JPH0612808A - データ記録ディスク・ファイルおよび変換器アセンブリ - Google Patents

データ記録ディスク・ファイルおよび変換器アセンブリ

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JPH0612808A
JPH0612808A JP5084340A JP8434093A JPH0612808A JP H0612808 A JPH0612808 A JP H0612808A JP 5084340 A JP5084340 A JP 5084340A JP 8434093 A JP8434093 A JP 8434093A JP H0612808 A JPH0612808 A JP H0612808A
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アンドリュー・マリアン・ホーモラ
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  • Techniques For Improving Reliability Of Storages (AREA)
  • Vehicle Body Suspensions (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 スティクションを最小にし、ディスクからの
潤滑剤の消耗を最小にする改良されたヘッド/ディスク
界面を有する液体軸受式データ記録ディスク・ファイル
の提供。 【構成】 新規な性質をもつ変換器キャリア100によ
って提供される改良されたヘッド/ディスク界面を備え
る。キャリアは、従来型のヘッド109を支持する。キ
ャリアは、その前端近くにある空気軸受面と、その後端
近くにあるスキー・パッド118と、ディスク・ファイ
ルが作動していないときに空気軸受面レール110、1
12をディスクの液体被膜から離して支持する複数のス
キー脚またはストラット120、122とを有する。作
動速度に達すると、空気軸受がストラットをディスクか
ら持ち上げて離し、後部スキー・パッドが液体被膜上の
唯一のスキー脚となる。後部スキー・パッドは、その凸
形の前縁124がその後縁130より広い。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ヘッド・キャリアまた
は変換器キャリア及びディスク表面上の液体潤滑剤によ
って新規な形式のヘッド/ディスク界面がもたらされ
る、液体軸受式ディスク・ファイルと呼ばれる形式のデ
ータ記録用ディスク・ファイルに関し、さらに詳しく
は、ヘッド/ディスク界面に改良された変換器キャリア
を有する液体軸受式ディスク・ファイルに関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】ディスク・ファイルは、ディスク駆動機
構とも呼ばれ、情報を格納する同心データ・トラックを
有する回転可能ディスクと、データを様々なトラックか
ら読み取りそこに書き込むためのヘッドまたは変換器
と、ヘッド用キャリアに連結され、ヘッドを所望のトラ
ックに移動し、読取りまたは書込み操作中にトラック中
心線上に維持するためのアクチュエータとを利用する、
情報記憶装置である。一般に、複数のディスクがスペー
サ・リングで分離され、ディスク駆動機構のモータで回
転するハブの上に積み重ねられている。ハウジングは、
駆動機構のモータとヘッド・アクチュエータを支持し、
ヘッドとディスクを囲んで、ヘッド/ディスク界面に対
し実質的に密封された環境を提供する。従来の磁気記録
ディスク・ファイルでは、ヘッド・キャリアは、ディス
ク表面の上の空気軸受上に乗った空気軸受式スライダで
ある。このスライダは、スライダをアクチュエータに連
結するサスペンションからの小さな力によって、ディス
ク表面に接して維持され、始動操作及び停止操作中にデ
ィスクの回転速度が空気軸受を維持するのに不十分なと
き、ディスクと接触するようになっている。ディスク・
ファイルの始動中及び停止中にヘッド及びディスクに対
する損傷を防止するために、ディスク表面に潤滑剤が必
要である。
【0003】いくつかの参考文献に、磁気記録ディスク
・ファイルにおける従来の空気軸受式ヘッド/ディスク
界面に対する可能な代替物として、様々な形式のヘッド
・キャリア及び液体軸受が記載されている。本出願人の
米国特許第2969435号では、大きな平坦表面を有
するそり型の変換器キャリアがディスク上のオイル層の
上に乗っており、このオイルはディスク・ファイルの外
部のオイル・タンクから供給され、キャリアの前にある
ノズルから排出される。1988年10月31日に出願
され、また欧州特許出願公告第367510号として1
990年5月9日に公告された、本出願人の係属中の米
国特許出願第264604号(特願平1−240894
号)では、ディスク・ファイルは、ディスク上に比較的
厚い層として維持される、たえず循環する低粘性の液体
潤滑剤と、低粘性の液体層中をプラウ式に進むための三
角形の脚を有する変換器キャリアとを利用している。上
記の欧州特許出願では、ディスク・ファイルが完全に密
封されて空気が存在しない場合には、蒸気圧の低い潤滑
剤が蒸発することができ、そのため必要とされる潤滑剤
の再循環を留出によって行うことができると提唱してい
る。
【0004】もっと最近では、本出願人の同時係属の米
国特許出願第724646号(特願平4−140193
号)及び同第724696号(特願平4−140189
号)に、再循環しない高粘性の潤滑剤被膜がディスク上
に維持されており、特別に適合されたスキー脚をもつ変
換器キャリアが、ディスクの回転時に液体被膜上を滑る
ようになった、液体軸受式ディスク・ファイル及び変換
器キャリアが記載されている。これらの特許出願に記載
の変換器キャリアは、修正3レール式空気軸受スライダ
であり、これは、各外側レール上に形成された1本の前
部スキー脚と中央レール上に形成された1本の後部スキ
ー脚を有し、これら3本のスキー脚の端部は同一平面上
にある。ディスク・ファイルが作動速度に達すると、前
部スキー脚はスライダ・レールの空気軸受効果によって
液体被膜の上に持ち上げられ、液体で潤滑された後部ス
キー脚は液体被膜上を滑る。
【0005】スキー滑走式変換器キャリアを有する改良
された液体軸受式ディスク・ファイルの開発者たちは、
いくつかの課題に直面している。液体軸受式ディスク・
ファイルは一般に空気軸受式ディスク・ファイルより多
量の遊離の潤滑剤を有し、かつより滑らかなので、キャ
リアは静止摩擦(スティクション)の低いヘッド/ディ
スク界面を提供しなければならない。また、ディスクか
らの潤滑剤の消耗が最小になるようにキャリアを設計し
なければならない。さらに、キャリアは、様々なディス
ク半径で生ずる、キャリアとディスクの相対速度の広い
範囲全体にわたって十分に作動できなければならない。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、ステ
ィクションを最小にし、ディスクからの潤滑剤の消耗を
最小にし、変換器キャリアが広い速度範囲にわたってス
キー滑走できるようにする、改良されたヘッド/ディス
ク界面を有する液体軸受式データ記録ディスク・ファイ
ルを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、部分的に新し
い特性をもつ変換器キャリアによって提供される、改良
されたヘッド/ディスク界面を有する液体軸受式ディス
ク・ファイルである。キャリアは、その前端の近くに空
気軸受面を有し、後端の近くにスキー・パッドを有し、
ディスク・ファイルが作動していないときは、空気軸受
面をディスクの液体被膜から離して支持して、キャリア
に静的ピッチアップを与える、複数のスキー脚すなわち
ストラットを有する。空気軸受面は、後部スキー・パッ
ドの外部に位置する1対の空気軸受レールの形となって
いるので、キャリアの後方領域に、後部スキー・パッド
のスキー滑走作動を確保するための最小の空気軸受効果
しか生じない。作動速度に達すると、空気軸受はストラ
ットを持ち上げてディスクから離し、後部スキー・パッ
ドが液体被膜上の唯一のスキー脚となる。後部スキー・
パッドのスキー滑走機能は、キャリアの静的ピッチアッ
プ位置により、後部スキー・パッドとディスク上の液体
被膜の間の角度が浅いために容易になる。後部スキー・
パッドは凸形の前縁を有し、この前縁は後縁より幅が広
く、そのためにスキー滑走中のスティクション及び潤滑
剤の薄化が最小になる。パッドの前縁と後縁の間の角度
は、キャリアがディスクの内径から外径まで移動すると
きに生ずる、キャリアとディスクの相対速度(及び、そ
れに対応する、回転アクチュエータ・ディスク・ファイ
ルにおけるキャリアとディスク・トラックの接線との間
の傾き角)の広い範囲全体にわたってパッドがスキー滑
走できるように選択される。
【0008】
【実施例】スキー滑走式キャリアを備えた液体軸受式デ
ィスク・ファイル同時係属の特許出願に引用されたスキ
ー滑走式変換器キャリアを備える液体軸受式ディスク・
ファイルを、図1ないし図5に関して簡単に説明する。
【0009】図1は、液体軸受式ディスク・ファイルの
概略断面図を示す。このディスク・ファイルは、ディス
ク駆動モータ12及びアクチュエータ14を固定したベ
ース10と、カバー11を含む。ベース10とカバー1
1は、ディスク・ファイル用の実質上密封されたハウジ
ングを提供する。一般に、ベース10とカバー11との
間にガスケット13があり、ディスク・ファイル内部と
外部環境との間の圧力を均等化するための小さな通気口
(図示せず)がある。この形式のディスク・ファイル
は、駆動モータ12が完全にハウジング内に位置し、内
部構成部分を冷却するための外部強制空気供給はないの
で、実質上密封されているとして記述される。磁気記録
ディスク16は、駆動モータ12によって回転するよう
にハブ18に取り付けられ、ハブ18によって駆動モー
タ12に連結されている。読取り/書込みヘッドまたは
変換器(図示せず)が、変換器キャリア20上に形成さ
れている。変換器キャリア20が、剛性アーム22とサ
スペンション24によってアクチュエータ14に連結さ
れ、サスペンション24は、変換器キャリア20を記録
ディスク16の表面上に押しつけるバイアス力を提供す
る。ディスク・ファイルの作動中、駆動モータ12が一
定速度でディスク16を回転させ、一般に線形または回
転式のボイス・コイル・モータ(VCM)であるアクチ
ュエータ14が、変換器キャリア20を一般にディスク
16の表面を半径方向に横切って移動させて、読取り/
書込みヘッドがディスク16上の異なるデータ・トラッ
クにアクセスできるようにする。
【0010】図2は、カバー11を外したディスク・フ
ァイル内部の上面図であり、環状潤滑剤タンク30を示
している。タンク30は、ディスク16の表面上に液体
被膜を補充するための液体潤滑剤の供給源を保持する手
段として働く。比較的粘性の高い潤滑剤の薄い連続した
被膜がディスク16の表面上に維持され、作動中は潤滑
剤タンク30からの潤滑剤で補充される。図2はまた、
サスペンション24をさらに詳しく示している。サスペ
ンション24は、キャリア20に力を与えて、キャリア
をディスク16上の潤滑剤被膜と接触した状態に維持す
る。このサスペンションは、空気軸受スライダを有する
磁気ディスク・ファイルで使用されるような、従来型の
サスペンションでよい。1例として引用によって本明細
書に組み込む、本出願人の米国特許第4167765号
に記載されている、周知のワトラス・サスペンションが
ある。この形式のサスペンションは、キャリアが液体潤
滑剤被膜上に乗ったときに縦揺れ横揺れができるように
する、変換器キャリアのジンバル式アタッチメントをも
提供する。
【0011】環状潤滑剤タンク30を、図3に詳しく示
す。タンク30は、ディスク・スタック中に複数のディ
スクを有するディスク・ファイル内のディスク・スペー
サとしても機能できる。タンク30は、焼結ステンレス
鋼などの多孔質の焼結金属から機械加工したリングすな
わち環32を含む。その後、環32の外面を、金などの
材料の電気めっき、またはニッケル被膜の無電解めっき
によって完全に密封して、焼結ステンレス鋼を囲む被膜
34を形成する。次いで金またはニッケルの表面被膜3
4中に開口36を形成して、タンクを開封し、内部に貯
蔵された潤滑剤を逃がす手段を形成する。これは、表面
被膜34上にいくつかの、例えば典型的には4個の小領
域を、エッチング、アブレーション、または静電放電加
工によって機械加工し、これらの領域に開口36または
細孔を作ることによって達成される。次いでタンクを真
空状態にし、潤滑剤に浸し、僅かに加熱して潤滑剤の充
填速度を増大させて、タンクを潤滑剤で満たす。開口3
6の個数と寸法は、ディスク・ファイルの作動中の制御
された潤滑剤逸出量が所望の量になるように選定する。
この量は、潤滑剤がディスクから離れる速度に合致する
ように設計される。環32を、ハブ18上のスタック中
で支持された複数のディスクを有するディスク・ファイ
ル中でスペーサ・リングとしても機能するように設計す
るときは、スペーサ・リングのディスクと接触する部分
により近い位置に開口36を置いて、選択された開口を
対応するディスク表面の1つと結合させてもよい。開口
36の寸法の他に、潤滑剤のディスクを離れる速度に影
響を及ぼす要素としては、ディスクの平滑度、ディスク
回転速度、潤滑剤の粘性、及びキャリアの設計がある。
ディスクが回転していないときは、環32の多孔質スポ
ンジ状材料の毛管作用によって、液体はタンク内に保持
される。
【0012】特定の形式の潤滑剤タンクまたは潤滑剤保
持手段は本発明に含まれないが、多くの代替タンクが可
能である。例えば、ディスク・ファイルの全作動時間が
比較的短い(例えば数カ月)ある種の応用例では、潤滑
剤を保持する手段は、ディスク内径近くのディスク上の
無データ・バンドまたは領域でよい。正常なディスク潤
滑過程中には、ディスクの無データ・バンドも潤滑され
るので、無データ・バンドは液体被膜の補充用の追加の
潤滑剤供給源を含む。この特定の応用例用の実施例で
は、比較的高粘性の潤滑剤を使用して減損速度をいくら
か減らすことが望ましいこともあり得る。
【0013】図4は、本出願人の同時係属の米国特許出
願第724696号に記載の、変換器キャリア20を示
す。スキー脚40、42、44が、本出願人の米国特許
第4894740号に記載されているような、従来型の
3レール式空気軸受スライダ上に形成されている。スキ
ー脚40、42、44はそれぞれ、好ましくは、イオン
・ミリングによって、または反応性イオン・エッチング
手段もしくはその他のエッチング手段によって、レール
の材料を数千オングストロームだけエッチングすること
によって、レール50、51、52の従来型の底面上に
形成されている。この結果、スライダの新たに画定され
たレールから外側に突き出したレールの残りの外側部分
がスキー脚となり、スキー脚の各端部は基本的に同一平
面上にある。イオン・ミリングは、スキー脚がやや先細
になってレールの外表面から離れるように実施する。こ
の先細のスキー脚によって、変換器キャリアは、ディス
ク上の比較的高粘性の潤滑剤被膜の上面を実際にスキー
滑走できるようになる。
【0014】変換器キャリアと潤滑剤被膜を備えるディ
スクの間の界面を図5に示す。好ましい実施例では、デ
ィスク16は、その上部固形部分として従来型の無定形
炭素保護被膜60を有し、この被膜の厚さは通常約25
0オングストロームである。従来型のコバルト合金スパ
ッタ付着磁気被膜などの磁気層62が、炭素保護膜60
の下に位置する。液体潤滑剤が炭素保護膜60の上面に
被膜64として付着され、その厚さは約20〜100オ
ングストロームであることが好ましい。1本のスキー脚
40の一部分が、潤滑剤被膜64上に支持されているも
のとして示してある。スキー脚40の一端は直径約10
0ミクロンであり、約4000オングストロームのエッ
チ深さまで約10度の角度で先細になっている。変換器
46(図4)は、スキー脚44の端部でキャリア20の
後縁上に支持され、こうして記録ディスクの上面からほ
ぼ潤滑剤の厚さ(例えば、20〜100オングストロー
ム)の間隔の所に維持される。ディスク・ファイルの作
動中、サスペンション24(図2)は、スキー脚40、
42、44を液体潤滑剤被膜64に強制的に接触させる
力をキャリア20上に維持する。液体潤滑剤被膜は基本
的に非圧縮性なので、キャリア20とディスク16の間
のスペーサ層として働く。スキー脚40の端部とディス
クの間の角度が比較的小さい(図5では10度)ため、
キャリアのスキー滑走能力が向上する。というのは、こ
の角度ではディスク・ファイルの始動中にスキー脚40
の端部の下を通過する潤滑剤に対する障害が少なくなる
からである。ディスク・ファイルが作動速度に達する
と、空気軸受レール50、51がスキー脚40、42に
液体被膜を持ち上げて離れさせ、一方、サスペンション
はスキー脚44を液体被膜と接触して滑走するように維
持する。
【0015】本発明の滑走式キャリアを備えた液体軸受
式ディスク・ファイル 図6、7に、改良されたスキー滑走式変換器キャリア1
00を示す。キャリア100は、ディスク側面102、
裏面104、前端106、及び終端108を有する。デ
ータをディスクから読み取りディスクに書き込むための
従来型の薄膜ヘッドなどの変換器109が、キャリア1
00の終端108上に形成されている。ヘッド109
は、当技術分野で周知の薄膜付着技術によって形成し
た、誘導読み書き変換器または磁気抵抗(MR)式読取
り変換器付き誘導書込み変換器でよい。空気軸受面が、
キャリア100のディスク側面102上に1対のレール
110、112の形で設けられており、各レールはそれ
ぞれ前部テーパ114、116を有する。また、ディス
ク側面102上の終端108の近くには、ディスク15
0上に維持された液体被膜146上をスキー滑走するた
めのスキー滑走面を提供する、スキー脚すなわちパッド
118も位置している(図7)。図7に示すように、ス
キー・パッド118のスキー滑走面は、基本的にレール
110、112の空気軸受面と共平面になっている。1
対の前部スキー脚またはストラット120、122が、
テーパ114、116の後端近くで空気軸受レール11
0、112から延びている。図7に示すように、ストラ
ット120、122は、キャリア100がディスク15
0表面上に静止しているとき、キャリア100の静的ピ
ッチアップ位置を提供する。すなわち、静止していると
きは、レール110、112の空気軸受面は、基本的に
ディスク150上の液体被膜146と接触しない状態に
維持され、これによって、キャリア/ディスク界面にお
ける摩擦が最小になる。ストラット120、122によ
るキャリアの静的ピッチアップはまた、スキー・パッド
118とディスク上の液体被膜146との間で浅い角度
を画定し、この角度が、図5に関して述べたような形で
スキー・パッドのスキー滑走機能を促進する。さらに、
ストラットの端部は、スキー・パッド表面と平行な平面
内にあり、共平面ではないので、液体被膜との間で浅い
角度を画定する。空気軸受レール110、112の寸法
は、ディスク・ファイルの作動速度範囲の下限で懸垂荷
重の約80%が空気軸受によって支えられ、残りの荷重
はスキー・パッド118によって支えられるように選択
する。したがって、作動速度のとき、キャリア100の
前端とストラット120、122は、液体被膜146と
接触しない状態に維持され、後部スキー・パッド118
は、基本的に図7に示すような形で液体被膜146上を
スキー滑走する。キャリア100の後部領域では空気軸
受レールがないために大きなエアリフトがないので、ス
キー・パッド118は、広い速度範囲にわたってディス
ク150上の液体被膜146と接触した状態に維持され
る。これによって、変換器109がディスク150上の
磁気層に対して狭い間隔に維持される。
【0016】スキー・パッド118は、その前縁124
がその後縁130より幅が広くなっている。したがっ
て、スキー・パッド118の側部126、128は、ス
ライダの長さに対して斜めになっている。好ましい実施
例では、側部126、128は、スライダの長さに対し
て約20度の角度をなしている。後部スキー・パッド1
18の前部をその後部より広くすることによって、スキ
ー・パッド118がプラウ式に作動することが妨げら
れ、スキー・パッド118の下のディスク150が動く
結果生じる潤滑剤の減損を最小限に抑える。またこれに
よって抗力が低く維持され、パッド118の下の潤滑剤
の薄化が最小限になる。回転アクチュエータを有するデ
ィスク・ファイルでは、スライダの長さは、ただ1つの
トラック位置でディスクに接する。例えば、市販の1つ
の2.5インチ・ディスク・ドライブでは、スライダは
内径(ID)で約−4度、外径(OD)で+17度傾い
ている。スキー・パッド118の側部126、128の
角度を、最大絶対斜角より大きく、例えば約20度にす
ることによって、キャリアがディスク内径からディスク
外径へと動くとき、スキー・パッドがディスク・ファイ
ルの完全な作動角範囲にわたってプラウ式に作動しない
ようになる。このため、キャリア110はディスク内径
からディスク外径まで動く間に経験するキャリアとディ
スクの相対速度の全範囲にわたって適切にスキー滑走で
きるようになる。
【0017】スキー・パッド118の前縁124は、直
線状の後縁130の幅程度の曲率半径をもつ基本的に凸
形の湾曲を有する。前縁124の形状の局部的凸形が、
図7に示すようにキャリア100の前部がディスク15
0の表面から離されていることとあいまって、プラウ作
動を最小限にし、ディスク上のパッド118の両側に散
らばる破片を案内する。
【0018】本発明の後部スキー・パッドの設計を用い
ると、ある種のディスク・ファイルの応用例では潤滑剤
タンクをなくすことが可能であると判断された。ある試
験では、いくつかの液体軸受式ディスク・ファイルを、
どんな種類の潤滑剤タンクもつけず、図4に示すような
変換器キャリアをつけて組み立てたが、後部スキー・パ
ッド44が図6のスキー・パッド118の形状をもつよ
うに修正した。これらのファイルは、たまたまの始動・
停止や摩耗検査のための断続的な分解があったのみで、
5カ月間以上連続して稼働した。摩耗は観察されず、フ
ァイルは引き続き稼働している。このように、非常に長
い時間が必要なディスク・ファイルの応用例では、ディ
スク上に液体被膜を維持する何らかの手段が必要になる
が、作動時間が非常に短い応用例では、本発明の変換器
キャリアを用いると潤滑剤タンクが不要になる。したが
って、このようなディスク・ファイルは構造が比較的簡
単で安価である。
【0019】図8及び図9に、ストラット120、12
2が、図6の実施例のようにレール上にあるのではな
く、空気軸受表面レール110、112の内側または外
側にある、キャリアの他の実施例を示す。これらの実施
例では、ストラット120、122は、キャリアのディ
スク側面102から直接延びている。これらの実施例
は、ストラット120、122がレール110、112
上に形成されていないために空気軸受の性能に対する影
響がなくなるという利点がある。さらに、ディスク・フ
ァイルの始動及び停止時に、ストラット近くのレール上
に潤滑剤が蓄積しないので、摩擦が減少する。
【0020】図10及び図11に、図6及び図8、図9
のキャリアの代替実施例を示す。この場合、キャリアが
3個または4個のストラットを備え、ディスク・ファイ
ルが稼働していないときに、スキー・パッド118をデ
ィスク上の潤滑剤被膜と接触しない状態に維持する。図
10及び図11で、ストラット132、134は、キャ
リアの重心の後方のディスク側面102上に形成されて
いる。キャリアがディスク・ファイル内で停止している
ときは、キャリアは図10のストラット132、134
並びに単一前部ストラット136上に、または図11の
2つの前部ストラット138、140上に乗っている。
ディスク・ファイルの始動時に、変換器キャリアは最初
は3個または4個のストラットすべての上をスキー滑走
し、次いでレール110、112によって形成される空
気軸受リフトによって後部ストラット132、134の
周りを回転する。全作動速度のとき、キャリアは回転し
てスキー・パッド118上に乗り、すべてのストラット
はディスク上の液体被膜と接触しない状態に維持され
る。図10の実施例に勝る図11の実施例の利点は、図
11のキャリアでは、キャリア前端106とスキー・パ
ッド118の間の経路内に直接にストラットがないの
で、始動時及び停止時におけるスプレイによる後部スキ
ー・パッド118上での潤滑剤の蓄積がなくなる。
【0021】本発明のスキー滑走式キャリアの製造方法 スキー滑走式変換器キャリアの好ましい製造方法を、図
8に示すキャリアを製造するステップを示す図12ない
し図17を参照して説明する。図12ないし図17は、
ストラット120、122と交差する断面で切ったキャ
リアの断面図である。
【0022】図12では、多層保護膜172がキャリア
本体170上にスパッタ付着されている。キャリア本体
170は、一般に通常の炭化チタン(TiC)とアルミ
ナ(Al23)のセラミック混合物から形成される。保
護膜172は、キャリア本体170上にスパッタ付着さ
れた第1の50オングストロームのシリコン(Si)
層、続いて150オングストロームの非晶質水素化炭素
(H:C)、50オングストロームのSi、最後に20
00オングストロームの水素化炭素層から成る。最後の
2000オングストロームの水素化炭素層を主要部分と
する保護膜は基本的に、最終的にはストラット120、
122を形成する炭素である。次に、リストン銘柄のポ
リメタクリル酸メチル(PMMA)などのフォトレジス
ト層を、保護膜172の上面に約0.08ミリメートル
の厚さに圧延する。次いで、空気軸受レール110、1
12、後部スキー・パッド118、及びストラット12
0、122に対応するパターンを画定する適当なマスク
を通して、フォトレジストを露光させる。現像して未露
光のフォトレジストを除去した後、キャリアは図13に
示すようになり、空気軸受レール110、112、後部
スキー・パッド118、及びストラット120、122
が最終的に形成されることになる領域で、フォトレジス
ト領域が保護膜172の上に残る。ストラット120、
122が形成される領域の上を覆うフォトレジスト領域
は、図13ではフォトレジスト・アイランド174、1
76として識別される。次いで、酸素プラズマ・エッチ
ングまたはアッシング工程を実施して、フォトレジスト
で保護されていない領域のSi−C多層保護膜を除去す
る。その後、反応性イオン・エッチング工程を実施し
て、ディスク側面102の深さまでキャリア本体170
をエッチングによって除去し、空気軸受レール110、
112と後部スキー・パッド118を画定する。その結
果を図14に示す。次に、残ったフォトレジストを除去
して、第2のフォトレジスト層を付着し、露光し、現像
し、図15に示すようにストラット120、122の真
上にフォトレジスト・アイランド178を残す。続いて
アッシング工程によって、図16に示すように、フォト
レジストで保護されていない領域から残りのSi−C多
層保護膜を除去して、レール110、112を画定す
る。最後に、図17に示すように、残りのフォトレジス
ト層178を除去すると、キャリア本体170から形成
されたキャリアが完成し、空気軸受レール110、11
2と、Si−C多層保護膜から形成され、レール11
0、112を越えてスパッタ付着Si−C保護膜の厚さ
の約2150オングストロームだけ延びるストラット1
20、122とを有する。図16及び図17の断面図に
は示されていないが、後部スキー・パッド118もこの
工程中に形成され、そのスキー滑走面はレール110、
112の空気軸受面と共平面として形成される。
【0023】実験結果 図8に示す変換器キャリアは、上記の工程によって製造
したもので、炭素製のストラット120、122が、デ
ィスク側面102からレール110、112の空気軸受
面を越えて約1400オングストロームだけ延びる。こ
のキャリアを、コバルト/白金/クロム磁気層と厚さ1
50オングストロームの炭素保護膜を有する2.5イン
チの被膜ディスク上で試験した。従来のペルフルオロポ
リエーテル潤滑剤(デムナム銘柄SP)を浸せきによっ
て塗布し、炭素保護膜上に厚さ約40オングストローム
の液体被膜を形成した。サスペンションによってキャリ
アにかかる荷重は、4〜6gの範囲であった。ストラッ
ト120、122がディスクを持ち上げて離す速度は、
毎秒約3〜4mの範囲であった。後部スキー・パッド1
18は、測定によれば、この速度から毎秒約15〜20
mまでの範囲にわたって、液体被膜と接触していた。静
止摩擦の測定結果は約5gであり、抗力は、毎秒5.5
〜11mのファイル作動速度の範囲全体にわたって約
0.1〜0.4gであった。これらの値は共に、ディス
ク・ファイルにおける動作上の問題を防止するのに十分
であった。潤滑剤の厚さを、ディスク・ファイルのトラ
ック追従動作中の動作時間の関数として測定した。測定
によれば、約40オングストロームの初期潤滑剤厚さか
ら出発して、潤滑剤の減損は、トラック追従の2日後に
5オングストローム以下になった。
【図面の簡単な説明】
【図1】液体軸受式ディスク・ファイルの概略断面図で
ある。
【図2】図1に概略的に示したディスク・ファイルの開
放上面図である。
【図3】液体軸受式ディスク・ファイルで使用される形
式の、スペーサ・リング潤滑剤タンクの部分切開斜視図
である。
【図4】スキー滑走面を有するように修正された空気軸
受スライダの底側またはディスク側の平面図である。
【図5】スキー滑走式変換器キャリアを有する、液体軸
受式ディスク・ファイルのキャリア/ディスク界面の断
面図である。
【図6】本発明によるスキー滑走式変換器キャリアのデ
ィスク側の平面図である。
【図7】ディスク上の図6のキャリアの側面図である。
【図8】前部スキー脚またはストラットの代替位置を示
す、本発明によるスキー滑走式変換器キャリアの代替実
施例の平面図である。
【図9】前部スキー脚またはストラットの代替位置を示
す、本発明によるスキー滑走式変換器キャリアの代替実
施例の平面図である。
【図10】ディスク・ファイルが作動していないときに
キャリアを支持するための追加のスキー脚またはストラ
ットを示す、本発明によるスキー滑走式変換器キャリア
の代替実施例の図である。
【図11】ディスク・ファイルが作動していないときに
キャリアを支持するための追加のスキー脚またはストラ
ットを示す、本発明によるスキー滑走式変換器キャリア
の代替実施例の図である。
【図12】図8のキャリアを製造する際の順次ステップ
のうち最初のステップを示す、図8のスキー滑走式変換
器キャリアの断面図である。
【図13】図8のキャリアを製造する際の図12に続く
ステップを示す、図8のスキー滑走式変換器キャリアの
断面図である。
【図14】図8のキャリアを製造する際の図13に続く
ステップを示す、図8のスキー滑走式変換器キャリアの
断面図である。
【図15】図8のキャリアを製造する際の図14に続く
ステップを示す、図8のスキー滑走式変換器キャリアの
断面図である。
【図16】図8のキャリアを製造する際の図15に続く
ステップを示す、図8のスキー滑走式変換器キャリアの
断面図である。
【図17】図8のキャリアを製造する際の図16に続く
最後のステップを示す、図8のスキー滑走式変換器キャ
リアの断面図である。
【符号の説明】
10 ベース 11 カバー 12 ディスク駆動モータ 13 ガスケット 14 アクチュエータ 16 磁気記録ディスク 18 ハブ 20 変換器キャリア 22 剛性アーム 24 サスペンション 30 環状潤滑剤タンク 32 環 34 被膜 36 開口 40 スキー脚 42 スキー脚 44 スキー脚 50 レール 51 レール 52 レール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 モーリス・ムーサ・ドーヴェク アメリカ合衆国94566、カリフォルニア州 プレザントン、タイオガ・コート479 (72)発明者 ジョン・スチュアート・フォスター アメリカ合衆国95037、カリフォルニア州 モーガン・ヒル、オーク・レイン3461 (72)発明者 アンドリュー・マリアン・ホーモラ アメリカ合衆国95037、カリフォルニア州 モーガン・ヒル、ソレル・ウェイ16823 (72)発明者 ティモシー・クリストファー・オサリヴァ ン アメリカ合衆国95123、カリフォルニア州 サンノゼ、ロス・ピノス・ウェイ495

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】その上に液体被膜を有する少なくとも1枚
    のデータ・ディスクと、 前記ディスクに連結された、前記ディスクを回転させる
    ためのモータと、 データを前記ディスクに書き込みまたは前記ディスクか
    ら読み取るための変換器と、 ディスク側面、前端、及び後端を有し、該ディスク側面
    上の前端近くにある空気軸受面と、前記ディスク側面上
    の後端近くにあってその前縁がその後縁より幅の広い形
    状をもつ液体軸受スキー滑走面と、前記ディスクが回転
    していないときに前記空気軸受面を前記ディスクから離
    して支持する複数のストラットとを備える、変換器キャ
    リアと、 一般に半径方向に前記ディスクを横切って前記キャリア
    を移動させて、前記変換器が前記ディスク上の異なるデ
    ータ領域にアクセスできるようにする、アクチュエータ
    と、 前記キャリアを前記アクチュエータに連結して、前記デ
    ィスクの回転中に前記キャリアの前記スキー滑走面を前
    記ディスク上の前記液体被膜に接触させるようにする手
    段と、 前記モータ及び前記アクチュエータを支持する手段とを
    含む、データ記録ディスク・ファイル。
  2. 【請求項2】さらに、液体を前記ディスクに供給して、
    前記ディスク上に液体被膜を維持する手段を含む、請求
    項1に記載のデータ記録ディスク・ファイル。
  3. 【請求項3】液体軸受式ヘッド/ディスク界面を利用す
    るデータ記録ディスク・ファイル用の変換器アセンブリ
    であって、 ディスク側面、前端、及び後端を有し、該ディスク側面
    上の前端近くにある空気軸受面と、前記ディスク側面上
    の後端近くにあってその前縁がその後縁より幅が広い形
    状をもつ液体軸受スキー滑走面と、前記ディスクが回転
    していないときに前記空気軸受面を前記ディスクから離
    して支持する複数のストラットとを備える、変換器キャ
    リアと、 前記キャリア上の前記キャリア後端近くに位置する、デ
    ータを前記ディスクから読み取りまたは前記ディスクに
    書き込むための変換器とを含む、変換器アセンブリ。
  4. 【請求項4】前記キャリア前端と前記液体軸受スキー滑
    走面の間の前記キャリア・ディスク側面上に空気軸受面
    の一部分が位置することを特徴とする、請求項3に記載
    の変換器アセンブリ。
  5. 【請求項5】前記空気軸受面上にストラットが位置する
    ことを特徴とする、請求項3に記載の変換器アセンブ
    リ。
  6. 【請求項6】液体軸受スキー滑走面の外側にストラット
    が位置し、前記スキー滑走面と前記前端の間にはストラ
    ットが位置しないことを特徴とする、請求項3に記載の
    変換器アセンブリ。
  7. 【請求項7】前記空気軸受面が2本の空気軸受レールを
    備え、各レールが前記液体軸受スキー滑走面の外側に間
    隔をおいて配置されることを特徴とする、請求項3に記
    載の変換器アセンブリ。
  8. 【請求項8】前記キャリア上の前記スキー滑走面が前記
    キャリアの前記ディスク側面から延びるスキー・パッド
    の表面であることを特徴とする、請求項3に記載の変換
    器アセンブリ。
  9. 【請求項9】さらに、前記キャリアを前記ディスク・フ
    ァイルの前記アクチュエータに連結する手段を含み、該
    手段が、前記キャリアの前記スキー滑走面を前記ディス
    ク上の液体被膜と接触させるようにバイアスする手段を
    含む、請求項3に記載の変換器アセンブリ。
  10. 【請求項10】液体軸受式ヘッド/ディスク界面を利用
    するデータ記録ディスク・ファイル用の変換器アセンブ
    リであって、 ディスク側面、前端、及び後端を有し、該ディスク側面
    上の後端近くにあってその凸形の前縁がその後縁より幅
    の広い液体軸受スキー・パッドと、前記ディスク側面上
    の前端近くで前記スキー・パッドの外側にある1対の空
    気軸受レールと、前記ディスクが回転していないときに
    前記空気軸受レールを前記ディスクから離して支持する
    複数のストラットとを備える、変換器キャリアと、 前記キャリア上の前記キャリア後端近くに位置する、デ
    ータを前記ディスクから読み取りまたは前記ディスクに
    書き込むための変換器とを含む、変換器アセンブリ。
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