JPS58144216U - 位置変位量計測装置 - Google Patents

位置変位量計測装置

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Publication number
JPS58144216U
JPS58144216U JP4019282U JP4019282U JPS58144216U JP S58144216 U JPS58144216 U JP S58144216U JP 4019282 U JP4019282 U JP 4019282U JP 4019282 U JP4019282 U JP 4019282U JP S58144216 U JPS58144216 U JP S58144216U
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JP
Japan
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measuring device
light beam
displacement measuring
position displacement
mirror
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Pending
Application number
JP4019282U
Other languages
English (en)
Inventor
雄三 南雲
Original Assignee
株式会社島津製作所
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Publication date
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Priority to JP4019282U priority Critical patent/JPS58144216U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案の一実施例の構成図、第２図は、上記
実施例を受圧用ベローと補償用ベローに適用実施したと
きの説明に供する模式図、第３図は上記実施例の受光位
置検出回路の要部の１例を示す図、第４図は受光位置検
出回路の要部のもう１つの例を示す図である。 １・・・第１のミラー、２・・・第２のミラー、３・・
・光線入射手段、５・・・受光位置検出回路。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 特定の交差角度で対向配置されかつ少なくとも一方は特
    定方向に変位するよう設けられた第１、第２のミラーと
    、第１のミラーでの反射光線が第２のミラーで反射され
    るように当該箱１のミラーに光線を入射させる光線入射
    手段と、第２のミラーでの反射光線の受光位置を検出す
    る受光位置検出回路とを含むことを特徴とする、位置変
    位量計測装置。
JP4019282U 1982-03-20 1982-03-20 位置変位量計測装置 Pending JPS58144216U (ja)

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JP4019282U JPS58144216U (ja) 1982-03-20 1982-03-20 位置変位量計測装置

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Publication Number Publication Date
JPS58144216U true JPS58144216U (ja) 1983-09-28

Family

ID=30051432

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4019282U Pending JPS58144216U (ja) 1982-03-20 1982-03-20 位置変位量計測装置

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Country Link
JP (1) JPS58144216U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62188315A (ja) * 1986-02-14 1987-08-17 Toshiba Corp マスク・ウエハ間隙設定装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62188315A (ja) * 1986-02-14 1987-08-17 Toshiba Corp マスク・ウエハ間隙設定装置

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