JPS60147675U - 縦型気相成長装置 - Google Patents
縦型気相成長装置Info
- Publication number
- JPS60147675U JPS60147675U JP3572084U JP3572084U JPS60147675U JP S60147675 U JPS60147675 U JP S60147675U JP 3572084 U JP3572084 U JP 3572084U JP 3572084 U JP3572084 U JP 3572084U JP S60147675 U JPS60147675 U JP S60147675U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cover
- base plate
- vapor phase
- phase growth
- reaction chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来例の断面図、第２図は本考案の一実施例の
断面図である。 １１・・・ベースプレート、１２・・・ベルジャ、１４
・・・半導体基板、１５・・・サセプタ、１６・・・回
転軸、１８・・・ワークコイル、１９・・・排気口、２
１・・・ガバー、２２・・・噴出口。
断面図である。 １１・・・ベースプレート、１２・・・ベルジャ、１４
・・・半導体基板、１５・・・サセプタ、１６・・・回
転軸、１８・・・ワークコイル、１９・・・排気口、２
１・・・ガバー、２２・・・噴出口。
Claims (1)
- ベースプレート上にベルジャを載置して反応室を形成す
る縦型気相成長装置において、反応室内に位置して半導
体基板を載置しかつ回転軸に取付けられたサセプタと、
同サセプタの下面側に配置したワークコイルと、同ワー
クコイルを前記反応室から隔離すべく前記ベースプレー
ト上にあ、って前記ワークコイルの上面および周囲をお
おうカバーと、同カバー内に位置するように前記ベース
プレートに設けられたガス噴出口と、前記カバー外に位
置するように前記ベースプレートに設けられ゛た排気口
とからなり、前記ガス噴出口からカバー内にパージガス
を噴出し、このパージガスを前記カバーと前記ベースプ
レートとの間隙から前記反応室内に流出させて前記排気
口から排出するようにした縦型気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3572084U JPS60147675U (ja) | 1984-03-12 | 1984-03-12 | 縦型気相成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3572084U JPS60147675U (ja) | 1984-03-12 | 1984-03-12 | 縦型気相成長装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60147675U true JPS60147675U (ja) | 1985-10-01 |
Family
ID=30540255
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3572084U Pending JPS60147675U (ja) | 1984-03-12 | 1984-03-12 | 縦型気相成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60147675U (ja) |
-
1984
- 1984-03-12 JP JP3572084U patent/JPS60147675U/ja active Pending
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