JPS5988459U - スパツタリング装置 - Google Patents
スパツタリング装置Info
- Publication number
- JPS5988459U JPS5988459U JP18188482U JP18188482U JPS5988459U JP S5988459 U JPS5988459 U JP S5988459U JP 18188482 U JP18188482 U JP 18188482U JP 18188482 U JP18188482 U JP 18188482U JP S5988459 U JPS5988459 U JP S5988459U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum container
- support device
- vapor deposition
- deposition source
- vacuum
- Prior art date
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- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面はこの考案の一実施例の構成を示す側面図である。
１：ベルジャ、２：ベルジャ架台、５・・・真空ポンプ
、８：蒸着源、１０：蒸着物、１２：Ｌ／−ザ装置、１
９：被処理物支持装置、２０：高周波電極、２２：電源
。
、８：蒸着源、１０：蒸着物、１２：Ｌ／−ザ装置、１
９：被処理物支持装置、２０：高周波電極、２２：電源
。
Claims (1)
- 真空容器と、この真空容器内を減圧にする真空装置と、
上記真空容器内に設置された被処理物支持装置と、この
支持装置により上記真空容器内に支持された被処理物に
対向して上記真空容器内に設置された蒸着源と、この蒸
着源にレーザ光を照射するレーザ装置と、上記支持装置
と上記蒸着源との間に設置された高周波電極と、上記蒸
着源を正電位上記支持装置を負電位に保持するとともに
上記高周波電極に高周波電圧を印加して上記蒸着源から
の蒸発物を付勢する電圧を供給する電源とを具備するこ
とを特徴とするスパッタリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18188482U JPS5988459U (ja) | 1982-12-02 | 1982-12-02 | スパツタリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18188482U JPS5988459U (ja) | 1982-12-02 | 1982-12-02 | スパツタリング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5988459U true JPS5988459U (ja) | 1984-06-15 |
Family
ID=30394026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18188482U Pending JPS5988459U (ja) | 1982-12-02 | 1982-12-02 | スパツタリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5988459U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03166360A (ja) * | 1989-08-22 | 1991-07-18 | Toyota Motor Corp | アモルファス金属膜及びその製造方法 |
-
1982
- 1982-12-02 JP JP18188482U patent/JPS5988459U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03166360A (ja) * | 1989-08-22 | 1991-07-18 | Toyota Motor Corp | アモルファス金属膜及びその製造方法 |
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