JPS59500212A - ハロシランの再分配方法、再分配に適合した触媒及び触媒の製造方法 - Google Patents
ハロシランの再分配方法、再分配に適合した触媒及び触媒の製造方法Info
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- JPS59500212A JPS59500212A JP58501471A JP50147183A JPS59500212A JP S59500212 A JPS59500212 A JP S59500212A JP 58501471 A JP58501471 A JP 58501471A JP 50147183 A JP50147183 A JP 50147183A JP S59500212 A JPS59500212 A JP S59500212A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
・・ロンランの不均化方法
本発明は、広義には再分配反応、特にノ・ロンランの不均化または再分配方法に
関する。
クロロシランの不均化については、非常に多くの方法および触媒材料が知られて
いる。例えば、Ba1lByらに特許証の発行されたユニオン・カーバイドの米
国特許第2,834,648号明細書には種々の第二および第三脂肪族アミン、
これらの塩および誘導体およびある種の複素環アミンの使用が開示されている。
Ba1leyらは、少なくとも1個の水素原子を有するクロロンランを、例えば
セチルジメチルアミン、トリメチルアミン塩酸塩またはピリジンの存在下にオー
トクレーブ中で150°Cから200°Cまでに加熱する方法な開示している。
クロロシランの不均化反応用の種々の他の型の触媒はバッチ反応方法において提
案されている。
Krugerに特許証の発行された米国特許第6,627,501号明細書には
、トリクロロシラン(5iHCJ!3)を導入してジクロロシラン(5iH2C
夕、)および四塩化ケイ素(SiCl2)に不均化するためのり中にある種の触
媒を使用することが開示されて・4・る。Kr’i、2erの方法は、1500
Cから250°Cまでまたはそれ以−ヒ:・亡オS・、・て行われ5iH2C1
2への転化率5モル係から10qbまでが得られる。
Jexらに特許証の発行されたユニオン・カーバイドの米国特許第3.o A
4,845号明細書には、方法が100℃より低温において行われるように種々
のピリジンをハロ炭化水素助触媒と組み合せて使用することが開示されている。
Litteralらに特許証の発行された米国特許第4.113.845号明細
書には、固定層中に共重合体をペースとする樹脂を用いるクロロシランの連続不
均化方法が開示されている。
ハロシランの再分配は、l’rorb6sおよびAndersonにReact
ions in the Halides of Carbon 、5ilic
on 。
and Tin ) 、ジャーナルIオプ・ジ−アメリカン・ケミ力/L/ e
ンサイテイ(Jornal of the AmericanChemiCal
’5ociety ) 、第66巻、第931頁(1944)jにおいて論じ
られている。再分配は、710デンを加熱時に混合することとして記載されてい
る。他のものの中で、この文献は不均化に対して種々のハロシランの互換性を示
している。
本発明は、トリノ・コンラン、ソノ・コンランおよびモノハロシランの1種また
はそれ以上を形成する/・コンランの再分配方法において、
(al このよっな)・コンランを、環内に窒素を有するポリビニル環状第三ア
ミン炭化水素の触媒層上を、触媒層に供給されるノ・コンランに含有されるより
も少ないハロゲンを含有するシランおよび触媒層に供給されるハロシランに含有
されるよりも多くのノ・口rンを含有するシランな生成するに十分な時間通し、
次(・で(b) 再分配によって生成されたシランを別個に回収する工程を含む
1ノ・コンランの再分配方法である。
本発明は、また触媒存在下に!9iHCJ3を処理することによる5iH2CJ
2の製造方法における改良において、触媒として環内に窒素を有するポリビニル
環状第三アミン炭化水素を用いることを含む改良でもある。
本発明は、このようなハロシランを触媒層上を通し、次いで再分配によって生成
されたシランを回収するこトニよるモノハロシラン、ヅハロシランまたはトリノ
\ロシランの再分配方法において再分配操作中の触媒層の圧力降下を最小にする
改良において、表面上に配置されたポリビニルピロリドン、ポリビニルピロリジ
ン、ポリビニルピリジンおよび、置換基が触媒活性を妨げないその置換類似体か
ら選ばれた本質的にホモポリマーポリビニル環状第三アミン炭化水素を有する不
活性担体材料の触媒層を用いることを含むものである。
本発明は、また大きい表面積対質量比を有する不活性担体材料を含む触媒系にお
いて、前記材料が、その実質的に全表面積上に被覆されたポリビニルピロリドン
、ポリビニルピロリジン、ポリビニルピリジンおよび置換基が触媒活性を妨げな
いその置換類似体から選ばれた本質的にホモポリマーポリビニル環状第三アミン
炭化水素を有することを含む触媒系である。
本発明は、また固定層操作において使用するすぐれた触媒系の製造方法において
、
[al 環内に窒素を有する本質的にホモポリマーポリビニル環状第三アミン炭
化水素を液体溶媒に溶解し、jbl 不活性担体材料をこのように形成された第
三アミン炭化水素溶液に浸し、次いで
jcl 液体溶媒を追い出して不活性担体の表面上に分散された第三アミン炭化
水素を有する不活性担体を与える工程を含むすぐれた触媒系の製造方法である。
下記の式は、
1 2 S i H口、j!3 : 5iH2CJ2 + 5iCJ41 2S
iH2ご1□d 5iHC23+ 5iH3CJl[12SiH3CJ! d
5iH2Cj!2 + SiH4本発明のすぐれた方法の間に熱力学平衡にある
不均化反応を示す。不均化反応は熱力学平衡にあるので、このような反応の生成
物は、反応の平衡定数によって決定される量で反応混合物または流出液中に存在
する。
前記の反応体の不均化は、半導体グレードのポリシリコン、すなわちジクロロシ
ランおよびシランの沈積において供給原料の製造に商業的に重要である。もち論
、この供給原料は、直接変換が可能である方法において使用される場合単結晶ケ
イ繋の直接製造を初め他の用途に使用できる。
本発明は、ビニルぎロリドンまたはビニリピリジンのような化合物は液体である
ために不適当であるが、重合体状ポリビニル第三級アミン炭化水素は固定層方法
に使用するに適している点において特に宥和である。
他の化合物は、その反応体への溶解性および生成物の汚染を起こす一層高い蒸気
圧のために適当でない。
本発明において使用される触媒の相対量は厳密に臨界的ではないが、しかしなが
ら触媒層は反応体の所定の容積が通過した後に取り換えなければならないであろ
う。この方法は、触媒の近傍において反応体が不均化に十分な滞留時間を有する
ように制御される限り、減圧、大気圧または過圧の下で行うことができる。反応
体と触媒層の間の滞留時間また接触時間は、使用する運転時間および圧力によっ
て変わり得る。この方法は、平衡によって許容される最高の生成物形成にきわめ
て近付くように所定の運転温度および反応体について最適化できる。
未担持触媒層および本発明の担持触媒の両実施態ドには、前記の利点を共有する
が、担持触媒の実施態様は不均化方法の操作に対してコスト的に一層有効である
。
容易に入手できるが、重合体状材料は、わずかに粒径約100ミクロンまでで一
般に入手できるのみである。
触媒層においてそれ自体一層小粒径の重合体は、反応体ハロシランの流れに対し
て一層大きい抵抗を与える。触媒表面積対重合体の質量比は約0.06 m”
/iである。若しも直径約500ミクロンの一層大きい粒子を与えるならば、触
媒層の圧力低下は余り大きくないが、使用する触媒の質量は、それでもなお大き
くしかも表面積対質量比はまだ低いであろう。
本発明の担体シラス触媒系を用いる場合、触媒の比較的小質量から非常に大きい
表面積が与えられる。重合体がアルミナのような不活性担体の表面に分散される
場合、表面積対質量比は約7.0m2’/E/になる。さらに、無機担体の多孔
性により、層のハロシランの流れに対する抵抗は、大いに低下され、不均化の一
層高い流速を与える。
連続再分配反応器用の構造材料としては、十分な強さおよび所定の反応器および
操作圧力に対して不活性の性質のステンレス鋼および類似の材料がある。同様に
、反応体、例えば3iH(J3を連続流反応器に供給するために加圧供給容器を
使用できる。もち論、本発明の方法にガラス容器を使用できるが、しかし、この
ガラス容器は大規模生産については、通常不適当である。
本発明のポリビニル環状第三級アミンは、従来の手段によって形成された重合体
である。本発明の重合体として′は、ポリビニルピロリドン、ポリビニルピロリ
ジン、ポリビニルピリジンおよび置換基が触媒活性を妨げないその置換類似体が
ある。本発明の第三アミンは、前記の型のボIJ−N−ビニル化合物またはポリ
ビニルぎりジンが好ましい。触媒は、本質的にホモポリマーであるが、汚染物質
または種々の他の技術によって若干架橋されてもよい。しかしこの触媒は2種類
の重合性反応体から形成されたような真の共重合体では置換類似体の例としては
、
(ここで、nは大きい)
のようなアルキル置換ポリビニルピロリジンがある。
本発明の好ましい触媒は、下記の化合物N−ビニル20リドン N−ビニルピロ
リジンHC= CH2
4−ビニルピリジン
から重合される。この重合体は、先行技術の他の種々の窒素含有触媒よりもまさ
る利点を与える。この利点としては、反応器中に許容できる水準の圧力低下を生
じながら、単位容積についての多数の触媒点を与える− 方法で、大規模の触媒
層に使用する重合体の適性がある。また・、本発明のポリビニル環状触媒は、不
均化反応に提案および使用される他の若干の材料よりも一層経済的である。
不均化反応の流出液生成物は、蒸留塔のような従来の手段によって分離できる。
例えば、5iH(J3が反応体の場合、31CJ!4とS i H2C12の回
収が探求される。この5iH2Cj!2はケイ素沈積方法において使用する一層
軽質沸騰成分として回収され、しかもS IC14は水素化ユニットまたは他の
方法に再循環する残液生成物として回収できる。明らかにSiC夕。は、非常に
数多くの用途を有する商品である。
この方法の性質は、通常、反応体の性質および操作温度によって決定される。例
えば、S i H(J=をその沸点より低温で不均化する場合、この方法は基本
的には液相反応である。未反応供給原料および不均化の生成物を有効に分離する
ためには数工程または数個の蒸留塔を用いることが必要であろう。
本発明において、種々のハロシランを使用できる。
クロロシランは供給流用の非常に好ましい群を形成するが、ジブロモシラン、ト
リヨードシラン、トリブロモシランなどの他のハロンランを使用できろ。また、
ジクロロブロモ7ラン、ジクロロヨードシランなとの混合ハロケゞンハコンラン
モ使用できる。クロロシランは、その一般的利用可能性および他の商業的利点の
ために好ましい。
本発明の好ましい実施態様は、内部空孔面積および外部表面積の両者の不活性担
体材料の本質的に全吸着面積上に被覆された本質的にホモポリマーのポリビニル
環状第三アミン炭化水素である。
この担体材料は、アルミナ、シリカ、シリカ−アルミナ、ゼオライト、活性炭お
よび種々の金属酸化物を初め、任意の通常使用されている担体であってもよい。
舎属淑化物としては、マグネシア、ソルコニア、チタニアなどがある。アルミナ
としてはα−アルミナ、γ−アルミナおよび他のアルミナ、好ましくはα−アル
ミナがある。この材料は、ペレット、粒状、微粉砕、ビーズまたは他の形態であ
ってもよい。支持体材料は、カセイアルカリのような強塩基に十分に不溶匹でな
ければならない。
重合体触媒は、表面積が実質的に完全に’PI Nされている限り、種々の手段
の何れかによって担体材料の内部表面積および外部表面積に分散できる。
本発明の担体材料を説明するために使用する場合、用語「表面積」または「表面
」はペレット、ビーズまたは他の形態の外部露出面のみでなく、担体の構造内の
部位の表面をも表わす。これらの面積は、材料の多孔性によって利用できる、す
なわちペレットまたは他の形態は被覆に利用できる表面を有する間げきの空間を
有する。
重合体触媒は液体溶媒に溶解され、しかも担体材料は溶液に浸されて担体を含浸
する。本発明の重合体触媒は、一般に水および(または)大ていの有機溶媒に可
酊性である。ポリビニルピロリドンの溶解性は例えば水においては約40重量係
である。約60重量係の水浴液は、犬ていの担体材料を被覆するに適している。
利用できる液体有機溶媒としては、シクロヘキサノール、無水エタノール、メタ
ノールおよびこの系列の他のもののようなアルコールがある。また、エチレング
リコール、1,4−ブタンジオールおよび酢酸およびグリセリン、エステル、ア
ミンおよび他の酸も適している。
溶液中の触媒が担体の表面積を被覆した後、液体は、加熱または別の方法で追い
出されて、その表面積を実質的に完全に被覆する触媒を有する担体を得る。
本発明の一層好ましい実施態様においては、吸着された重合体は基体材料の表面
上でその場で重合体を架橋するように強塩基にさらされる。一般に、担体材料の
浸されている触媒溶液に十分なカセイアルカリを単に加えて、約20 % Na
OH溶液を与えることができる。
しかしながら、後に担体材料上に架橋用に重合体溶液を保存するために、浸され
た担体材料は重合体溶液から取り出され、次いで再使用できるカセイアルカリ溶
液に加えられるのが一層好ましい。
カセイアルカリ溶液は、室温から溶液の沸点まで、好ましくは50’Cから90
℃までにおいて約1時間またはそれ以上加熱される。この方法は、担体材料の表
面積上のその場で重合体触媒を架橋する。特に、架橋に強力セイアルカリを用い
る場合は、γ−アルミナ担体は避けなければならない。なぜならば、γ−アルミ
ナペレットは、カセイアルカリと接触すると崩壊する傾向があるからである。
架橋された重合体は、一般に、その100万より大きい非常な高分子量のために
前記溶媒中に不溶である。
強塩基は、重合体の複素環基の若干を開環してさらに化学結合を形成させること
が理論化される。担体材料上の架橋されたその場の触媒は、ろ過され次いで非架
橋触媒と同様に乾燥される。架橋されても架橋されなくても、−坦体系上の乾燥
触媒は、触媒約5係から1゜%までおよび担体材料を残部含有する。この系は、
層中に非常にわずかな圧力変化を有する不均化層に使用できる。また、架橋され
た材料は、触媒層中において非架橋重合体よりも安定であることも理論化される
。
非架橋重合体は、先行技術の単量体物質および不活性担体上にない重合体よりも
まさる大きい向上を示すが、若干の条件下では非加橋担持重合体は生成物流へ若
干浸出するかも知れない(しかしながらこのことは確認されていない)。
架橋触媒が一般に前記溶媒に不溶であることがら、架橋拐料の浸出はほとんどま
たは全くないことが理論化される。また、その場で形成された一層゛高分子量架
橋触媒を担体材料の多孔質構造にトラッピングする若干の作用があり得ることも
理論化される。
重合体触媒ポリ、ビニル環状第三アミンは、粒径5゜ミクロンから500ミクロ
ンまでを有するのが最も有利であり、それによって吸着部位の最適数および適当
な空げき容積を与える。先行技術において使用された他の触媒は供給原料クロロ
シランに可溶性であるのみでなく、液体であり、しかも複雑な液体分離の問題な
しには連続方法において使用できないことに留意されたい。
下記の例は、本発明を限定しないが、しかしながら本発明の1実施態様によりク
ロロシランの不均化を具体的に説明する。
氾
直径0.635cm 長さ1,524171のステンレス錯製カラムに粒度平均
直径約1’50ミクロンのポリビニルピロリドンを充てんした。この重合体は、
非常に高分子量でしかも空げき容積約50%であった。カラムの断面積は、約0
..164 cm”であった。この重合体は、アルドリソヒ・ケミカル・カンパ
ニー(AldrlchChemiCal CompanY )からのカタログA
85,648.7であった。がスクロマトグラフィーユニットを直列ニ取りつげ
て、カラムからの流出液の組成をサンプリングした。トリクロロシラン5iHC
JL3を加圧下にカラムに供給して、充てん層の流速を約15−24 cm/
m、inに安定化し、それによって滞留時間10分を得た。この滞留時間10分
は、この実験の操作パラメーターにおいてソクロロシラン(s 1H2C12)
の平衡生産に必要な時間よりも大きいと考えられたが、10分を用いて良好な不
均化を確保した。質量流速は約1.5.!i’ (0,011モル) / mi
Bであった。カラムおよび供給原料(5IHCj!3 )の双方は約70’Cに
保たれ、この方法は約1時間実施された。8分、20分、32分および41分後
にガスクロマトグラフィー分析試料を採取し、下記の矛盾のない結果が得られた
。
表
5iH2t4211.8重量乃
5iHC1,3(再循環へ) 76汀軍量係5iCf、 1 3.2重量係
運転中、流出液を5IH2′:S12、S I H’、:認3 ’、roよび汁
コ1、の別個の回収用に逐次蒸留に向けるのが好ましい。もち論、クロロシラン
またはこれらの混合物の何れかは充てん層への供給原料として有効に利用されて
種々の所望の不均化流出液を得ることができた。
本発明の触媒ポリビニル環状重合体は、未反応ハロシラン供給原料の再循環によ
り連続法において非常に有利に使用されるが、またこの触媒を触媒および反応体
が適当な温度において供給原料ハロシランを不均化させるに有効な時間保持され
る不連続法においても使用できる。もち論、次いで未反応供給原料、不均化生成
物および固体重合体触媒を分離する必要があり、ハロシランまたはS IH4の
何れも環境温度においては固体形ではない。
下記の例は、本発明を限定しないが、本発明にょるハロシランの不均化の他の実
施態様を具体的に説明しジー・ニー・エフ・コーポレーション(G、A、F。
Corporation )からのろO重量係の非架橋ポリビニルピロリドンに
−30(分子量約40,000)の溶液を調製し、犬いで直径0.158cm長
さ0.3175c+++のα−アルミナペレットの大部分を加えて約1時間浸し
た。
このアルミナを取り出して十分に乾燥した。分析によって、担体アルミナ上の触
媒5.0重量係が判明した。
直径0.635crn 長さ5フイートのステンレス鋼製カラムに、被覆された
アルミナを充てんした。カラムノ断面積は、約0.194cm2であった。ガス
クロマトグラフィーユニットを直列に取りつげてカラム流出液の組成をサンプリ
ングした。トリクロロシランS i HCl−3は加圧下にカラムに供給され、
充てん層の流速は約15.24 cIn/ mlnに安定化され、それによって
滞留時間10分を得た。この流速および滞留時間は担体材料のないカラムのもの
と同等であるが、流速を保持するに要する圧力は一層低い、すなわち層の圧力低
下ははるかに少ない。質量流速は、約1.5g(0,011モル)/ minで
あった。カラムおよび供給原料の双方を約8000に保ち、方法を別々の5時間
の3期間にわたって行った。代表的な分析試料はジクロロシラン8.4%、トリ
クロロシラン82.0 %および四塩化ケイ素9.6%で全く矛盾がなかった。
運転中、流出液は、S i H2CJ2.5iHCf3 ’16よびS I C
14の別個の回収用に逐次蒸留に同けられるのが好ましい。
もち論、ハロシランまたはこれの混合物の何れかは充てん層への供給原料として
有効に使用されて種々の所望の不均化流出液を得ることができた。
例3から例5まで
ポリビニルピロリドンをα−アルミナ担体材料上にその場で架橋した以外は例1
の同じ一般的操作に従った。α−アルミナの浸されているポリビニルピロリドン
の60係水溶液に、20%溶液を調製するに十分なカセイアルカリを加えた。こ
の混合物を90°Cに2時間加熱した。アルミナをろ過し、次いで乾燥してろ個
の異なったカラムに充てんした。
第10カラムは直径0.762cmおよび長さ1.524mであった。80°C
において滞留時間10分により、トリクロロシランはジクロロシラン8.5%、
トリクロロシラン82係および四塩化ケイ素9.5%に不均化された。直径0.
46cmの長さ6.05mのカラムを80°Cにおいて滞留時間14分(供給速
度21.6 cm/ min )で試Mしてジクロロシラン10%、)ジクロロ
シラン77.5%および四塩化ケイ素12−5 tI)を得た。第2の直径0.
46Crnの長さ3.Q 5 mのカラムを80℃において滞留時間20分(供
給速度15.24 cm / min )で試験してジクロロシラン10.5%
、トリクロロシラン75.9%および四塩化ケイ素13.6%を得た。
6つのすべての場合において、担体材料上の架橋触媒の層の圧力低下は非常に小
さかった。
手続補正書
昭和58年11月λ日
特許庁長官殿
1、事件の表示
3、補正をする者
事件との関係 特許出願人
4、代理人
電 話 (211) 3651 (代表)請求の範囲
(1) )リハロシラン、ジハロシランおよびモノハ四シランの1種またはそれ
以上を形成するハロシランの再分配方法において、
(尋 該ハロシランを、環内に窒素を有するポリビニル環状第三アミン炭化水素
の触媒層上を、触、煤層に供給されるハロシランに含有されるよりも少ないハロ
ゲンを含有するシランおよび触媒層に供給されるハロシランに含有されるよりも
多くのハロゲンを含有するシランを生成するに十分な時間通し、次いで
価)再分配によって生成されたシランを別個に回収することを特徴とする、ハロ
シランの再分配方法。
(2)前記ハロシランを触媒層上を通す前に506Cから150℃までに予熱す
ることを特徴とする請求の範囲第1項の方法。
(3)触媒層を、前記ハロシランの再分配用に50℃から100°Cまでに保持
することを特徴とする請求
(4)未再分配ハロシランを触媒層に再循環し、しかも方法を連続に行うことを
特徴とする、請求の範囲第1項の方法。
(5)トリハロシランを供給し、しかもジハロシランおよび四ハロゲン化ケイ素
を回収することを特徴とする、請求の範囲第1項の方法。
(6)不均化生成物がシランSiH4であることを特徴とする、請求の範囲第1
項の方法。
(7)不均化生成物が四ハロゲン化ナイ素であることを特徴とする、請求の範囲
第1項の方法。
(8)不均化が約70℃において行われることを特徴とする、請求の範囲第1項
の方法。
(9)前記触媒が高分子量重合体ポリビニルピロリドン、ポリビニルピロリジン
またはポリビニルピリジンあるいは置換基が触媒活性を妨げないその置換類似体
の1種またはそれ以上であることを特徴とする、請求の範囲第1項の方法。
(10)前記触媒がポリビニルピロリドンであることを特徴とする、請求の範囲
第9項の方法。
0℃ 前記触媒層がアルミナ、シリカ、シリカ−アルミナ、活性炭、マグネシア
またはゼオライトである不活性担体材料上に担持されている前記触媒を含有する
ことを特徴とする、請求の範囲第9項の方法。
(121 前記触媒層が、前記不活性担体材料を前記第三アミン炭化水素および
液体溶媒の溶液に浸し、その後前記不活性担体材料を乾燥して液体溶媒を除くこ
とを特徴とする、請求の範囲第11項の方法。
(13 第三アミン炭化水素が、前記炭化水素を前記担体材料上のその場で架橋
するように強塩基と反応された前記担体材料の表面積上にあることを特徴とする
、請求の範囲第12項の方法。
U 前記炭化水素が、カセイアルカリ溶液に浸された担体材料を高温において加
熱することによって架橋されることを特徴とする、請求の範囲第16項の方法。
αω 前記強塩基がKOHまたはNaOHであることを特徴とする、請求の範囲
第13項の方法。
ろ
(16) 大きい表面積対質量比を有する不活性担体材料を含む触媒系において
、前記材料はその実質的に全表面積上に被覆された、ポリビニルピリジン、ポリ
ビニルピロリジンまたはポリビニルピリジンあるいは置換基が触媒活性を妨げな
いその置換類似体の1種またはそれ以上である本質的にホモポリマーポリビニル
環状第三アミン炭化水素を有することを特徴とする、触媒系。
(17] 前記担体がアルミナ、シリカまたはシリカ−アルミナであることを特
徴とする、請求の範囲第16項の触媒系。
α樟 前記第三アミン炭化水素が強塩基との反応によって前記不活性担体材料上
のその場で架橋されていることを特徴とする、請求の範囲第17項の触媒系。
H 前記強塩基がNaOHまたはKOHであることを特徴とする、請求の範囲第
18項の触媒系。
■ω 固定層操作において使用する改良された触媒系の製造方法において、
(a) 環内に窒素を有する本質的にホモポリマーポリビニル環状第三アミン炭
化水素を液体溶媒に溶解し、
(13)不活性担体材料をこのように形成された第三アミン炭化水素溶液に浸し
、次いで
(、) 液体溶媒を追い出して不活性担体の表面に分散された第三アミン炭化水
素を有する不活性担体を与えることを特徴とする、固定層操作において使用する
改良された触媒系の製造方法。
(21) 前記第三アミン炭化水素を、液体溶媒を追い出す前に強塩基と反応さ
せることを特徴とする請求の範囲第20項の方法。
(221前記強塩基がKOHまたはNaOHであることを特徴とする請求の範囲
第21項の方法。
C231前記担体材料が、シリカ、アルミナまたはシリカ−アルミナであること
を特徴とする請求の範囲第20項から第22項までの何れかの方法。
(24J 前記炭化水素が、強塩基と50℃から90℃までにおいて1時間また
はそれ以上反応されることを特徴とする請求の範囲第21項の方法。
国際調査IA先
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 fi+)リハロシラン、ジハロシランおよびモノハロシランの1種またはそれ以 上を形成するハロシランの再分配方法において、 (al 該ハロシランを環内に窒素を有するポリビニル環状槁三アミン炭化水素 の触媒層上を、触媒層に供給されるハロシランに含有されるよりも少ないハロゲ ンを含有するシランおよび触媒層に供給されるハロシランに含有されるよりも多 (のハロヶ8ンを含有するシランを生成するに十分な時間通し、次いで(bl 再分配によって生成されたシランを別個に回収する工程を含む、ハロシランの再 分配方法。 (2)前記ハロシランを触媒層上を通す前に50’Cから150°Cまでに予熱 する、請求の範囲第1項の方法。 (3)触媒層を、前記ハロシランの再分配用に50’Cから100°Cまでに保 持する、請求の範囲第1項の方法。 [4) 未再分配ハロシランを触媒層に再循環し、しかも方法を連続に行う、請 求の範囲第1項の方法。 +5+ ) IJ ハロシラシラ供給し、しかもジハロシランおよび四ハロゲン 化ケイ素を特徴する請求の範囲第1項の方法。 (6) 不均化生成物がシランS L H4である、請求の範囲第1項の方法。 17) 不均化生成物が四ハロゲン化ケイ素である、請求の範囲第1項の方法。 (8)不均化が約70℃において行われる請求の範囲第1項の方法。 (9)前記触媒が高分子量重合体ポリビニルピロリドン、ポリビニルピロリジン およびポリビニルピリジンから選ばれる請求の範囲第1項の方法。 (to+ 前記触媒がポリビニルピロリドンである、請求の範囲第9項の方法。 (11)触媒の存在下にトリクロロシランを処理−rZことによるジクロロシラ ンの製造方法において、環内に窒素を有するポリビニル環状第三アミン炭化水素 を触媒として使用する改良方法。 0渇 前記方法が50°Cから150°Cまでにおいて行われる、請求の範囲第 6項の方法。 (I3)前記触媒が、高分子量重合体ポリビニルピロリドン、ポリビニルピロリ ジンおよびポリビニルピリジンから選ばれる、請求の範囲第11項の方法。 ■ 前記触媒がポリビニルピロリドンである、請求の範囲第13項の方法。 (151ハロシランを触媒層上を通し、次いで再分配によって生成されたシラン を回収することにより、モノハロシラン、ジハロシランまたはトリハロシランを 形成するハロシランの再分配方法において、表面積上に配置されたポリビニルピ ロリドン、ポリビニルピロリジン、ポリビニルピリジンおよび置換基が触媒活性 を妨げない置換類似体から選ばれた本質的にホモポリマーポリビニル環状第三ア ミン炭化水素を有する不活性担体材料の触媒層を与えることによって再分配操作 の間に触媒層の田力低下を最小にすることを特徴とする、ハロシランの再分配方 法。 (16) ハロシランがクロロシランであることをさらに特徴とする、請求の範 囲第15項の方法。 u71 触媒層に供給されるクロロシランがトリクロロシランであることをさら に特徴とする、請求の範囲第16項の方法。 (18I 前記不活性担体材料が、アルミナ、シリカ、シリカ−アルミナ、活性 炭、マグネシアまたはゼオライトであることをさらに特徴とする、請求の範囲第 15項の方法。 (191前記触媒層が前記不活性担体材料を前記第三アミン炭化水素および液体 溶媒の溶液に浸し、その後前記不活性担体材料を乾燥して液体溶媒を除くことを さらに特徴とする、請求の範囲第15項の方法。 (20)第三アミン炭化水素が、前記炭化水素を前記担体制料上のその場で架橋 するように強塩基と反応された前記担体材料の表面積上にあることをさらに特徴 とする、請求の範囲第19項の方法。 (21)前記炭化水素が、カセイアルカリ溶液に浸された担体拐料を高温におい て加熱することによって架橋されることをさらに特徴とする、請求の範囲第20 項の方法。 (肋 前記強塩基がKOHまたはNaOHであることをさらに特徴とする、請求 の範囲第20項の方法。 03)大きい表面積対質量比を有する不活性担体材料において、前記材料はその 実質的に全表面積上に破覆されたポリビニルピロリドン、ポリビニルピロリジン 、ポリビニルピリジンおよび置換基が触媒活性を妨げないその置換類似体から選 ばれた本質的にホモポリマーポリビニル環状第三アミン炭化水素を有する、不活 性担体材料を含む触媒系。 (241前記担体がグルミナ、シリカまたはシリカ−アルミナである、請求の範 囲第26項の触媒系。 (25) 前記第三アミン炭化水素が、強塩基との反応によって前記不活性担体 材料上のその場で架橋されている、請求の範囲第24項の触媒系。 c2+;) 前記強塩基がNaOHまたはKOHである、請求の範囲第25項の 触媒系。 (27) 固定層操作において使用する改良された触媒系の製造方法において、 (al 環内に窒素を有する本質的にホモポリマーポリビニル環状第三アミン炭 化水素を液体溶媒に爵解し、(bl 不活性担体材料をこのように形成された第 三アミン炭化水素溶液に浸し、次いで jcl 液体溶媒を追い出して不活性担体の表面上に分散された第三アミン炭化 水素を有する不活性担体を与えることを含む、固定層操作において使用する改良 された触媒系の製造方法。 (28)前記第三アミン炭化水素を、液体溶媒を追い出す前に、強塩基と反応さ せることをさらに含む、請求の範囲第27項の方法。 (29) 前記強塩基がKOHまたはNa OHである、請求の範囲第28項の 方法。 (3(δ 前記担体材料がシリカ、アルミナまたはシリカ−アルミナである、請 求の範囲第27項の方法。 (31) 前記炭化水素が、強塩基と50’Cから90’Cまでにおいて1時間 またはそれ以上反応される、請求の範囲第28項の方法。
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