JPS6048104U - 光学式表面変位検出装置 - Google Patents

光学式表面変位検出装置

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JPS6048104U
JPS6048104U JP13970883U JP13970883U JPS6048104U JP S6048104 U JPS6048104 U JP S6048104U JP 13970883 U JP13970883 U JP 13970883U JP 13970883 U JP13970883 U JP 13970883U JP S6048104 U JPS6048104 U JP S6048104U
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JP
Japan
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reflected light
detection element
slit
detecting
collimator lens
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JP13970883U
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Inventor
岡田　淳平
義治 桑原
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株式会社ミツトヨ
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図は、従来の光学式変位検出装置の一例
の構成及び原理を説明するための線図、第３図及び第４
図は、同じ〈従来の光学式変位検出装置の他の例の構成
及び原理を説明するための線区、第５図は、同じ〈従来
の光学式変位検出装置の更に他の例の構成及び原理を説
明するための線図、第６図は、本考案に係る光学式表面
変位検出装置の実施例の構成を示す線区である。 １０・・・測定対象面、４０・・・レーザビーム発生器
、４１・・・レーザビーム、４２・・・回転ミラー、４
４・・・コリメータレンズ、４６・・・平行走査ビーム
、４８・・・基準光検出素子、５０・・・２重スリット
、５２・・・反射光検出素子、５４・・・変位検出回路
。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 光ビーム発生手段と、該光ビーム発生手段から発生され
    たスポット状の光ビームを、等角速度で回転走査するた
    めの等角速度回転走査手段と、該等角速度回転走査手段
    により扇状に回転走査される光ビームを、互いに平行な
    走査ビームとするためのコリメータレンズと、該スリッ
    トを通過した反射光の有無を検出するための反射光検出
    素子と、該コリメ、−タレンズによって形成された平行
    走査ビームが、基準位置を走査されたことを検出するた
    めの基準光検出素子と、前記コリメータレンズを介して
    測定対象面に照射された平行走査ビームの、該測定対象
    面による反射光のうち、平行走査ビーム照射方向とは異
    なる設定方向の反射光のみを通過させるスリットと、該
    スリットを通過した反射光の有無を検出するための反射
    光検出素子と、前記基準光検出素子と反射光検出素子の
    出力信号の発生時間間隔から、測定対象面の設定方向変
    位を求める変位検出回路と、を備えたことを特徴とする
    光学式表面変位検出装置。
JP13970883U 1983-09-09 1983-09-09 光学式表面変位検出装置 Granted JPS6048104U (ja)

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JPS6048104U true JPS6048104U (ja) 1985-04-04
JPH0318887Y2 JPH0318887Y2 (ja) 1991-04-22

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