JPS6167513U - - Google Patents

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JPS6167513U
JPS6167513U JP15273984U JP15273984U JPS6167513U JP S6167513 U JPS6167513 U JP S6167513U JP 15273984 U JP15273984 U JP 15273984U JP 15273984 U JP15273984 U JP 15273984U JP S6167513 U JPS6167513 U JP S6167513U
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JP
Japan
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light source
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light
scale
detecting
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JP15273984U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係る光学式スケール読取装置
の一実施例を示す構成説明図、第２図は第１図の
スケール１０の一部に設けられた原点位置検出用
ターゲツトの構成図、第３図乃至第５図はそれぞ
れ第１図装置の動作を説明する為の図、第６図は
原点位置検出用ターゲツトの他の実施例の構成図
、第７図は従来の光学式スケール読取装置の構成
図、第８図は第７図装置に用いられるハーフミラ
ーの特性を説明する為の図である。 １０…反射形のスケール、１１…原点位置検出
用ターゲツト、１５…刻線、２０…読取りヘツド
、４１…原点位置検出用の光源、４５…スリツト
板、４６…受光素子。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 可干渉性光源を反射形スケールに照射し、
    反射回折光をハーフミラーで混合干渉させるとと
    もに、入射光を特定の入射角になるように構成し
    てハーフミラーの両側に出射する干渉光同志の位
    相差を９０°とし、この干渉光をそれぞれ受光素
    子で電気信号に変換するようにした読取りヘツド
    と、この読取りヘツドにおける前記受光素子の出
    力を演算処理する信号処理部とからなる光学式ス
    ケール読取装置において、原点位置検出用の光源
    からの光を刻線のあるターゲツトが設けられた反
    射形スケールに照射して前記刻線からの反射光を
    所定の周波数で横方向に振動するスリツト板を介
    して受光する受光素子を前記原点位置検出用の光
    源およびスリツト板とともに前記読取りヘツド内
    に設け、前記スケール又は読取りヘツドの移動に
    応じて前記スリツト板を通つた信号の周波数と位
    相が変化することを前記信号処理部における信号
    処理回路で検出することにより、前記スケールの
    原点位置を検出するようにしたことを特徴とする
    光学式スケール読取装置。 (2) 前記原点位置検出用光源として、前記可干
    渉性光源を利用したことを特徴とする実用新案登
    録請求範囲第(1)項記載の光学式スケール読取装
    置。 (3) 前記原点位置検出用光源として、前記可干
    渉性光源とは別の光源を用いたことを特徴とする
    実用新案登録請求範囲第(1)項記載の光学式スケ
    ール読取装置。
JP15273984U 1984-10-09 1984-10-09 Pending JPS6167513U (ja)

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JP15273984U JPS6167513U (ja) 1984-10-09 1984-10-09

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JPS6167513U true JPS6167513U (ja) 1986-05-09

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4926553B1 (ja) * 1970-03-24 1974-07-10
JPS5099357A (ja) * 1973-12-28 1975-08-07
JPS59164914A (ja) * 1983-03-10 1984-09-18 Yokogawa Hokushin Electric Corp 光学式スケ−ル読取装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4926553B1 (ja) * 1970-03-24 1974-07-10
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JPS59164914A (ja) * 1983-03-10 1984-09-18 Yokogawa Hokushin Electric Corp 光学式スケ−ル読取装置

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