JPS6167514U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6167514U JPS6167514U JP15274084U JP15274084U JPS6167514U JP S6167514 U JPS6167514 U JP S6167514U JP 15274084 U JP15274084 U JP 15274084U JP 15274084 U JP15274084 U JP 15274084U JP S6167514 U JPS6167514 U JP S6167514U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- origin position
- light
- scale
- detecting
- Prior art date
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- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 claims 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
第１図は本考案に係る光学式スケール読取装置
の一実施例を示す構成説明図、第２図は第１図装
置の動作を説明する為の図、第３図は本考案装置
の他の実施例の構成図、第４図は従来の光学式ス
ケール読取装置の構成図、第５図は第４図装置の
作用を説明する為の図である。 １０…反射形のスケール、２０…読取りヘツド
、４１…原点位置検出用の光源、４７…受光素子
、４２…凹面鏡。
の一実施例を示す構成説明図、第２図は第１図装
置の動作を説明する為の図、第３図は本考案装置
の他の実施例の構成図、第４図は従来の光学式ス
ケール読取装置の構成図、第５図は第４図装置の
作用を説明する為の図である。 １０…反射形のスケール、２０…読取りヘツド
、４１…原点位置検出用の光源、４７…受光素子
、４２…凹面鏡。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 可干渉性光源を反射形スケールに照射し、
反射回折光をハーフミラーで混合干渉させるとと
もに、入射光を特定の入射角になるように構成し
てハーフミラーの両側に出射する干渉光同志の位
相差を９０°とし、この干渉光をそれぞれ受光素
子で電気信号に変換するようにした読取りヘツド
と、この読取りヘツドにおける前記受光素子の出
力を演算処理する信号処理回路とからなる光学式
スケール読取装置において、前記読取りヘツド内
に設けた原点位置検出用の光源と、反射形スケー
ルに取付けた凹面鏡と、読取りヘツド内に設けら
れ前記凹面鏡で反射した前記光源からの光を検出
する為の受光素子とよりなり、前記反射形スケー
ルに対して相対的に移動する前記光源からの光を
前記凹面鏡で反射させることにより前記スケール
の原点位置を検出するようにした原点位置検出手
段を設けたことを特徴とする光学式スケール読取
装置。 (2) 前記原点位置検出用光源として、前記可干
渉性光源を利用したことを特徴とする実用新案登
録請求範囲第(1)項記載の光学式スケール読取装
置。 (3) 前記原点位置検出用光源として、前記可干
渉性光源とは別の光源を用いたことを特徴とする
実用新案登録請求範囲第(1)項記載の光学式スケ
ール読取装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15274084U JPH0416896Y2 (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15274084U JPH0416896Y2 (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6167514U true JPS6167514U (ja) | 1986-05-09 |
| JPH0416896Y2 JPH0416896Y2 (ja) | 1992-04-15 |
Family
ID=30710792
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15274084U Expired JPH0416896Y2 (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0416896Y2 (ja) |
-
1984
- 1984-10-09 JP JP15274084U patent/JPH0416896Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0416896Y2 (ja) | 1992-04-15 |
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