JPS5896212U - 光学式スケ−ル読取装置 - Google Patents

光学式スケ−ル読取装置

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JPS5896212U
JPS5896212U JP19140181U JP19140181U JPS5896212U JP S5896212 U JPS5896212 U JP S5896212U JP 19140181 U JP19140181 U JP 19140181U JP 19140181 U JP19140181 U JP 19140181U JP S5896212 U JPS5896212 U JP S5896212U
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JP
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irradiated
optical
optical scale
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JP19140181U
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Inventor
秀人 岩岡
浩二 秋山
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横河電機株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は、従来装置の一実施例を示す構成図である。第
2図は、本考案の一実施を示す構成図、第3図は他の実
施例を示す構成図である。 1・・・光源、2・・・キュ゛−ププリズム、3・・・
1八波    ゛長板、4・・・スケール、5・・・ス
トッパ、6・・・受木素子、Ll、 L2. L3−・
・レンズ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 可干渉性光源を光学系を介して回折格子状をなすスケー
    ルに照射し、照射した光が反射する際に生じる多モード
    の回折光のうちの特定モードの回折光同志が干渉する際
    に生じる干渉縞を受光素子で受け、スケールの変位を成
    る一定の位相ごとに電気信号として取出すようにした光
    学式スケール−読取装置において、読取ヘッドからスケ
    ールに照射される光が平行光束となるよう1こ前記光学
    系を構成したことを特徴とする光学式スケール読取装置
JP19140181U 1981-12-22 1981-12-22 光学式スケ−ル読取装置 Granted JPS5896212U (ja)

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JP19140181U JPS5896212U (ja) 1981-12-22 1981-12-22 光学式スケ−ル読取装置

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Publication Number Publication Date
JPS5896212U true JPS5896212U (ja) 1983-06-30
JPH0428014Y2 JPH0428014Y2 (ja) 1992-07-07

Family

ID=30104866

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JP19140181U Granted JPS5896212U (ja) 1981-12-22 1981-12-22 光学式スケ−ル読取装置

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JPH0428014Y2 (ja) 1992-07-07

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