JPS5984836U - 半導体製造装置 - Google Patents

半導体製造装置

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JPS5984836U
JPS5984836U JP18162582U JP18162582U JPS5984836U JP S5984836 U JPS5984836 U JP S5984836U JP 18162582 U JP18162582 U JP 18162582U JP 18162582 U JP18162582 U JP 18162582U JP S5984836 U JPS5984836 U JP S5984836U
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JP
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manufacturing equipment
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JP18162582U
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谷田　年弘
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日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の半導体製造装置の一例を示す側断面図、
第２図は第１図の装置における反応ガス流量と時間の関
係図、第３図は本考案の一実施例の半導体製造装置を示
す側断面図である。 １・・・・・・サセプタ、３・・・・・・半導体ウェー
ハ、４・・・・・・主電極板、６・・・・・・密閉容器
、９・・・・・・反応ガス、１゛０・・・・・・補助電
極板、１１・・・・・・バルブ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 密閉容器内に半導体ウエーノ１を載置するサセプタとそ
    の上方定位置に主電極板を対向配置し、サセプタと主電
    極板間に反応ガスを供給しプラズマを発生させて半導体
    ウェーハに所定の加工、処理を施す装置において、密閉
    容器内における前記サセプタ下方定位置に補助電極板を
    配置すると共ｉこ、サセプタと主電極板間に反応ガスを
    供給するガス供給路に反応ガスを前記補助電極板とサセ
    プタ間に切換え流出させるバルブを装備させたことを特
    徴とする半導体製造装置。
JP18162582U 1982-11-29 1982-11-29 半導体製造装置 Granted JPS5984836U (ja)

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JP18162582U JPS5984836U (ja) 1982-11-29 1982-11-29 半導体製造装置

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JP18162582U JPS5984836U (ja) 1982-11-29 1982-11-29 半導体製造装置

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Publication Number Publication Date
JPS5984836U true JPS5984836U (ja) 1984-06-08
JPS6342523Y2 JPS6342523Y2 (ja) 1988-11-08

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JPS6342523Y2 (ja) 1988-11-08

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