JPS6021910U - 位置検出装置 - Google Patents
位置検出装置Info
- Publication number
- JPS6021910U JPS6021910U JP11295583U JP11295583U JPS6021910U JP S6021910 U JPS6021910 U JP S6021910U JP 11295583 U JP11295583 U JP 11295583U JP 11295583 U JP11295583 U JP 11295583U JP S6021910 U JPS6021910 U JP S6021910U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recess
- detection device
- light beam
- hits
- beam generator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面(′よこの考案の一実施例を示し、第1図は光走査
系の概略説明図、第2図は信号処理系のブロック線図、
第3図は信号処理系におけるタイムチャートである。 1・・・・・・物体、1a・・・・・・孔、2・・・・
・・レーザ光源、4・・・・・・偏向ミラー、5・・・
・・・駆動装置、6・・・・・・集光 ゛レンズ、7・
・・・・・光検出器、R・・・・・・光ビーム。
系の概略説明図、第2図は信号処理系のブロック線図、
第3図は信号処理系におけるタイムチャートである。 1・・・・・・物体、1a・・・・・・孔、2・・・・
・・レーザ光源、4・・・・・・偏向ミラー、5・・・
・・・駆動装置、6・・・・・・集光 ゛レンズ、7・
・・・・・光検出器、R・・・・・・光ビーム。
Claims (1)
- 位置検出すべき物体の凹所の内径とほぼ同径の光ビーム
を発生し得るビーム発生装置と、このビーム発生装置の
光ビームを前記物体と相対的に移動させる駆動装置と、
前記ビーム発生装置からの光ビームが物体の凹所以外の
上面に当って反射したときの反射ビームもしくは物体の
凹所に当って物体の下方に透過したと、きの透過ビーム
のいずれかを検出して、前記ビーム発生装置からの光ビ
ームが物体の凹所に当ったときを検出する検出装置と、
この検出装置が物体の凹所を検出したときにおける前記
駆動装置による光ビームの走査位置から凹所の位置を求
める演算装置と、この演算装置の演算値を出力する出力
手段とから成ることを特徴とする位置検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11295583U JPS6021910U (ja) | 1983-07-20 | 1983-07-20 | 位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11295583U JPS6021910U (ja) | 1983-07-20 | 1983-07-20 | 位置検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6021910U true JPS6021910U (ja) | 1985-02-15 |
Family
ID=30261663
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11295583U Pending JPS6021910U (ja) | 1983-07-20 | 1983-07-20 | 位置検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6021910U (ja) |
-
1983
- 1983-07-20 JP JP11295583U patent/JPS6021910U/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS6021910U (ja) | 位置検出装置 | |
JPS5830263Y2 (ja) | 光学式ディスク再生機の自動焦点深索装置 | |
JPS60125594U (ja) | レ−ザ追尾装置 | |
JPH0395980U (ja) | ||
JPH0365995U (ja) | ||
JPS635762U (ja) | ||
JPS59123826U (ja) | 光ビ−ム走査装置 | |
JPS60171684U (ja) | レ−ザ加工装置 | |
JPS60102606U (ja) | 光点位置測定装置 | |
JPS60174818U (ja) | レ−ザ−ビ−ムセンサ | |
JPH02105224U (ja) | ||
JPS6079110U (ja) | 距離測定装置 | |
JPH02124580U (ja) | ||
JPS58145507U (ja) | 測距装置 | |
JPS60154804U (ja) | 測距装置 | |
JPS59144484U (ja) | レ−ザ測距装置 | |
JPH0376144U (ja) | ||
JPS59106685U (ja) | レ−ザ加工装置 | |
JPS6080838U (ja) | 光学的倣い装置 | |
JPH01122680A (ja) | レーザ加工機用距離計測装置 | |
JPS60102605U (ja) | 光点位置測定装置 | |
JPS6048104U (ja) | 光学式表面変位検出装置 | |
JPS59180878U (ja) | レ−ザ加工装置 | |
JPS59122546U (ja) | 硬度測定装置 | |
JPS59162678U (ja) | 物体検知装置 |