JPS5934041A - 振動緩衝装置 - Google Patents
振動緩衝装置Info
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- JPS5934041A JPS5934041A JP58102944A JP10294483A JPS5934041A JP S5934041 A JPS5934041 A JP S5934041A JP 58102944 A JP58102944 A JP 58102944A JP 10294483 A JP10294483 A JP 10294483A JP S5934041 A JPS5934041 A JP S5934041A
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- Japan
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- vibration
- mass
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q30/00—Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
- G01Q30/18—Means for protecting or isolating the interior of a sample chamber from external environmental conditions or influences, e.g. vibrations or electromagnetic fields
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y35/00—Methods or apparatus for measurement or analysis of nanostructures
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
- F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
- F16F15/04—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means
- F16F15/046—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means using combinations of springs of different kinds
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は、科学器材及び高精度の製造装置の如き、最も
小さな周囲の振動からも保護されるべき装置のための支
持体として用いられる、高性能の振動緩衝装置に係る。
小さな周囲の振動からも保護されるべき装置のための支
持体として用いられる、高性能の振動緩衝装置に係る。
この振動緩衝装置は、回転＝１１
振動でなく線型振動ｆ １０ ｍよりも小さい残
留振幅迄、吸収又は減衰させることを意図している。
留振幅迄、吸収又は減衰させることを意図している。
今日、当技術分野に於て１本質的に２つの型の振動緩衝
装置が知られている。その第１の型は、振動に対する太
き・な抵抗及び低い共振周波数を有する様に、比較的大
きな質量体に依存している。
装置が知られている。その第１の型は、振動に対する太
き・な抵抗及び低い共振周波数を有する様に、比較的大
きな質量体に依存している。
その型の振動緩衝装置は、主に、高精度の秤のための支
持体及び光学的実験用の台等として用いられている。第
２の型の据置１緩衝装置は、周囲の振動全吸収す゛る７
Ｃめに、弾性素子、即ちゴム部材又はばねを用いている
。その第２の型の振動緩動装置は、自動車の場合の如く
振動するエンジンの懸垂及び高信頼性の回転台に於て用
いられている。
持体及び光学的実験用の台等として用いられている。第
２の型の据置１緩衝装置は、周囲の振動全吸収す゛る７
Ｃめに、弾性素子、即ちゴム部材又はばねを用いている
。その第２の型の振動緩動装置は、自動車の場合の如く
振動するエンジンの懸垂及び高信頼性の回転台に於て用
いられている。
本発明による振動緩衝装置は、異なる共振周波数を有す
る様に組合わされた、複数組の、ばね等の弾性素子の特
定の配置を用いているので、上記第２の型の振動緩衝装
置であろ０ 本発明による振動緩衝装置は、土肥弾性素子によって振
動を減衰させる他に、該弾性素子が用いられている系の
共振周波数を著しく低下させる特性を有する渦電流ブレ
ーキを用いている。
る様に組合わされた、複数組の、ばね等の弾性素子の特
定の配置を用いているので、上記第２の型の振動緩衝装
置であろ０ 本発明による振動緩衝装置は、土肥弾性素子によって振
動を減衰させる他に、該弾性素子が用いられている系の
共振周波数を著しく低下させる特性を有する渦電流ブレ
ーキを用いている。
恐らく、前述の高精度の秤の場合を除き、当技術分野に
於て知られている振動の減衰は、概して１０−６ｍの範
囲の振幅の振動に関するものであり１、−８ レコード・プレーヤの場合でも、必要条件か１０ｍを超
えろことはない。しかｌ〜ながら、今日の表面物理学に
於ては、原子寸法の物体が研究され、それらの研究に用
し・られる器機は、それらの検査及び測定が損われない
様に、原子の大きさ程度の振動からも保護されねばなら
ない。
於て知られている振動の減衰は、概して１０−６ｍの範
囲の振幅の振動に関するものであり１、−８ レコード・プレーヤの場合でも、必要条件か１０ｍを超
えろことはない。しかｌ〜ながら、今日の表面物理学に
於ては、原子寸法の物体が研究され、それらの研究に用
し・られる器機は、それらの検査及び測定が損われない
様に、原子の大きさ程度の振動からも保護されねばなら
ない。
又、周囲の振動、即ち大地の動きを調べる地震計の場合
にも、同様な問題がある。有用な結果を得るために、地
震計は通常地震計自体の共振周波数を減少させる手段を
有している。Ｅ、 Ｆ、 Ｓ ａｗａｒｅｎｓｋｉ及び
り、Ｐ、Ｋｉｒｎｃｓによるゝ’Ｅｌｅｍｅｎｔｅ
ｄｅｒＳｅｉｓｍｏｌｏｇｉｅ ｕｎｄ Ｓｅｉｓ
ｍｏｍｅｔｒｉｅ “、Ｂｅｒｌｉｎ、 １９６０年、
第３６１頁に於て、叫蹄型の永久磁石の間隙中に降下す
る様に地震計の振子に固定された銅又はアルミニウムの
バーを用いることが記載されている。上記振子、従って
上記バーの動きは、振子の動きに逆らおうとする渦電流
を上記バーに生せしめろ。それらの渦電流減衰装置は、
地震計の場合と異なる、外部振動を減少させる目的のた
めには設計されていない。
にも、同様な問題がある。有用な結果を得るために、地
震計は通常地震計自体の共振周波数を減少させる手段を
有している。Ｅ、 Ｆ、 Ｓ ａｗａｒｅｎｓｋｉ及び
り、Ｐ、Ｋｉｒｎｃｓによるゝ’Ｅｌｅｍｅｎｔｅ
ｄｅｒＳｅｉｓｍｏｌｏｇｉｅ ｕｎｄ Ｓｅｉｓ
ｍｏｍｅｔｒｉｅ “、Ｂｅｒｌｉｎ、 １９６０年、
第３６１頁に於て、叫蹄型の永久磁石の間隙中に降下す
る様に地震計の振子に固定された銅又はアルミニウムの
バーを用いることが記載されている。上記振子、従って
上記バーの動きは、振子の動きに逆らおうとする渦電流
を上記バーに生せしめろ。それらの渦電流減衰装置は、
地震計の場合と異なる、外部振動を減少させる目的のた
めには設計されていない。
質量体とコイルとの組立体に於ける一対の平衝コイルが
ばね懸垂系により永久磁界の円形空気間隙の中心に懸垂
されている、米国特許第３４１２６７６号明細書に記載
の低周波数の地震計についても同様である。その場合の
減衰は、本発明による振動緩衝装置には存在していない
電磁的手段によって達成され、そのばね懸垂系も全く異
なるものである。
ばね懸垂系により永久磁界の円形空気間隙の中心に懸垂
されている、米国特許第３４１２６７６号明細書に記載
の低周波数の地震計についても同様である。その場合の
減衰は、本発明による振動緩衝装置には存在していない
電磁的手段によって達成され、そのばね懸垂系も全く異
なるものである。
本発明による振動緩衝装置は、硬い台から懸垂されて、
振動から保護されるべき装置を支持する、少くとも２段
階の質量体及びばねと懸垂柱との配置を有している振動
緩衝装置であって、第１質量体が、上記台上に配置され
た複数の懸垂柱に取付けられている第１組のばねで懸垂
され、第２質量体が、上記第１質批体上に配置された複
数の懸垂柱に取付けられている第２組のばねで懸垂され
、上記２組のばねは、各々質量体を懸垂したときに異な
る共振周波数を有し、−上記各ばねは、少（と 。
振動から保護されるべき装置を支持する、少くとも２段
階の質量体及びばねと懸垂柱との配置を有している振動
緩衝装置であって、第１質量体が、上記台上に配置され
た複数の懸垂柱に取付けられている第１組のばねで懸垂
され、第２質量体が、上記第１質批体上に配置された複
数の懸垂柱に取付けられている第２組のばねで懸垂され
、上記２組のばねは、各々質量体を懸垂したときに異な
る共振周波数を有し、−上記各ばねは、少（と 。
も一方の端部に於て、該ばねと異なる共振周波数を有す
る弾性部材に取付けられていることを特徴とする。
る弾性部材に取付けられていることを特徴とする。
次に、図面を参照して、本発明をその実施例について、
更に詳細に説明するＯ 第１図に於て、第１環状質量体１が、硬い台８上に固定
された１組のＬ形部材５、乙に各々装着されている４１
組の懸垂柱２．３及び４から懸垂されてし・る。懸垂柱
２．５及び４の上端には、環状質量体１の軸に向って延
びてフックに於て終端する、ワイヤばね又は板ばねの如
き弾性アーム９．１０及び１１が配置されている。それ
らのフックに、コイルばね１２，１５及び１４が据えら
れており、それらのコイルばねの下端は上記環状質量体
ＩＫ取付けられている。
更に詳細に説明するＯ 第１図に於て、第１環状質量体１が、硬い台８上に固定
された１組のＬ形部材５、乙に各々装着されている４１
組の懸垂柱２．３及び４から懸垂されてし・る。懸垂柱
２．５及び４の上端には、環状質量体１の軸に向って延
びてフックに於て終端する、ワイヤばね又は板ばねの如
き弾性アーム９．１０及び１１が配置されている。それ
らのフックに、コイルばね１２，１５及び１４が据えら
れており、それらのコイルばねの下端は上記環状質量体
ＩＫ取付けられている。
弾性アーム９乃至１１とそれらに関連するコイルばね１
２乃至１４との間の連鎖は、ゴム・パッド又はゴム・ロ
ールの如き弾性部材１５、ｉ６及び１７を介して達成さ
れ得る。各懸垂を構成す・る個々の部品の弾性特性は、
それらの１つにより゛廃生又は伝播された振動が更に伝
播されない様に選・、ノ 択される。換言すると、用いられている部品の共振周波
数はすべて異なっている〇 環状質量体１は懸垂柱１８，１９及び２０を支持し、そ
れらの懸垂柱はそれらの上端から延びてフックに於て終
端する弾性アーム２１．２２及び２３を有し、それらの
フックからコイルばね２４．２５及び２６が懸垂されて
いる。コイルばね２４乃至２６は第２環状質量体２７を
懸垂している。
２乃至１４との間の連鎖は、ゴム・パッド又はゴム・ロ
ールの如き弾性部材１５、ｉ６及び１７を介して達成さ
れ得る。各懸垂を構成す・る個々の部品の弾性特性は、
それらの１つにより゛廃生又は伝播された振動が更に伝
播されない様に選・、ノ 択される。換言すると、用いられている部品の共振周波
数はすべて異なっている〇 環状質量体１は懸垂柱１８，１９及び２０を支持し、そ
れらの懸垂柱はそれらの上端から延びてフックに於て終
端する弾性アーム２１．２２及び２３を有し、それらの
フックからコイルばね２４．２５及び２６が懸垂されて
いる。コイルばね２４乃至２６は第２環状質量体２７を
懸垂している。
同様に、弾性アーム２１乃至２３とそれらに関連するコ
イルばね２４乃至２６との間の連鎖も、ゴム・バット又
はゴム・ロールの如き弾性部材２８．２９及び３０を介
して達成され得る。第１環状質量体１の懸垂の場合と同
様に、各々の懸垂柱とばねとの組立体に用いられている
すべての部品は異なる共振周波数を有している。
イルばね２４乃至２６との間の連鎖も、ゴム・バット又
はゴム・ロールの如き弾性部材２８．２９及び３０を介
して達成され得る。第１環状質量体１の懸垂の場合と同
様に、各々の懸垂柱とばねとの組立体に用いられている
すべての部品は異なる共振周波数を有している。
振動緩衝装置の振動吸収効果を増すために、環状質量体
１及び２７へのコイルばね１２乃至１４及び２４乃至２
６の取付が、弾性部材１５乃至１７及び２８乃至３０と
同一であり得る、弾性部材ろ１、′５２及び３３並びに
３４．３５及び３６を介して達成されることが好ましし
・０第２図に於て、好ましいばねの取付が、懸垂柱１８
及びコイルばね２４の組立体の例について、詳細に示さ
れてし・るが、他の組立体も本質的に同一である。
１及び２７へのコイルばね１２乃至１４及び２４乃至２
６の取付が、弾性部材１５乃至１７及び２８乃至３０と
同一であり得る、弾性部材ろ１、′５２及び３３並びに
３４．３５及び３６を介して達成されることが好ましし
・０第２図に於て、好ましいばねの取付が、懸垂柱１８
及びコイルばね２４の組立体の例について、詳細に示さ
れてし・るが、他の組立体も本質的に同一である。
懸垂柱１８は、環状質量体１中に単純にねじで取付けら
れそしてねじ３７に於て終端している柱であり、そのね
じ３７に弾性アーム２１が穴３８によってねじ止めされ
る＠弾性アーム２１は板ばねとして示されているが、適
当な形状のワイヤばね又は同種のものでもよい。弾性ア
ーム２１は、ゴム・パット又はゴムφロールの如き弾性
部材２８を受取る、上側が開放されたさやの形を成し得
るフック３９に於て終端する。ゴム・ロール２８は、下
方に延びてコイルばね２４を懸垂するフラップ４１を有
している、もう１つのさや４０を支持するコイルばね２
４の下端は、上のさや４４を支持するゴムロール３４を
受取るさや４３のフラップ４２中の開孔中にフックで止
められている。
れそしてねじ３７に於て終端している柱であり、そのね
じ３７に弾性アーム２１が穴３８によってねじ止めされ
る＠弾性アーム２１は板ばねとして示されているが、適
当な形状のワイヤばね又は同種のものでもよい。弾性ア
ーム２１は、ゴム・パット又はゴムφロールの如き弾性
部材２８を受取る、上側が開放されたさやの形を成し得
るフック３９に於て終端する。ゴム・ロール２８は、下
方に延びてコイルばね２４を懸垂するフラップ４１を有
している、もう１つのさや４０を支持するコイルばね２
４の下端は、上のさや４４を支持するゴムロール３４を
受取るさや４３のフラップ４２中の開孔中にフックで止
められている。
さや４４は、環状質量体２７を懸垂するフラップ４５を
有してし・る〇 従って、環状質量体１からの環状質量体２７の懸垂の連
鎖は、４つの弾性連鎖、即ち板ばね２１、ゴム・ロール
２８及び３４、並びにコイルばね２４を含む。用いられ
ているそれらの連鎖の弾性特性が相互に和尚に異なる様
に選択されている場合には、環状質量体１から環状質量
体２７への振動の伝播は殆ど生じ得ない。上述の如き２
段階の配置、即ち環状質量体１と環状質量体２７との間
の段階並びに台８及びＬ形部材５乃至７と環状質量体１
との間の段階より成る配置は、台８に加えられ得るすべ
ての振動を効果的に減衰させて、環状質量体２７に固定
され得る支持体５０上に於ける実質的に振動のない環境
を保証する。
有してし・る〇 従って、環状質量体１からの環状質量体２７の懸垂の連
鎖は、４つの弾性連鎖、即ち板ばね２１、ゴム・ロール
２８及び３４、並びにコイルばね２４を含む。用いられ
ているそれらの連鎖の弾性特性が相互に和尚に異なる様
に選択されている場合には、環状質量体１から環状質量
体２７への振動の伝播は殆ど生じ得ない。上述の如き２
段階の配置、即ち環状質量体１と環状質量体２７との間
の段階並びに台８及びＬ形部材５乃至７と環状質量体１
との間の段階より成る配置は、台８に加えられ得るすべ
ての振動を効果的に減衰させて、環状質量体２７に固定
され得る支持体５０上に於ける実質的に振動のない環境
を保証する。
以上に於て述べた受動的減衰手段の他に、渦電流ブレー
キの形の少くとも１＃１の能動的減衰手段が設けられて
いる。第３図は、本発明による振動緩衝装置を示す第１
図の線Ｍ−Ｐに於ける部分的断面図である。環状質量体
１を懸垂する懸垂柱の１つである懸垂柱２を支持してい
るＬ形部材５は、銅又はアルミニウムの如き、電気的良
導体より成る。Ｌ形部材５に対向して、極めて大きな透
磁性を有する永久磁石４６が配置されている。Ｌ形部材
５と磁石４６との間には、狭い空気間隙が設けられてお
り、その形状寸法は、磁石４６の透磁率及びＬ形部材５
の材料のパラメータとともに、磁石４６とＬ形部材５と
の間、即ち台８と環状質量１との間に動きが生じたとき
に生じる渦電流の力を決定する。
キの形の少くとも１＃１の能動的減衰手段が設けられて
いる。第３図は、本発明による振動緩衝装置を示す第１
図の線Ｍ−Ｐに於ける部分的断面図である。環状質量体
１を懸垂する懸垂柱の１つである懸垂柱２を支持してい
るＬ形部材５は、銅又はアルミニウムの如き、電気的良
導体より成る。Ｌ形部材５に対向して、極めて大きな透
磁性を有する永久磁石４６が配置されている。Ｌ形部材
５と磁石４６との間には、狭い空気間隙が設けられてお
り、その形状寸法は、磁石４６の透磁率及びＬ形部材５
の材料のパラメータとともに、磁石４６とＬ形部材５と
の間、即ち台８と環状質量１との間に動きが生じたとき
に生じる渦電流の力を決定する。
その渦電流ブレーキは、環状質量体１が銅又はアルミニ
ウムのバー４７全支持し、そして環状質量体２７が空気
間隙４９を隔子て上記バー４７に対向して永久磁石４８
を支持しているので、そこにも反復して設けら扛ている
。従って、このブレーキは、環状質量体１及び２７相互
間の動きに逆らう様に６シノく。この段階のブレーキ系
は、すべての振動を極めて効果的に減衰させ、従って環
状質量体２７上に強固に装着されている支持体５０」二
に配置された測定器機又は製造装置によシ発生され：得
る振動に対しても効果的である。
ウムのバー４７全支持し、そして環状質量体２７が空気
間隙４９を隔子て上記バー４７に対向して永久磁石４８
を支持しているので、そこにも反復して設けら扛ている
。従って、このブレーキは、環状質量体１及び２７相互
間の動きに逆らう様に６シノく。この段階のブレーキ系
は、すべての振動を極めて効果的に減衰させ、従って環
状質量体２７上に強固に装着されている支持体５０」二
に配置された測定器機又は製造装置によシ発生され：得
る振動に対しても効果的である。
前述の如く、今日に於ては、１０ ”ｍよりも小さい
振幅を有する振動からも保護される必要のある科学器機
及び製造装置が存在する。その１例全簡単に示すと、表
面構造の原子寸法迄の検査を可能にし、更に個々の原子
の視覚的観察を可能にする１つの一器利に、本出願人に
よる欧州特許公開第００” ２７５１７号明細書に記載
されている、走査型トンネリング顕微鏡がある。極めて
鋭い先端が、該先端と導電性表面との間に適当な電位差
が存在しているときにトンネリングが生じる様に、上記
表面から成る一定の距離に保たれる。その間隙の幅は圧
電気ザーボ機構により一定に保たれ、その制御信号は、
上記先端が検査されるべき表面上を走査される間、プロ
ッタを付勢するために用いられる。
振幅を有する振動からも保護される必要のある科学器機
及び製造装置が存在する。その１例全簡単に示すと、表
面構造の原子寸法迄の検査を可能にし、更に個々の原子
の視覚的観察を可能にする１つの一器利に、本出願人に
よる欧州特許公開第００” ２７５１７号明細書に記載
されている、走査型トンネリング顕微鏡がある。極めて
鋭い先端が、該先端と導電性表面との間に適当な電位差
が存在しているときにトンネリングが生じる様に、上記
表面から成る一定の距離に保たれる。その間隙の幅は圧
電気ザーボ機構により一定に保たれ、その制御信号は、
上記先端が検査されるべき表面上を走査される間、プロ
ッタを付勢するために用いられる。
この顕微鏡を用いて、単一の原子の構造が視覚的１１
に観察され、１０ ｍよりも大きい振幅を有する振動
は、走査された表面の再生の精度を著しく損わせること
は明らかである。
は、走査された表面の再生の精度を著しく損わせること
は明らかである。
走査型トンネリング顕微鏡は、検査されるべき表面上に
周囲雰囲気の分子が付着しない様にするために、真空の
環境に於て多く用いられる。又、上記表面及び顕微鏡自
体に付着し得る残留水分も除去されねばならない。その
ために、該装置が・・ウジングされている容器が約５０
０にでベーキングされるべきである。従って、顕微鏡の
一体的部分を成す必要のある振動緩衝装置は、真空状態
及びベーキングに繰返し耐え得ねばならない。これは、
その弾性連鎖、即ちコイルばね及びゴム・パッド又はゴ
ム・ロールに主に影響を与え、従ってそれらは特別な鋼
及び合成天然ゴムで形成されるべきである。
周囲雰囲気の分子が付着しない様にするために、真空の
環境に於て多く用いられる。又、上記表面及び顕微鏡自
体に付着し得る残留水分も除去されねばならない。その
ために、該装置が・・ウジングされている容器が約５０
０にでベーキングされるべきである。従って、顕微鏡の
一体的部分を成す必要のある振動緩衝装置は、真空状態
及びベーキングに繰返し耐え得ねばならない。これは、
その弾性連鎖、即ちコイルばね及びゴム・パッド又はゴ
ム・ロールに主に影響を与え、従ってそれらは特別な鋼
及び合成天然ゴムで形成されるべきである。
図に於て、環状質量体１及び２７は環状の猿とし７て示
されているが、それに限定されることなく、他の構造も
用いられ得る。又、各環状質量体上に、３つの懸垂柱及
びばねの配置並びに６つの渦電流ブレーキが用いられて
いるが、それらの数が必要に応じて変更され得ることは
勿論である。
されているが、それに限定されることなく、他の構造も
用いられ得る。又、各環状質量体上に、３つの懸垂柱及
びばねの配置並びに６つの渦電流ブレーキが用いられて
いるが、それらの数が必要に応じて変更され得ることは
勿論である。
第１図は本発明による振動緩衝装置を示す斜視図、第２
図は振動緩衝装置に用いられている懸垂柱及びばねの配
置を示す斜視図、第５図は第１図の線Ｍ−Ｐに於ける断
面図である。 １・・・・第１環状質量体、２．６．４；１８．１９．
２０・・・・懸垂柱、５．６．７・・・・Ｌ形部材、８
・・・・硬し・台、９．１０．１１；２１．２２．２ろ
・・・・弾性アーム（ワイヤばね、板ばね等）、１２．
１５．１４ｉ２４，２５．２６・・拳・コイルばね、１
５．１６．１７；２８．２９．３０；ろ１．３２、ろ６
；３４．５５．３６・・・・弾性部材（コ゛ム・パッド
、ゴム命ロール等）％２７・・・・第２環状質量体、５
７・・・・ねじ、３８・・・・穴、ろ９．４０１４６．
４４・・・・フック（さや）、４１．４２．４５・・・
・フラップ、４６．４８・・・・永久磁石、４７・・・
・銅又はアルミニウムのノ＜−１４９・・・・空気間隙
、５０・・・・支持体。
図は振動緩衝装置に用いられている懸垂柱及びばねの配
置を示す斜視図、第５図は第１図の線Ｍ−Ｐに於ける断
面図である。 １・・・・第１環状質量体、２．６．４；１８．１９．
２０・・・・懸垂柱、５．６．７・・・・Ｌ形部材、８
・・・・硬し・台、９．１０．１１；２１．２２．２ろ
・・・・弾性アーム（ワイヤばね、板ばね等）、１２．
１５．１４ｉ２４，２５．２６・・拳・コイルばね、１
５．１６．１７；２８．２９．３０；ろ１．３２、ろ６
；３４．５５．３６・・・・弾性部材（コ゛ム・パッド
、ゴム命ロール等）％２７・・・・第２環状質量体、５
７・・・・ねじ、３８・・・・穴、ろ９．４０１４６．
４４・・・・フック（さや）、４１．４２．４５・・・
・フラップ、４６．４８・・・・永久磁石、４７・・・
・銅又はアルミニウムのノ＜−１４９・・・・空気間隙
、５０・・・・支持体。
Claims (1)
- 硬い台から懸垂されて、振動から保護されるべζ装置を
支持する、少くとも２段階の質量体及びばねと懸垂柱と
の配置を有している振動緩衝装置であって、第１質量体
が、上記台土に配置された複数のＭ両柱に取付けられて
いる第１組のばねで懸垂され、第２質量体が、上記第１
質量体上に配置された複数の懸垂柱に取付けられて（・
る第２組のばねで懸垂され、上記２組のばねは、各々質
量体を懸垂したどきに異なる共振周波数を有し、上記各
ばねは、少くとも一方の端部に於て、該ばねと異なる共
振周波数を有する弾性部材に取付けられていることを特
徴とする、振動緩衝装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP82107380A EP0100785B1 (en) | 1982-08-13 | 1982-08-13 | High-performance vibration filter |
| EP82107380.6 | 1982-08-13 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5934041A true JPS5934041A (ja) | 1984-02-24 |
| JPH0115734B2 JPH0115734B2 (ja) | 1989-03-20 |
Family
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Family Applications (1)
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Country Status (4)
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| EP (1) | EP0100785B1 (ja) |
| JP (1) | JPS5934041A (ja) |
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