JPS5889810U - 光学式スケ−ル読取装置 - Google Patents

光学式スケ−ル読取装置

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JPS5889810U
JPS5889810U JP1981185151U JP18515181U JPS5889810U JP S5889810 U JPS5889810 U JP S5889810U JP 1981185151 U JP1981185151 U JP 1981185151U JP 18515181 U JP18515181 U JP 18515181U JP S5889810 U JPS5889810 U JP S5889810U
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JP
Japan
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light
optical scale
scale
diffraction grating
irradiated
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JP1981185151U
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JPS6139289Y2 (ja
Inventor
秀人 岩岡
浩二 秋山
Original Assignee
横河電機株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案の一実施例を示す構成図である。第２
図は、キューブプリズムの動作を示ス図である。第３図
は１ハ波長板の動作を示す図である。第４図乃至第６図
は、位相変調回折格子の動作を示す図である。 １・・・可干渉性光源、２・・・キューブプリズム、３
・・・１７４波長板、４・・・スケール、５・・・受光
手段、６・・・制御回路、Ｌｌ、　Ｌ２”・・レンズ、
ｄ□〜ｄ、・・・受光素子、Ａ−Ｄ・・・増幅器、１０
・・・基板、１１・・・レジスト。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 可干渉性光源を光学系を介して回折格子状をなすスケー
    ルに照射し、照射した光が反射または透過する際に生じ
    る多モードの回折光のうちの特定モードの回折光同志が
    干渉する際に生じる干渉縞を受光素子で受け、これを成
    る一定の位相ごとに電気信号として取出すようにした光
    学式スケール読取装置において、前記スケールとして反
    射光の位相差または透過光の位相差が交互に規則正しく
    なるように構成された位相変調回折格子を用いたことを
    特徴とする光学式スケール読取装置。
JP1981185151U 1981-12-11 1981-12-11 光学式スケ−ル読取装置 Granted JPS5889810U (ja)

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JP1981185151U JPS5889810U (ja) 1981-12-11 1981-12-11 光学式スケ−ル読取装置

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JP1981185151U JPS5889810U (ja) 1981-12-11 1981-12-11 光学式スケ−ル読取装置

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JPS5889810U true JPS5889810U (ja) 1983-06-17
JPS6139289Y2 JPS6139289Y2 (ja) 1986-11-11

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JP (1) JPS5889810U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6391515A (ja) * 1986-10-02 1988-04-22 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング 光電測角装置
JP2019211360A (ja) * 2018-06-06 2019-12-12 ファナック株式会社 エンコーダ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6391515A (ja) * 1986-10-02 1988-04-22 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング 光電測角装置
JP2019211360A (ja) * 2018-06-06 2019-12-12 ファナック株式会社 エンコーダ

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JPS6139289Y2 (ja) 1986-11-11

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