JPS5945519A - 電子式真空圧調整装置 - Google Patents
電子式真空圧調整装置Info
- Publication number
- JPS5945519A JPS5945519A JP57157320A JP15732082A JPS5945519A JP S5945519 A JPS5945519 A JP S5945519A JP 57157320 A JP57157320 A JP 57157320A JP 15732082 A JP15732082 A JP 15732082A JP S5945519 A JPS5945519 A JP S5945519A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- pressure
- pressure sensor
- diaphragm
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D16/00—Control of fluid pressure
- G05D16/20—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means
- G05D16/2093—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with combination of electric and non-electric auxiliary power
- G05D16/2095—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with combination of electric and non-electric auxiliary power using membranes within the main valve
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、真空圧調整装置６′、に関し、真空系内の真
空圧の変動を圧力センサーにより電、気的に検出し、該
パ装置の信号に基づいてアク、チュエ、−タを作動させ
、真空系内に流入させる窒気州ケ制御することによって
真空系内の真空圧を一定に保つ装置に関するものである
。 従来の真空圧調整装置と・ｌ−では、その方法として真
空系内の真空装置とその周囲の大気との間に適当な開口
を設け、該開口部をバネ捷たは重錘によって負荷される
弁体により真空負荷と機械負荷とが互いに釣り合うよう
に構成し、真空圧が変化した場合に、力の釣り合いが変
化して弁を変位させ、前記開口部の開口度を変化させ、
空気を流入させて真空圧を調整する方法が採られていた
。しかしながら該方法においては以下のような欠点がみ
られた。 （５）弁体に作用する真空圧は、開口を通じて流入する
空気が弁付近の真空圧に影響を及はすために、系の真空
圧と必ずしも一致しないという不都合がある。 （Ｂ）真空圧を調整する弁体は、圧力差ばかりでなく流
入する空気によっても影響を受けるので、弁体の釣り合
いをとるバネの強さ又は重錘の重さの選択が難しい。 （Ｃ） 弁体には、真空圧の微妙な変化に対しても作
用するようにわずかな調整力を与えるが、その場合に、
その力は一般的に摩擦力及び慣性によって消費され制御
効果が薄れる。また制御効果が薄り、ものを防６つとす
ｈ−ｉ、ｌ“、ｊｔ’ ｒｔ。 は振動を起とず上うになり１．Ｊｒ−空圧の７１．！ｌ
整が小可能となる、 」、丸上の囚、（Ｂ）、（Ｃ）のような不都合から所望
の真空ＦＪ−を、１“Ｃ空系に求めＡとと６」、従来の
シネ薗では困Ｓどなる。そこで、本発明” −１’、
Ｎ１２ ’ｊ、” 、げ：、 ＶＣｊ％み調整装置６か
ら離ｉｔた位１πｆにｒｊｊ、Ｘ’Ｂ圧の！”＋川を感
知し７電気信号を供給するＩＶカ七ン°り一部と、該圧
力センサ一部からの１１１１″）て信４にｋｍつ−（−
、、［’Ｌ岑二系の圧力を賜１整ｊ−るべく柴気全バー
？系にｂｌｌ、人させるアクヂーコー去−りとからなる
装置を発明し、たものである。 以下図示さ）１．フこ実施例にｔＩｌ’つて庫゛−；色
明を詳細に説明する。第１図においＣＩはＪｌ＋ζ１デ
ポングであり、該ポンプ１は直空パ・１７′２台８ノ（
［７°て図示しない真空系と連通している。真空系と真
空ポンプ１との間には、真空ポンプ側にアクチー］−１
「−タＡが、Ｊ℃空系側に真空系のよ
空圧の変動を圧力センサーにより電、気的に検出し、該
パ装置の信号に基づいてアク、チュエ、−タを作動させ
、真空系内に流入させる窒気州ケ制御することによって
真空系内の真空圧を一定に保つ装置に関するものである
。 従来の真空圧調整装置と・ｌ−では、その方法として真
空系内の真空装置とその周囲の大気との間に適当な開口
を設け、該開口部をバネ捷たは重錘によって負荷される
弁体により真空負荷と機械負荷とが互いに釣り合うよう
に構成し、真空圧が変化した場合に、力の釣り合いが変
化して弁を変位させ、前記開口部の開口度を変化させ、
空気を流入させて真空圧を調整する方法が採られていた
。しかしながら該方法においては以下のような欠点がみ
られた。 （５）弁体に作用する真空圧は、開口を通じて流入する
空気が弁付近の真空圧に影響を及はすために、系の真空
圧と必ずしも一致しないという不都合がある。 （Ｂ）真空圧を調整する弁体は、圧力差ばかりでなく流
入する空気によっても影響を受けるので、弁体の釣り合
いをとるバネの強さ又は重錘の重さの選択が難しい。 （Ｃ） 弁体には、真空圧の微妙な変化に対しても作
用するようにわずかな調整力を与えるが、その場合に、
その力は一般的に摩擦力及び慣性によって消費され制御
効果が薄れる。また制御効果が薄り、ものを防６つとす
ｈ−ｉ、ｌ“、ｊｔ’ ｒｔ。 は振動を起とず上うになり１．Ｊｒ−空圧の７１．！ｌ
整が小可能となる、 」、丸上の囚、（Ｂ）、（Ｃ）のような不都合から所望
の真空ＦＪ−を、１“Ｃ空系に求めＡとと６」、従来の
シネ薗では困Ｓどなる。そこで、本発明” −１’、
Ｎ１２ ’ｊ、” 、げ：、 ＶＣｊ％み調整装置６か
ら離ｉｔた位１πｆにｒｊｊ、Ｘ’Ｂ圧の！”＋川を感
知し７電気信号を供給するＩＶカ七ン°り一部と、該圧
力センサ一部からの１１１１″）て信４にｋｍつ−（−
、、［’Ｌ岑二系の圧力を賜１整ｊ−るべく柴気全バー
？系にｂｌｌ、人させるアクヂーコー去−りとからなる
装置を発明し、たものである。 以下図示さ）１．フこ実施例にｔＩｌ’つて庫゛−；色
明を詳細に説明する。第１図においＣＩはＪｌ＋ζ１デ
ポングであり、該ポンプ１は直空パ・１７′２台８ノ（
［７°て図示しない真空系と連通している。真空系と真
空ポンプ１との間には、真空ポンプ側にアクチー］−１
「−タＡが、Ｊ℃空系側に真空系のよ
【空圧を感知−Ｉ
る圧カセンザ一部Ｂが、そＪｔぞノＬ接細、１１３ 、
．１を介して真空パイプ２と匿井Ａ：さＪｔ （いる、
１クチユエータＡと圧力センサ一部Ｂとは、ソレノイド
駆動ｆｆ１ｉＦ、、Ｎ５を介して互いに接続されている
。寸だアクチュエータＡの真空導入ロアは、さらに真空
圧調整のために真空導入チューブ６を介して真空パイプ
２と連通している。そして、圧力センサ一部Ｂは、第５
図に示されるように台座８及びカバー９によって形成さ
れた容器の内部に圧力センサー１０及び第２図、第３図
及び第４図に示す機能を有する電子回路が組み込寸れた
基板１］がビス１２等によって台座８に接合さヲ１．て
いる。圧力センサー】０は、ビニールチューブ１３を介
して接続口３と連通しており真空パイプ２内の真空圧を
感知するように々っている。 また電子回路の出力端子はソレノイド駆動用電線５を介
してアクチュエータＡのソレノイド１４と導通している
。 また、アクチュエータＡは、第６図に示すように底部に
真空パイプ２との接続口４及び空気孔１５を有する器体
本体下部１６と上部に空気導入口１７及び真空導入ロア
を有する器体本体上部１８を接合した構造であり、内室
をコム等の累月からなるダ・ｆヤフラｌ、１０をガｌで
タイ代フラノ・４（２０と乳空圧調整室２１とに１メ画
１．゛７．いる。７いｒｉ ）＋（調整室２１内にはダ
イヤフラノ、］９とボルト２’）、Ｉ／’−，１つて接
続さノ］１、接続Ｅｌ ４を寒くように構成さノまた調
圧棒Ｚ３と、該調圧棒２．３を囲む円筒セ、の筒体を配
置バシ、ダイヤフラム室２１）内にｉ１′、１、本体に
音１（Ｊ８と接合されたブラケソｌ−２＝ｌ ａ、 ２
４ ｈによって支持さね１斤プレート５−１−に支持部
材２６を支点Ｊし７て９気導入ｋｌ １７又は真？ ２
！’を人Ｄ ７を塞ぐよつ）に７−ソ状に揺動し、かつ
バネ２７により２ｊ１］常９．’＋５−気導入１１１７
を塞〈ようにイー１勢された切替弁２）３及びノＬ／ノ
イドｊ４を配性［−７たものからなる。尚、空気導入１
］１７及び直窒嗜入１−１７のダイヤフラム室２０側は
それぞれ円錐状の突起部分にありらｉｌ。 ている。以上のような構成において、本発明にかかる装
置では、圧力センサ一部Ｂ Ｋ希望＃−る真空圧が設定
１７てあり、第３図及び第４図に示すように真空バ・イ
ブ２内の真空圧が設定値」、り高い場合には、センサー
１０かも出力さｉ＋るＴｒｉ、ＩＦが高くなり、パルス
幅変調器から立ち上りの短い矩形波が出力さハ５、寸だ
真空圧が設定値より低い場合には、センサー１０から出
力される電圧が低くなり、パルス幅変調器から立ち上り
部分の長い矩形波が出力さｔしる。この圧力センサ一部
Ｂから出力された矩形波は駆動用電線５を介してソレノ
イド１４に伝えられる。そして矩形波の立ち上り時間、
例えば△Ｘ又は△Ｘ′の間ソレノイド１４は通電さり、
バネ２７の力に杓ち勝って切替スイッチあが真空導入ロ
アを塞ぎ、空気導入口Ｉ７を介してダイヤフラム室２０
内に空気を導入する、寸た矩形波の出力がＯＶの時間、
例えば△）・又はへｙ′の間ソレノイド１４が非通電の
状態にあり、バネ２７の力により切替ス・インチ四が空
気導入口［７を塞ぎ、！（空導入口１７を介して真空パ
イプ２からダイヤフラム室２０内を負圧の状態にする。 一方ダイヤフラム室λ）内の電圧が所定のレベル以上に
なったとき、ダイヤフラム１９が調圧棒罠と共に」二昇
し、接続１」４が開き璧気孔１５を介して真空バイブ２
内に空気を導入して真空系の真空圧を下げ、またグーイ
ヤフラノ・室Δ）内を９圧が所定のレベル以［にな゛つ
たとき、ダ・イー＼・フラム１９に′ｌＡ着さハ、た調
圧棒２；３が−ｒ降し接続に１４を閉塞し、Ａ空パイプ
２内Ｈ′ｃ空気が流入するのを防ぎ、真空圧を上列させ
る。 従ってアクチ：・〜エータＡは、真空系の真空圧が設定
［直よりも高い用台には圧力センサ一部Ｉ３から立ち上
がりの短い矩形波が出力さｉｔ、それに対応してソレノ
イド１４が短時間作動Ｊるのでダイヤフラム室Ａ）内は
負圧の状態となり、真空圧調整室２１内の調圧棒２：つ
を・フｌき上げ、接続１−１４を開口さぜ−Ｃ真空パイ
プ２に空気を送り込み真空系の真空圧を低−トさせる１
１反対に真空系の真空汀二が設定値、しりも１氏い堝８
には、ｊＴニカセノ−リ一部Ｂから立し−にがりの−１
＋い矩形波が出力さｉｌ、そり、に対ｌ１−１ｉ して
ツレ、ノ・ｒド１４が１Ｆ動（７窒気嗜）（ＩＩ １７
を真空２Ｊネ人１−１７ 、Ｌりも１、りい時間開１．
１させるので、タイヤクラム室２０内は大気圧の状態に
近く々す、調圧棒２．３が接続′：ｌ１４に：閉塞さビ
て、ｆｉ、空茶の真空圧を上昇させ真空系の１１−タを
圧を設定１１１１に保つ。 また電源が切れて電子回路及びソレノイド１４が作動し
なくかった場合（〆こおいては、バネ２７の力により真
空導入０７が開いた状態となるためダイヤフラム室加内
の真空圧が上昇し、ダイヤフラム１９と共に調圧棒茄が
押］７上けられ接続「１４が開しコされた状態となるの
で、真空系の真空度が異常に上昇するのを防ぐ。 以上述べたように本発明に係る装置では、真空系の広範
囲にわたる真空度の変化に迅速に対応して真空圧を一定
に保つと共に、感知手段である圧力センサ一部をアクチ
ュエータと離れた位置に設けているので、流入空気によ
る影響を受けず、従来のものに比較して正確に真空圧を
維持することができる。さらに本発明の装置では、たと
え電源の供給が切れた場合に、真空系に負荷がかからｄ
、Ｉよう真壁圧を下げるように構成されており安全性が
高い。また本発明では、圧力センサーを共用して、真空
度のデジタル表かや異常状態の警報の出力を行うことが
でき。 その利用価値が極めて高いものＣある。
る圧カセンザ一部Ｂが、そＪｔぞノＬ接細、１１３ 、
．１を介して真空パイプ２と匿井Ａ：さＪｔ （いる、
１クチユエータＡと圧力センサ一部Ｂとは、ソレノイド
駆動ｆｆ１ｉＦ、、Ｎ５を介して互いに接続されている
。寸だアクチュエータＡの真空導入ロアは、さらに真空
圧調整のために真空導入チューブ６を介して真空パイプ
２と連通している。そして、圧力センサ一部Ｂは、第５
図に示されるように台座８及びカバー９によって形成さ
れた容器の内部に圧力センサー１０及び第２図、第３図
及び第４図に示す機能を有する電子回路が組み込寸れた
基板１］がビス１２等によって台座８に接合さヲ１．て
いる。圧力センサー】０は、ビニールチューブ１３を介
して接続口３と連通しており真空パイプ２内の真空圧を
感知するように々っている。 また電子回路の出力端子はソレノイド駆動用電線５を介
してアクチュエータＡのソレノイド１４と導通している
。 また、アクチュエータＡは、第６図に示すように底部に
真空パイプ２との接続口４及び空気孔１５を有する器体
本体下部１６と上部に空気導入口１７及び真空導入ロア
を有する器体本体上部１８を接合した構造であり、内室
をコム等の累月からなるダ・ｆヤフラｌ、１０をガｌで
タイ代フラノ・４（２０と乳空圧調整室２１とに１メ画
１．゛７．いる。７いｒｉ ）＋（調整室２１内にはダ
イヤフラノ、］９とボルト２’）、Ｉ／’−，１つて接
続さノ］１、接続Ｅｌ ４を寒くように構成さノまた調
圧棒Ｚ３と、該調圧棒２．３を囲む円筒セ、の筒体を配
置バシ、ダイヤフラム室２１）内にｉ１′、１、本体に
音１（Ｊ８と接合されたブラケソｌ−２＝ｌ ａ、 ２
４ ｈによって支持さね１斤プレート５−１−に支持部
材２６を支点Ｊし７て９気導入ｋｌ １７又は真？ ２
！’を人Ｄ ７を塞ぐよつ）に７−ソ状に揺動し、かつ
バネ２７により２ｊ１］常９．’＋５−気導入１１１７
を塞〈ようにイー１勢された切替弁２）３及びノＬ／ノ
イドｊ４を配性［−７たものからなる。尚、空気導入１
］１７及び直窒嗜入１−１７のダイヤフラム室２０側は
それぞれ円錐状の突起部分にありらｉｌ。 ている。以上のような構成において、本発明にかかる装
置では、圧力センサ一部Ｂ Ｋ希望＃−る真空圧が設定
１７てあり、第３図及び第４図に示すように真空バ・イ
ブ２内の真空圧が設定値」、り高い場合には、センサー
１０かも出力さｉ＋るＴｒｉ、ＩＦが高くなり、パルス
幅変調器から立ち上りの短い矩形波が出力さハ５、寸だ
真空圧が設定値より低い場合には、センサー１０から出
力される電圧が低くなり、パルス幅変調器から立ち上り
部分の長い矩形波が出力さｔしる。この圧力センサ一部
Ｂから出力された矩形波は駆動用電線５を介してソレノ
イド１４に伝えられる。そして矩形波の立ち上り時間、
例えば△Ｘ又は△Ｘ′の間ソレノイド１４は通電さり、
バネ２７の力に杓ち勝って切替スイッチあが真空導入ロ
アを塞ぎ、空気導入口Ｉ７を介してダイヤフラム室２０
内に空気を導入する、寸た矩形波の出力がＯＶの時間、
例えば△）・又はへｙ′の間ソレノイド１４が非通電の
状態にあり、バネ２７の力により切替ス・インチ四が空
気導入口［７を塞ぎ、！（空導入口１７を介して真空パ
イプ２からダイヤフラム室２０内を負圧の状態にする。 一方ダイヤフラム室λ）内の電圧が所定のレベル以上に
なったとき、ダイヤフラム１９が調圧棒罠と共に」二昇
し、接続１」４が開き璧気孔１５を介して真空バイブ２
内に空気を導入して真空系の真空圧を下げ、またグーイ
ヤフラノ・室Δ）内を９圧が所定のレベル以［にな゛つ
たとき、ダ・イー＼・フラム１９に′ｌＡ着さハ、た調
圧棒２；３が−ｒ降し接続に１４を閉塞し、Ａ空パイプ
２内Ｈ′ｃ空気が流入するのを防ぎ、真空圧を上列させ
る。 従ってアクチ：・〜エータＡは、真空系の真空圧が設定
［直よりも高い用台には圧力センサ一部Ｉ３から立ち上
がりの短い矩形波が出力さｉｔ、それに対応してソレノ
イド１４が短時間作動Ｊるのでダイヤフラム室Ａ）内は
負圧の状態となり、真空圧調整室２１内の調圧棒２：つ
を・フｌき上げ、接続１−１４を開口さぜ−Ｃ真空パイ
プ２に空気を送り込み真空系の真空圧を低−トさせる１
１反対に真空系の真空汀二が設定値、しりも１氏い堝８
には、ｊＴニカセノ−リ一部Ｂから立し−にがりの−１
＋い矩形波が出力さｉｌ、そり、に対ｌ１−１ｉ して
ツレ、ノ・ｒド１４が１Ｆ動（７窒気嗜）（ＩＩ １７
を真空２Ｊネ人１−１７ 、Ｌりも１、りい時間開１．
１させるので、タイヤクラム室２０内は大気圧の状態に
近く々す、調圧棒２．３が接続′：ｌ１４に：閉塞さビ
て、ｆｉ、空茶の真空圧を上昇させ真空系の１１−タを
圧を設定１１１１に保つ。 また電源が切れて電子回路及びソレノイド１４が作動し
なくかった場合（〆こおいては、バネ２７の力により真
空導入０７が開いた状態となるためダイヤフラム室加内
の真空圧が上昇し、ダイヤフラム１９と共に調圧棒茄が
押］７上けられ接続「１４が開しコされた状態となるの
で、真空系の真空度が異常に上昇するのを防ぐ。 以上述べたように本発明に係る装置では、真空系の広範
囲にわたる真空度の変化に迅速に対応して真空圧を一定
に保つと共に、感知手段である圧力センサ一部をアクチ
ュエータと離れた位置に設けているので、流入空気によ
る影響を受けず、従来のものに比較して正確に真空圧を
維持することができる。さらに本発明の装置では、たと
え電源の供給が切れた場合に、真空系に負荷がかからｄ
、Ｉよう真壁圧を下げるように構成されており安全性が
高い。また本発明では、圧力センサーを共用して、真空
度のデジタル表かや異常状態の警報の出力を行うことが
でき。 その利用価値が極めて高いものＣある。
第１図は、本発明にかかる装置の構成図、第２図は、本
発明の圧力センサ一部の作動ケ示−す一ブロック図、第
３図及び第４図は、圧カセンリ一部の作動を示すグラフ
、第５図は圧力センタ一部の構造を示す断面図、第６図
はアクチコ、エータの構造を示す断面図、第７図は真空
圧が高い状態における各部分の状態を示す図、第８図は
真空圧が低い状態における各部分の状態を示す図である
。 ■・・・真空ポンプ ２・真空パイプ３．４・・・
接続１−１ ５・・ フラノ・ｆド駆動用電
線６・・・真空導入チューブ ７・・・真空２９人Ｉ−
１】０・・・圧力センサー １４・・・フラノ・イ
ド１５・・・空気孔 １７・・・空気導入１］
】９・・・ダイヤフラム 加・・・ダイヤフラム室２
１・・・真空圧調整室 Ｚ３・・・調圧棒２４ａ、ｂ
・・・ブラケノ）２８・・・切替弁第６図 第７図 第８図
発明の圧力センサ一部の作動ケ示−す一ブロック図、第
３図及び第４図は、圧カセンリ一部の作動を示すグラフ
、第５図は圧力センタ一部の構造を示す断面図、第６図
はアクチコ、エータの構造を示す断面図、第７図は真空
圧が高い状態における各部分の状態を示す図、第８図は
真空圧が低い状態における各部分の状態を示す図である
。 ■・・・真空ポンプ ２・真空パイプ３．４・・・
接続１−１ ５・・ フラノ・ｆド駆動用電
線６・・・真空導入チューブ ７・・・真空２９人Ｉ−
１】０・・・圧力センサー １４・・・フラノ・イ
ド１５・・・空気孔 １７・・・空気導入１］
】９・・・ダイヤフラム 加・・・ダイヤフラム室２
１・・・真空圧調整室 Ｚ３・・・調圧棒２４ａ、ｂ
・・・ブラケノ）２８・・・切替弁第６図 第７図 第８図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１） パイプ内の負圧に対応して電圧を供給する圧
力センサ一部と圧力センザ一部からの電気信号に従って
パイプ内に空気を流入させるアクチュエータとからなる
電子式真空圧調整装置。 （２、特許請求の範囲第１項記載の装置において、圧力
センザ一部が、圧力センサーと該圧力センサーにより圧
力変動を電気信号に変換し、その信号をパルス４幅に変
調する電子回路とからなることを特徴とする電子式真空
圧調整装置。 （３）特許請求の範囲第１項又は第２項の装置忙おいて
アクチュエータが、底部に真空パイプとの接続口及び空
気孔を有し、上部に真空導入口及び空気導入口を有する
器体本体と、該本体内部の上部をダイヤフラム室及び下
部を真空圧調整室に区画するダ・イヤフラムと、ダイヤ
フラノ、に装着さ引、接結【１をダイヤフラノ・室内と
真空圧調整室内の圧力差に応じて閉塞するように構成さ
れた調圧棒と、ダイヤフラム室内に装着さり、バネ等の
手段によって空気導入口を塞ぐように付勢さノア、た空
気導入１］若【７〈は真空導入口を塞ぐ切替弁と、圧力
センサ一部から供給される電圧に従って切替弁が真空導
入口を塞ぐように作動するンレノＪドとからなることを
特徴とする電子式真空圧調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57157320A JPS5945519A (ja) | 1982-09-09 | 1982-09-09 | 電子式真空圧調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57157320A JPS5945519A (ja) | 1982-09-09 | 1982-09-09 | 電子式真空圧調整装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5945519A true JPS5945519A (ja) | 1984-03-14 |
| JPH0334090B2 JPH0334090B2 (ja) | 1991-05-21 |
Family
ID=15647112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57157320A Granted JPS5945519A (ja) | 1982-09-09 | 1982-09-09 | 電子式真空圧調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5945519A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6472214A (en) * | 1987-09-12 | 1989-03-17 | Smc Corp | Vacuum pressure regulator |
| JPH04273304A (ja) * | 1991-02-27 | 1992-09-29 | Ebara Corp | ガス圧調節装置 |
| WO2007089185A1 (en) * | 2006-01-31 | 2007-08-09 | Delaval Holding Ab | Milking system and method for vacuum regulation |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5167522A (en) * | 1974-11-04 | 1976-06-11 | Bendix Corp | Shinkugenatsuben |
| JPS5686272A (en) * | 1979-10-29 | 1981-07-13 | Eaton Corp | Vacuum variation valve |
| JPS5859389A (ja) * | 1981-07-08 | 1983-04-08 | エドシン・インコ−ポレイテツド | 圧力および真空源用電子的調整・制御装置 |
-
1982
- 1982-09-09 JP JP57157320A patent/JPS5945519A/ja active Granted
Patent Citations (3)
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| JPS5167522A (en) * | 1974-11-04 | 1976-06-11 | Bendix Corp | Shinkugenatsuben |
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| JPS5859389A (ja) * | 1981-07-08 | 1983-04-08 | エドシン・インコ−ポレイテツド | 圧力および真空源用電子的調整・制御装置 |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0334090B2 (ja) | 1991-05-21 |
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