JPS5896212U - 光学式スケ−ル読取装置 - Google Patents
光学式スケ−ル読取装置Info
- Publication number
- JPS5896212U JPS5896212U JP19140181U JP19140181U JPS5896212U JP S5896212 U JPS5896212 U JP S5896212U JP 19140181 U JP19140181 U JP 19140181U JP 19140181 U JP19140181 U JP 19140181U JP S5896212 U JPS5896212 U JP S5896212U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scale
- light
- irradiated
- optical
- optical scale
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は、従来装置の一実施例を示す構成図である。第
2図は、本考案の一実施を示す構成図、第3図は他の実
施例を示す構成図である。 1・・・光源、2・・・キュ゛−ププリズム、3・・・
1八波 ゛長板、4・・・スケール、5・・・ス
トッパ、6・・・受木素子、Ll、 L2. L3−・
・レンズ。
2図は、本考案の一実施を示す構成図、第3図は他の実
施例を示す構成図である。 1・・・光源、2・・・キュ゛−ププリズム、3・・・
1八波 ゛長板、4・・・スケール、5・・・ス
トッパ、6・・・受木素子、Ll、 L2. L3−・
・レンズ。
Claims (1)
- 可干渉性光源を光学系を介して回折格子状をなすスケー
ルに照射し、照射した光が反射する際に生じる多モード
の回折光のうちの特定モードの回折光同志が干渉する際
に生じる干渉縞を受光素子で受け、スケールの変位を成
る一定の位相ごとに電気信号として取出すようにした光
学式スケール−読取装置において、読取ヘッドからスケ
ールに照射される光が平行光束となるよう1こ前記光学
系を構成したことを特徴とする光学式スケール読取装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19140181U JPS5896212U (ja) | 1981-12-22 | 1981-12-22 | 光学式スケ−ル読取装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19140181U JPS5896212U (ja) | 1981-12-22 | 1981-12-22 | 光学式スケ−ル読取装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5896212U true JPS5896212U (ja) | 1983-06-30 |
JPH0428014Y2 JPH0428014Y2 (ja) | 1992-07-07 |
Family
ID=30104866
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19140181U Granted JPS5896212U (ja) | 1981-12-22 | 1981-12-22 | 光学式スケ−ル読取装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5896212U (ja) |
-
1981
- 1981-12-22 JP JP19140181U patent/JPS5896212U/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0428014Y2 (ja) | 1992-07-07 |
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