JPS6021910U - 位置検出装置 - Google Patents

位置検出装置

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JPS6021910U
JPS6021910U JP11295583U JP11295583U JPS6021910U JP S6021910 U JPS6021910 U JP S6021910U JP 11295583 U JP11295583 U JP 11295583U JP 11295583 U JP11295583 U JP 11295583U JP S6021910 U JPS6021910 U JP S6021910U
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JP
Japan
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recess
detection device
light beam
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beam generator
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Application number
JP11295583U
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Inventor
宮本 慶一
Original Assignee
トキコ株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面(′よこの考案の一実施例を示し、第1図は光走査
系の概略説明図、第2図は信号処理系のブロック線図、
第3図は信号処理系におけるタイムチャートである。 1・・・・・・物体、1a・・・・・・孔、2・・・・
・・レーザ光源、4・・・・・・偏向ミラー、5・・・
・・・駆動装置、6・・・・・・集光 ゛レンズ、7・
・・・・・光検出器、R・・・・・・光ビーム。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 位置検出すべき物体の凹所の内径とほぼ同径の光ビーム
    を発生し得るビーム発生装置と、このビーム発生装置の
    光ビームを前記物体と相対的に移動させる駆動装置と、
    前記ビーム発生装置からの光ビームが物体の凹所以外の
    上面に当って反射したときの反射ビームもしくは物体の
    凹所に当って物体の下方に透過したと、きの透過ビーム
    のいずれかを検出して、前記ビーム発生装置からの光ビ
    ームが物体の凹所に当ったときを検出する検出装置と、
    この検出装置が物体の凹所を検出したときにおける前記
    駆動装置による光ビームの走査位置から凹所の位置を求
    める演算装置と、この演算装置の演算値を出力する出力
    手段とから成ることを特徴とする位置検出装置。
JP11295583U 1983-07-20 1983-07-20 位置検出装置 Pending JPS6021910U (ja)

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JPS6021910U true JPS6021910U (ja) 1985-02-15

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ID=30261663

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