JPS6167512U - - Google Patents

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JPS6167512U
JPS6167512U JP15273884U JP15273884U JPS6167512U JP S6167512 U JPS6167512 U JP S6167512U JP 15273884 U JP15273884 U JP 15273884U JP 15273884 U JP15273884 U JP 15273884U JP S6167512 U JPS6167512 U JP S6167512U
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light
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JP15273884U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係る光学式スケール読取装置
の一実施例を示す要部の構成説明図、第２図は第
１図の作用を説明する為の図、第３図イ，ロは本
考案装置の他の実施例の要部の構成説明図、第４
図は従来の光学式スケールの構成説明図、第５図
は第４図装置に用いられるハーフミラーの特性を
説明する為の図である。 １０…反射形のスケール、１１…チヤープ型回
折格子、４１…原点位置検出用の光源、４２…ミ
ラー、４３…スリツト板、４４…受光素子。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 可干渉性光源を反射形スケールに照射し、
    反射回折光をハーフミラーで混合干渉させるとと
    もに、入射光を特定の入射角になるように構成し
    てハーフミラーの両側に出射する干渉光同志の位
    相差を９０°とし、この干渉光をそれぞれ受光素
    子で電気信号に変換するようにした読取りヘツド
    と、この読取りヘツドにおける前記受光素子の出
    力を演算処理する信号処理部とからなる光学式ス
    ケールの読取装置において、原点位置検出用の可
    干渉性光源からの光を前記スケールに設けられた
    チヤープ型回折格子に照射し、この回折格子から
    の反射光をスリツト板を介して受光する受光素子
    を前記原点位置検出用の光源およびスリツト板と
    ともに前記読取りヘツド内に設け、前記スケール
    の移動に応じて変化する前記受光素子からの出力
    により前記スケールの原点位置を検出するように
    したことを特徴とする光学式スケール読取装置。 (2) 前記原点位置検出用光源として、前記可干
    渉性光源を利用したことを特徴とする実用新案登
    録請求範囲第(1)項記載の光学式スケール読取装
    置。 (3) 前記原点位置検出用光源として、前記可干
    渉性光源とは別の光源を用いたことを特徴とする
    実用新案登録請求範囲第(1)項記載の光学式スケ
    ール読取装置。
JP15273884U 1984-10-09 1984-10-09 Pending JPS6167512U (ja)

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JP15273884U JPS6167512U (ja) 1984-10-09 1984-10-09

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JP15273884U JPS6167512U (ja) 1984-10-09 1984-10-09

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JPS6167512U true JPS6167512U (ja) 1986-05-09

Family

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Family Applications (1)

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JP15273884U Pending JPS6167512U (ja) 1984-10-09 1984-10-09

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63188719A (ja) * 1987-01-27 1988-08-04 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング 光電測長装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55101804A (en) * 1979-01-31 1980-08-04 Toshiba Corp Positioning apparatus

Patent Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55101804A (en) * 1979-01-31 1980-08-04 Toshiba Corp Positioning apparatus

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63188719A (ja) * 1987-01-27 1988-08-04 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング 光電測長装置

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