JPS58111181U - レ−ザ加工装置 - Google Patents

レ−ザ加工装置

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Publication number
JPS58111181U
JPS58111181U JP1982006287U JP628782U JPS58111181U JP S58111181 U JPS58111181 U JP S58111181U JP 1982006287 U JP1982006287 U JP 1982006287U JP 628782 U JP628782 U JP 628782U JP S58111181 U JPS58111181 U JP S58111181U
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JP
Japan
Prior art keywords
laser
optical system
laser processing
beam splitter
processing equipment
Prior art date
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Pending
Application number
JP1982006287U
Other languages
English (en)
Inventor
憲 石川
Original Assignee
株式会社東芝
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社東芝 filed Critical 株式会社東芝
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のレーザ加工装置の構成図、第２図は本考
案あ一実施例を示すレーザ加工装置の構成図、第３図は
本考案の他の実施例を示すレーザ加工装置の構成図であ
る。 １１・・・・・・レーザ発振器、１３・・・・・・第１
のレンズ（第１の光学系）、１４・・・・・・光ファイ
バ、１７・・・・・・ビームスプリッタ（第２の）、１
８・・・・・・第３のレンズ（第２の光学系）、１９・
・・・・・被加工物、２・０・・・・・・ＴＶカメラ（
観察光学系）、Ｌｌ・・・・・・レーザ光、Ｌ２・・・
・・・照明光。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. レーザ発振器と、このレーザ発振器から出力されたレー
    ザ光を光ファイバにこの光ファイバの許容入射角よりも
    小さな角度で入射させる第１の光学系と、上記光ファイ
    バの出射端に所定の傾斜角度で対向して設けられたビー
    ムスプリッタと、このビームスプリッタで反射したレー
    ザ光を集束して上記被加工物に照射させる第２の光学系
    と、上記被加工物で反射して第２の光学系で集束されて
    から上記ビームスプリッタを透過した照射光を受光する
    観察光学系とを具備したレーザ加工装置。
JP1982006287U 1982-01-20 1982-01-20 レ−ザ加工装置 Pending JPS58111181U (ja)

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JP1982006287U JPS58111181U (ja) 1982-01-20 1982-01-20 レ−ザ加工装置

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JP1982006287U JPS58111181U (ja) 1982-01-20 1982-01-20 レ−ザ加工装置

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Publication Number Publication Date
JPS58111181U true JPS58111181U (ja) 1983-07-29

Family

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Family Applications (1)

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JP1982006287U Pending JPS58111181U (ja) 1982-01-20 1982-01-20 レ−ザ加工装置

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JP (1) JPS58111181U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61238489A (ja) * 1985-04-17 1986-10-23 Nippon Kogaku Kk <Nikon> レ−ザ−加工用光学装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5010631U (ja) * 1973-05-31 1975-02-03
JPS531192B2 (ja) * 1974-01-29 1978-01-17

Patent Citations (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5010631U (ja) * 1973-05-31 1975-02-03
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Cited By (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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