JPS5889810U - 光学式スケ−ル読取装置 - Google Patents

光学式スケ−ル読取装置

Info

Publication number
JPS5889810U
JPS5889810U JP1981185151U JP18515181U JPS5889810U JP S5889810 U JPS5889810 U JP S5889810U JP 1981185151 U JP1981185151 U JP 1981185151U JP 18515181 U JP18515181 U JP 18515181U JP S5889810 U JPS5889810 U JP S5889810U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
optical scale
scale
diffraction grating
irradiated
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1981185151U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6139289Y2 (ja
Inventor
秀人 岩岡
浩二 秋山
Original Assignee
横河電機株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 横河電機株式会社 filed Critical 横河電機株式会社
Priority to JP1981185151U priority Critical patent/JPS5889810U/ja
Publication of JPS5889810U publication Critical patent/JPS5889810U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS6139289Y2 publication Critical patent/JPS6139289Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案の一実施例を示す構成図である。第２
図は、キューブプリズムの動作を示ス図である。第３図
は１ハ波長板の動作を示す図である。第４図乃至第６図
は、位相変調回折格子の動作を示す図である。 １・・・可干渉性光源、２・・・キューブプリズム、３
・・・１７４波長板、４・・・スケール、５・・・受光
手段、６・・・制御回路、Ｌｌ、　Ｌ２”・・レンズ、
ｄ□〜ｄ、・・・受光素子、Ａ−Ｄ・・・増幅器、１０
・・・基板、１１・・・レジスト。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 可干渉性光源を光学系を介して回折格子状をなすスケー
    ルに照射し、照射した光が反射または透過する際に生じ
    る多モードの回折光のうちの特定モードの回折光同志が
    干渉する際に生じる干渉縞を受光素子で受け、これを成
    る一定の位相ごとに電気信号として取出すようにした光
    学式スケール読取装置において、前記スケールとして反
    射光の位相差または透過光の位相差が交互に規則正しく
    なるように構成された位相変調回折格子を用いたことを
    特徴とする光学式スケール読取装置。
JP1981185151U 1981-12-11 1981-12-11 光学式スケ−ル読取装置 Granted JPS5889810U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1981185151U JPS5889810U (ja) 1981-12-11 1981-12-11 光学式スケ−ル読取装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1981185151U JPS5889810U (ja) 1981-12-11 1981-12-11 光学式スケ−ル読取装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5889810U true JPS5889810U (ja) 1983-06-17
JPS6139289Y2 JPS6139289Y2 (ja) 1986-11-11

Family

ID=29985943

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1981185151U Granted JPS5889810U (ja) 1981-12-11 1981-12-11 光学式スケ−ル読取装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5889810U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6391515A (ja) * 1986-10-02 1988-04-22 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング 光電測角装置
JP2019211360A (ja) * 2018-06-06 2019-12-12 ファナック株式会社 エンコーダ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6391515A (ja) * 1986-10-02 1988-04-22 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング 光電測角装置
JP2019211360A (ja) * 2018-06-06 2019-12-12 ファナック株式会社 エンコーダ

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6139289Y2 (ja) 1986-11-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6070923U (ja) 焦点誤差検出装置
JPS5889810U (ja) 光学式スケ−ル読取装置
JPS5889811U (ja) 光学式スケ−ル読取装置
JPS5896212U (ja) 光学式スケ−ル読取装置
JPS5960736U (ja) 光検知器
JPS5945506U (ja) 光学式測長スケ−ル
JPS60132620U (ja) 光学記録再生装置のビ−ム位置調整装置
JPS63195217U (ja)
JPS59153630U (ja) 光学式再生装置
JPS59138025U (ja) 光学的記録再生装置
JPS6070058U (ja) 細線突起物検出装置
JPS6144544U (ja) 光検出装置
JPS5890537U (ja) レ−ザ−光源を使用する光学的情報再生装置
JPS58127429U (ja) ラジアルエラ−信号生成回路
JPS58163030U (ja) 情報再生装置
JPS6167512U (ja)
JPS60169721U (ja) 光学式情報再生装置
JPS59138024U (ja) 光学的記録再生装置
JPS6023932U (ja) 記録情報読取装置
JPS61167029U (ja)
JPS5827735U (ja) 光電変換器
JPS58170526U (ja) 揺れ検出装置
JPS6065626U (ja) 変位測定装置
JPS5814236U (ja) 光ピツクアツプ装置
JPS5887145U (ja) 情報再生装置のトラツク追跡制御信号検出回路