JP2500091B2 - 支持ストラットを有するトランスデュ―サ・キャリアを備えたリキッド・ベアリング式デ―タ記録用ディスク・ファイル - Google Patents
支持ストラットを有するトランスデュ―サ・キャリアを備えたリキッド・ベアリング式デ―タ記録用ディスク・ファイルInfo
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- JP2500091B2 JP2500091B2 JP5047793A JP4779393A JP2500091B2 JP 2500091 B2 JP2500091 B2 JP 2500091B2 JP 5047793 A JP5047793 A JP 5047793A JP 4779393 A JP4779393 A JP 4779393A JP 2500091 B2 JP2500091 B2 JP 2500091B2
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- transducer
- carrier
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B17/00—Guiding record carriers not specifically of filamentary or web form, or of supports therefor
- G11B17/32—Maintaining desired spacing between record carrier and head, e.g. by fluid-dynamic spacing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
- G11B21/16—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads
- G11B21/20—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B33/00—Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
- G11B33/14—Reducing influence of physical parameters, e.g. temperature change, moisture, dust
- G11B33/148—Reducing friction, adhesion, drag
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
- G11B5/6082—Design of the air bearing surface
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、リキッド・ベアリング
式ディスク・ファイルと呼ばれている型式のデータ記録
用ディスク・ファイルに関するものである。リキッド・
ベアリング式ディスク・ファイルは、ヘッド即ちトラン
スデューサを担持しているトランスデューサ・キャリア
と、ディスクの表面に存在している潤滑液とによって、
それまでなかった種類のヘッド−ディスク間境界が提供
されるようにしたディスク・ファイルである。より詳し
くは、本発明は、ヘッド−ディスク間境界において機能
するトランスデューサ・キャリアに改良を加えた、リキ
ッド・ベアリング式ディスク・ファイルに関するもので
ある。
式ディスク・ファイルと呼ばれている型式のデータ記録
用ディスク・ファイルに関するものである。リキッド・
ベアリング式ディスク・ファイルは、ヘッド即ちトラン
スデューサを担持しているトランスデューサ・キャリア
と、ディスクの表面に存在している潤滑液とによって、
それまでなかった種類のヘッド−ディスク間境界が提供
されるようにしたディスク・ファイルである。より詳し
くは、本発明は、ヘッド−ディスク間境界において機能
するトランスデューサ・キャリアに改良を加えた、リキ
ッド・ベアリング式ディスク・ファイルに関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】ディスク・ファイルは情報記憶装置の一
種であり、ディスク・ドライブ、或いはディスク装置と
も呼ばれている。ディスク・ファイルは、情報を記録し
ておく同心円状の複数本のデータ・トラック（以下、単
にトラックという）を有する回転ディスクと、それら複
数本のトラックのうちの様々なトラックに対してデータ
の読取りないし書込みを行なうヘッド即ちトランスデュ
ーサと、そのヘッドを担持しているキャリア（ヘッド・
キャリア、或いはトランスデューサ・キャリアという）
に連結したアクチュエータ（ヘッド・アクチュエータと
いう）とを含んでいる。ヘッド・アクチュエータは、ヘ
ッドを所望のトラックへ移動させ、また、読取り動作な
いし書込み動作が実行されている間、そのヘッドをその
トラックのセンターライン上に維持する機能を果たすも
のである。一般的には、ディスク・ファイルは複数枚の
ディスクを装備しており、それら複数枚のディスクを、
スペーサ・リングによってディスクどうしの間の間隔を
開けた状態で積み重ねてハブに取り付けてあり、そのハ
ブをディスク駆動用モータで回転させるようにしてい
る。ディスク・ファイルは、更にハウジングを備えてお
り、このハウジングは、ディスク駆動用モータやヘッド
・アクチュエータを支持すると共に、ヘッドとディスク
とを囲繞して、ヘッド−ディスク間境界を外部から実質
的に封止した封止環境を提供している。従来の一般的な
磁気記録方式のディスク・ファイルでは、ヘッド・キャ
リアは、ディスクの表面に空気で形成される支持層（エ
ア・ベアリング）の上に乗って浮上するようにしたエア
・ベアリング式スライダとして形成されていた。そし
て、このスライダをアクチュエータに連結しているサス
ペンションが、このスライダをディスクの表面へ押し付
ける方向の小さな力をこのスライダに常時加えているた
め、エア・ベアリングを維持し得るだけの充分なディス
ク回転速度が存在してない、ディスク・ファイルの始動
時及び停止時には、このスライダがディスクの表面に接
触した状態になっていた。それゆえ、ディスク・ファイ
ルの始動時及び停止時に、ヘッドないしディスクが損傷
するのを防止するために、ディスクの表面に潤滑液を塗
布しておく必要があった。
種であり、ディスク・ドライブ、或いはディスク装置と
も呼ばれている。ディスク・ファイルは、情報を記録し
ておく同心円状の複数本のデータ・トラック（以下、単
にトラックという）を有する回転ディスクと、それら複
数本のトラックのうちの様々なトラックに対してデータ
の読取りないし書込みを行なうヘッド即ちトランスデュ
ーサと、そのヘッドを担持しているキャリア（ヘッド・
キャリア、或いはトランスデューサ・キャリアという）
に連結したアクチュエータ（ヘッド・アクチュエータと
いう）とを含んでいる。ヘッド・アクチュエータは、ヘ
ッドを所望のトラックへ移動させ、また、読取り動作な
いし書込み動作が実行されている間、そのヘッドをその
トラックのセンターライン上に維持する機能を果たすも
のである。一般的には、ディスク・ファイルは複数枚の
ディスクを装備しており、それら複数枚のディスクを、
スペーサ・リングによってディスクどうしの間の間隔を
開けた状態で積み重ねてハブに取り付けてあり、そのハ
ブをディスク駆動用モータで回転させるようにしてい
る。ディスク・ファイルは、更にハウジングを備えてお
り、このハウジングは、ディスク駆動用モータやヘッド
・アクチュエータを支持すると共に、ヘッドとディスク
とを囲繞して、ヘッド−ディスク間境界を外部から実質
的に封止した封止環境を提供している。従来の一般的な
磁気記録方式のディスク・ファイルでは、ヘッド・キャ
リアは、ディスクの表面に空気で形成される支持層（エ
ア・ベアリング）の上に乗って浮上するようにしたエア
・ベアリング式スライダとして形成されていた。そし
て、このスライダをアクチュエータに連結しているサス
ペンションが、このスライダをディスクの表面へ押し付
ける方向の小さな力をこのスライダに常時加えているた
め、エア・ベアリングを維持し得るだけの充分なディス
ク回転速度が存在してない、ディスク・ファイルの始動
時及び停止時には、このスライダがディスクの表面に接
触した状態になっていた。それゆえ、ディスク・ファイ
ルの始動時及び停止時に、ヘッドないしディスクが損傷
するのを防止するために、ディスクの表面に潤滑液を塗
布しておく必要があった。
【０００３】磁気記録方式のディスク・ファイルにおい
て、上述の従来のエア・ベアリング式のヘッド−ディス
ク間境界に代わり得るものとして、リキッド・ベアリン
グ式のヘッド−ディスク間境界が提案されており、幾つ
かの文献中に、様々な種類のリキッド・ベアリング式の
ヘッド−ディスク間境界と、そのためのヘッド・キャリ
ア（即ち、トランスデューサ・キャリア）とが記載され
ている。例えば、本出願人が所有している米国特許第２
９６９４３５号には、そり形のトランスデューサ・キャ
リアが記載されている。このトランスデューサ・キャリ
アは大きな平坦面を備えており、この平坦面がディスク
の表面のオイルの層の表面に支持されるようにしてあ
る。ディスクの表面のオイルは、ディスク・ファイルの
外部に備えたオイル貯留容器から供給して、トランスデ
ューサ・キャリアの前方に配設したノズルから噴き出す
ようにしている。また、別の種類のディスク・ファイル
が、本出願人に譲渡され現在係属中の、１９８８年１０
月３１日付出願の米国特許出願第２６４６０４号に記載
されており、このディスク・ファイルは更に１９９０年
５月９日付発行のヨーロッパ特許出願公開第ＥＰ３６７
５１０号公報にも記載されている。このディスク・ファ
イルは低粘度の潤滑液を使用しており、その潤滑液を連
続的に循環させて、ディスクの表面の潤滑液の層を比較
的厚い層として維持するようにしている。また、使用す
るトランスデューサ・キャリアは、その低粘度の潤滑液
の層を掻き分けて進むための三角形状の足部を備えたも
のとしている。このヨーロッパ特許出願公開公報には更
に、ディスク・ファイルを気密状態で密封してその内部
に空気が存在しないようにすれば蒸気圧の低い潤滑液が
蒸発するため、その蒸留作用によって必要な潤滑液の循
環を行なわせることができるということも示唆されてい
る。
て、上述の従来のエア・ベアリング式のヘッド−ディス
ク間境界に代わり得るものとして、リキッド・ベアリン
グ式のヘッド−ディスク間境界が提案されており、幾つ
かの文献中に、様々な種類のリキッド・ベアリング式の
ヘッド−ディスク間境界と、そのためのヘッド・キャリ
ア（即ち、トランスデューサ・キャリア）とが記載され
ている。例えば、本出願人が所有している米国特許第２
９６９４３５号には、そり形のトランスデューサ・キャ
リアが記載されている。このトランスデューサ・キャリ
アは大きな平坦面を備えており、この平坦面がディスク
の表面のオイルの層の表面に支持されるようにしてあ
る。ディスクの表面のオイルは、ディスク・ファイルの
外部に備えたオイル貯留容器から供給して、トランスデ
ューサ・キャリアの前方に配設したノズルから噴き出す
ようにしている。また、別の種類のディスク・ファイル
が、本出願人に譲渡され現在係属中の、１９８８年１０
月３１日付出願の米国特許出願第２６４６０４号に記載
されており、このディスク・ファイルは更に１９９０年
５月９日付発行のヨーロッパ特許出願公開第ＥＰ３６７
５１０号公報にも記載されている。このディスク・ファ
イルは低粘度の潤滑液を使用しており、その潤滑液を連
続的に循環させて、ディスクの表面の潤滑液の層を比較
的厚い層として維持するようにしている。また、使用す
るトランスデューサ・キャリアは、その低粘度の潤滑液
の層を掻き分けて進むための三角形状の足部を備えたも
のとしている。このヨーロッパ特許出願公開公報には更
に、ディスク・ファイルを気密状態で密封してその内部
に空気が存在しないようにすれば蒸気圧の低い潤滑液が
蒸発するため、その蒸留作用によって必要な潤滑液の循
環を行なわせることができるということも示唆されてい
る。
【０００４】より最近の例では、本願の基礎米国出願の
同時係属出願であり、本出願人に譲渡されている、米国
特許出願第０７／７２４６４６号、並びに同第０７／７
２４６９６号に、リキッド・ベアリング式ディスク・フ
ァイルとトランスデューサ・キャリアとが記載されてい
る。そのディスク・ファイルは、循環させない高粘度の
潤滑液の膜をディスクの表面に維持するようにしたもの
であり、また、そのトランスデューサ・キャリアを、ス
キー式滑走を行なうのに特に適した構成とした足部（以
下、スキー足部という）を備えた構造のものとして、こ
のトランスデューサ・キャリアが、ディスクの回転時
に、潤滑液の膜の上をスキー式に滑走するようにしてい
る。これら２つの米国特許出願に記載されているトラン
スデューサ・キャリアは、３本のレール部を有する３本
レール型エア・ベアリング式スライダを改造したもので
あり、２本の外側レール部の各々に１つずつの前部スキ
ー足部を形成し、また１本の中央レール部に１つの後部
スキー足部を形成してあり、しかも、それら３つのスキ
ー足部の先端面（底面）が互いに実質的に同一平面上に
位置するよう、それらスキー足部を形成してある。ディ
スク・ファイルの回転速度が動作速度に達したならば、
このスライダのレール部に発生するエア・ベアリング作
用のために前部スキー足部は潤滑液の膜から離れて浮上
するが、一方、後部スキー足部は、潤滑液で潤滑された
状態で、その潤滑液の膜の表面をスキー式に滑走し続け
る。
同時係属出願であり、本出願人に譲渡されている、米国
特許出願第０７／７２４６４６号、並びに同第０７／７
２４６９６号に、リキッド・ベアリング式ディスク・フ
ァイルとトランスデューサ・キャリアとが記載されてい
る。そのディスク・ファイルは、循環させない高粘度の
潤滑液の膜をディスクの表面に維持するようにしたもの
であり、また、そのトランスデューサ・キャリアを、ス
キー式滑走を行なうのに特に適した構成とした足部（以
下、スキー足部という）を備えた構造のものとして、こ
のトランスデューサ・キャリアが、ディスクの回転時
に、潤滑液の膜の上をスキー式に滑走するようにしてい
る。これら２つの米国特許出願に記載されているトラン
スデューサ・キャリアは、３本のレール部を有する３本
レール型エア・ベアリング式スライダを改造したもので
あり、２本の外側レール部の各々に１つずつの前部スキ
ー足部を形成し、また１本の中央レール部に１つの後部
スキー足部を形成してあり、しかも、それら３つのスキ
ー足部の先端面（底面）が互いに実質的に同一平面上に
位置するよう、それらスキー足部を形成してある。ディ
スク・ファイルの回転速度が動作速度に達したならば、
このスライダのレール部に発生するエア・ベアリング作
用のために前部スキー足部は潤滑液の膜から離れて浮上
するが、一方、後部スキー足部は、潤滑液で潤滑された
状態で、その潤滑液の膜の表面をスキー式に滑走し続け
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】スキー式滑走型トラン
スデューサ・キャリアを装備したリキッド・ベアリング
式ディスク・ファイルを改良しようとする人々は、幾つ
かの問題に直面することになる。先ず、トランスデュー
サ・キャリア（以下、単にキャリアという）は、静止摩
擦の小さなヘッド−ディスク間境界を提供し得るもので
なければならず、なぜならば、リキッド・ファイル式デ
ィスク・ファイルは、エア・ベアリング式ディスク・フ
ァイルと比べた場合に、一般的に、流動可能な状態で存
在している潤滑液の量が多い上に、ディスクの表面の平
滑度が高いからである。更に、キャリアを設計する際に
は、ディスク上から失われて行く潤滑液の量を可及的に
少なくできるように設計しておく必要がある。更に加え
て、ディスク上の互いに半径が異なる位置においては、
キャリアとディスクとの間の相対速度も異なるが、キャ
リアは、この相対速度の、広い変化範囲の全域に亙って
良好に機能し得るものでなければならない。従って、静
止摩擦を小さくすることができ、ディスク上から失われ
て行く潤滑液の量を可及的に少なくすることができ、し
かも、広い速度範囲の全域に亙ってトランスデューサ・
キャリアがスキー式滑走を行なえるように、そのヘッド
−ディスク間境界を改良した、リキッド・ベアリング式
ディスク・ファイルが求められている。
スデューサ・キャリアを装備したリキッド・ベアリング
式ディスク・ファイルを改良しようとする人々は、幾つ
かの問題に直面することになる。先ず、トランスデュー
サ・キャリア（以下、単にキャリアという）は、静止摩
擦の小さなヘッド−ディスク間境界を提供し得るもので
なければならず、なぜならば、リキッド・ファイル式デ
ィスク・ファイルは、エア・ベアリング式ディスク・フ
ァイルと比べた場合に、一般的に、流動可能な状態で存
在している潤滑液の量が多い上に、ディスクの表面の平
滑度が高いからである。更に、キャリアを設計する際に
は、ディスク上から失われて行く潤滑液の量を可及的に
少なくできるように設計しておく必要がある。更に加え
て、ディスク上の互いに半径が異なる位置においては、
キャリアとディスクとの間の相対速度も異なるが、キャ
リアは、この相対速度の、広い変化範囲の全域に亙って
良好に機能し得るものでなければならない。従って、静
止摩擦を小さくすることができ、ディスク上から失われ
て行く潤滑液の量を可及的に少なくすることができ、し
かも、広い速度範囲の全域に亙ってトランスデューサ・
キャリアがスキー式滑走を行なえるように、そのヘッド
−ディスク間境界を改良した、リキッド・ベアリング式
ディスク・ファイルが求められている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係る、リキッド
・ベアリング式データ記録用ディスク・ファイルは、改
良したヘッド−ディスク間境界を備えたものであり、こ
のヘッド−ディスク間境界は、これまでになかった特性
を有するトランスデューサ・キャリアによって提供され
ている。このトランスデューサ・キャリアは、その前縁
部の近傍に設けたエア・ベアリング面と、その後縁部の
近傍に設けたスキー・パッドと、複数のスキー足部即ち
ストラットとを備えており、それら複数のストラット
が、ディスク・ファイルの非動作時に、エア・ベアリン
グ面をディスクの表面の潤滑液の膜から離して支持する
ようにしてある。エア・ベアリング面は、一対のエア・
ベアリング発生用レール部として形成してあり、それら
レール部は、後部に設けたスキー・パッドより前方で、
しかもそのスキー・パッドより外側に配設してあり、そ
れによって、キャリアの後部領域にはエア・ベアリング
作用が発生しないようにして、後部に設けたスキー・パ
ッドのスキー式滑走動作が確実に行なわれるようにして
いる。また、複数のストラットは、エア・ベアリング発
生用レール部とは別個に設けてあるため、エア・ベアリ
ング発生用レール部のエア・ベアリング発生性能を阻害
することがない。また、それら複数のストラットは、キ
ャリアのディスク対向面から、レール部の先端を越えて
更に外側にまで突出するように形成してあるため、それ
らレール部をディスクの表面の潤滑液の膜から離して支
持することができ、それによって、静止摩擦の影響を可
及的に小さく抑え得るようにしてある。一実施例におい
ては、キャリアには、少なくとも３つのストラットを形
成し、それによって、ディスク・ファイルの非作動時に
は、エア・ベアリング発生用レール部と後部のスキー・
パッドとを共に、潤滑液の膜から離した状態で支持する
ようにしている。そして、ディスクの回転速度がディス
ク・ファイルの動作速度に近付くにつれて、エア・ベア
リング作用のために、キャリアの前端部が２本の後部ス
トラットを中心として上方へ揺動し、これによって、前
部ストラットが上動し、エア・ベアリング発生用レール
部がディスクから離れて浮上すると共に、後部のスキー
・パッドが下動して潤滑液の膜に接触するようにしてあ
る。
・ベアリング式データ記録用ディスク・ファイルは、改
良したヘッド−ディスク間境界を備えたものであり、こ
のヘッド−ディスク間境界は、これまでになかった特性
を有するトランスデューサ・キャリアによって提供され
ている。このトランスデューサ・キャリアは、その前縁
部の近傍に設けたエア・ベアリング面と、その後縁部の
近傍に設けたスキー・パッドと、複数のスキー足部即ち
ストラットとを備えており、それら複数のストラット
が、ディスク・ファイルの非動作時に、エア・ベアリン
グ面をディスクの表面の潤滑液の膜から離して支持する
ようにしてある。エア・ベアリング面は、一対のエア・
ベアリング発生用レール部として形成してあり、それら
レール部は、後部に設けたスキー・パッドより前方で、
しかもそのスキー・パッドより外側に配設してあり、そ
れによって、キャリアの後部領域にはエア・ベアリング
作用が発生しないようにして、後部に設けたスキー・パ
ッドのスキー式滑走動作が確実に行なわれるようにして
いる。また、複数のストラットは、エア・ベアリング発
生用レール部とは別個に設けてあるため、エア・ベアリ
ング発生用レール部のエア・ベアリング発生性能を阻害
することがない。また、それら複数のストラットは、キ
ャリアのディスク対向面から、レール部の先端を越えて
更に外側にまで突出するように形成してあるため、それ
らレール部をディスクの表面の潤滑液の膜から離して支
持することができ、それによって、静止摩擦の影響を可
及的に小さく抑え得るようにしてある。一実施例におい
ては、キャリアには、少なくとも３つのストラットを形
成し、それによって、ディスク・ファイルの非作動時に
は、エア・ベアリング発生用レール部と後部のスキー・
パッドとを共に、潤滑液の膜から離した状態で支持する
ようにしている。そして、ディスクの回転速度がディス
ク・ファイルの動作速度に近付くにつれて、エア・ベア
リング作用のために、キャリアの前端部が２本の後部ス
トラットを中心として上方へ揺動し、これによって、前
部ストラットが上動し、エア・ベアリング発生用レール
部がディスクから離れて浮上すると共に、後部のスキー
・パッドが下動して潤滑液の膜に接触するようにしてあ
る。
【０００７】
【実施例】スキー式滑走型キャリアを装備したリキッド
・ベアリン グ式ディスク・ファイル 最初に、本願の基礎米国出願の同時係属出願に記載され
ている、スキー式滑走型トランスデューサ・キャリアを
装備したリキッド・ベアリング式ディスク・ファイルに
ついて、図１〜図５を参照して簡単に説明しておく。先
ず、図１について説明すると、同図は、リキッド・ベア
リング式ディスク・ファイルの断面を示した模式図であ
る。図示のディスク・ファイルは、ベース部材１０とカ
バー部材１１とを備えており、ベース部材１０にはディ
スク駆動用モータ１２とアクチュエータ１４とを取り付
けてある。また、ベース部材１０とカバー部材１１とに
よって、ディスク・ファイルを収容する実質的に封止状
態のハウジングを形成している。通常は、ベース部材１
０とカバー部座卯１１との間にガスケット１３を介挿
し、また、このディスク・ファイルの内部と、外部の環
境との間で圧力を平衡させるための小さな気抜き孔（不
図示）を形成するようにしている。この種のディスク・
ファイルが実質的に封止状態にあるという言われ方をす
るのは、駆動用モータ１２が完全にハウジングの中に収
容されている上に、ハウジングの中の構成要素を冷却す
るために外部から強制的に空気を供給するということを
していないからである。駆動用モータ１２には、ハブ１
８を介して磁気記録ディスク１６を連結してあり、この
磁気記録ディスク１６はハブ１８に取り付けてあるた
め、駆動用モータ１２で回転させることができる。トラ
ンスデューサ・キャリア２０は、その表面に、読み書き
ヘッド即ちトランスデューサ（不図示）を形成してあ
る。トランスデューサ・キャリア２０は、剛体のアーム
部材２２と、サスペンション２４とを介して、アクチュ
エータ１４に連結してあり、サスペンション２４は、ト
ランスデューサ・キャリア２０に対して、このトランス
デューサ・キャリア２０を記録ディスク１６の表面へ押
し付ける向きの付勢力を作用させている。ディスク・フ
ァイルの動作中は、駆動用モータ１２がディスク１６を
一定の回転速度で回転させており、また、アクチュエー
タ１４（このアクチュエータ１４は、通常はリニア・モ
ータ形式ないしは回転モータ形式の、ボイス・コイル・
モータ（ＶＣＭ）である）が、トランスデューサ・キャ
リア２０を、ディスク１６の表面に沿って略々半径方向
に移動させるようにしており、それによって、読み書き
ヘッドがディスク１６上の異なったデータ・トラックに
アクセスできるようにしている。
・ベアリン グ式ディスク・ファイル 最初に、本願の基礎米国出願の同時係属出願に記載され
ている、スキー式滑走型トランスデューサ・キャリアを
装備したリキッド・ベアリング式ディスク・ファイルに
ついて、図１〜図５を参照して簡単に説明しておく。先
ず、図１について説明すると、同図は、リキッド・ベア
リング式ディスク・ファイルの断面を示した模式図であ
る。図示のディスク・ファイルは、ベース部材１０とカ
バー部材１１とを備えており、ベース部材１０にはディ
スク駆動用モータ１２とアクチュエータ１４とを取り付
けてある。また、ベース部材１０とカバー部材１１とに
よって、ディスク・ファイルを収容する実質的に封止状
態のハウジングを形成している。通常は、ベース部材１
０とカバー部座卯１１との間にガスケット１３を介挿
し、また、このディスク・ファイルの内部と、外部の環
境との間で圧力を平衡させるための小さな気抜き孔（不
図示）を形成するようにしている。この種のディスク・
ファイルが実質的に封止状態にあるという言われ方をす
るのは、駆動用モータ１２が完全にハウジングの中に収
容されている上に、ハウジングの中の構成要素を冷却す
るために外部から強制的に空気を供給するということを
していないからである。駆動用モータ１２には、ハブ１
８を介して磁気記録ディスク１６を連結してあり、この
磁気記録ディスク１６はハブ１８に取り付けてあるた
め、駆動用モータ１２で回転させることができる。トラ
ンスデューサ・キャリア２０は、その表面に、読み書き
ヘッド即ちトランスデューサ（不図示）を形成してあ
る。トランスデューサ・キャリア２０は、剛体のアーム
部材２２と、サスペンション２４とを介して、アクチュ
エータ１４に連結してあり、サスペンション２４は、ト
ランスデューサ・キャリア２０に対して、このトランス
デューサ・キャリア２０を記録ディスク１６の表面へ押
し付ける向きの付勢力を作用させている。ディスク・フ
ァイルの動作中は、駆動用モータ１２がディスク１６を
一定の回転速度で回転させており、また、アクチュエー
タ１４（このアクチュエータ１４は、通常はリニア・モ
ータ形式ないしは回転モータ形式の、ボイス・コイル・
モータ（ＶＣＭ）である）が、トランスデューサ・キャ
リア２０を、ディスク１６の表面に沿って略々半径方向
に移動させるようにしており、それによって、読み書き
ヘッドがディスク１６上の異なったデータ・トラックに
アクセスできるようにしている。
【０００８】図２は、図１に示したディスク・ファイル
のカバー部材１１を取り外して、このディスク・ファイ
ルの内部を上方から見た上面図であり、リング形の潤滑
液貯留容器３０を示している。この潤滑液貯留容器３０
は、ディスク１６の表面上の潤滑液の膜へ補充するため
の補充用潤滑液を保持する手段として機能している。デ
ィスク・ファイルの動作中は、比較的高粘度の潤滑液の
一面に広がった薄い膜が、ディスク１６の表面に維持さ
れており、この潤滑液の膜へ、貯留容器３０の中の潤滑
液が補充されている。図２には更に、サスペンション２
４がより詳細に示されており、このサスペンション２４
は、キャリア２０に力を加えて、このキャリア２０を、
ディスク１６の表面上の潤滑液の膜に接触した状態に維
持するように機能する。このサスペンション２４は、例
えばエア・ベアリング式スライダを備えた磁気ディスク
・ファイルに用いられているサスペンション等の、従来
の一般的な形式のサスペンションとすることができる。
その種のサスペンションの具体例を挙げるならば、本出
願人が所有している米国特許第４１６７７６５号に記載
されている、周知のワットロース型サスペンションを挙
げることができる。尚、この米国特許は、この言及をも
って本開示に組み込むものとする。この種のサスペンシ
ョンは更に、トランスデューサ・キャリアを取り付ける
ための、ジンバル式取付け構造としての機能も果たし、
それによって、トランスデューサ・キャリアが、潤滑液
の膜の上に支持された状態で、ピッチ運動したりロール
運動したりすることができるようにするものである。
のカバー部材１１を取り外して、このディスク・ファイ
ルの内部を上方から見た上面図であり、リング形の潤滑
液貯留容器３０を示している。この潤滑液貯留容器３０
は、ディスク１６の表面上の潤滑液の膜へ補充するため
の補充用潤滑液を保持する手段として機能している。デ
ィスク・ファイルの動作中は、比較的高粘度の潤滑液の
一面に広がった薄い膜が、ディスク１６の表面に維持さ
れており、この潤滑液の膜へ、貯留容器３０の中の潤滑
液が補充されている。図２には更に、サスペンション２
４がより詳細に示されており、このサスペンション２４
は、キャリア２０に力を加えて、このキャリア２０を、
ディスク１６の表面上の潤滑液の膜に接触した状態に維
持するように機能する。このサスペンション２４は、例
えばエア・ベアリング式スライダを備えた磁気ディスク
・ファイルに用いられているサスペンション等の、従来
の一般的な形式のサスペンションとすることができる。
その種のサスペンションの具体例を挙げるならば、本出
願人が所有している米国特許第４１６７７６５号に記載
されている、周知のワットロース型サスペンションを挙
げることができる。尚、この米国特許は、この言及をも
って本開示に組み込むものとする。この種のサスペンシ
ョンは更に、トランスデューサ・キャリアを取り付ける
ための、ジンバル式取付け構造としての機能も果たし、
それによって、トランスデューサ・キャリアが、潤滑液
の膜の上に支持された状態で、ピッチ運動したりロール
運動したりすることができるようにするものである。
【０００９】リング形状の潤滑液貯留容器３０は、複数
枚のディスクを積み重ねてディスク・スタックを形成す
るようにしたディスク・ファイルにおける、ディスク・
スペーサとしての機能を持たせることもできるようにし
てあり、この貯留容器３０を図３に更に詳細に示した。
この貯留容器３０はリング部材３２を含んでおり、この
リング部材３２を製作するには先ず、多孔質の燒結金属
材料（例えば燒結ステンレス鋼等）に機械加工を施して
リング形状の部材を形成する。続いて、その形状を整え
たリング部材３２の外表面を完全に密封状態にする。そ
れには、金等の材料を電気めっきするようにしても良
く、或いは、化学めっき法によってニッケルの膜を形成
するようにしても良く、いずれにしても、燒結ステンレ
ス鋼を囲繞する膜３４が得られる。続いて、その金ない
しニッケル製の表面膜３４に、開口３６を形成して、こ
の貯留容器が完全な密閉状態ではないようにする。これ
によって、この貯留容器３０の内部に貯留されている潤
滑液を流出させるための手段が提供される。この開口３
６の形成は、数箇所（典型的な例では例えば４箇所）の
小領域に対してエッチング加工、研削加工、或いは放電
加工を施して、それら数箇所の小領域に、開口３６ない
し細孔を形成するという方法で行なうことができる。続
いて、貯留容器３０の中に潤滑液を充填する。それに
は、先ず、貯留容器３０を真空中に入れ、その状態で、
その貯留容器３０を潤滑液の中に浸漬し、そして、僅か
に過熱して、この貯留容器３０への充填速度を高めるよ
うにする。形成する開口３６の個数と大きさとは、ディ
スク・ファイルの動作中にこの貯留容器３０から流出し
て行く潤滑液の量を、所望の制御量にすることができる
ように選定し、この流出する潤滑液の量は、ディスク上
から潤滑液が失われて行く速度に適合するように設計し
ておく。リング部材３２を、複数枚のディスクを積み重
ねたディスク・スタックをハブ１８に取り付けるように
したディスク・ファイルにおける、スペーサ・リングの
機能をも果たすように設計する場合には、開口３６を、
そのスペーサ・リングの、ディスクと接している部分に
近接した位置に形成し、それによって、選択した開口
を、対応する１つのディスク表面に関連付けるようにし
ても良い。ディスクから失われて行く潤滑液の量に影響
を与える要因には、開口３６の大きさに加えて更に、デ
ィスクの平滑度、ディスクの回転速度、潤滑液の粘度、
それにキャリアの構造がある。尚、ディスクが回転して
いないときには、リング部材３２が多孔質のスポンジ状
の材料で形成されているために、その材料の毛管作用に
よって、潤滑液が貯留容器３０の中に保持される。
枚のディスクを積み重ねてディスク・スタックを形成す
るようにしたディスク・ファイルにおける、ディスク・
スペーサとしての機能を持たせることもできるようにし
てあり、この貯留容器３０を図３に更に詳細に示した。
この貯留容器３０はリング部材３２を含んでおり、この
リング部材３２を製作するには先ず、多孔質の燒結金属
材料（例えば燒結ステンレス鋼等）に機械加工を施して
リング形状の部材を形成する。続いて、その形状を整え
たリング部材３２の外表面を完全に密封状態にする。そ
れには、金等の材料を電気めっきするようにしても良
く、或いは、化学めっき法によってニッケルの膜を形成
するようにしても良く、いずれにしても、燒結ステンレ
ス鋼を囲繞する膜３４が得られる。続いて、その金ない
しニッケル製の表面膜３４に、開口３６を形成して、こ
の貯留容器が完全な密閉状態ではないようにする。これ
によって、この貯留容器３０の内部に貯留されている潤
滑液を流出させるための手段が提供される。この開口３
６の形成は、数箇所（典型的な例では例えば４箇所）の
小領域に対してエッチング加工、研削加工、或いは放電
加工を施して、それら数箇所の小領域に、開口３６ない
し細孔を形成するという方法で行なうことができる。続
いて、貯留容器３０の中に潤滑液を充填する。それに
は、先ず、貯留容器３０を真空中に入れ、その状態で、
その貯留容器３０を潤滑液の中に浸漬し、そして、僅か
に過熱して、この貯留容器３０への充填速度を高めるよ
うにする。形成する開口３６の個数と大きさとは、ディ
スク・ファイルの動作中にこの貯留容器３０から流出し
て行く潤滑液の量を、所望の制御量にすることができる
ように選定し、この流出する潤滑液の量は、ディスク上
から潤滑液が失われて行く速度に適合するように設計し
ておく。リング部材３２を、複数枚のディスクを積み重
ねたディスク・スタックをハブ１８に取り付けるように
したディスク・ファイルにおける、スペーサ・リングの
機能をも果たすように設計する場合には、開口３６を、
そのスペーサ・リングの、ディスクと接している部分に
近接した位置に形成し、それによって、選択した開口
を、対応する１つのディスク表面に関連付けるようにし
ても良い。ディスクから失われて行く潤滑液の量に影響
を与える要因には、開口３６の大きさに加えて更に、デ
ィスクの平滑度、ディスクの回転速度、潤滑液の粘度、
それにキャリアの構造がある。尚、ディスクが回転して
いないときには、リング部材３２が多孔質のスポンジ状
の材料で形成されているために、その材料の毛管作用に
よって、潤滑液が貯留容器３０の中に保持される。
【００１０】潤滑液の貯留容器即ち潤滑液の保持手段の
具体的な形態は、本発明にとっては重要なものではな
く、事実、本発明に使用可能な貯留容器の形態には、上
に説明したもの以外にも多くの形態が存在する。例え
ば、ディスク・ファイルの総動作時間が比較的短い（例
えば数か月程度）場合には、潤滑液の保持手段として、
ディスク上の、径方向内側部に近いノン・データ帯を利
用するようにしても良い。通常のディスクへの潤滑液塗
布のプロセスが実行されるときに、このディスクのノン
・データ帯にも潤滑液が塗布され、そのため、このノン
・データ帯は、余分の潤滑液を含み、その余分の潤滑液
が、潤滑液の膜に対する、補充用潤滑液となる。この具
体的な用途（即ち、総動作時間が比較的短いディスク・
ファイルに適用するという用途）に適したこのような実
施例では、高粘度の潤滑液を使用することによって、潤
滑液がディスクから失われる速度を幾分低速度にするこ
とが望ましい場合がある。
具体的な形態は、本発明にとっては重要なものではな
く、事実、本発明に使用可能な貯留容器の形態には、上
に説明したもの以外にも多くの形態が存在する。例え
ば、ディスク・ファイルの総動作時間が比較的短い（例
えば数か月程度）場合には、潤滑液の保持手段として、
ディスク上の、径方向内側部に近いノン・データ帯を利
用するようにしても良い。通常のディスクへの潤滑液塗
布のプロセスが実行されるときに、このディスクのノン
・データ帯にも潤滑液が塗布され、そのため、このノン
・データ帯は、余分の潤滑液を含み、その余分の潤滑液
が、潤滑液の膜に対する、補充用潤滑液となる。この具
体的な用途（即ち、総動作時間が比較的短いディスク・
ファイルに適用するという用途）に適したこのような実
施例では、高粘度の潤滑液を使用することによって、潤
滑液がディスクから失われる速度を幾分低速度にするこ
とが望ましい場合がある。
【００１１】図４に引用符号２０を付して示したトラン
スデューサ・キャリアは、本出願人による、本願の基礎
米国出願の同時係属出願である米国特許出願第０７／７
２４６９６号に記載されているトランスデューサ・キャ
リアである。このトランスデューサ・キャリア２０は、
従来の３本レール型エア・ベアリング式スライダ（例え
ば、本出願人の所有にかかる米国特許第４８９４７４０
号等に記載されているスライダ等）に、スキー足部４
０、４２、４４を形成したものである。それらスキー足
部４０、４２、４４の各々は、レール部５０、５１、５
２の、通常の構造の底面に形成してあり、また、形成す
るための方法としては、レール部の部分のうち、スキー
足部以外の部分の材料を、エッチングによって数千オン
グストローム程度削るという方法を採用しており、この
時のエッチングには、例えば、イオン・ビーム加工や、
反応性イオン・エッチング加工等をはじめとするエッチ
ング手段を用いることが好ましい。このエッチング加工
の結果、スキー足部は、スライダの、エッチング加工に
よって新たに画成されたレール部から外へ突出した、外
方突部として残り、しかも夫々のスキー足部の先端部ど
うしは、互いに略々同一平面上に位置するようになる。
イオン・ビーム加工を行なう際には、レール部の外表面
から離れるにつれて次第にスキー足部が先細りになるよ
うに僅かなテーパを付けるようにする。このようにスキ
ー足部にテーパを付けることによって、トランスデュー
サ・キャリアが、実際に、ディスク上の比較的高粘度の
潤滑液の表面上をスキー式滑走をすることができるよう
になる。
スデューサ・キャリアは、本出願人による、本願の基礎
米国出願の同時係属出願である米国特許出願第０７／７
２４６９６号に記載されているトランスデューサ・キャ
リアである。このトランスデューサ・キャリア２０は、
従来の３本レール型エア・ベアリング式スライダ（例え
ば、本出願人の所有にかかる米国特許第４８９４７４０
号等に記載されているスライダ等）に、スキー足部４
０、４２、４４を形成したものである。それらスキー足
部４０、４２、４４の各々は、レール部５０、５１、５
２の、通常の構造の底面に形成してあり、また、形成す
るための方法としては、レール部の部分のうち、スキー
足部以外の部分の材料を、エッチングによって数千オン
グストローム程度削るという方法を採用しており、この
時のエッチングには、例えば、イオン・ビーム加工や、
反応性イオン・エッチング加工等をはじめとするエッチ
ング手段を用いることが好ましい。このエッチング加工
の結果、スキー足部は、スライダの、エッチング加工に
よって新たに画成されたレール部から外へ突出した、外
方突部として残り、しかも夫々のスキー足部の先端部ど
うしは、互いに略々同一平面上に位置するようになる。
イオン・ビーム加工を行なう際には、レール部の外表面
から離れるにつれて次第にスキー足部が先細りになるよ
うに僅かなテーパを付けるようにする。このようにスキ
ー足部にテーパを付けることによって、トランスデュー
サ・キャリアが、実際に、ディスク上の比較的高粘度の
潤滑液の表面上をスキー式滑走をすることができるよう
になる。
【００１２】トランスデューサ・キャリアとディスクと
の間の境界には潤滑液の膜が存在しており、その部分を
図５に示した。好適実施例においては、ディスク１６は
その上面の剛体の部分に、一般的なアモルファス・カー
ボン製の表面被覆膜６０を形成してあり、この表面被覆
膜６０は、一般的には、２５０オングストローム程度の
厚さにしてある。この防護層であるカーボン製の被覆膜
６０のすぐ下には磁性体の層６２が存在しており、この
磁性体の層６２は、例えば一般的なコバルト合金等を材
料としてスパッタリング等によって形成した磁性体の膜
である。一方、カーボン製の被覆膜６０の上面には、潤
滑液の膜６４が形成されており、この潤滑液の膜６４の
厚さは、約２０〜約１００オングストロームの範囲内の
厚さであることが好ましい。図５には、１つのスキー足
部４０の、その一部分が、潤滑液の膜６４の上に支持さ
れているところが図示されている。スキー足部４０の先
端部は、その直径を約１００マイクロメートルとしてあ
り、エッチングによる削り代を４０００オングストロー
ムとするとき、約１０度の角度を成すテーパを付けるよ
うにしている。トランスデューサ４６（図４）は、キャ
リア２０の後縁部に形成したスキー足部４４の先端部で
支持してあり、これによって、このトランスデューサ４
６が、記録ディスクの上面から、略々潤滑液の膜の厚さ
（例えば２０〜１００オングストローム）に等しい距離
だけ離れた位置に維持されるようにしてある。ディスク
・ファイルの動作中には、サスペンション２４（図２）
が、キャリア２０に対して、スキー足部４０、４２、４
４を潤滑液の膜６４の表面に接触させようとする方向の
力を常時加えており、一方、このとき、潤滑液の膜６４
は、実質的に非圧縮性の膜であることから、キャリア２
０とディスク１６との間の間隔を維持する間隔維持膜と
して機能している。尚、スキー足部４０の周縁部の、デ
ィスク１６の表面に対する角度を、比較的小さな角度
（図５に示すように１０度）にしてあるため、ディスク
・ファイルの始動時にスキー足部４０の先端部の下側へ
もぐり込もうとする潤滑液に対してこの周縁部が障害と
なることが殆どなく、そのため、キャリア２０がスキー
式滑走をする能力が強化されている。ディスク・ファイ
ルが動作速度に達したならば、エア・ベアリング発生用
レール部５０、５１の働きによって、スキー足部４０、
４２は潤滑液の膜６４から離れて浮上するが、一方、ス
キー足部４４は、サスペンション２４の働きによって、
潤滑液の膜の表面に接触して、この潤滑液の膜の表面を
スキー式に滑走する状態に維持される。
の間の境界には潤滑液の膜が存在しており、その部分を
図５に示した。好適実施例においては、ディスク１６は
その上面の剛体の部分に、一般的なアモルファス・カー
ボン製の表面被覆膜６０を形成してあり、この表面被覆
膜６０は、一般的には、２５０オングストローム程度の
厚さにしてある。この防護層であるカーボン製の被覆膜
６０のすぐ下には磁性体の層６２が存在しており、この
磁性体の層６２は、例えば一般的なコバルト合金等を材
料としてスパッタリング等によって形成した磁性体の膜
である。一方、カーボン製の被覆膜６０の上面には、潤
滑液の膜６４が形成されており、この潤滑液の膜６４の
厚さは、約２０〜約１００オングストロームの範囲内の
厚さであることが好ましい。図５には、１つのスキー足
部４０の、その一部分が、潤滑液の膜６４の上に支持さ
れているところが図示されている。スキー足部４０の先
端部は、その直径を約１００マイクロメートルとしてあ
り、エッチングによる削り代を４０００オングストロー
ムとするとき、約１０度の角度を成すテーパを付けるよ
うにしている。トランスデューサ４６（図４）は、キャ
リア２０の後縁部に形成したスキー足部４４の先端部で
支持してあり、これによって、このトランスデューサ４
６が、記録ディスクの上面から、略々潤滑液の膜の厚さ
（例えば２０〜１００オングストローム）に等しい距離
だけ離れた位置に維持されるようにしてある。ディスク
・ファイルの動作中には、サスペンション２４（図２）
が、キャリア２０に対して、スキー足部４０、４２、４
４を潤滑液の膜６４の表面に接触させようとする方向の
力を常時加えており、一方、このとき、潤滑液の膜６４
は、実質的に非圧縮性の膜であることから、キャリア２
０とディスク１６との間の間隔を維持する間隔維持膜と
して機能している。尚、スキー足部４０の周縁部の、デ
ィスク１６の表面に対する角度を、比較的小さな角度
（図５に示すように１０度）にしてあるため、ディスク
・ファイルの始動時にスキー足部４０の先端部の下側へ
もぐり込もうとする潤滑液に対してこの周縁部が障害と
なることが殆どなく、そのため、キャリア２０がスキー
式滑走をする能力が強化されている。ディスク・ファイ
ルが動作速度に達したならば、エア・ベアリング発生用
レール部５０、５１の働きによって、スキー足部４０、
４２は潤滑液の膜６４から離れて浮上するが、一方、ス
キー足部４４は、サスペンション２４の働きによって、
潤滑液の膜の表面に接触して、この潤滑液の膜の表面を
スキー式に滑走する状態に維持される。
【００１３】本発明のスキー式滑走型キャリアを備えた
リキッド・ベアリング式ディスク・ファイル 次に図６及び図７について説明すると、これらの図は、
改良したスキー式滑走型トランスデューサ・キャリア１
００を示した図である。キャリア１００は、ディスク対
向面１０２と、背面１０４と、前縁部１０６と、後縁部
１０８とを有している。トランスデューサ１０９は、例
えば、ディスクに対してデータの読み書きを行なう一般
的な薄膜ヘッド等であり、キャリア１００の後端部１０
８に形成してある。ヘッド１０９は、例えば、誘導型読
み書きトランスデューサとしても良く、また、当業界に
おいて周知のように、誘導型書込みトランスデューサ
に、薄膜蒸着技術によって形成した磁気抵抗型（ＭＲ）
読取りトランスデューサを付設したものとしても良い。
キャリア１００のディスク対向面１０２にはエア・ベア
リング面を形成してあり、このエア・ベアリング面は一
対のレール部１１０、１１２を有する形状としてあり、
それらレール部１１０、１１２の各々は、前部テーパ部
１１４、１１６を備えている。ディスク対向面１０２に
は更に、その後縁部１０８の近くの部分に、スキー足
部、即ちスキー・パッド１０８を形成してある。このス
キー・パッド１１８は、ディスク１５０（図７）上に維
持されている潤滑液の膜１４６の表面上をスキー式に滑
走するための、スキー作用面を提供している。図７に示
すように、このスキー・パッド１１８のスキー作用面
は、レール部１１０、１１２のエア・ベアリング作用面
と略々同一平面上に位置している。また、エア・ベアリ
ング発生用レール部１１０、１１２には、それらの前部
テーパ部１１４、１１６の後端の近傍に、一対の前部ス
キー足部、即ちストラット１２０、１２２を、突出させ
て形成してある。図７に示すように、それらストラット
１２０、１２２によって、静止しているディスク１５０
の表面にキャリア１００が乗っているときの、このキャ
リア１００の静止時ピッチ・アップ姿勢が定まる。従っ
て、ディスク１５０の静止時には、レール部１１０、１
１２のエア・ベアリング面は、基本的に、ディスク１５
０上の潤滑液の膜１４６から離隔した状態に維持されて
おり、これによってキャリア−ディスク間境界における
静止摩擦が可及的に低減されている。更に、キャリア１
００が、ストラット１２０、１２２によって定められた
静止時ピッチ・アップ姿勢にあるときには、スキー・パ
ッド１１８とディスク１５０上の潤滑液の膜１４６との
間に、浅い角度が存在するようにしており、これによっ
て、図５に関して既に説明したものと同様に、スキー・
パッド１１８のスキー作用が発生し易いようにしてい
る。更に加えて、ストラット１２０、１２２の先端面
は、スキー・パッド１１８の先端面（スキー作用面）に
対して平行な平面内に位置しているため（ただし、同一
平面内にあるのではない）、ストラット１２０、１２２
の先端面もまた、潤滑液の膜１４６に対して浅い角度を
成している。エア・ベアリング作用を有するレール部１
１０、１１２の寸法は、ディスク・ファイルの動作時速
度の速度範囲の下限速度において、サスペンションから
加えられている荷重のうちの約８０％をエア・ベアリン
グが負担し、残りの荷重をスキー・パッド１１８が負担
するように、その寸法を選定してある。従って、動作時
速度においては、キャリア１００の前端部と、ストラッ
ト１２０、１２２とは、潤滑液の膜１４６から離れた非
接触状態に維持され、一方、後部スキー・パッド１１８
は、潤滑液の膜１４６の表面上をスキー式に滑走してお
り、このときの状態は略々図７に示したようになってい
る。キャリア１００の後部領域には、エア・ベアリング
発生用レール部が形成されていないため、この領域に作
用する空気による浮上力は問題とならないほど小さく、
そのためスキー・パッド１１８は、広範な速度範囲の全
域に亙って、ディスク１５０上の潤滑液の膜１４６の表
面に接触した状態に維持される。そして、このことによ
って、トランスデューサ１０９が、ディスク１５０上の
磁性体層に近接した位置に保持される。
リキッド・ベアリング式ディスク・ファイル 次に図６及び図７について説明すると、これらの図は、
改良したスキー式滑走型トランスデューサ・キャリア１
００を示した図である。キャリア１００は、ディスク対
向面１０２と、背面１０４と、前縁部１０６と、後縁部
１０８とを有している。トランスデューサ１０９は、例
えば、ディスクに対してデータの読み書きを行なう一般
的な薄膜ヘッド等であり、キャリア１００の後端部１０
８に形成してある。ヘッド１０９は、例えば、誘導型読
み書きトランスデューサとしても良く、また、当業界に
おいて周知のように、誘導型書込みトランスデューサ
に、薄膜蒸着技術によって形成した磁気抵抗型（ＭＲ）
読取りトランスデューサを付設したものとしても良い。
キャリア１００のディスク対向面１０２にはエア・ベア
リング面を形成してあり、このエア・ベアリング面は一
対のレール部１１０、１１２を有する形状としてあり、
それらレール部１１０、１１２の各々は、前部テーパ部
１１４、１１６を備えている。ディスク対向面１０２に
は更に、その後縁部１０８の近くの部分に、スキー足
部、即ちスキー・パッド１０８を形成してある。このス
キー・パッド１１８は、ディスク１５０（図７）上に維
持されている潤滑液の膜１４６の表面上をスキー式に滑
走するための、スキー作用面を提供している。図７に示
すように、このスキー・パッド１１８のスキー作用面
は、レール部１１０、１１２のエア・ベアリング作用面
と略々同一平面上に位置している。また、エア・ベアリ
ング発生用レール部１１０、１１２には、それらの前部
テーパ部１１４、１１６の後端の近傍に、一対の前部ス
キー足部、即ちストラット１２０、１２２を、突出させ
て形成してある。図７に示すように、それらストラット
１２０、１２２によって、静止しているディスク１５０
の表面にキャリア１００が乗っているときの、このキャ
リア１００の静止時ピッチ・アップ姿勢が定まる。従っ
て、ディスク１５０の静止時には、レール部１１０、１
１２のエア・ベアリング面は、基本的に、ディスク１５
０上の潤滑液の膜１４６から離隔した状態に維持されて
おり、これによってキャリア−ディスク間境界における
静止摩擦が可及的に低減されている。更に、キャリア１
００が、ストラット１２０、１２２によって定められた
静止時ピッチ・アップ姿勢にあるときには、スキー・パ
ッド１１８とディスク１５０上の潤滑液の膜１４６との
間に、浅い角度が存在するようにしており、これによっ
て、図５に関して既に説明したものと同様に、スキー・
パッド１１８のスキー作用が発生し易いようにしてい
る。更に加えて、ストラット１２０、１２２の先端面
は、スキー・パッド１１８の先端面（スキー作用面）に
対して平行な平面内に位置しているため（ただし、同一
平面内にあるのではない）、ストラット１２０、１２２
の先端面もまた、潤滑液の膜１４６に対して浅い角度を
成している。エア・ベアリング作用を有するレール部１
１０、１１２の寸法は、ディスク・ファイルの動作時速
度の速度範囲の下限速度において、サスペンションから
加えられている荷重のうちの約８０％をエア・ベアリン
グが負担し、残りの荷重をスキー・パッド１１８が負担
するように、その寸法を選定してある。従って、動作時
速度においては、キャリア１００の前端部と、ストラッ
ト１２０、１２２とは、潤滑液の膜１４６から離れた非
接触状態に維持され、一方、後部スキー・パッド１１８
は、潤滑液の膜１４６の表面上をスキー式に滑走してお
り、このときの状態は略々図７に示したようになってい
る。キャリア１００の後部領域には、エア・ベアリング
発生用レール部が形成されていないため、この領域に作
用する空気による浮上力は問題とならないほど小さく、
そのためスキー・パッド１１８は、広範な速度範囲の全
域に亙って、ディスク１５０上の潤滑液の膜１４６の表
面に接触した状態に維持される。そして、このことによ
って、トランスデューサ１０９が、ディスク１５０上の
磁性体層に近接した位置に保持される。
【００１４】スキー・パッド１１８は、その前縁部１２
４の方を、その後縁部１３０よりも幅を広くしてある。
そのため、スキー・パッド１１８の両側面１２６、１２
８はスライダの長手方向に対して傾いている。図示の好
適実施例においては、両側面１２６、１２８に、スライ
ダの長手方向に対して約２０度の角度を付けてある。こ
のように後部スキー・パッド１１８を、その前面が背面
よりも幅広の形状に形成してあるため、このスキー・パ
ッド１１８は、潤滑液の掻き分け作用の発生が防止され
ており、それによって、ディスク１５０がスキー・パッ
ド１１８の下方で運動した結果としてディスク１５０上
から失われる潤滑液の量が可及的に少なく抑えられてい
る。このように、潤滑液の掻き分け作用が発生しないよ
うにしているということは更に、引き摺り力を小さく抑
えるのにも役立っており、その結果、スキー・パッド１
１８の下側の潤滑液の膜の厚さの減少が、可及的に小さ
く抑えられている。ヘッドのアクチュエータとして、回
転式アクチュエータを使用しているディスク・ファイル
では、スライダの長手方向が、ディスクの回転運動の接
線方向に一致するのは、ただ１箇所のトラック位置にお
いてだけである。例えば、市販のある２ インチのディ
スク・ドライブでは、スライダは、ディスクの最内径部
においては接線方向に対して約−４度傾き、ディスクの
最外径部においては接線方向に対して約＋１７度傾いた
姿勢を取っている。それゆえ、スキー・パッド１１８の
両側面１２６、１２８の角度を、この接線方向に対する
傾き角度の絶対値の最大値よりも大きくすることによっ
て、例えば約２０度とすることによって、このスキー・
パッド１１８が、キャリアがディスクの最内径部から最
外径部まで移動するときの、ディスク・ファイルの動作
における角度範囲の全範囲に亙って、潤滑液を掻き分け
ない状態に確実に維持することができるようになる。更
にこれによって、ディスクの最内径部から最外径部に至
るまでの間に存在するキャリア−ディスク間相対速度の
全範囲に亙って、キャリア１１０に、適切なスキー式滑
走をさせることが可能になる。
４の方を、その後縁部１３０よりも幅を広くしてある。
そのため、スキー・パッド１１８の両側面１２６、１２
８はスライダの長手方向に対して傾いている。図示の好
適実施例においては、両側面１２６、１２８に、スライ
ダの長手方向に対して約２０度の角度を付けてある。こ
のように後部スキー・パッド１１８を、その前面が背面
よりも幅広の形状に形成してあるため、このスキー・パ
ッド１１８は、潤滑液の掻き分け作用の発生が防止され
ており、それによって、ディスク１５０がスキー・パッ
ド１１８の下方で運動した結果としてディスク１５０上
から失われる潤滑液の量が可及的に少なく抑えられてい
る。このように、潤滑液の掻き分け作用が発生しないよ
うにしているということは更に、引き摺り力を小さく抑
えるのにも役立っており、その結果、スキー・パッド１
１８の下側の潤滑液の膜の厚さの減少が、可及的に小さ
く抑えられている。ヘッドのアクチュエータとして、回
転式アクチュエータを使用しているディスク・ファイル
では、スライダの長手方向が、ディスクの回転運動の接
線方向に一致するのは、ただ１箇所のトラック位置にお
いてだけである。例えば、市販のある２ インチのディ
スク・ドライブでは、スライダは、ディスクの最内径部
においては接線方向に対して約−４度傾き、ディスクの
最外径部においては接線方向に対して約＋１７度傾いた
姿勢を取っている。それゆえ、スキー・パッド１１８の
両側面１２６、１２８の角度を、この接線方向に対する
傾き角度の絶対値の最大値よりも大きくすることによっ
て、例えば約２０度とすることによって、このスキー・
パッド１１８が、キャリアがディスクの最内径部から最
外径部まで移動するときの、ディスク・ファイルの動作
における角度範囲の全範囲に亙って、潤滑液を掻き分け
ない状態に確実に維持することができるようになる。更
にこれによって、ディスクの最内径部から最外径部に至
るまでの間に存在するキャリア−ディスク間相対速度の
全範囲に亙って、キャリア１１０に、適切なスキー式滑
走をさせることが可能になる。
【００１５】スキー・パッド１１８の前縁部１２４は、
略々、膨出した曲線を描く形状としてあり、その曲率半
径は、直線状の背面側の後縁部１３０の長さと同程度に
してある。このようにスキー・パッド１１８の前縁部１
２４の形状を局部的に膨出した形状としたことと、キャ
リア１００の前端部が、図７に示すように、ディスク１
５０の表面から離れた状態に維持されるようにしている
こととが相まって、潤滑液の掻き分け作用を可及的に小
さく抑える一方で、遊離した異物粒子がディスク上に存
在している場合であっても、その異物粒子がスキー・パ
ッド１１８のいずれかの側方へ追いやられるようにして
いる。
略々、膨出した曲線を描く形状としてあり、その曲率半
径は、直線状の背面側の後縁部１３０の長さと同程度に
してある。このようにスキー・パッド１１８の前縁部１
２４の形状を局部的に膨出した形状としたことと、キャ
リア１００の前端部が、図７に示すように、ディスク１
５０の表面から離れた状態に維持されるようにしている
こととが相まって、潤滑液の掻き分け作用を可及的に小
さく抑える一方で、遊離した異物粒子がディスク上に存
在している場合であっても、その異物粒子がスキー・パ
ッド１１８のいずれかの側方へ追いやられるようにして
いる。
【００１６】本発明にかかる後部スキー・パッドの構成
態様によれば、ディスク・ファイルの用途によっては、
潤滑液貯留容器を省略することも可能であることが判明
している。即ち、次のような実験を行なった。この実験
では、数種類のリキッド・ベアリング式ディスク・ファ
イルを、いかなる潤滑液貯留容器も使用せずに組み立
て、トランスデューサ・キャリアには、図４に示したも
のと類似した構造のトランスデューサ・キャリアである
が、ただし、後部スキー・パッド４４を、図６のスキー
・パッド１１８の形状にする改良を加えたものを使用し
た。それらディスク・ファイルは、５か月間に亙って連
続して運転し、始動／停止はごくたまにしか行なわず、
周期的に分解して摩耗量を調べた。その結果、摩耗はま
ったく認められず、それらディスク・ファイルは連続し
て動作し続けた。従って、ディスク・ファイルの用途に
よっては、要求される動作時間が長いために、ディスク
上に潤滑液の膜を維持するための何らかの手段を必要と
するものもあるが、それとは別の、動作時間がかなり短
い用途では、本発明のトランスデューサ・キャリアを用
いることによって、潤滑液の貯留容器を省略することが
可能になる。潤滑液の貯留容器を省略することができれ
ば、ディスク・ファイルは、構造がその分簡単になり、
コストも引き下げることができる。
態様によれば、ディスク・ファイルの用途によっては、
潤滑液貯留容器を省略することも可能であることが判明
している。即ち、次のような実験を行なった。この実験
では、数種類のリキッド・ベアリング式ディスク・ファ
イルを、いかなる潤滑液貯留容器も使用せずに組み立
て、トランスデューサ・キャリアには、図４に示したも
のと類似した構造のトランスデューサ・キャリアである
が、ただし、後部スキー・パッド４４を、図６のスキー
・パッド１１８の形状にする改良を加えたものを使用し
た。それらディスク・ファイルは、５か月間に亙って連
続して運転し、始動／停止はごくたまにしか行なわず、
周期的に分解して摩耗量を調べた。その結果、摩耗はま
ったく認められず、それらディスク・ファイルは連続し
て動作し続けた。従って、ディスク・ファイルの用途に
よっては、要求される動作時間が長いために、ディスク
上に潤滑液の膜を維持するための何らかの手段を必要と
するものもあるが、それとは別の、動作時間がかなり短
い用途では、本発明のトランスデューサ・キャリアを用
いることによって、潤滑液の貯留容器を省略することが
可能になる。潤滑液の貯留容器を省略することができれ
ば、ディスク・ファイルは、構造がその分簡単になり、
コストも引き下げることができる。
【００１７】次に図８のＡ及びＢについて説明する。そ
れらに示したのは、別実施例のキャリアであり、これら
別実施例は、図６の実施例のようにエア・ベアリング面
を提供しているレール部１１０、１１２の上にストラッ
トを形成するのではなく、それらレール部１１０、１１
２の内側と外側とに、ストラット１２０、１２２を形成
するようにした実施例である。即ち、これら別実施例で
は、キャリアのディスク対向面１０２から直接、ストラ
ット１２０、１２２が延出している。これら別実施例の
利点は、ストラット１２０、１２２が、レール部１１
０、１１２の上に形成されていないため、エア・ベアリ
ング性能に影響を及ぼすことがないということである。
更には、ディスク・ファイルの始動及び停止時に、レー
ル部の上のストラットの近くに潤滑液が貯留することが
ないため、静止摩擦力も軽減されている。
れらに示したのは、別実施例のキャリアであり、これら
別実施例は、図６の実施例のようにエア・ベアリング面
を提供しているレール部１１０、１１２の上にストラッ
トを形成するのではなく、それらレール部１１０、１１
２の内側と外側とに、ストラット１２０、１２２を形成
するようにした実施例である。即ち、これら別実施例で
は、キャリアのディスク対向面１０２から直接、ストラ
ット１２０、１２２が延出している。これら別実施例の
利点は、ストラット１２０、１２２が、レール部１１
０、１１２の上に形成されていないため、エア・ベアリ
ング性能に影響を及ぼすことがないということである。
更には、ディスク・ファイルの始動及び停止時に、レー
ル部の上のストラットの近くに潤滑液が貯留することが
ないため、静止摩擦力も軽減されている。
【００１８】次に図８のＣ及びＤについて説明する。そ
れらに示したのは、図６の実施例とも、また図８のＡ及
びＢの実施例とも異なった、更に別の実施例のキャリア
である。これら別実施例のキャリアは、３本ないし４本
のストラットを備えることによって、ディスク・ファイ
ルの非動作時にも、ディスク上の潤滑液の膜からスキー
・パッド１１８が離れた状態を維持するようにしたもの
である。図８のＣ及びＤにおいて、ストラット１３２、
１３４は、ディスク対向面１０２上の、このトランスデ
ューサ・キャリアの重心よりも後方の位置に形成してあ
る。静止したディスクの上にキャリアが乗っているとき
には、トランスデューサ・キャリアは、図８のＣの実施
例ではストラット１２３、１３４と、それに１本の前部
ストラット１３６とで支持されており、また、図８のＤ
の実施例ではストラット１２３、１３４と、それに２本
の前部ストラット１３８、１４０とで支持されている。
ディスク・ファイルの始動時には、トランスデューサ・
キャリアは、最初のうちはその３本ないし４本のストラ
ットの全てでスキー式滑走を行なうが、その後次第に、
レール部１１０、１１２によって提供されるエア・ベア
リングの浮上力によって、後部ストラット１３２、１３
４を中心として揺動するように姿勢が変化して行く。完
全な動作時速度に達したときには、キャリアは既に、ス
キー・パッド１１８だけが潤滑液の膜に接した姿勢にま
で傾いており、ストラットはその全てが、ディスク上の
潤滑液の膜から離れた非接触状態に維持されている。図
８Ｄの実施例の、図８Ｃの実施例と比較したときの利点
は、図８Ｄのキャリアでは、キャリアの前縁部１０６と
スキー・パッド１１８とを結ぶ線の上に位置するストラ
ットが存在しないため、始動及び停止時に潤滑液が飛散
して後部スキー・パッド１１８上に潤滑液が蓄積するこ
とがないということにある。
れらに示したのは、図６の実施例とも、また図８のＡ及
びＢの実施例とも異なった、更に別の実施例のキャリア
である。これら別実施例のキャリアは、３本ないし４本
のストラットを備えることによって、ディスク・ファイ
ルの非動作時にも、ディスク上の潤滑液の膜からスキー
・パッド１１８が離れた状態を維持するようにしたもの
である。図８のＣ及びＤにおいて、ストラット１３２、
１３４は、ディスク対向面１０２上の、このトランスデ
ューサ・キャリアの重心よりも後方の位置に形成してあ
る。静止したディスクの上にキャリアが乗っているとき
には、トランスデューサ・キャリアは、図８のＣの実施
例ではストラット１２３、１３４と、それに１本の前部
ストラット１３６とで支持されており、また、図８のＤ
の実施例ではストラット１２３、１３４と、それに２本
の前部ストラット１３８、１４０とで支持されている。
ディスク・ファイルの始動時には、トランスデューサ・
キャリアは、最初のうちはその３本ないし４本のストラ
ットの全てでスキー式滑走を行なうが、その後次第に、
レール部１１０、１１２によって提供されるエア・ベア
リングの浮上力によって、後部ストラット１３２、１３
４を中心として揺動するように姿勢が変化して行く。完
全な動作時速度に達したときには、キャリアは既に、ス
キー・パッド１１８だけが潤滑液の膜に接した姿勢にま
で傾いており、ストラットはその全てが、ディスク上の
潤滑液の膜から離れた非接触状態に維持されている。図
８Ｄの実施例の、図８Ｃの実施例と比較したときの利点
は、図８Ｄのキャリアでは、キャリアの前縁部１０６と
スキー・パッド１１８とを結ぶ線の上に位置するストラ
ットが存在しないため、始動及び停止時に潤滑液が飛散
して後部スキー・パッド１１８上に潤滑液が蓄積するこ
とがないということにある。
【００１９】本発明のスキー式滑走型キャリアの製作方
法 本発明のスキー式滑走型トランスデューサ・キャリアを
製作するための好適な製作方法について、以下に図９の
Ａ〜Ｆを参照しつつ説明して行く。図９の、これらＡ〜
Ｆは、図８のＡに示したキャリアを製作するステップを
示している。また、図９のこれらＡ〜Ｆは、ストラット
１２０、１２２を通る切断面におけるキャリアの断面図
である。
法 本発明のスキー式滑走型トランスデューサ・キャリアを
製作するための好適な製作方法について、以下に図９の
Ａ〜Ｆを参照しつつ説明して行く。図９の、これらＡ〜
Ｆは、図８のＡに示したキャリアを製作するステップを
示している。また、図９のこれらＡ〜Ｆは、ストラット
１２０、１２２を通る切断面におけるキャリアの断面図
である。
【００２０】図９のＡにおいて、先ずキャリアのボディ
１７０の上面に多層被覆層１７２をスパッタリングによ
って被着形成する。キャリアのボディ１７０の材料は、
典型的な例としては、炭化チタン（ＴｉＣ）とアルミナ
（Ａｌ2 Ｏ3 ）とから成る一般的な混合セラミックス等
である。多層被覆層１７２は、その第１層として、厚さ
５０オングストロームのシリコン（Ｓｉ）層を含んでお
り、この第１層をボディ１７０の上面にスパッタリング
によって被着形成する。続いて第２層として、厚さ１５
０オングストロームのアモルファス水素添加炭素（Ｈ：
Ｃ）の層を形成し、更に厚さ５０オングストロームのシ
リコン層を形成し、そして最上層として厚さ２０００オ
ングストロームのアモルファス水素添加炭素の層を形成
する。このように、被覆層１７２の主要構成部分は、そ
の最上層の、厚さ２０００オングストロームのアモルフ
ァス水素添加炭素の層であり、従ってその主成分は炭素
であって、この炭素によって最終的にストラット１２
０、１２２が形成される。続いて、この被覆層１７２の
上に、フォトレジスト（例えばリストン・ブランドのポ
リメチルメタクラレート（poly-methylmethacralate:Ｐ
ＭＭＡ）等のフォトレジスト）をローラで塗布して、厚
さ約０．０８ミリメートルのフォトレジスト層を形成す
る。続いてこのフォトレジスト層に対して、適当なマス
クを使用して露光を施す。ここで使用するマスクは、エ
ア・ベアリング発生用レール部１１０、１１２と、後部
スキー・パッド１１８と、ストラット１２０、１２２と
に対応したパターンを画成しているマスクである。現像
処理した後に未露光部分のフォトレジストを除去したな
らば、キャリアは図９のＢに示したようになり、この状
態では、エア・ベアリング発生用レール部１１０、１１
２と、後部スキー・パッド１１８と、ストラット１２
０、１２２とが最終的に形成される領域では、被覆層１
７２の上に、フォトレジスト領域が残存している。スト
ラット１２０、１２２が形成される領域に対応したフォ
トレジストの領域は、図９のＢにおいて、フォトレジス
トの島状部分１７４、１７６で示した領域である。酸素
プラズマ・エッチング処理、即ち灰化（アッシング）処
理を実行して、シリコンと炭素とから成る多層の被覆層
１７２のうち、フォトレジストによって保護されていな
い領域の部分を除去する。続いて反応性イオン・エッチ
ング処理を実行し、キャリアのボディ１７０をディスク
対向面１０２の深さにまでエッチングし、それによっ
て、エア・ベアリング発生用レール部１１０、１１２
と、後部スキー・パッド１１８とを画成し、ここまでを
行なった状態を図９のＣに示した。続いて、残存してい
たフォトレジストを除去した後に、第２回目のフォトレ
ジスト層を塗布形成し、露光し、更に現像して、図９の
Ｄに示したように、ストラット１２０、１２２を覆う部
分にだけフォトレジストの島状部分１７８が残るように
する。続いて灰化処理を実行し、図９のＥに示すよう
に、それまで残存していた、シリコンと炭素とから成る
多層被覆層１７２のうち、そのフォトレジストによって
保護されていない領域の部分を除去してレール部１１
０、１１２を画成する。最後に図９のＦに示すように、
そのときまで残存していたフォトレジスト層１７８を除
去したならば、キャリアが完成する。完成したキャリア
は、キャリアのボディ１７０と、エア・ベアリング発生
用レール部１１０、１１２と、ストラット１２０、１２
２とから形成されており、ストラット１２０、１２２
は、シリコンと炭素とから成る多層の被覆層から形成さ
れていて、レール部１１０、１１２の底面よりも更に約
２１５０オングストローム突出しており、この２１５０
オングストロームという突出長さは、スパッタリングに
よって被着形成したシリコンと炭素とから成る多層の被
覆層の厚さである。尚、図９のＥ及びＦの断面図には示
していないが、以上のプロセスが実行される間に、後部
スキー・パッド１１８も併せて形成されており、この後
部スキー・パッド１１８のスキー式滑走面は、レール部
１１０、１１２のエア・ベアリング発生面と同一平面上
にある。
１７０の上面に多層被覆層１７２をスパッタリングによ
って被着形成する。キャリアのボディ１７０の材料は、
典型的な例としては、炭化チタン（ＴｉＣ）とアルミナ
（Ａｌ2 Ｏ3 ）とから成る一般的な混合セラミックス等
である。多層被覆層１７２は、その第１層として、厚さ
５０オングストロームのシリコン（Ｓｉ）層を含んでお
り、この第１層をボディ１７０の上面にスパッタリング
によって被着形成する。続いて第２層として、厚さ１５
０オングストロームのアモルファス水素添加炭素（Ｈ：
Ｃ）の層を形成し、更に厚さ５０オングストロームのシ
リコン層を形成し、そして最上層として厚さ２０００オ
ングストロームのアモルファス水素添加炭素の層を形成
する。このように、被覆層１７２の主要構成部分は、そ
の最上層の、厚さ２０００オングストロームのアモルフ
ァス水素添加炭素の層であり、従ってその主成分は炭素
であって、この炭素によって最終的にストラット１２
０、１２２が形成される。続いて、この被覆層１７２の
上に、フォトレジスト（例えばリストン・ブランドのポ
リメチルメタクラレート（poly-methylmethacralate:Ｐ
ＭＭＡ）等のフォトレジスト）をローラで塗布して、厚
さ約０．０８ミリメートルのフォトレジスト層を形成す
る。続いてこのフォトレジスト層に対して、適当なマス
クを使用して露光を施す。ここで使用するマスクは、エ
ア・ベアリング発生用レール部１１０、１１２と、後部
スキー・パッド１１８と、ストラット１２０、１２２と
に対応したパターンを画成しているマスクである。現像
処理した後に未露光部分のフォトレジストを除去したな
らば、キャリアは図９のＢに示したようになり、この状
態では、エア・ベアリング発生用レール部１１０、１１
２と、後部スキー・パッド１１８と、ストラット１２
０、１２２とが最終的に形成される領域では、被覆層１
７２の上に、フォトレジスト領域が残存している。スト
ラット１２０、１２２が形成される領域に対応したフォ
トレジストの領域は、図９のＢにおいて、フォトレジス
トの島状部分１７４、１７６で示した領域である。酸素
プラズマ・エッチング処理、即ち灰化（アッシング）処
理を実行して、シリコンと炭素とから成る多層の被覆層
１７２のうち、フォトレジストによって保護されていな
い領域の部分を除去する。続いて反応性イオン・エッチ
ング処理を実行し、キャリアのボディ１７０をディスク
対向面１０２の深さにまでエッチングし、それによっ
て、エア・ベアリング発生用レール部１１０、１１２
と、後部スキー・パッド１１８とを画成し、ここまでを
行なった状態を図９のＣに示した。続いて、残存してい
たフォトレジストを除去した後に、第２回目のフォトレ
ジスト層を塗布形成し、露光し、更に現像して、図９の
Ｄに示したように、ストラット１２０、１２２を覆う部
分にだけフォトレジストの島状部分１７８が残るように
する。続いて灰化処理を実行し、図９のＥに示すよう
に、それまで残存していた、シリコンと炭素とから成る
多層被覆層１７２のうち、そのフォトレジストによって
保護されていない領域の部分を除去してレール部１１
０、１１２を画成する。最後に図９のＦに示すように、
そのときまで残存していたフォトレジスト層１７８を除
去したならば、キャリアが完成する。完成したキャリア
は、キャリアのボディ１７０と、エア・ベアリング発生
用レール部１１０、１１２と、ストラット１２０、１２
２とから形成されており、ストラット１２０、１２２
は、シリコンと炭素とから成る多層の被覆層から形成さ
れていて、レール部１１０、１１２の底面よりも更に約
２１５０オングストローム突出しており、この２１５０
オングストロームという突出長さは、スパッタリングに
よって被着形成したシリコンと炭素とから成る多層の被
覆層の厚さである。尚、図９のＥ及びＦの断面図には示
していないが、以上のプロセスが実行される間に、後部
スキー・パッド１１８も併せて形成されており、この後
部スキー・パッド１１８のスキー式滑走面は、レール部
１１０、１１２のエア・ベアリング発生面と同一平面上
にある。
【００２１】実験結果 図８のＡに示したトランスデューサ・キャリアを以上に
説明したプロセスによって製作し、また炭素製のストラ
ット１２０、１２２を、ディスク対向面１０２上に、レ
ール部１１０、１１２のエア・ベアリング発生面よりも
約１４００オングストローム突出するようにして形成し
た。このキャリアを、コバルト−プラチナ−クロム磁性
体層と、厚さ１５０オングストロームの炭素製の保護層
とを備えた２ インチの薄膜ディスクの上で試験した。
一般的なパーフルオロポリエーテルの潤滑液（デナム・
ブランドのＳＰ潤滑液を用いた）を滴下して塗布し、厚
さが約４０オングストロームの潤滑液の膜を、炭素製の
被覆層（保護層）の上に形成した。サスペンションから
キャリアへ加わる荷重の大きさは、４〜６グラムの範囲
内の大きさとなるようにした。ストラット１２０、１２
２がディスクから浮上する速度は、約３〜４メートル／
秒の速度範囲内の速度であった。後部スキー・パッド１
１８は、この速度範囲から、最高では約１５〜２０メー
トル／秒までの速度において、潤滑液の膜に接触した状
態を保つことが観察された。静止摩擦力の大きさを測定
したところ、約５グラムであった。また、引き摺り力の
大きさを測定したところ、ディスクファイルの動作速度
の範囲である、５．５〜１１メートル／秒の速度範囲に
おいて、約０．１〜０．４グラムであった。これら測定
値はいずれも、ディスク・ファイルにおける動作上の問
題を発生させない、適切な値である。潤滑液の厚さを、
ディスク・ファイルのトラック追随動作が行なわれてい
る間に、運転時間の関数として測定した。始動時の潤滑
液の膜の厚さは約４０オングストロームであり、２日間
に亙るトラック追随動作を実行した後の、潤滑液の失わ
れた量は、５オングストローム以下であることが測定さ
れた。
説明したプロセスによって製作し、また炭素製のストラ
ット１２０、１２２を、ディスク対向面１０２上に、レ
ール部１１０、１１２のエア・ベアリング発生面よりも
約１４００オングストローム突出するようにして形成し
た。このキャリアを、コバルト−プラチナ−クロム磁性
体層と、厚さ１５０オングストロームの炭素製の保護層
とを備えた２ インチの薄膜ディスクの上で試験した。
一般的なパーフルオロポリエーテルの潤滑液（デナム・
ブランドのＳＰ潤滑液を用いた）を滴下して塗布し、厚
さが約４０オングストロームの潤滑液の膜を、炭素製の
被覆層（保護層）の上に形成した。サスペンションから
キャリアへ加わる荷重の大きさは、４〜６グラムの範囲
内の大きさとなるようにした。ストラット１２０、１２
２がディスクから浮上する速度は、約３〜４メートル／
秒の速度範囲内の速度であった。後部スキー・パッド１
１８は、この速度範囲から、最高では約１５〜２０メー
トル／秒までの速度において、潤滑液の膜に接触した状
態を保つことが観察された。静止摩擦力の大きさを測定
したところ、約５グラムであった。また、引き摺り力の
大きさを測定したところ、ディスクファイルの動作速度
の範囲である、５．５〜１１メートル／秒の速度範囲に
おいて、約０．１〜０．４グラムであった。これら測定
値はいずれも、ディスク・ファイルにおける動作上の問
題を発生させない、適切な値である。潤滑液の厚さを、
ディスク・ファイルのトラック追随動作が行なわれてい
る間に、運転時間の関数として測定した。始動時の潤滑
液の膜の厚さは約４０オングストロームであり、２日間
に亙るトラック追随動作を実行した後の、潤滑液の失わ
れた量は、５オングストローム以下であることが測定さ
れた。
【図１】リキッド・ベアリング式ディスク・ファイルの
断面模式図である。
断面模式図である。
【図２】図１の断面模式図に示したリキッド・ベアリン
グ式ディスク・ファイルの、カバーを外して開放した状
態における上面図である。
グ式ディスク・ファイルの、カバーを外して開放した状
態における上面図である。
【図３】リキッド・ベアリング式ディスク・ファイルに
使用するスペーサ・リング兼潤滑液貯留容器の、部分破
断図とした斜視図である。
使用するスペーサ・リング兼潤滑液貯留容器の、部分破
断図とした斜視図である。
【図４】スキー式滑走面を備えるように改造したエア・
ベアリング式スライダの、底面即ちディスク対向面を示
した平面図である。
ベアリング式スライダの、底面即ちディスク対向面を示
した平面図である。
【図５】スキー式滑走型トランスデューサ・キャリアを
備えたリキッド・ベアリング式ディスク・ファイルの、
キャリア−ディスク間境界の断面図である。
備えたリキッド・ベアリング式ディスク・ファイルの、
キャリア−ディスク間境界の断面図である。
【図６】本発明のスキー式滑走型トランスデューサ・キ
ャリアの、ディスク対向面を示した平面図である。
ャリアの、ディスク対向面を示した平面図である。
【図７】図６のトランスデューサ・キャリアの、ディス
ク上に乗っている状態を示した側面図である。
ク上に乗っている状態を示した側面図である。
【図８】Ａ及びＢは、前部のスキー足部即ちストラット
の位置を異ならせた、本発明のスキー式滑走型トランス
デューサ・キャリアの別実施例の平面図、Ｃ及びＤは、
ディスク・ファイルの非動作時にトランスデューサ・キ
ャリアを支持するための追加のスキー足部即ちストラッ
トを備えた、本発明のスキー式滑走型トランスデューサ
・キャリアの更に別実施例の平面図である。
の位置を異ならせた、本発明のスキー式滑走型トランス
デューサ・キャリアの別実施例の平面図、Ｃ及びＤは、
ディスク・ファイルの非動作時にトランスデューサ・キ
ャリアを支持するための追加のスキー足部即ちストラッ
トを備えた、本発明のスキー式滑走型トランスデューサ
・キャリアの更に別実施例の平面図である。
【図９】Ａ〜Ｆは、図８のＡのスキー式滑走型トランス
デューサ・キャリアを製作するための一連のステップを
示した、図８のＡのスキー式滑走型トランスデューサ・
キャリアの断面図である。
デューサ・キャリアを製作するための一連のステップを
示した、図８のＡのスキー式滑走型トランスデューサ・
キャリアの断面図である。
１０ ベース部材 １１ カバー部材 １２ ディスク駆動用モータ １４ アクチュエータ １６ 磁気記録ディスク ２０ トランスデューサ・キャリア １００ トランスデューサ・キャリア １０２ ディスク対向面 １０４ 背面 １０６ 前縁部 １０８ 後縁部 １０９ トランスデューサ（ヘッド） １１０、１１２ レール部 １１４、１１６ 前部テーパ部 １１８ スキー・パッド １２０、１２２ ストラット １３２、１３４ ストラット １３６ ストラット １３８、１４０ ストラット １４６ 潤滑液の膜 １５０ ディスク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 モリス・ムサ・ドベク アメリカ合衆国94566、カリフォルニア 州 プリーザントン、ティオガ・コート 479番地 (72)発明者 ジョン・スチュワート・フォスター アメリカ合衆国95037、カリフォルニア 州 モーガン・ヒル、オーク・レーン 3461番地 (72)発明者 ルイス・パディラ・フランコ アメリカ合衆国95020、カリフォルニア 州 ギルロイ、リオンズ・クリーク・ド ライブ 8712番地 (72)発明者 アンドリュー・マリアン・ホモラ アメリカ合衆国95037、カリフォルニア 州 モーガン・ヒル、ソレル・ウェイ 16823番地 (56)参考文献 特開 平２−130789（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−162213（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−119580（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−294283（ＪＰ，Ａ)
Claims (13)
- 【請求項１】 データ記録用ディスク・ファイルにおい
て、 その表面に潤滑液の膜が形成された少なくとも１枚のデ
ータ記録用のディスクと、 前記ディスクに連結された、前記ディスクを回転させる
ためのモータと、 前記ディスクに対してデータの書込みないし読取りを行
なうためのトランスデューサと、 ディスク対向面と前縁部と後縁部とを有するトランスデ
ューサ・キャリアであって、前記ディスク対向面の前記
前縁部の近傍に設けたエア・ベアリング面と、前記ディ
スク対向面の前記後縁部の近傍に設けたリキッド・ベア
リング用スキー式滑走面と、前記ディスク対向面に前記
エア・ベアリング面とは別個に設けた複数のストラット
とを備え、それら複数のストラットが、前記ディスクの
非回転時に前記エア・ベアリング面を前記ディスクから
離して支持するようにしてある、トランスデューサ・キ
ャリアと、 前記トランスデューサ・キャリアを前記ディスク上にお
いて略々径方向に移動させて、前記トランスデューサが
前記ディスク上の異なった領域のデータにアクセスでき
るようにするアクチュエータと、 前記トランスデューサ・キャリアを前記アクチュエータ
に連結している手段であって、前記ディスクが回転して
いる間、前記トランスデューサ・キャリアの前記リキッ
ド・ベアリング用スキー式滑走面を、前記ディスクの表
面の前記潤滑液の膜に接触した状態に維持するための手
段と、 前記モータ及び前記アクチュエータを支持するための手
段と、を備えたことを特徴とするデータ記録用ディスク
・ファイル。 - 【請求項２】 前記ディスクの表面の前記潤滑液の膜を
維持するように前記ディスクへ潤滑液を供給するための
手段を更に備えたことを特徴とする請求項１記載のデー
タ記録用ディスク・ファイル。 - 【請求項３】 前記複数のストラットが、前記ディスク
の非回転時に前記エア・ベアリング面と前記スキー式滑
走面とを前記ディスクから離して支持するようにした少
なくとも３つのストラットから成ることを特徴とする請
求項１記載のデータ記録用ディスク・ファイル。 - 【請求項４】 前記複数のストラットのうちの２つのス
トラットを前記トランスデューサ・キャリアの重心より
も後方に配置してあり、それによって、前記ディスクの
回転速度が前記ディスク・ファイルの動作速度に近付く
につれて前記エア・ベアリング面が前記ディスクから離
れる方向に揺動し、前記スキー式滑走面が揺動して前記
ディスクの表面の前記潤滑液の膜に接触するようにして
あることを特徴とする請求項３記載のデータ記録用ディ
スク・ファイル。 - 【請求項５】 リキッド・ベアリング式ヘッド−ディス
ク間境界を採用しているデータ記録用ディスク・ファイ
ルのためのトランスデューサ・アセンブリにおいて、 ディスク対向面と前縁部と後縁部とを有するトランスデ
ューサ・キャリアであって、前記ディスク対向面の前記
前縁部の近傍に設けたエア・ベアリング面と、前記ディ
スク対向面の前記後縁部の近傍に設けたリキッド・ベア
リング用スキー式滑走面と、前記ディスク対向面に前記
エア・ベアリング面とは別個に設けた複数のストラット
とを備え、それら複数のストラットが、前記ディスクの
非回転時に前記エア・ベアリング面を前記ディスクから
離して支持するようにしてある、トランスデューサ・キ
ャリアと、 前記トランスデューサ・キャリア上の前記後縁部の近傍
に設けた、前記ディスクに対してデータの書込みないし
読取りを行なうためのトランスデューサと、を備えたこ
とを特徴とするトランスデューサ・アセンブリ。 - 【請求項６】 前記ストラットを、前記エア・ベアリン
グ面の内側方に配設してあることを特徴とする請求項５
記載のトランスデューサ・アセンブリ。 - 【請求項７】 前記ストラットを、前記リキッド・ベア
リング用スキー式滑走面の外側方に配設してあり、それ
によって、前記リキッド・ベアリング用スキー式滑走面
と前記トランスデューサ・キャリアの前記前縁部との間
には、いかなるストラットも位置していないようにして
あることを特徴とする請求項５記載のトランスデューサ
・アセンブリ。 - 【請求項８】 前記エア・ベアリング面が２つのエア・
ベアリング発生用レール部を含んでおり、それら２つの
レール部の各々を、前記リキッド・ベアリング用スキー
式滑走面の外側方に配設してあることを特徴とする請求
項５記載のトランスデューサ・アセンブリ。 - 【請求項９】 前記複数のストラットが、ディスク・フ
ァイルの非動作時に前記エア・ベアリング面と前記スキ
ー式滑走面とを前記ディスクから離して支持するように
した少なくとも３つのストラットから成ることを特徴と
する請求項５記載のトランスデューサ・アセンブリ。 - 【請求項１０】 前記複数のストラットのうちの２つの
ストラットを前記トランスデューサ・キャリアの重心よ
りも後方に配置してあり、それによって、前記ディスク
の回転速度が前記ディスク・ファイルの動作速度に近付
くにつれて前記エア・ベアリング面が前記ディスクから
離れる方向に揺動し、前記スキー式滑走面が揺動して前
記ディスクの表面の潤滑液の膜に接触するようにしてあ
ることを特徴とする請求項９記載のトランスデューサ・
アセンブリ。 - 【請求項１１】 前記トランスデューサ・キャリアを前
記ディスク・ファイルのアクチュエータに連結するため
の連結手段を更に備え、該連結手段が、前記トランスデ
ューサ・キャリアの前記スキー式滑走面を、前記ディス
クの表面の前記潤滑液の膜に接触させるように付勢する
手段を含んでいることを特徴とする請求項５記載のトラ
ンスデューサ・アセンブリ。 - 【請求項１２】 前記トランスデューサ・キャリアを前
記ディスク・ファイルのアクチュエータに連結するため
の前記連結手段が、前記トランスデューサ・キャリアに
実質的なジンバル式運動をさせるための手段を含んでお
り、それによって、前記ディスクの回転中に、前記スキ
ー式滑走面が前記潤滑液の膜と接触した状態に維持され
ているときにも、前記トランスデューサ・キャリアがピ
ッチ運動及びロール運動を行なえるようにしてあること
を特徴とする請求項１１記載のトランスデューサ・アセ
ンブリ。 - 【請求項１３】 リキッド・ベアリング式ヘッド−ディ
スク間境界を採用しているデータ記録用ディスク・ファ
イルのためのトランスデューサ・アセンブリにおいて、 ディスク対向面と前縁部と後縁部とを有するトランスデ
ューサ・キャリアであって、前記ディスク対向面の前記
後縁部の近傍に設けたリキッド・ベアリング用スキー・
パッドと、前記ディスク対向面上の前記前縁部の近傍で
あってしかも前記スキー・パッドより外側に設けた一対
のエア・ベアリング発生用レール部と、前記エア・ベア
リング発生用レール部とは別個に設けた複数のストラッ
トとを備え、それら複数のストラットが、ディスクの非
回転時に前記エア・ベアリング発生用レール部を前記デ
ィスクから離して支持するようにしてある、トランスデ
ューサ・キャリアと、 前記トランスデューサ・キャリア上の前記後縁部の近傍
に設けた、前記ディスクに対してデータの書込みないし
読取りを行なうためのトランスデューサと、を備えたこ
とを特徴とするトランスデューサ・アセンブリ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US876843 | 1992-04-30 | ||
| US07/876,843 US5285337A (en) | 1992-04-30 | 1992-04-30 | Liquid-bearing data recording disk file with transducer carrier having support struts |
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|---|---|
| JPH0644718A JPH0644718A (ja) | 1994-02-18 |
| JP2500091B2 true JP2500091B2 (ja) | 1996-05-29 |
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