 있다. 주변 장치는 하드 디스크 드라이브, 자기 광학 장치, 플로피 디스크 드라이브, 모니터, 키보드 및 다른 주변 장치를 포함할 수 있다. 디스크 드라이브의 임의의 형태는 상기 설명된 것처럼 디스크 표면 상에 슬라이더를 로딩 또는 언로딩하기 위한 방법을 사용할 수 있다.
결론적으로, 디스크 드라이브는 베이스(112) 및 상기 베이스(112)에 회전식으로 부착된 디스크(134)를 포함한다. 디스크는 디스크 상의 오버코트 물질을 포함한다. 오버코트 물질은 제 1 경도를 갖는다. 또한 디스크 드라이브는 공기 베어링 표면(400)을 갖는 슬라이더(126)를 갖는 액추에이터를 포함한다. 공기 베어링 표면(400)은 제 1 경도 보다 큰 제 2 경도를 갖는 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드(450, 460)을 구비한다. 일 실시예에서, 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드(460)는 SiC로 형성된다. 슬라이더(126)는 리딩 에지, 트레일링 에지(310)를 더 포함한다. 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드(460)는 슬라이더(126)의 트레일링 에지(310) 부근에 위치된다. 또한 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드(460) 그룹은 SiC로 형성될 수 있다. 슬라이더 통합 패드(460)의 제 1 그룹은 SiC로 형성되고, 슬라이더 통합 패드(450)의 제 2 그룹은 다이아몬드형 탄소로 형성된다. 슬라이더 통합 패드(460)의 제 1 그룹은 슬라이더(126)의 트레일링 에지(310) 부근에 위치된다. 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드(460)는 SiC로 형성되며 디스크(134) 상의 오버코트는 디스크(134)의 표면 상에 스퍼터링된 탄소로 구성된다. 또한 오버코트는 바이어스 전압의 존재 하에서 디스크(134)의 표면 상에 증착되는 탄소로 구성될 수 있다.
디스크 드라이브를 위한 슬라이더는 특정한 경도를 갖는 인터페이스 표면을 갖는 인터페이스로 조절된다. 슬라이더(126)는 리딩 에지(300), 트레일링 에지(310), 슬라이더(400)의 리딩 에지(300)와 트레일링 에지(310) 사이에 위치된 공기 베어링 표면을 포함한다. 또한, 다수의 슬라이더 통합 패드(450, 460)가 공기 베어링 표면(400) 상에 위치되며 슬라이더 통합 패드(450, 460)의 적어도 일부는 인터페이스 표면의 경도보다 큰 경도를 갖는다. 인터페이스 표면의 경도보다 큰 경도를 갖는 슬라이더 통합 패드(460)가 슬라이더(126)의 트레일링 에지(310) 부근에 위치된다. 슬라이더(126)의 트레일링 에지(310) 부근에 위치한 이러한 슬라이더 통합 패드(460)는 덜 단단한 슬라이더 통합 패드보다 마모가 덜하다. 슬라이더 통합 패드(460)는 인터페이스 표면의 경도보다 큰 경도를 갖는다. 슬라이더 통합 패드(460)는 SiC로 형성된다.
리딩 에지(300), 트레일링 에지(319), 및 공기 베어링 표면(400)을 갖는 슬라이더(126)를 형성하는 방법은 제 1 경도를 갖는 제 1 세트의 슬라이더 통합 패드(460)를 형성하는 단계, 제 1 경도와 상이한 제 2 경도를 갖는 제 2 세트의 슬라이더 통합 패드(450)를 형성하는 단계를 포함한다. 제 1의 보다 단단한 슬라이더 통합 패드(460) 또는 제 2 세트의 슬라이더 통합 패드(450)는 슬라이더의 트레일링 에지 부근에 형성된다. 또한 형성 단계는 제 1 세트의 슬라이더 통합 패드(460)를 형성하기 위한 개구부의 어레이를 포함하는 마스크(650)를 제공하는 단계, 및 제 1 세트의 슬라이더 통합 패드(460)를 형성하기 위해 마스크(650)상에 그리고 마스크(650)에 개구부를 통해 물질을 증착하는 단계를 더 포함한다. 또한 형성 단계는 제 2 세트의 슬라이더 통합 패드(450)를 형성하기 위한 개구부의 어레이를 포함하는 마스크(750)를 제공하는 단계를 포함한다. 마스크(750)는 제 1 슬라이더 통합 패드(460)를 덮는다. 다음 마스크(750) 상에 물질이 증착되고 마스크(750)에 개구부를 통해 제 2 세트의 슬라이더 통합 패드(450)가 형성된다.
가장 일반적으로, 슬라이더(126)는 공기 베어링 표면(400), 트레일링 에지(310), 및 스틱션(stiction)을 방지하기 위해 슬라이더(126)의 트레일링 에지(310) 부근의 공기 베어링 표면(400)상에 위치된 장치를 포함한다.
상기 설명은 설명을 위한 것이며 제한적인 것은 아니다. 다른 많은 실시예를 상기 설명을 토대로 당업자는 구현할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 범주는 첨부된 청구항을 참조로 한정된다.
Claims (18)
- 베이스;상기 베이스에 회전식으로 부착되고 상부에 제 1 경도를 갖는 오버코트 물질을 구비한 디스크; 및공기 베어링 표면 및 트레일링 에지(trailing edge)를 갖는 슬라이더를 구비한 액추에이터 - 상기 공기 베어링 표면에는 상기 제 1 경도(hardness)보다 더 큰 제 2 경도를 갖는 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드가 제공되고, 상기 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드는 상기 슬라이더의 트레일링 에지 근처의 상기 공기 베어링 표면에 위치되며, 상기 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드는 SiC로부터 형성되고, 상기 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드는 상기 공기 베어링 표면에 부착된 단부, 및 말단부(distal end)를 가지며, 상기 SiC는 상기 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드의 말단부에 위치됨 -를 포함하는 디스크 드라이브.
- 제 1 항에 있어서,상기 슬라이더는 상기 슬라이더의 트레일링 에지 근처에 위치된 다수의 슬라이더 통합 패드들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브.
- 베이스;상기 베이스에 회전식으로 부착되고 상부에 제 1 경도를 갖는 오버코트 물질을 구비한 디스크; 및공기 베어링 표면 및 트레일링 에지를 갖는 슬라이더를 구비한 액추에이터 - 상기 공기 베어링 표면에는 상기 제 1 경도보다 더 큰 제 2 경도를 갖는 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드가 제공되고, 상기 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드는 상기 슬라이더의 트레일링 에지 근처의 상기 공기 베어링 표면에 위치되며, 상기 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드는 SiC 및 SiN으로 이루어진 그룹에서 선택되는 다이아몬드형 탄소보다 더 큰 경도를 갖는 물질로부터 형성되고, 상기 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드는 상기 공기 베어링 표면에 부착된 단부, 및 말단부를 가지며, 상기 물질은 상기 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드의 말단부에 위치됨 -를 포함하는 디스크 드라이브.
- 베이스;상기 베이스에 회전식으로 부착되고 상부에 제 1 경도를 갖는 오버코트 물질을 구비한 디스크; 및공기 베어링 표면을 갖는 슬라이더를 구비한 액추에이터 - 상기 공기 베어링 표면에는 상기 제 1 경도보다 더 큰 제 2 경도를 갖는 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드가 제공되고, 상기 공기 베어링 표면은,SiC로부터 형성되는 슬라이더 통합 패드들의 제 1 그룹, 및다이아몬드형 탄소로부터 형성되는 슬라이더 통합 패드들의 제 2 그룹을 더 포함하는 다수의 슬라이더 통합 패드들을 가짐 -를 포함하는 디스크 드라이브.
- 제 4 항에 있어서,상기 슬라이더는 리딩 에지 및 트레일링 에지를 더 포함하고, 상기 슬라이더 통합 패드들의 제 1 그룹은 상기 슬라이더의 트레일링 에지 근처에 위치되는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브.
- 베이스;상기 베이스에 회전식으로 부착되고 상부에 제 1 경도를 갖는 오버코트 물질을 구비한 디스크; 및공기 베어링 표면 및 트레일링 에지를 갖는 슬라이더를 구비한 액추에이터 - 상기 공기 베어링 표면에는 상기 제 1 경도보다 더 큰 제 2 경도를 갖는 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드가 제공되고, 상기 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드는 상기 슬라이더의 트레일링 에지 근처의 상기 공기 베어링 표면에 위치되며, 상기 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드는 SiC로부터 형성된 팁(tip)을 포함하고, 상기 디스크 상의 오버코트는 상기 디스크의 표면에 스퍼터링되는 탄소로 형성됨 -를 포함하는 디스크 드라이브.
- 베이스;상기 베이스에 회전식으로 부착되고 상부에 제 1 경도를 갖는 오버코트 물질을 구비한 디스크; 및공기 베어링 표면 및 트레일링 에지를 갖는 슬라이더를 구비한 액추에이터 - 상기 공기 베어링 표면에는 상기 제 1 경도보다 더 큰 제 2 경도를 갖는 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드가 제공되고, 상기 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드는 상기 슬라이더의 트레일링 에지 근처의 상기 공기 베어링 표면에 위치되며, 상기 적어도 하나의 슬라이더 통합 패드는 SiC로부터 형성된 팁을 포함하고, 상기 디스크 상의 오버코트는 바이어스 전압의 존재하에서 상기 디스크의 표면에 증착되는 탄소로 형성됨 -를 포함하는 디스크 드라이브.
- 특정 경도를 가진 인터페이스 표면과 인터페이스하도록 적응되는 디스크 드라이브용 슬라이더로서,리딩 에지;트레일링 에지'상기 슬라이더의 상기 리딩 에지와 상기 트레일링 에지 사이에 위치된 공기 베어링 표면; 및제 1 그룹과 제 2 그룹을 더 포함하는 다수의 슬라이더 통합 패드들 - 상기 제 1 그룹은 상기 인터페이스 표면의 경도보다 더 큰 제 1 경도를 갖고, 상기 제 2 그룹은 상기 제 1 경도와 상이한 제 2 경도를 가짐 -을 포함하는 디스크 드라이브용 슬라이더.
- 제 8 항에 있어서,상기 인터페이스 표면의 경도보다 더 큰 경도를 갖는 상기 슬라이더 통합 패드들은 상기 슬라이더의 상기 트레일링 에지 근처에 위치되는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브용 슬라이더.
- 제 8 항에 있어서,상기 인터페이스 표면의 경도보다 더 큰 경도를 갖는 상기 슬라이더 통합 패드들은 상기 슬라이더의 상기 트레일링 에지 근처에 위치되어, 상기 슬라이더의 트레일링 에지 근처의 상기 슬라이더 통합 패드들은 덜 단단한 슬라이더 통합 패드들보다 덜 마모되는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브용 슬라이더.
- 제 8 항에 있어서,상기 인터페이스 표면의 경도보다 더 큰 경도를 갖는 상기 슬라이더 통합 패드들은 SiC 및 SiN으로 이루어진 그룹에서 선택되는 물질로부터 형성되는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브용 슬라이더.
- 제 8 항에 있어서,상기 인터페이스 표면의 경도보다 더 큰 경도를 갖는 상기 슬라이더 통합 패드들은 SiC로 형성되는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브용 슬라이더.
- 리딩 에지, 트레일링 에지, 및 공기 베어링 표면을 갖는 슬라이더를 형성하는 방법으로서,(a) 제 1 경도를 갖는 제 1 세트의 슬라이더 통합 패드들을 형성하는 단계; 및(b) 상기 제 1 경도와 상이한 제 2 경도를 갖는 제 2 세트의 슬라이더 통합 패드들을 형성하는 단계를 포함하는 슬라이더 형성 방법.
- 제 13 항에 있어서,상기 제 1 세트의 슬라이더 통합 패드들 중 보다 단단한 슬라이더 통합 패드들 또는 상기 제 2 세트의 슬라이더 통합 패드들 중 보다 단단한 슬라이더 통합 패드들은 상기 슬라이더의 트레일링 에지 근처에 형성되는 것을 특징으로 하는 슬라이더 형성 방법.
- 제 13 항에 있어서,상기 형성 단계 (a)는,(a)(i) 상기 제 1 세트의 슬라이더 통합 패드들을 형성하기 위한 개구부들의 어레이를 포함하는 마스크를 제공하는 단계; 및(a)(ii) 상기 제 1 세트의 슬라이더 통합 패드들을 형성하기 위해 상기 마스크 상에서 상기 마스크 내의 개구부들을 통해 물질을 증착하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬라이더 형성 방법.
- 제 15 항에 있어서,상기 형성 단계 (b)는,(b)(i) 상기 제 2 세트의 슬라이더 통합 패드들을 형성하기 위한 개구부들의 어레이를 포함하는 마스크를 제공하는 단계 - 상기 마스크는 상기 제 1 세트의 슬라이더 통합 패드들을 커버함 -;(b)(ii) 상기 제 2 세트의 슬라이더 통합 패드들을 형성하기 위해 상기 마스크 상에서 상기 마스크 내의 개구부들을 통해 물질을 증착하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬라이더 형성 방법.
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|---|---|---|---|---|
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| US6654206B2 (en) | 2000-07-13 | 2003-11-25 | Seagate Technology Llc | Disc head slider with intermittent contact protection feature |
| US6937419B2 (en) * | 2003-03-10 | 2005-08-30 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method and apparatus for recovering load/unload zone real estate on data storage media in data storage devices to increase a data storage capacity thereof |
| US7455332B2 (en) * | 2005-11-16 | 2008-11-25 | Sae Magnetics (Hk) Ltd. | Method for controlling overcoat recession in a magnetic thin film head |
| JP2007189212A (ja) * | 2005-12-14 | 2007-07-26 | Denso Corp | 熱伝導部材およびその製造方法 |
| US20100020445A1 (en) * | 2008-07-25 | 2010-01-28 | Brian Thornton | Operational-shock performance in a disk drive by maintaining servo signal |
| US8174794B2 (en) * | 2008-11-26 | 2012-05-08 | Hitachi Global Storage Technologies, Netherlands B.V. | Slider having a lubricant-accumulation barrier including a plurality of lubricant-accumulation-barrier portions |
| US8169744B2 (en) * | 2008-11-26 | 2012-05-01 | Hitachi Global Storage Technologies, Netherlands B.V. | Slider having a lubricant-accumulation barrier |
| US20140268427A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Nhk Spring Co., Ltd | Head gimbal assembly with diamond-like coating (dlc) at tongue/dimple interface to reduce friction and fretting wear |
| US9940960B2 (en) * | 2016-05-24 | 2018-04-10 | Sae Magnetics (Hk) Ltd. | Air-bearing design for hydrocarbon and lube pick-up improvements in hard disk drive (HDD) |
| CN113470700A (zh) * | 2021-06-04 | 2021-10-01 | 杭州欧彬科技有限公司 | 一种基于磁盘转动防止磁头磨损的辅助装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5768055A (en) * | 1996-09-19 | 1998-06-16 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Magnetic recording head having a carbon overcoat array on slider air bearings surfaces |
| US5793568A (en) * | 1995-03-21 | 1998-08-11 | International Business Machines Corporation | Air bearing slider deflection apparatus and method for fabricating same |
| US5841608A (en) * | 1994-08-30 | 1998-11-24 | Fujitsu Limited | Head slider with projections arranged on rails thereof |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0202343B1 (en) | 1984-12-03 | 1992-11-11 | Olympus Optical Co., Ltd. | Vertical magnetic head |
| JPH0719424B2 (ja) | 1986-05-28 | 1995-03-06 | 帝人株式会社 | 磁気ディスク装置 |
| EP0263512B1 (en) | 1986-10-09 | 1994-06-01 | Asahi Glass Company Ltd. | Glass substrate for a magnetic disc and process for its production |
| US5162962A (en) | 1988-03-29 | 1992-11-10 | Kao Corporation | Magnetic recording apparatus having reduced friction sliding parts |
| US4837923A (en) | 1988-04-29 | 1989-06-13 | Magnetic Peripherals Inc. | Surface finishing for magnetic transducers |
| US5034828A (en) * | 1989-04-07 | 1991-07-23 | Unisys Corp. | Slider with piezo-boss |
| US5079657A (en) * | 1990-02-15 | 1992-01-07 | Applied Magnetics Corporation | Textured air bearing surface |
| US5557448A (en) | 1994-06-28 | 1996-09-17 | Ricoh Company, Ltd. | Optical scanner |
| JP3058046B2 (ja) | 1995-03-24 | 2000-07-04 | 日本電気株式会社 | 磁気ディスク装置 |
| JP3426082B2 (ja) * | 1996-04-26 | 2003-07-14 | 富士通株式会社 | 磁気ヘッド用スライダ及び磁気ディスク装置 |
| US5670253A (en) | 1995-12-20 | 1997-09-23 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Ceramic wafers and thin film magnetic heads |
| JP2814975B2 (ja) | 1996-01-16 | 1998-10-27 | 日本電気株式会社 | 磁気ヘッド及び磁気ディスク装置 |
| JP3647961B2 (ja) | 1996-03-05 | 2005-05-18 | 富士通株式会社 | 磁気ヘッド用スライダ及び磁気記録装置 |
| JP2803651B2 (ja) | 1996-04-19 | 1998-09-24 | 日本電気株式会社 | 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 |
| US5870251A (en) * | 1997-04-14 | 1999-02-09 | Seagate Technology, Inc. | Taperless/crown free/air bearing design |
| GB2342764B (en) * | 1997-06-27 | 2002-02-27 | Seagate Technology | Slider for disc storage system |
| JPH1186483A (ja) * | 1997-09-04 | 1999-03-30 | Fujitsu Ltd | ヘッドスライダ及びディスク装置 |
| US6215621B1 (en) * | 1997-11-07 | 2001-04-10 | Seagate Technology Llc | Multi-tier bearing with deposited tier |
| US6188547B1 (en) * | 1998-06-04 | 2001-02-13 | Seagate Technology Llc | Slider with pressure relief trenches |
| US6236543B1 (en) * | 1999-01-29 | 2001-05-22 | Read-Rite Corporation | Durable landing pads for an air-bearing slider |
-
2000
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Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5841608A (en) * | 1994-08-30 | 1998-11-24 | Fujitsu Limited | Head slider with projections arranged on rails thereof |
| US5793568A (en) * | 1995-03-21 | 1998-08-11 | International Business Machines Corporation | Air bearing slider deflection apparatus and method for fabricating same |
| US5768055A (en) * | 1996-09-19 | 1998-06-16 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Magnetic recording head having a carbon overcoat array on slider air bearings surfaces |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2369716B (en) | 2003-10-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20100729 Year of fee payment: 4 |
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| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |