JPS59180878U - レ−ザ加工装置 - Google Patents

レ−ザ加工装置

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JPS59180878U
JPS59180878U JP1983075435U JP7543583U JPS59180878U JP S59180878 U JPS59180878 U JP S59180878U JP 1983075435 U JP1983075435 U JP 1983075435U JP 7543583 U JP7543583 U JP 7543583U JP S59180878 U JPS59180878 U JP S59180878U
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JP
Japan
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processing
laser beam
laser
laser processing
processing equipment
Prior art date
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JP1983075435U
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JPH039905Y2 (ja
Inventor
肇 小山内
Original Assignee
三菱電機株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のレーザ加工装置を示す概略構成図、第２
図はこの考案の一実施例であるレーザ加工装置を示す概
略構成図である。 図において、１・・・レーザ発振機、２．８ａ。 ８ｂ・・・反射鏡、３・・・加工用集光レンズ、４・・
・被加工物、５・・−ｘｙテーブル、６・・・ＮＣ装置
、７・・・距離センサ、９・・・加工ヘッド、１０・・
・制御器、１１・・・モータ、１２・・・焦点調ｕレン
ズ、１３・・・Ｚｎ５ｅ反射鏡である。なお、図中、同
一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 レーザ発振機より出力された加工用レーザ光を、レンズ
    等の集光手段を用いて集光することにより得られる高密
    度熱エネルギーを用いて、被加工物を加工するレーザ加
    工装置において、前記加工用。 レーザ光の照射集光位置と前記被加工物との相対位置を
    測定する手段を設け、該手段は、前記加工用レーザ光と
    比べて波長が異なり、かつ出力も弱い測定用レーザ光と
    、前記加工用レーザ光の伝送経路中に配設され、該加工
    用レーザ光は反射するも、前記測定用レーザ光は透過す
    る反射鏡とにより形成して成る構成としたレーザ加工装
    置。
JP1983075435U 1983-05-20 1983-05-20 レ−ザ加工装置 Granted JPS59180878U (ja)

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JP1983075435U JPS59180878U (ja) 1983-05-20 1983-05-20 レ−ザ加工装置

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JPS59180878U true JPS59180878U (ja) 1984-12-03
JPH039905Y2 JPH039905Y2 (ja) 1991-03-12

Family

ID=30205502

Family Applications (1)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010029906A (ja) * 2008-07-29 2010-02-12 Disco Abrasive Syst Ltd レーザー加工装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS523583A (en) * 1975-06-27 1977-01-12 Toshinori Takagi Crystal film forming process
JPS5628630A (en) * 1979-08-16 1981-03-20 Kawasaki Steel Corp Temperature controlling method of high temperature high pressure reacting cylinder
JPS57139488A (en) * 1981-02-24 1982-08-28 Amada Eng & Service Method and device for adjusting focus of laser beam in laser working device

Patent Citations (3)

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JPH039905Y2 (ja) 1991-03-12

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