JPS58166562A - 磁気ヘツド・スライダ - Google Patents

磁気ヘツド・スライダ

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JPS58166562A
JPS58166562A JP57214796A JP21479682A JPS58166562A JP S58166562 A JPS58166562 A JP S58166562A JP 57214796 A JP57214796 A JP 57214796A JP 21479682 A JP21479682 A JP 21479682A JP S58166562 A JPS58166562 A JP S58166562A
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JP
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slider
magnetic head
disk
titanium carbide
etching
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JP57214796A
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JPS6355157B2 (ja
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フリ−ドリツヒ・エルテイングスハウゼン
ホルカ−・ハインリツヒ
ホルゲル・ヒンケル
ゲルハルト・カウス
イエルゲン・ケムプフ
ハンス・ジエオルグ・ナウト
マンフレツド・シユラデル
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    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
    • G11B5/255—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features comprising means for protection against wear
    • G—PHYSICS
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    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B23/00—Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture
    • G11B23/50—Reconditioning of record carriers; Cleaning of record carriers ; Carrying-off electrostatic charges
    • G11B23/505—Reconditioning of record carriers; Cleaning of record carriers ; Carrying-off electrostatic charges of disk carriers
    • G11B23/507—Reconditioning of record carriers; Cleaning of record carriers ; Carrying-off electrostatic charges of disk carriers combined with means for reducing influence of physical parameters, e.g. temperature change, moisture
    • G—PHYSICS
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    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/10—Structure or manufacture of housings or shields for heads
    • G—PHYSICS
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    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)
  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は磁気へラド−スライダに関し、特に酸化アルミ
ニウム及び炭化チタンを含むセラミック材料（７０％の
Ａｔ２０３と３０％のＴｉＣとを含むことが望ましい）
によって造られ、空気ベアリング作用によって浮動する
磁気ヘッド・スライダに関するものである。
更に具体的に言えば、本発明は米国特許第４２５１８４
１号に開示されている型の磁気ヘッド・スライダの改良
に関する＠セラミック材料は比較的製造しやすく、破壊
しずらく、良好な耐摩耗性を有し、寿命が長く、且つ導
電性を有する・磁気ディスクの単位表面当りのデータ密
度の増大に関連して、磁気ヘッドとディスクの表面との
間の間隔、即ち、磁気ヘッドを支持するスライダとディ
スクの表面との間の空気クッションを減少させることが
必要となっている。従って、磁気ヘッドがディスクと相
対的に動（とぎス２イタカティスクに衝突する可能性及
び頻度は増大する・双方の損傷を引き起こすスライダと
ディスクとの衝突を防ぐため又は少なくとも衝突に起因
する欠陥を減じるためと、始動及゛び停止時の状態を改
善するために、ディスクに潤滑剤を塗ることが行われて
いる。ところが、潤滑剤の層が厚すぎると、スライダと
の接触によるディスクの損傷゛を確実に防ぐことができ
ないこと、及びディスクとスライダとの相対移動の開始
時にスライダがディスクにくっつくことが分かったので
ある。従って、始動の際、スライダがアームから引き離
されたり、アームが曲がる等の事故が発生することもあ
る０適正な厚さの層を形成する様に潤滑剤をディスクに
塗ること及びその厚さを維持することは非常に複雑な要
素がからんでいるので、実施するのは非常に困難である
。一方、調査の結果、ディスクの表面に対面しているス
ライダの表面がスライダとディスクとの接触の態様に相
当影響を及ぼすことが分かつている。
本発明はこの様な問題を解決することを目的としている
０更に詳細に言えば、本発明は酸化アルミニウム及び炭
化チタンを含むセラミック材料で造られた浮動型磁気ヘ
ッド・スライダに関して、始動時及び停止時の浮上及び
滑空特性を改善すること、即ち、スライダとディヌクと
の衝突若しくは干渉の回数を減じる様にスライダを改良
し、それによってスライダ及びヘッドとディスクの寿命
を相当長くすることを目的としている。
本発明は酸化アルミニウム及び炭化チタンを含むスライ
ダの滑空面の表面の直ぐ下の薄い層から炭化チタンを除
去することによって目的を達成している。スライダの寿
命が長くなるということは、スライダとディスクとの間
の致命的な破壊接触を起こすことな（始動及び停止を非
常に多くの回数実行しうる′こと−を意′″味している
・これにヨッテ１磁気ヘッド・スライダ及び関連するデ
ィスクの両方の寿命が相当長くなる。更Ｋ、磁気ディス
ク装置の故障も少くなる。
本発明の好適な実施例において、スライダの表。
面の炭化チタン成分は反応性イオン・エツチング法に従
った選択的エツチングによって除去されるＯこのエツチ
ング処理は数ｎｍ程度の材料を除去するだけなので、ヘ
ッドに悪影響を及ぼすことはな（ゝ０ これから図面を参照しながら本発明の実施例につ（゛て
詳しく説明する。第１図におし・て、磁気ヘッド・スラ
イダ１は滑空面２を形成する３つのレール２Ａ、２Ｂ、
２Ｃを有する。外側の２つのレール２Ａ及び２Ｃは回転
するディスクの上方にスライダ１を浮上させるための空
気ベアリングをもたらす様に形成されてい６０磁気ヘツ
ド３は中央のレール２Ｂの末端に装着されている。磁気
ヘッド３は薄膜変換素子でよ℃・。なお、１つの磁気ヘ
ッドの代りに２つの磁気ヘッドをレール２人及び２Ｃに
装着してもよい。又、滑空面２の形状も異なったものに
することができる。
スライダ１は酸化アルミニウムと炭化チタンとの混合物
（７０％のＡ　’２０５と３０％のＴｉＣとを含むこと
が望ましい）であるセラミック材料によって造られてい
る。
第２図は本発明に従って処理されたスライダ２のレール
２Ｃの部分６の拡大平面図であり、第５図はｉｆ線にお
ける部分６の断面図である・スライダ１０本体の大部分
が酸化アルミニウムから成り、その中に炭化チタン（斜
線の部分）が散在している。本発明に従って、炭化チタ
ンは滑空面２の直ぐ下の厚さ１０乃至１００ｎｒｎ（２
［］乃至５０　ｎｍが最も望ましい）の層４から除去さ
ねている・滑空面２自体の平坦さは依然として保たれて
いるが、領域５においては、層４の厚さに対応するくぼ
みが形成されている。結局、滑空面２は酸化アルミニウ
ムだけで形成されていることになる。従って、炭化チタ
ンは領域５において露出していても、滑空面２として作
用しない。
検査の結果、本発明に従って表面処理を施されたスライ
ダは、その様な処理を施されていない同等の材料及び形
状のスライダよりも非常に良好な始動−停止特性若しく
は浮動特性を示すことがわかった。なぜこの様に特性が
改善されるかについての理論的解明はまだなされていな
い。層４から炭化チタンを除去したあとのくぼみが潤滑
剤を溜めることによってスライダとディスクとの間の潤
滑作用を改善するという仮説も考えられたが、誤りであ
ることがわかった。即ち、もしその仮説が正しければ、
層４から炭化チタンでなく酸化アルミニウムを部分的に
除去して同等の数のくぼみを形成した場合も同等の結果
が得られる筈であるが、比較実験の結果、浮動特性の改
善は認められなかったのである。
従って、本発明によるスライダの浮動特性の改善は、特
定の材料成分の除去、即ち、炭化チタンの除去に依存し
ている。そのとき、スライダ２の滑空面２は酸化アルミ
ニウムだけで形成される〇実験のために用いられたディ
スクは合成樹脂層内に磁性粒子を含むものであった。関
節補綴技術、特に人間の股関節に関する補綴技術から、
合成樹脂と組合わされた酸化アルミニウム・セラミック
は正の摩擦特性を示すことが知られている０更に。
ディスク表面とスライダの滑空面との間の電界がかなり
の影響を受け、スライダの摩耗を減じる様に作用する。
層４から炭化チタンを除去することは、反応性イオン拳
エツチング法に従った選択的エツチングによって行われ
る。エツチング時間が長くても、このエツチングはヘッ
ド３に悪影響を及ぼすことはないので、ヘッド３を覆う
必要はない。エツチングはＣＦ４　プラズマ中で実施す
全ことが゛望ましくゝＯ 平行プレート反応器におけ兎“反゛゛応性イオン・エツ
チングの条件は次の如くである。
プラズマ　　：　ＣＦ４ 流　　量　　　ｅ　　１８ｍｔ７分 電　　力　　　　：　１５００　ワット陰極材料　　　
　：Ｔｉ エツチング速度　：　　Ｉｎｍ／秒より高速エツチング
時間　：５０秒 エツチング時間が５０秒でエツチング速度がＩｎｍ／秒
より少し速い場合、層４の厚さは２０ｎｍより少し厚い
。この様にして処理されたスライダは、同等の条件の下
で、同等の材料及び形状の哀ライダと比べて４倍の回数
の始動／停止動作を良好に実行しうろことがわかった。
エツチング中にスタイダ１の滑空面２の縁部の面取りを
行うことも可能である。そうすることによって、電荷の
影響で縁部にゴミが集まるのを防ぐことができる・ 以上の様に、本発明によるスライダは従来のものよりも
ヘッド及びディスクの寿命を相当長くする効果を奏する
・
【図面の簡単な説明】
第１図は磁気ヘッドを装着した本発明によるスライダの
斜視図、第２図は第１図のスライダの１部分の拡大平面
図、第３図は第２図の部分のｌＮ線に沿った断面図であ
る０ １・・・・スライダ、２・・・・滑空面、６・・・・磁
気ヘッド。 出願人　　インターナショカル・ビジネス・マシーノズ
Φコづ情トづｅン代理人　弁理士　　山　　　本　　　
仁　　　朗（外１名） 第１頁の続き ０発　明　者　ゲルハルト・カラス ドイツ連邦共和国７０３１メトジン ゲン・タルシュトラーセ５６番地 ０発　明　者　イエルゲン・ケムプフ ドイツ連邦共和国７０３６シエーナ イツヒ・フリーセンベーク９番 地 ０発　明　者　ハンス・ジエオルグ・ナウトドイツ連邦
共和国６５００マインツ ・ファルレル・アウトシュ・シ ュトラーセ１２番地 ０発　明　者　マレフレッド・シュラデルドイツ連邦共
和国７０３０ベーブリ ンゲン・ベーベンハウザー・シ ュトラーセ２４番地

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 酸化アルミニウム及び炭化チタンを含むセラミック材料
    で造られ、磁気ヘッドを支持して滑空面の空気ベアリン
    グ作用で浮動するためのスライダであって、上記滑空面
    の直ぐ下の薄い層から炭化チタン成分を除去したことを
    特徴とする磁気ヘッド・スライダ。
JP57214796A 1982-03-25 1982-12-09 磁気ヘツド・スライダ Granted JPS58166562A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP82102505A EP0090055B1 (de) 1982-03-25 1982-03-25 Magnetkopfgleiter aus Keramikmaterial
EP82102505.3 1982-03-25

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS58166562A true JPS58166562A (ja) 1983-10-01
JPS6355157B2 JPS6355157B2 (ja) 1988-11-01

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ID=8188948

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP57214796A Granted JPS58166562A (ja) 1982-03-25 1982-12-09 磁気ヘツド・スライダ

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US (1) US4549238A (ja)
EP (1) EP0090055B1 (ja)
JP (1) JPS58166562A (ja)
DE (1) DE3267514D1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63276769A (ja) * 1987-05-08 1988-11-15 Fujitsu Ltd 磁気ヘッドスライダ
JPH01251308A (ja) * 1987-12-03 1989-10-06 Hitachi Metals Ltd 浮動型磁気ヘッド
JPH04139674A (ja) * 1990-09-28 1992-05-13 Hitachi Ltd 磁気ディスク装置

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4972336A (en) * 1983-10-14 1990-11-20 Applied Magnetics Corporation Read while write magnetic head assembly
US4967300A (en) * 1983-10-14 1990-10-30 Applied Magnetics Corporation Magnetic head assembly having a transverse guiding surface formed of a mixture of aluminum oxide and titanium carbide
WO1986003048A1 (en) * 1984-11-13 1986-05-22 Memorex Corporation Slider with anti-stiction boss
JPH0622053B2 (ja) * 1986-04-23 1994-03-23 住友特殊金属株式会社 基板材料
JPS63317920A (ja) * 1987-06-22 1988-12-26 Mitsubishi Electric Corp 磁気ヘッドの製造方法
US4949194A (en) * 1988-02-26 1990-08-14 Quest Technology Corporation Ceramic support arm for movably positioning transducers
US5118577A (en) * 1988-03-10 1992-06-02 Magnetic Peripherals Inc. Plasma treatment for ceramic materials
US4863809A (en) * 1988-03-10 1989-09-05 Magnetic Peripherals, Inc. Surface treatment for sliders and carbon coated magnetic media
US6600631B1 (en) 1989-11-27 2003-07-29 Censtor Corp. Transducer/flexure/conductor structure for electromagnetic read/write system
US5079657A (en) * 1990-02-15 1992-01-07 Applied Magnetics Corporation Textured air bearing surface
US5162073A (en) * 1990-02-15 1992-11-10 Applied Magnetics Corporation Textured air bearing surface
US5156704A (en) * 1990-06-01 1992-10-20 Computer And Communications Technology Corp. Method for fabricating magnetic head air bearing sliders
US5086360A (en) * 1990-09-06 1992-02-04 Applied Magnetics Corporation Constant flying height slider
JP3092686B2 (ja) * 1992-08-19 2000-09-25 コマッグ・インコーポレイテッド 磁気記録ヘッドスライダ及びその製造方法
US5345353A (en) * 1992-09-21 1994-09-06 International Business Machines Corporation Step projection air bearing slider with improved stiction performance and wear resistance
US5408373A (en) * 1993-03-15 1995-04-18 International Business Machines Corporation Integrated transducer-suspension assembly for vertical recording
US5654850A (en) * 1993-05-18 1997-08-05 Applied Magnetics Corp. Carbon overcoat with electrically conductive adhesive layer for magnetic head sliders
US5336550A (en) * 1993-05-18 1994-08-09 Applied Magnetics Corporation Carbon overcoat for magnetic head sliders
TW279972B (ja) * 1993-06-21 1996-07-01 Komag Inc
US5452166A (en) * 1993-10-01 1995-09-19 Applied Magnetics Corporation Thin film magnetic recording head for minimizing undershoots and a method for manufacturing the same
US5531017A (en) * 1994-02-14 1996-07-02 International Business Machines Corporation Thin film magnetic head fabrication method
US6027660A (en) * 1997-06-23 2000-02-22 International Business Machines Corproation Method of etching ceramics of alumina/TiC with high density plasma
US6362935B1 (en) * 1999-04-20 2002-03-26 Iomega Corporation Chamfered head for enhanced loading onto media
US6683753B1 (en) * 1999-08-20 2004-01-27 International Business Machines Corporation Metal carbide air bearing surface layer on a silicon read/write head element
US6589436B1 (en) 2000-06-14 2003-07-08 International Business Machines Corporation Method of adjusting the flatness of a slider using selective plasma etching
US20040045671A1 (en) * 2002-09-10 2004-03-11 Ed Rejda Selective etching device
US6994608B1 (en) * 2004-11-12 2006-02-07 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. Methods of manufacturing sliders
US8416526B2 (en) 2009-09-08 2013-04-09 International Business Machines Corporation Magnetic head with textured surfaces

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3665436A (en) * 1970-06-17 1972-05-23 Potter Instrument Co Inc Long-wearing magnetic head
US4251841A (en) * 1979-06-01 1981-02-17 International Business Machines Corporation Magnetic head slider assembly

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63276769A (ja) * 1987-05-08 1988-11-15 Fujitsu Ltd 磁気ヘッドスライダ
JPH01251308A (ja) * 1987-12-03 1989-10-06 Hitachi Metals Ltd 浮動型磁気ヘッド
JPH04139674A (ja) * 1990-09-28 1992-05-13 Hitachi Ltd 磁気ディスク装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP0090055A1 (de) 1983-10-05
EP0090055B1 (de) 1985-11-21
JPS6355157B2 (ja) 1988-11-01
US4549238A (en) 1985-10-22
DE3267514D1 (en) 1986-01-02

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