JPS6016534U - 気相成長装置 - Google Patents
気相成長装置Info
- Publication number
- JPS6016534U JPS6016534U JP10741983U JP10741983U JPS6016534U JP S6016534 U JPS6016534 U JP S6016534U JP 10741983 U JP10741983 U JP 10741983U JP 10741983 U JP10741983 U JP 10741983U JP S6016534 U JPS6016534 U JP S6016534U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor phase
- phase growth
- growth equipment
- substrate
- substrate holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は、従来の多成長室気相成長装置の模式図、第2
図は基板を水平に保持できる気相成長装置の模式図であ
る。1,2が各々の成長室、4が基板保持板と連結した
回転軸である。 第3図は、この考案の一実施例を示す図で、1゜2が各
々の成長室、3が基板を保持できる構造を具備した同心
口上の石英板、4が3と連結した回転軸である。第4図
は、第3図における3を拡大−したもので、6の部分に
基板を保持できるようになっており、7は、同心円状の
穴がおいている。
図は基板を水平に保持できる気相成長装置の模式図であ
る。1,2が各々の成長室、4が基板保持板と連結した
回転軸である。 第3図は、この考案の一実施例を示す図で、1゜2が各
々の成長室、3が基板を保持できる構造を具備した同心
口上の石英板、4が3と連結した回転軸である。第4図
は、第3図における3を拡大−したもので、6の部分に
基板を保持できるようになっており、7は、同心円状の
穴がおいている。
Claims (1)
- 仕切り板により互いに隔離された複数の成長室と、各成
長室の全ての出口を覆う大きさで、かつ基板保持面に垂
直な回転軸を有し、さらに保持した基板の表面がガス流
に対して垂直になるように基板を保持する基板保持板と
を備えていることを特徴とする気相成長装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10741983U JPS6016534U (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 気相成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10741983U JPS6016534U (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 気相成長装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6016534U true JPS6016534U (ja) | 1985-02-04 |
Family
ID=30250997
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10741983U Pending JPS6016534U (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 気相成長装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6016534U (ja) |
-
1983
- 1983-07-11 JP JP10741983U patent/JPS6016534U/ja active Pending
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