JPS60102606U - 光点位置測定装置 - Google Patents
光点位置測定装置Info
- Publication number
- JPS60102606U JPS60102606U JP19656283U JP19656283U JPS60102606U JP S60102606 U JPS60102606 U JP S60102606U JP 19656283 U JP19656283 U JP 19656283U JP 19656283 U JP19656283 U JP 19656283U JP S60102606 U JPS60102606 U JP S60102606U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- scanning mirror
- measuring device
- position measuring
- slit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
−第１図は三角測量法の原理を説明するための図、第２
図は従来の光点位置測定装置を説明するための図、第３
図は本考案による光点位置測定袋 −置の実施例を
説明するための図、第４図は同じく変形実施例を説明す
るための図である。 図において、１は光源、２は拡散光、３はレンズ、４は
走査鏡、５はスリット、６は光検知器、７は検知器の受
力面、８は参照光源、９は参照光゛集光レンズ、１０轄
参照光、２０はポリゴンミラー、３０は拡散光；匂レス
、４０は参照光パルス、５０は計測制御部、１００は物
体、Ｋは第１定 一点、０は第２定点、ｒは光点
、Ｌは結像位置、Ｙは基準−軸、Ｘは基準横軸、αは傾
斜角、θ２．。 １、 ｄ、 ａは光点Ｐを求めるパラメータをそれぞ゛
れ示す。
図は従来の光点位置測定装置を説明するための図、第３
図は本考案による光点位置測定袋 −置の実施例を
説明するための図、第４図は同じく変形実施例を説明す
るための図である。 図において、１は光源、２は拡散光、３はレンズ、４は
走査鏡、５はスリット、６は光検知器、７は検知器の受
力面、８は参照光源、９は参照光゛集光レンズ、１０轄
参照光、２０はポリゴンミラー、３０は拡散光；匂レス
、４０は参照光パルス、５０は計測制御部、１００は物
体、Ｋは第１定 一点、０は第２定点、ｒは光点
、Ｌは結像位置、Ｙは基準−軸、Ｘは基準横軸、αは傾
斜角、θ２．。 １、 ｄ、 ａは光点Ｐを求めるパラメータをそれぞ゛
れ示す。
Claims (1)
- スポット光線で形成された光点の拡散光を集束するレン
ズと、集束された前記拡散光を反射する走査鏡と、該走
査鏡によって反射された前記拡散光の入射位置を制御す
るスリットの後方に配設された光検知器とで構成され、
前記走査鏡が基準軸位置から前記拡散光を前記スリット
に入射させる位置に到達するまでの所要時間で前記光点
の座標を求める三角測量法応用の位置測定するものにお
いて、前記走査鏡がポリゴンミラーで構成されたことを
特徴とする光点位置測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19656283U JPS60102606U (ja) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | 光点位置測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19656283U JPS60102606U (ja) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | 光点位置測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60102606U true JPS60102606U (ja) | 1985-07-12 |
Family
ID=30421636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19656283U Pending JPS60102606U (ja) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | 光点位置測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60102606U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006132955A (ja) * | 2004-11-02 | 2006-05-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ポリゴンミラーモータのミラー偏心および面出入りを測定する装置 |
-
1983
- 1983-12-20 JP JP19656283U patent/JPS60102606U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006132955A (ja) * | 2004-11-02 | 2006-05-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ポリゴンミラーモータのミラー偏心および面出入りを測定する装置 |
| JP4661167B2 (ja) * | 2004-11-02 | 2011-03-30 | パナソニック株式会社 | ポリゴンミラーモータの測定装置 |
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