JPS5923349Y2 - 真空弁 - Google Patents

真空弁

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Publication number
JPS5923349Y2
JPS5923349Y2 JP18338579U JP18338579U JPS5923349Y2 JP S5923349 Y2 JPS5923349 Y2 JP S5923349Y2 JP 18338579 U JP18338579 U JP 18338579U JP 18338579 U JP18338579 U JP 18338579U JP S5923349 Y2 JPS5923349 Y2 JP S5923349Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valve
valve seat
lid
protective cover
cover
Prior art date
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Expired
Application number
JP18338579U
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English (en)
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JPS56100284U (ja
Inventor
省三 中田
和夫 吉田
Original Assignee
三菱電機株式会社
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Publication date
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Description

【考案の詳細な説明】 この考案は、電子ビーム溶接機に用いる真空弁に係り、
とくに弁蓋および弁座の保護機構を有する真空弁に関す
るものである。
電子ビーム溶接機では、真空弁の開放時に溶接を行うが
、従来の真空弁は弁蓋および弁座が露出してしたので、
溶接によるスパッタなどが付着することが多く、付着し
た汚物によって真空弁を閉塞した時に、弁蓋が弁座に確
実に当接せず、これらの間に隙間ができるなど、弁本来
の機能が損われることが多いという欠点があった。
この考案は、前述した欠点を除去して、開放時に弁蓋お
よび弁座を保護する機構を具備させることにより、信頼
性の高い電子ビーム溶接機用の真空弁を提供することを
目的とするものである。
以下、この考案の一実施例を図に基いて説明する。
第1図はバッチ式のゲート弁からなる実施例を示す。
第1図において、1は弁蓋であり、この弁蓋1は軸2に
よって筒状の弁座3の一側方に上下方向に回転駆動され
るように枢支され、弁座3の上面に覆いかぶされて当接
し、鎖線で示す1aの状態で真空の封じ切りを行うよう
に閉塞される。
また、実線に示す開放状態では弁座3の一側方に全体が
位置するようになっている。
4は保護カバーであり、この保護カバー4は、基端部が
フランジ8に設けた支持台7に上下方向の回動自在に枢
支され、この枢支位置は弁蓋1の開放動作時の移動軌跡
の外側上方に配設されている。
前記保護カバー4とフランジ8との間には引張りばね5
が架設され、このばね5は保護カバー4の屈曲した先端
部を弁座3の上面側に附勢している。
また保護カバー4の先端部には、第2図にも示すように
穴9が形成され、この穴9は弁座3の貫通穴10と合せ
てあり、第1図の実線に示すように、弁蓋1の開放時に
保護カバー4の先端部が弁座3上を覆った場合に、その
貫通穴10を電子ビームなどが通過するのを損わないよ
うにしである。
そして、弁蓋1の開放時にこの弁蓋1も上方から保護カ
バー4で覆い、弁座3の上面および弁蓋1に上部から飛
散する溶接のスパッタ類が直接受けないようにしている
第1図の実線に示す弁蓋1の開放状態から軸2を中心と
して時計方向に回動させると、弁蓋1が保護カバー4に
当接してこれを第1図の鎖線4aに示すように連動させ
て開いた後、弁蓋1が鎖線1aの状態となって弁座3の
上面に当接すると共に保護カバー4が鎖線4bの状態と
なって真空弁が閉塞する。
この閉塞状態から弁蓋を反時計方向に回動させると、再
び第1図の実線に示す開放状態に弁蓋1および保護カバ
ー4が戻る。
前記フランジ8は電子ビーム溶接機の筐体11に着脱可
能に固定されている。
保護カバー4のストッパー6が前記支持台7と共にフラ
ンジ8に固定され、保護カバー4の洗浄などのための取
外し時に、引張りばね5によって保護カバー4が過大に
移動して再度装着することが困難にならないようにスト
ッパ6で保護カバー4を所定位置に保持している。
なお、ストッパ6は弁蓋1の回動を妨げないように弁蓋
1に対し第1図の紙面上方にずらせである。
以上説明したようにこの考案によれば、弁蓋を開いた溶
接時には弁蓋と弁座の少なくとも当接面を保護カバーで
覆って溶接によるスパッタなどが前記当接面に付着する
のを防止でき、弁蓋を閉塞する場合には保護カバーを弁
座から退去できるので、弁蓋を弁座に確実に当接させる
ことができ、従って信頼性の高い電子ビーム溶接機用の
真空弁を提供できるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの考案の一実施例を示す側断面図、第2図は
同保護カバー先端部の平面図である。 1・・・・・・弁蓋、3・・・・・・弁座、4・・・・
・・保護カバー、5・・・・・・ばね。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電子ビーム溶接機用の真空弁において、弁座と、この弁
    座に当接して閉じる開閉可能な弁蓋と、この弁蓋の開閉
    動作時の移動軌跡の外側に枢着されかつばねで弁座側に
    附勢され前記弁蓋の開放時に弁蓋および弁座を覆うと共
    に弁蓋の閉塞時に弁蓋と連動して弁座から退去する保護
    カバーとを備えたことを特徴とする真空弁。
JP18338579U 1979-12-28 1979-12-28 真空弁 Expired JPS5923349Y2 (ja)

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JP18338579U JPS5923349Y2 (ja) 1979-12-28 1979-12-28 真空弁

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JPS56100284U JPS56100284U (ja) 1981-08-07
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JP4980794B2 (ja) * 2007-05-24 2012-07-18 日本電子株式会社 荷電粒子ビーム装置

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JPS56100284U (ja) 1981-08-07

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