JPS60169517U - 光学式スケ−ル読取装置 - Google Patents

光学式スケ−ル読取装置

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JPS60169517U
JPS60169517U JP5640184U JP5640184U JPS60169517U JP S60169517 U JPS60169517 U JP S60169517U JP 5640184 U JP5640184 U JP 5640184U JP 5640184 U JP5640184 U JP 5640184U JP S60169517 U JPS60169517 U JP S60169517U
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JP
Japan
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half mirror
scale
optical scale
interference lights
scale reader
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JP5640184U
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Inventor
明 大手
浩二 秋山
西田　健二郎
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横河電機株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は特願昭５８−３９９５１号で示されている装置
の構成図、第２図はハーフミラ−で干渉するときの位相
関係を示す図、第３図は入射角と受光素子間の関係を示
す図、第４図は本考案に係る装置の構成図、第５図はミ
ラーの取付部分の構成図、第６図〜第８図はハーフミラ
−の取付部分の要部構成図である。 ２１・・・可干渉性光源、２３・・・反射スケール、２
４．２５・・・ミラー、２６．２７・・・ハーフミラ−
１２８，２９・・・受光素子、５１・・・支持部材、５
４・・・はり、５７．５８・・・調整ネジ。 （口、　　　　　　　　　　　　　　ＩＩＪ　　　　　
帛７図 ５ （イ）２７５１ Ｈ （口＞　　　′ａ冶−３ 帛６図 （ハ） ンｂ −７７−’　　　（７％）

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 可干渉光源を反射形スケールに照射し、反射回折光をハ
    ーフミラ−で混合干渉させるとともに、入射光を特定の
    入射角になるように構成してハーフミラ−の両側に出射
    する干渉光同士の位相差を９０°とし、この干渉光をそ
    れぞれ受光素子で電気信号に変換した後演算処理し、前
    記スケールの移動を測定することができるようにした装
    置において、 前記ハーフミラ−を弾性変形を利用したてこ式変位縮小
    機構を有する支持部材に取付けるようにした光学式スケ
    ール読取装置。
JP5640184U 1984-04-17 1984-04-17 光学式スケ−ル読取装置 Granted JPS60169517U (ja)

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JP5640184U JPS60169517U (ja) 1984-04-17 1984-04-17 光学式スケ−ル読取装置

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JPS60169517U true JPS60169517U (ja) 1985-11-11
JPH041456Y2 JPH041456Y2 (ja) 1992-01-20

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013145863A (ja) * 2011-11-29 2013-07-25 Gigaphoton Inc ２光束干渉装置および２光束干渉露光システム

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5781510U (ja) * 1980-11-05 1982-05-20

Patent Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5781510U (ja) * 1980-11-05 1982-05-20

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JP2013145863A (ja) * 2011-11-29 2013-07-25 Gigaphoton Inc ２光束干渉装置および２光束干渉露光システム

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JPH041456Y2 (ja) 1992-01-20

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