JPS5994878A - 紫外線消去型プログラマブルrom - Google Patents

紫外線消去型プログラマブルrom

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Publication number
JPS5994878A
JPS5994878A JP57205742A JP20574282A JPS5994878A JP S5994878 A JPS5994878 A JP S5994878A JP 57205742 A JP57205742 A JP 57205742A JP 20574282 A JP20574282 A JP 20574282A JP S5994878 A JPS5994878 A JP S5994878A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
memory cell
cell group
ultraviolet ray
film
memory
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP57205742A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshiaki Tamura
田村 嘉朗
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Kyushu Ltd
Original Assignee
NEC Kyushu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Kyushu Ltd filed Critical NEC Kyushu Ltd
Priority to JP57205742A priority Critical patent/JPS5994878A/ja
Publication of JPS5994878A publication Critical patent/JPS5994878A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/68Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
    • H01L29/76Unipolar devices, e.g. field effect transistors
    • H01L29/772Field effect transistors
    • H01L29/78Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Read Only Memory (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)
  • Non-Volatile Memory (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は紫外線消去型プログラマブルRUMに関する
従来、紫外線消去型プログラマブルRUMにおいて、す
べてのメモリセルは、紫外線が透過する膜で覆われてい
た。このため、1度の紫外線消去で、任意のメモリセル
に書込まれた情報はすべて消去され、製品のAC特性1
例えばアクセスタイム、チップイネーブルタイムなどが
測定できないという欠点があった。
この発明の目的は、上記欠点を除去し、必要なメモリセ
ルは紫外線照射を行っても消去されず。
製品のAC%性を測定することのできる紫外線消去型プ
ログラマブルROMを提供することにある。
この発明の紫外線消去型プログラマブル几OMは、紫外
線消去型プログラマブルROMの複数のメモリセルのう
ちの一部のメモリセルを紫外線が透過しない膜でマスク
することにより購成される。
次にこの発明の実施例について図面を用いて説明する。
第1図はこの発明の一実施例の断面図である。
この実施例のROM1は上位のアドレスで選択できる第
1のメモリセル群2と残りのアドレスで選択できる第2
のメモリセル群3とを有す。この第2のメモリセル群3
の上を紫外線5が透過しない膜4で覆う。膜4は紫外線
5が透過しない材料であれば何でも良い。例えば、ポリ
イミドを使用することができる。膜4の厚さは膜の材質
によって決まるもので紫外線5を遮蔽し得る厚さがあれ
は良いっ この実施例では、紫外線を遮蔽する領域、即ち第2のメ
モリセル群として下位のアドレスで選択できるメモリセ
ル群を選んだが、これに限定されず、所望のメモリセル
群を膜4で覆って差支えない。このように、紫外線を通
さない膜4を設けると、紫外線5を照射したとき、第1
のメモリセル群2は消去されるが第2のメモリセル群2
は消去されないで書込まれた情報はそのまま残る。
第2図は第1図に示す一実施例のROMを読出すときの
タイミングチャートである。
アクセスタイム(i7TAcc 、チップイネーブルタ
イムeTcr+とする。第2のメモリセル群にアドレス
人力AD、チップイネーブルCEi入力するとデータ出
力0が得られる。第2図に示す波形から所望のアクセス
タイム’fhcc 、チップイネーブルタイムTCBを
測定することができる。
以上詳細に説明したように、本発明によれば、紫外線消
去を行った後で製品のAC%性を測定することのできる
紫外線消去型プログラマブル几OMを得ることができる
のでその効果は大きい。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例の断面図、第2図は第1図
に示す一実施例のROMを読出すときのタイミングチャ
ートである。 l・・・・・・ROM、2・・・・・・第1のメモリセ
ル群、3・・・・・・第2のメモリセル群、4・・・・
・・膜、5・・・・・・紫外線、AD・・・・・・アド
レスの入力波形、CE・・・・・・チνブイネープルの
入力波形、0・・・・・・データの出力波形、TcB 
・・・・・・チップイネーブルタイム、 TACC・・
・・・・アクセスタイム。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. #凛救肯専紫外線消去型プログラマブルRUMt±=エ
    ポ1数のメモリセルのうちの一部のメモリセルを紫外線
    が透過しない膜で覆ったことを特徴とす右紫外線消去型
    プログラマブルRUM0
JP57205742A 1982-11-24 1982-11-24 紫外線消去型プログラマブルrom Pending JPS5994878A (ja)

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JP57205742A JPS5994878A (ja) 1982-11-24 1982-11-24 紫外線消去型プログラマブルrom

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JPS5994878A true JPS5994878A (ja) 1984-05-31

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04291759A (ja) * 1991-03-20 1992-10-15 Nec Corp 半導体装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04291759A (ja) * 1991-03-20 1992-10-15 Nec Corp 半導体装置

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