JPS60169517U - 光学式スケ−ル読取装置 - Google Patents
光学式スケ−ル読取装置Info
- Publication number
- JPS60169517U JPS60169517U JP5640184U JP5640184U JPS60169517U JP S60169517 U JPS60169517 U JP S60169517U JP 5640184 U JP5640184 U JP 5640184U JP 5640184 U JP5640184 U JP 5640184U JP S60169517 U JPS60169517 U JP S60169517U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- half mirror
- scale
- optical scale
- interference lights
- scale reader
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は特願昭58−39951号で示されている装置
の構成図、第2図はハーフミラ−で干渉するときの位相
関係を示す図、第3図は入射角と受光素子間の関係を示
す図、第4図は本考案に係る装置の構成図、第5図はミ
ラーの取付部分の構成図、第6図〜第8図はハーフミラ
−の取付部分の要部構成図である。 21・・・可干渉性光源、23・・・反射スケール、2
4.25・・・ミラー、26.27・・・ハーフミラ−
128,29・・・受光素子、51・・・支持部材、5
4・・・はり、57.58・・・調整ネジ。 (口、 IIJ
帛7図 5 (イ)2751 H (口> ′a冶−3 帛6図 (ハ) ンb −77−’ (7%)
の構成図、第2図はハーフミラ−で干渉するときの位相
関係を示す図、第3図は入射角と受光素子間の関係を示
す図、第4図は本考案に係る装置の構成図、第5図はミ
ラーの取付部分の構成図、第6図〜第8図はハーフミラ
−の取付部分の要部構成図である。 21・・・可干渉性光源、23・・・反射スケール、2
4.25・・・ミラー、26.27・・・ハーフミラ−
128,29・・・受光素子、51・・・支持部材、5
4・・・はり、57.58・・・調整ネジ。 (口、 IIJ
帛7図 5 (イ)2751 H (口> ′a冶−3 帛6図 (ハ) ンb −77−’ (7%)
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 可干渉光源を反射形スケールに照射し、反射回折光をハ
ーフミラ−で混合干渉させるとともに、入射光を特定の
入射角になるように構成してハーフミラ−の両側に出射
する干渉光同士の位相差を90°とし、この干渉光をそ
れぞれ受光素子で電気信号に変換した後演算処理し、前
記スケールの移動を測定することができるようにした装
置において、 前記ハーフミラ−を弾性変形を利用したてこ式変位縮小
機構を有する支持部材に取付けるようにした光学式スケ
ール読取装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5640184U JPS60169517U (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 光学式スケ−ル読取装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5640184U JPS60169517U (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 光学式スケ−ル読取装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60169517U true JPS60169517U (ja) | 1985-11-11 |
JPH041456Y2 JPH041456Y2 (ja) | 1992-01-20 |
Family
ID=30579958
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5640184U Granted JPS60169517U (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 光学式スケ−ル読取装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60169517U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013145863A (ja) * | 2011-11-29 | 2013-07-25 | Gigaphoton Inc | 2光束干渉装置および2光束干渉露光システム |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5781510U (ja) * | 1980-11-05 | 1982-05-20 |
-
1984
- 1984-04-17 JP JP5640184U patent/JPS60169517U/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5781510U (ja) * | 1980-11-05 | 1982-05-20 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013145863A (ja) * | 2011-11-29 | 2013-07-25 | Gigaphoton Inc | 2光束干渉装置および2光束干渉露光システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH041456Y2 (ja) | 1992-01-20 |
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