JPS5936940A - 一群の薄片処理における検出方法 - Google Patents
一群の薄片処理における検出方法Info
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- JPS5936940A JPS5936940A JP14829582A JP14829582A JPS5936940A JP S5936940 A JPS5936940 A JP S5936940A JP 14829582 A JP14829582 A JP 14829582A JP 14829582 A JP14829582 A JP 14829582A JP S5936940 A JPS5936940 A JP S5936940A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、一群のＲ）Ｔ処理における検出方法に関し、
詳しくいえば、ガラス、セラミックまたはシリコン等の
薄片を複政個債載し、収納する収納容器、すなわちカセ
ットより１枚ずつ搬出したり搬入したりする装置におい
て、最初の薄片または最後の薄片が該カセットに搬出入
した）祭、これを検出する検出方法に関する。
詳しくいえば、ガラス、セラミックまたはシリコン等の
薄片を複政個債載し、収納する収納容器、すなわちカセ
ットより１枚ずつ搬出したり搬入したりする装置におい
て、最初の薄片または最後の薄片が該カセットに搬出入
した）祭、これを検出する検出方法に関する。
薄片の一例である半ｉｇ（本基板は、各種の処理上程を
経由して処理される。すなわち、一定数の薄片を積載し
たカセット（第１図及び第２図参照）より一枚ずつ薄片
を搬出し、洗浄、レジストコート、加ギ＼、焼付、現像
捷たはエツチング等の処理を行うが、処理された薄片を
受収装置ｆｌｌｌＪのカセットに１枚ずつ積載する。こ
の際、従来において、一定数の′Ｎｊ、／＝ｉが処理工
程に搬出されたかどうかを自動的に検出する方法は、カ
セットから搬出した薄片の枚数を積算して、それが一定
数に合致するかどうかをチェックするものであった。
経由して処理される。すなわち、一定数の薄片を積載し
たカセット（第１図及び第２図参照）より一枚ずつ薄片
を搬出し、洗浄、レジストコート、加ギ＼、焼付、現像
捷たはエツチング等の処理を行うが、処理された薄片を
受収装置ｆｌｌｌＪのカセットに１枚ずつ積載する。こ
の際、従来において、一定数の′Ｎｊ、／＝ｉが処理工
程に搬出されたかどうかを自動的に検出する方法は、カ
セットから搬出した薄片の枚数を積算して、それが一定
数に合致するかどうかをチェックするものであった。
ところが、この従来の方法では、処理り程中、薄片を点
検用サンプルなどのために１枚以上、人手により取り外
したり、まだは装置の異常により多欲の薄片の１枚ない
し数枚が搬送路から脱落した場合、取出装置側のカセッ
トより一定数の薄片を搬出したにもかかわらず、受取装
置側のカセットでは、一定数の薄片を受取ることができ
ないことになり、あるいはカセットの収納枚数が最初か
ら不足であった場さ等も、処理工程での薄片に対する処
理が終了した後も、装置全体としての処理路Ｔ検出は報
告されず、そのため、受取装置側ないし後工程における
カセットの自動交換や搬送ができないという間順が生じ
ていた。
検用サンプルなどのために１枚以上、人手により取り外
したり、まだは装置の異常により多欲の薄片の１枚ない
し数枚が搬送路から脱落した場合、取出装置側のカセッ
トより一定数の薄片を搬出したにもかかわらず、受取装
置側のカセットでは、一定数の薄片を受取ることができ
ないことになり、あるいはカセットの収納枚数が最初か
ら不足であった場さ等も、処理工程での薄片に対する処
理が終了した後も、装置全体としての処理路Ｔ検出は報
告されず、そのため、受取装置側ないし後工程における
カセットの自動交換や搬送ができないという間順が生じ
ていた。
そこで本発明は、この従来の問題を解決するために案出
されたもので、最初と最後の薄片のカセットよりの搬出
入を検出することにより、装置全体の処理の終ｒを検出
して処理能率を向上させようとするものであシ、さらに
は最初と最後の薄片が各処理間に渡っていっても常に最
初の薄片であり最後の薄片であるようにしようとするも
のである。
されたもので、最初と最後の薄片のカセットよりの搬出
入を検出することにより、装置全体の処理の終ｒを検出
して処理能率を向上させようとするものであシ、さらに
は最初と最後の薄片が各処理間に渡っていっても常に最
初の薄片であり最後の薄片であるようにしようとするも
のである。
以下、本発明の構成を実施列にもとづいて説明するに、
第１図は本発明の実施例で使用するカセットの断面図、
第２図は第１図の斜視図、第３図は本発明の実施例の全
体の概略図、第４図は第３図の詳細斜視図、第５図は第
４図におけるカセットの作動図を示す。
第１図は本発明の実施例で使用するカセットの断面図、
第２図は第１図の斜視図、第３図は本発明の実施例の全
体の概略図、第４図は第３図の詳細斜視図、第５図は第
４図におけるカセットの作動図を示す。
第３図または第４図において、先ず、薄片の表示につい
て述べれば、収出装置Ａに載置したカセットＸ０）最上
部に「最後コを表示する薄片で構成したダミー板２４を
積載し、最下部に「最初」を表示する薄片で構成したダ
ミー板１を積載し、これらダミー板１． ２間に処理す
べき薄片３，３・・・を複数枚積載し収納する。これら
「最初」及び「最後」の表示方法は、単純なマーク、穴
またはり欠き等で表示し、セン丈−として光′畦セン丈
−を用いるが、表示が勇欠きの場合はマイクロスイッチ
を用いることもできる。そして表示が例えば穴の場合、
薄片３．３・・・が搬送されていく方向の逆向に立って
ダミー板の左側般＃′Ｊｌ！ｖにＵ最初コ用として２個
の穴４．４をあけ、その対峙する片隅に１蘭の穴５をあ
けて、「最初」のダミー板１であることを表示し、他の
ダミー板にはこれと逆に左側最前部に１個の穴５′をあ
け、その対峙する片隅に２個の穴４’、４’あけて「最
後」のダミー板２であることを表示する。
て述べれば、収出装置Ａに載置したカセットＸ０）最上
部に「最後コを表示する薄片で構成したダミー板２４を
積載し、最下部に「最初」を表示する薄片で構成したダ
ミー板１を積載し、これらダミー板１． ２間に処理す
べき薄片３，３・・・を複数枚積載し収納する。これら
「最初」及び「最後」の表示方法は、単純なマーク、穴
またはり欠き等で表示し、セン丈−として光′畦セン丈
−を用いるが、表示が勇欠きの場合はマイクロスイッチ
を用いることもできる。そして表示が例えば穴の場合、
薄片３．３・・・が搬送されていく方向の逆向に立って
ダミー板の左側般＃′Ｊｌ！ｖにＵ最初コ用として２個
の穴４．４をあけ、その対峙する片隅に１蘭の穴５をあ
けて、「最初」のダミー板１であることを表示し、他の
ダミー板にはこれと逆に左側最前部に１個の穴５′をあ
け、その対峙する片隅に２個の穴４’、４’あけて「最
後」のダミー板２であることを表示する。
次に、検出部についての一例を述べれば、カセットＸの
ダミー板１は搬出されて、必要な処理を処理部Ｃにて施
され、検出部りにて位置決めパー６及び押え７にて位置
決めされ、フォトセンサー８にて、穴４が２個であるこ
とを判別しくこれはもちろん動かしながらの判別も可能
である。）、受収装置例のカセットＸに積載される。こ
の場合、受収装置Ｂのテーブル１０の定位置にカ七ン）
Ｘが載ｉｗされていること、カセットＸには薄片等が積
載されていないこと及びカセットＸがテーブル１０によ
りド部に位置されていること等の諸条件も同時に自−Ｊ
的に検出する。なお、この詳細は出頼人がすてに出・頌
（実１頭昭５７−７６８４０号）しているので詳細を省
略する。
ダミー板１は搬出されて、必要な処理を処理部Ｃにて施
され、検出部りにて位置決めパー６及び押え７にて位置
決めされ、フォトセンサー８にて、穴４が２個であるこ
とを判別しくこれはもちろん動かしながらの判別も可能
である。）、受収装置例のカセットＸに積載される。こ
の場合、受収装置Ｂのテーブル１０の定位置にカ七ン）
Ｘが載ｉｗされていること、カセットＸには薄片等が積
載されていないこと及びカセットＸがテーブル１０によ
りド部に位置されていること等の諸条件も同時に自−Ｊ
的に検出する。なお、この詳細は出頼人がすてに出・頌
（実１頭昭５７−７６８４０号）しているので詳細を省
略する。
したがって、ダミー板１％処理すべき薄片３゜３・・・
及びダミー板２の頃に、１枚ずっ収用装置Ａ側のカセッ
トＸより搬出し、必要な処理を施し、検知部りにて位置
決めし、「最初」及び「最後Ｊの険１４１１を行い、受
取装置Ｂ側のカセッ）Ｘの上から順次搬入し積載する。
及びダミー板２の頃に、１枚ずっ収用装置Ａ側のカセッ
トＸより搬出し、必要な処理を施し、検知部りにて位置
決めし、「最初」及び「最後Ｊの険１４１１を行い、受
取装置Ｂ側のカセッ）Ｘの上から順次搬入し積載する。
「最後」を表示するダミー板２を険９１′］部りにて検
出し、該ダミー板２をカセットＸに積載を完γして始め
て、一群の薄片３゜３・・・の処理材ｒの表示が出る。
出し、該ダミー板２をカセットＸに積載を完γして始め
て、一群の薄片３゜３・・・の処理材ｒの表示が出る。
その、騎乗、ダミー板１．２及び薄片３．３・・・を積
載したカセットＸを次工程の収出装置ＭＡ（収出装置１
ｆｆＡと同じ）へ自動的に搬送ができることになシ、取
出装置ρへ′にカセソｌ−Ｘは方向性すなわち第４図の
１■出装置ｆＡに載せたカセットＸと同じ向きに載置さ
れる。一方ｆｒｔｊＲ−３，３・・・等が積載されてい
ない別の空のカセットＸを受取装置Ｂ′（受取装置Ｂと
同じ）に自動的に載置する。
載したカセットＸを次工程の収出装置ＭＡ（収出装置１
ｆｆＡと同じ）へ自動的に搬送ができることになシ、取
出装置ρへ′にカセソｌ−Ｘは方向性すなわち第４図の
１■出装置ｆＡに載せたカセットＸと同じ向きに載置さ
れる。一方ｆｒｔｊＲ−３，３・・・等が積載されてい
ない別の空のカセットＸを受取装置Ｂ′（受取装置Ｂと
同じ）に自動的に載置する。
一方、収出装置Ａにおいては、ダミー板１，２及び薄片
３，３・・・が空になったカセソ）Ｘけ自動的に搬出し
、かわりに薄片３．３・・・及びその上下にそれぞれ「
最初」及び「最後」を表示したダミー板１．２を８截し
た新たなカセットＸ′を自助的に載置し、受取装置Ｂに
は空のカセットＸ′が載置され、収出装置［ｆｆｆｉＡ
のカセットＸ′内の最下部の「最切」のダミー板ｌが自
動的に処理部Ｃへ搬出され、前述と同様、ダミー板１、
薄片３．３・・・及びダミー４反２の自＃処理を行う。
３，３・・・が空になったカセソ）Ｘけ自動的に搬出し
、かわりに薄片３．３・・・及びその上下にそれぞれ「
最初」及び「最後」を表示したダミー板１．２を８截し
た新たなカセットＸ′を自助的に載置し、受取装置Ｂに
は空のカセットＸ′が載置され、収出装置［ｆｆｆｉＡ
のカセットＸ′内の最下部の「最切」のダミー板ｌが自
動的に処理部Ｃへ搬出され、前述と同様、ダミー板１、
薄片３．３・・・及びダミー４反２の自＃処理を行う。
以上のようであるので、次の工程に送られたカセツ）Ｘ
は、次の工程の収出装置Ａのテーブル１０に自動的に載
置され、前工程における最上部のダミー板２は、このと
ころでは最下部に載置されているので、該ダミー板２よ
り処理部Ｃに搬出されるが、この関係は第５図に示しで
ある。すなわち、前工程のｙ８！理部Ｃで「最後Ｊを表
示したダミー板２、すなわち鎖板２の後布部に穴４．４
の２個をあけたダミー板２は、この工程の処理部Ｃでは
［Ｍ防ゴを表示するダミー板すなわち鎖板の前左部に２
個の穴４．４を有するダミー板にメくされる。
は、次の工程の収出装置Ａのテーブル１０に自動的に載
置され、前工程における最上部のダミー板２は、このと
ころでは最下部に載置されているので、該ダミー板２よ
り処理部Ｃに搬出されるが、この関係は第５図に示しで
ある。すなわち、前工程のｙ８！理部Ｃで「最後Ｊを表
示したダミー板２、すなわち鎖板２の後布部に穴４．４
の２個をあけたダミー板２は、この工程の処理部Ｃでは
［Ｍ防ゴを表示するダミー板すなわち鎖板の前左部に２
個の穴４．４を有するダミー板にメくされる。
ことになる。これは第５図において、受取装置ｆＢ上の
カセットＸを１８０°回１訳して、収出装置人のカセッ
トＸに８きかえてみれば明であろう。同様に、前工程の
処理部Ｃで「最初」を表示したダミー板ｌは「最後」の
表示をしたダミー板に変更される。
カセットＸを１８０°回１訳して、収出装置人のカセッ
トＸに８きかえてみれば明であろう。同様に、前工程の
処理部Ｃで「最初」を表示したダミー板ｌは「最後」の
表示をしたダミー板に変更される。
したがって、本発明では処理すべき薄片３．３・・・の
攻はがいかに変っても、またカセッ）Ｘに何回か搬出入
しても「最初」と「最後」を表示することができる。
攻はがいかに変っても、またカセッ）Ｘに何回か搬出入
しても「最初」と「最後」を表示することができる。
なお、第１図及び第２図におけるカセッ）Ｘはプラスチ
ック製功両側板１１．１１とこれら１ｌｌｌＩ板ＩＩ、
１１を結きする連Ｐｐｊ俸１２．側板１１，１１の内…
りには薄片３，３・・・を積、戒する溝１３を設け、溝
１３の奥部に溝止めパー１４を立設した構成になってｂ
る。工５は搬送ベルトを示す。
ック製功両側板１１．１１とこれら１ｌｌｌＩ板ＩＩ、
１１を結きする連Ｐｐｊ俸１２．側板１１，１１の内…
りには薄片３，３・・・を積、戒する溝１３を設け、溝
１３の奥部に溝止めパー１４を立設した構成になってｂ
る。工５は搬送ベルトを示す。
以上要するに本発明は、一群の薄片をカセットを介して
順次搬送し、搬送途中で処理する薄片処理方法において
、該一群の薄片の最初と最後にダミー板を入れ、これら
ダミー板に最初、最後を表示する検出用表示を設け、該
検出用表示の検出により、一群の薄片処理開始、終了を
検出しながら処理を行う薄片処理方法であるから、次の
効果を奏する。
順次搬送し、搬送途中で処理する薄片処理方法において
、該一群の薄片の最初と最後にダミー板を入れ、これら
ダミー板に最初、最後を表示する検出用表示を設け、該
検出用表示の検出により、一群の薄片処理開始、終了を
検出しながら処理を行う薄片処理方法であるから、次の
効果を奏する。
Claims (2)
- （１）一群の薄片をカセットに収納し、該カセットより
薄片を搬出して処理部で処理する薄片処理方法において
、該一群の薄片の最初と最後にダミー板を挿入し、これ
らダミー板に最初と最後を表示する検出用表示を設け、
該検出用表示の検出により、一群の薄片処理の開始及び
終了を検出するとともに次の工程の薄片処理工程におい
ては、最初と最後を表示する検出用表示が逆の位置に挿
入されるようにしたことを特徴とする一群の薄／″ｉ処
理における検出方法。 - （２）検出用表示に穴または切欠きを設け、フォトセン
サーにて検出する特許請求の範囲′第（１）項に記載の
一群の薄片処理における検出方法、
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14829582A JPS5936940A (ja) | 1982-08-25 | 1982-08-25 | 一群の薄片処理における検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14829582A JPS5936940A (ja) | 1982-08-25 | 1982-08-25 | 一群の薄片処理における検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5936940A true JPS5936940A (ja) | 1984-02-29 |
| JPS634936B2 JPS634936B2 (ja) | 1988-02-01 |
Family
ID=15449578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14829582A Granted JPS5936940A (ja) | 1982-08-25 | 1982-08-25 | 一群の薄片処理における検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5936940A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102018006771B4 (de) | 2018-08-27 | 2022-09-08 | Mühlbauer Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung und Verfahren zum Übertragen elektronischer Bauteile von einem ersten zu einem zweiten Träger |
-
1982
- 1982-08-25 JP JP14829582A patent/JPS5936940A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS634936B2 (ja) | 1988-02-01 |
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