JPH0334090B2 - - Google Patents
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- JPH0334090B2 JPH0334090B2 JP57157320A JP15732082A JPH0334090B2 JP H0334090 B2 JPH0334090 B2 JP H0334090B2 JP 57157320 A JP57157320 A JP 57157320A JP 15732082 A JP15732082 A JP 15732082A JP H0334090 B2 JPH0334090 B2 JP H0334090B2
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- JP
- Japan
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- vacuum
- pressure
- diaphragm
- pressure sensor
- inlet
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- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 13
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D16/00—Control of fluid pressure
- G05D16/20—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means
- G05D16/2093—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with combination of electric and non-electric auxiliary power
- G05D16/2095—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with combination of electric and non-electric auxiliary power using membranes within the main valve
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、真空圧調整装置に関し、真空系内の
真空圧の変動を圧力センサーにより電気的に検出
し、該装置の信号に基づいてアクチユエータを作
動させ、真空系内に流入させる空気量を制御する
ことによつて真空系内の真空圧を一定に保つ装置
に関するものである。
真空圧の変動を圧力センサーにより電気的に検出
し、該装置の信号に基づいてアクチユエータを作
動させ、真空系内に流入させる空気量を制御する
ことによつて真空系内の真空圧を一定に保つ装置
に関するものである。
従来の真空圧調整装置としては、その方法とし
て真空系内の真空装置とその周囲の大気との間に
適当な開口を設け、該開口部をバネまたは重錘に
よつて負荷される弁体により真空負荷と機械負荷
とが互いに釣り合うように構成し、真空圧が変化
した場合に、力の釣り合いが変化して弁を変位さ
せ、前記開口部の開口度を変化させ、空気を流入
させて真空圧を調整する方法が採られていた。し
かしながら該方法においては以下のような欠点が
みられた。
て真空系内の真空装置とその周囲の大気との間に
適当な開口を設け、該開口部をバネまたは重錘に
よつて負荷される弁体により真空負荷と機械負荷
とが互いに釣り合うように構成し、真空圧が変化
した場合に、力の釣り合いが変化して弁を変位さ
せ、前記開口部の開口度を変化させ、空気を流入
させて真空圧を調整する方法が採られていた。し
かしながら該方法においては以下のような欠点が
みられた。
(A) 弁体に作用する真空圧は、開口を通じて流入
する空気が弁付近の真空圧に影響を及ぼすため
に、系の真空圧と必ずしも一致しないという不
都合がある。
する空気が弁付近の真空圧に影響を及ぼすため
に、系の真空圧と必ずしも一致しないという不
都合がある。
(B) 真空圧を調整する弁体は、圧力差ばかりでな
く流入する空気によつても影響を受けるので、
弁体の釣り合いをとるバネの強さ又は重錘の重
さの選択が難しい。
く流入する空気によつても影響を受けるので、
弁体の釣り合いをとるバネの強さ又は重錘の重
さの選択が難しい。
(C) 弁体には、真空圧の微妙な変化に対しても作
用するようにわずかな調整力を与えるが、その
場合に、その力は一般的に摩擦力及び慣性によ
つて消費され制御効果が薄れる。また制御効果
が薄れるのを防ごうとすれば、弁体は振動を起
こすようになり、真空圧の調整が不可能とな
る。
用するようにわずかな調整力を与えるが、その
場合に、その力は一般的に摩擦力及び慣性によ
つて消費され制御効果が薄れる。また制御効果
が薄れるのを防ごうとすれば、弁体は振動を起
こすようになり、真空圧の調整が不可能とな
る。
以上の(A)、(B)、(C)のような不都合から所望の真
空圧を真空系に求めることは、従来の装置では困
難となる。そこで、本発明は上記欠点に鑑み調整
装置から離れた位置に真空圧の真空圧を感知し電
気信号を供給する圧力センサー部と、該圧力セン
サー部からの電気信号に従つて真空系の圧力を調
整するべく空気を真空系に流入させるアクチユエ
ータとからなる装置を発明したものである。
空圧を真空系に求めることは、従来の装置では困
難となる。そこで、本発明は上記欠点に鑑み調整
装置から離れた位置に真空圧の真空圧を感知し電
気信号を供給する圧力センサー部と、該圧力セン
サー部からの電気信号に従つて真空系の圧力を調
整するべく空気を真空系に流入させるアクチユエ
ータとからなる装置を発明したものである。
以下図示された実施例に従つて本発明を詳細に
説明する。第１図において１は真空ポンプであ
り、該ポンプ１は真空パイプ２を介して図示しな
い真空系と連通している。真空系と真空ポンプ１
との間には、真空ポンプ側にアクチユエータＡ
が、真空系側に真空系の真空圧を感知する圧力セ
ンサー部Ｂが、それぞれ接続口３，４を介して真
空パイプ２と接続されている。アクチユエータＡ
と圧力センサー部Ｂとは、ソレノイド駆動用電線
５を介して互いに接続されている。またアクチユ
エータＡの真空導入口７は、さらに真空圧調整の
ために真空導入チユーブ６を介して真空パイプ２
と連通している。そして、圧力センサー部Ｂは、
第５図に示されるように台座８及びカバー９によ
つて形成された容器の内部に圧力センサー１０及
び第２図、第３図及び第４図に示す機能を有する
電子回路が組み込まれた基板１１がビス１２等に
よつて台座８に接合されている。圧力センサー１
０は、ビニールチユーブ１３を介して接続口３と
連通しており真空パイプ２内の真空圧を感知する
ようになつている。また電子回路の出力端子はソ
レノイド駆動用電線５を介してアクチユエータＡ
のソレノイド１４と導通している。
説明する。第１図において１は真空ポンプであ
り、該ポンプ１は真空パイプ２を介して図示しな
い真空系と連通している。真空系と真空ポンプ１
との間には、真空ポンプ側にアクチユエータＡ
が、真空系側に真空系の真空圧を感知する圧力セ
ンサー部Ｂが、それぞれ接続口３，４を介して真
空パイプ２と接続されている。アクチユエータＡ
と圧力センサー部Ｂとは、ソレノイド駆動用電線
５を介して互いに接続されている。またアクチユ
エータＡの真空導入口７は、さらに真空圧調整の
ために真空導入チユーブ６を介して真空パイプ２
と連通している。そして、圧力センサー部Ｂは、
第５図に示されるように台座８及びカバー９によ
つて形成された容器の内部に圧力センサー１０及
び第２図、第３図及び第４図に示す機能を有する
電子回路が組み込まれた基板１１がビス１２等に
よつて台座８に接合されている。圧力センサー１
０は、ビニールチユーブ１３を介して接続口３と
連通しており真空パイプ２内の真空圧を感知する
ようになつている。また電子回路の出力端子はソ
レノイド駆動用電線５を介してアクチユエータＡ
のソレノイド１４と導通している。
また、アクチユエータＡは、第６図に示すよう
に底部に真空パイプ２との接続口４及び空気孔１
５を有する器体本体下部１６と上部に空気導入口
１７及び真空導入口７を有する器体本体上部１８
を接合した構造であり、内室をゴム等の素材から
なるダイヤフラム１９を介してダイヤフラム室２
０と真空圧調整室２１とに区画している。真空圧
調整室２１内にはダイヤフラム１９とボルト２２
によつて接続され、接続口４を塞ぐように構成さ
れた調圧棒２３と、該調圧棒２３を囲む円筒状の
筒体を配置し、ダイヤフラム室２０内には、本体
上部１８と接合されたブラケツト２４ａ，２４ｂ
によつて支持されたプレート２５上に支持部材２
６を支点として空気導入口１７又は真空導入口７
を塞ぐようにシーソ状に揺動し、かつバネ２７に
より通常空気導入口１７を塞ぐように付勢された
切替弁２８及びソレノイド１４を配置したものか
らなる。尚、空気導入口１７及び真空導入口７の
ダイヤフラム室２０側はそれぞれ円錐状の突起部
分にあけられている。以上のような構成におい
て、本発明にかかる装置では、圧力センサー部Ｂ
に希望する真空圧が設定してあり、第３図及び第
４図に示すように真空パイプ２内の真空圧が設定
値より高い場合には、センサー１０から出力され
る電圧が高くなり、パルス幅変調器から立ち上り
の短い矩形波が出力され、また真空圧が設定値よ
り低い場合には、センサー１０から出力される電
圧が低くなり、パルス幅変調器から立ち上り部分
の長い矩形波が出力される。この圧力センサー部
Ｂから出力された矩形波は駆動用電線５を介して
ソレノイド１４に伝えられる。そして矩形波の立
ち上り時間、例えば△ｘ又は△x′の間ソレノイド
１４は通電されバネ２７の力に打ち勝つて切替ス
イツチ２８が真空導入口７を塞ぎ、空気導入口１
７を介してダイヤフラム室２０内に空気を導入す
る。また矩形波の出力が0Vの時間、例えば△ｙ
又は△y′の間ソレノイド１４が非通電の状態にあ
り、バネ２７の力により切替スイツチ２８が空気
導入口１７を塞ぎ、真空導入口１７を介して真空
パイプ２からダイヤフラム室２０内を負圧の状態
にする。一方ダイヤフラム室２０の負圧が所定の
レベル以上になつたとき、ダイヤフラム１９が調
圧棒２３と共に上昇し、接続口４が開き空気孔１
５を介して真空パイプ２内に空気を導入して真空
系の真空圧を下げ、またダイヤフラム室２０内を
負圧が所定のレベル以下になつたとき、ダイヤフ
ラム１９に装着された調圧棒２３が下降し接続口
４を閉塞し、真空パイプ２内に空気が流入するの
を防ぎ、真空圧を上昇させる。
に底部に真空パイプ２との接続口４及び空気孔１
５を有する器体本体下部１６と上部に空気導入口
１７及び真空導入口７を有する器体本体上部１８
を接合した構造であり、内室をゴム等の素材から
なるダイヤフラム１９を介してダイヤフラム室２
０と真空圧調整室２１とに区画している。真空圧
調整室２１内にはダイヤフラム１９とボルト２２
によつて接続され、接続口４を塞ぐように構成さ
れた調圧棒２３と、該調圧棒２３を囲む円筒状の
筒体を配置し、ダイヤフラム室２０内には、本体
上部１８と接合されたブラケツト２４ａ，２４ｂ
によつて支持されたプレート２５上に支持部材２
６を支点として空気導入口１７又は真空導入口７
を塞ぐようにシーソ状に揺動し、かつバネ２７に
より通常空気導入口１７を塞ぐように付勢された
切替弁２８及びソレノイド１４を配置したものか
らなる。尚、空気導入口１７及び真空導入口７の
ダイヤフラム室２０側はそれぞれ円錐状の突起部
分にあけられている。以上のような構成におい
て、本発明にかかる装置では、圧力センサー部Ｂ
に希望する真空圧が設定してあり、第３図及び第
４図に示すように真空パイプ２内の真空圧が設定
値より高い場合には、センサー１０から出力され
る電圧が高くなり、パルス幅変調器から立ち上り
の短い矩形波が出力され、また真空圧が設定値よ
り低い場合には、センサー１０から出力される電
圧が低くなり、パルス幅変調器から立ち上り部分
の長い矩形波が出力される。この圧力センサー部
Ｂから出力された矩形波は駆動用電線５を介して
ソレノイド１４に伝えられる。そして矩形波の立
ち上り時間、例えば△ｘ又は△x′の間ソレノイド
１４は通電されバネ２７の力に打ち勝つて切替ス
イツチ２８が真空導入口７を塞ぎ、空気導入口１
７を介してダイヤフラム室２０内に空気を導入す
る。また矩形波の出力が0Vの時間、例えば△ｙ
又は△y′の間ソレノイド１４が非通電の状態にあ
り、バネ２７の力により切替スイツチ２８が空気
導入口１７を塞ぎ、真空導入口１７を介して真空
パイプ２からダイヤフラム室２０内を負圧の状態
にする。一方ダイヤフラム室２０の負圧が所定の
レベル以上になつたとき、ダイヤフラム１９が調
圧棒２３と共に上昇し、接続口４が開き空気孔１
５を介して真空パイプ２内に空気を導入して真空
系の真空圧を下げ、またダイヤフラム室２０内を
負圧が所定のレベル以下になつたとき、ダイヤフ
ラム１９に装着された調圧棒２３が下降し接続口
４を閉塞し、真空パイプ２内に空気が流入するの
を防ぎ、真空圧を上昇させる。
従つてアクチユエータＡは、真空系の真空圧が
設定値よりも高い場合には圧力センサー部Ｂから
立ち上がりの短い矩形波が出力され、それに対応
してソレノイド１４が短時間作動するのでダイヤ
フラム室２０内は負圧の状態となり、真空圧調整
室２１内の調圧棒２３を引き上げ、接続口４を開
口させて真空パイプ２に空気を送り込み真空系の
真空圧を低下させる。反対に真空系の真空圧が設
定値よりも低い場合には、圧力センサー部Ｂから
立ち上がりの長い矩形波が出力され、それに対応
してソレノイド１４が作動し空気導入口１７を真
空導入口７よりも長い時間開口させるので、ダイ
ヤフラム室２０内は大気圧の状態に近くなり、調
圧棒２３が接続口４を閉塞させて真空系の真空圧
を上昇させ真空系の真空圧を設定値に保つ。
設定値よりも高い場合には圧力センサー部Ｂから
立ち上がりの短い矩形波が出力され、それに対応
してソレノイド１４が短時間作動するのでダイヤ
フラム室２０内は負圧の状態となり、真空圧調整
室２１内の調圧棒２３を引き上げ、接続口４を開
口させて真空パイプ２に空気を送り込み真空系の
真空圧を低下させる。反対に真空系の真空圧が設
定値よりも低い場合には、圧力センサー部Ｂから
立ち上がりの長い矩形波が出力され、それに対応
してソレノイド１４が作動し空気導入口１７を真
空導入口７よりも長い時間開口させるので、ダイ
ヤフラム室２０内は大気圧の状態に近くなり、調
圧棒２３が接続口４を閉塞させて真空系の真空圧
を上昇させ真空系の真空圧を設定値に保つ。
また電源が切れて電子回路及びソレノイド１４
が作動しなくなつた場合においては、バネ２７の
力により真空導入口７が開いた状態となるためダ
イヤフラム室２０内の真空圧が上昇し、ダイヤフ
ラム１９と共に調圧棒２３が押し上げられ接続口
４が開口された状態となるので、真空系の真空度
が異常に上昇するのを防ぐ。
が作動しなくなつた場合においては、バネ２７の
力により真空導入口７が開いた状態となるためダ
イヤフラム室２０内の真空圧が上昇し、ダイヤフ
ラム１９と共に調圧棒２３が押し上げられ接続口
４が開口された状態となるので、真空系の真空度
が異常に上昇するのを防ぐ。
以上述べたように本発明に係る装置では、真空
系の広範囲にわたる真空度の変化に迅速に対応し
て真空圧を一定に保つと共に、感知手段である圧
力センサー部をアクチユエータと離れた位置に設
けているので、流入空気による影響を受けず、従
来のものに比較して正確に真空圧を維持すること
ができる。さらに本発明の装置では、たとえ電源
の供給が切れた場合に、真空系に負荷がかからぬ
ように真空圧を下げるように構成されており安全
性が高い。また本発明では、圧力センサーを共用
して、真空度のデジタル表示や異常状態の警報の
出力を行うことができ、その利用価値が極めて高
いものである。
系の広範囲にわたる真空度の変化に迅速に対応し
て真空圧を一定に保つと共に、感知手段である圧
力センサー部をアクチユエータと離れた位置に設
けているので、流入空気による影響を受けず、従
来のものに比較して正確に真空圧を維持すること
ができる。さらに本発明の装置では、たとえ電源
の供給が切れた場合に、真空系に負荷がかからぬ
ように真空圧を下げるように構成されており安全
性が高い。また本発明では、圧力センサーを共用
して、真空度のデジタル表示や異常状態の警報の
出力を行うことができ、その利用価値が極めて高
いものである。
第１図は、本発明にかかる装置の構成図、第２
図は、本発明の圧力センサー部の作動を示すブロ
ツク図、第３図及び第４図は、圧力センサー部の
作動を示すグラフ、第５図は圧力センサー部の構
造を示す断面図、第６図はアクチユエータの構造
を示す断面図、第７図は真空圧が高い状態におけ
る各部分の状態を示す図、第８図は真空圧が低い
状態における各部分の状態を示す図である。 １……真空ポンプ、２……真空パイプ、３，４
……接続口、５……ソレノイド駆動用電線、６…
…真空導入チユーブ、７……真空導入口、１０…
…圧力センサー、１４……ソレノイド、１５……
空気孔、１７……空気導入口、１９……ダイヤフ
ラム、２０……ダイヤフラム室、２１……真空圧
調整室、２３……調圧棒、２４ａ，ｂ……ブラケ
ツト、２８……切替弁。
図は、本発明の圧力センサー部の作動を示すブロ
ツク図、第３図及び第４図は、圧力センサー部の
作動を示すグラフ、第５図は圧力センサー部の構
造を示す断面図、第６図はアクチユエータの構造
を示す断面図、第７図は真空圧が高い状態におけ
る各部分の状態を示す図、第８図は真空圧が低い
状態における各部分の状態を示す図である。 １……真空ポンプ、２……真空パイプ、３，４
……接続口、５……ソレノイド駆動用電線、６…
…真空導入チユーブ、７……真空導入口、１０…
…圧力センサー、１４……ソレノイド、１５……
空気孔、１７……空気導入口、１９……ダイヤフ
ラム、２０……ダイヤフラム室、２１……真空圧
調整室、２３……調圧棒、２４ａ，ｂ……ブラケ
ツト、２８……切替弁。
Claims (1)
- １ パイプ内の負圧を検知する圧力センサーと、
該圧力センサーで検知された電気信号を設定すれ
た真空圧に基づき変調されたパルス波を出力する
電子回路とからなる圧力センサー部と、底部に真
空パイプとの接続口及び空気孔を有し、上部に真
空導入口及び空気導入口を有する器体本体と、該
器体本体内部の上部をダイヤフラム室及び下部を
真空圧調整室に区画するダイヤフラムと、該ダイ
ヤフラムに装着された接続口をダイヤフラム室内
と真空圧調整室内の圧力差に応じて閉塞するよう
に構成された調圧棒と、ダイヤフラム室内に装着
されたバネ等の手段によつて空気導入口を塞ぐよ
うに付勢された空気導入口又は真空導入口を塞ぐ
切替弁と、前期切替弁が圧力センサー部から供給
されるパルス波に従つて真空導入口を塞ぐように
作動するソレノイドを有するアクチユエータとか
らなる電子式真空圧調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57157320A JPS5945519A (ja) | 1982-09-09 | 1982-09-09 | 電子式真空圧調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57157320A JPS5945519A (ja) | 1982-09-09 | 1982-09-09 | 電子式真空圧調整装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5945519A JPS5945519A (ja) | 1984-03-14 |
| JPH0334090B2 true JPH0334090B2 (ja) | 1991-05-21 |
Family
ID=15647112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57157320A Granted JPS5945519A (ja) | 1982-09-09 | 1982-09-09 | 電子式真空圧調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5945519A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6472214A (en) * | 1987-09-12 | 1989-03-17 | Smc Corp | Vacuum pressure regulator |
| JPH04273304A (ja) * | 1991-02-27 | 1992-09-29 | Ebara Corp | ガス圧調節装置 |
| SE529701C2 (sv) * | 2006-01-31 | 2007-10-30 | Delaval Holding Ab | Mjölkningssystem och metod för vakuumreglering |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5167522A (en) * | 1974-11-04 | 1976-06-11 | Bendix Corp | Shinkugenatsuben |
| JPS5686272A (en) * | 1979-10-29 | 1981-07-13 | Eaton Corp | Vacuum variation valve |
| JPS5859389A (ja) * | 1981-07-08 | 1983-04-08 | エドシン・インコ−ポレイテツド | 圧力および真空源用電子的調整・制御装置 |
-
1982
- 1982-09-09 JP JP57157320A patent/JPS5945519A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5167522A (en) * | 1974-11-04 | 1976-06-11 | Bendix Corp | Shinkugenatsuben |
| JPS5686272A (en) * | 1979-10-29 | 1981-07-13 | Eaton Corp | Vacuum variation valve |
| JPS5859389A (ja) * | 1981-07-08 | 1983-04-08 | エドシン・インコ−ポレイテツド | 圧力および真空源用電子的調整・制御装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5945519A (ja) | 1984-03-14 |
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