JPS59229836A - ペレツトピツクアツプ方法 - Google Patents
ペレツトピツクアツプ方法Info
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- JPS59229836A JPS59229836A JP9755583A JP9755583A JPS59229836A JP S59229836 A JPS59229836 A JP S59229836A JP 9755583 A JP9755583 A JP 9755583A JP 9755583 A JP9755583 A JP 9755583A JP S59229836 A JPS59229836 A JP S59229836A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はウェハシートに貼着された半導体のべし１リド
を吸着コレットでピックアップする方法に関するもので
ある。
を吸着コレットでピックアップする方法に関するもので
ある。
一般に半導体装置の製造に際して、ウェハシートπ貼着
されたウェハを格子状にスフうイじシタした後、この格
子状に配列された所定のベレ′ソトを真空吸着コレ、ッ
トでウェハシートから１個づつピックアップして所定の
ベース上Ｃで搬送し、クイボーＪブイーＪグするＫあた
って、このベレットヒックアップ方法として例えば特開
昭５７−８３０４１号公報に開示された方法が知られて
いる。即ち、第゛】図〜第３図に示すようＫＸＹ方向に
駆動される図示しないＸＹチー→ル上にウェハリング台
ｆｉ＋を固定し〜これにウニハリジグ（２）を位置決め
固定し、該ウニハリジグ（２）上面にはペレット（３）
を貼着したウェハシート（４１ヲ張設しシート固定リン
グ（５）でウェハシート（４）外周部を固定支持−「る
。ｅ、看］し・リド（６）の真下には前記ウェハシート
（４）の裏面より適宜下方位置に、そのウェハシート（
４）裏面からペレ１ソト（３）ヲ突き上げる突上げ針（
７）と該突上げ針（７）ヲ上下動自在に支持するスリー
づ（８）とを配置し、ウェハリング台（１）をＸＹ方向
に適宜移動させて所定のペレット（３）が突上げ針（７
）の真下に位置すると、スリーブ（８）をウニハリジグ
（２）上面より上方に突き出してウェハシート（４）を
持ち上げて〔第２図参照〕当該ウェハシート（４１＆で
張力を与え、次いで吸着コレット（６）を下降させる一
方突上げ針（７）を上向き突出してべしット（３）を突
き上げ、該ベレ・ソト（３）をウェハシート（４）との
貼着から外すと共にペレ・ソト（３）を吸着コレ・ソト
（６）に吸着させる（第３図参照）。
されたウェハを格子状にスフうイじシタした後、この格
子状に配列された所定のベレ′ソトを真空吸着コレ、ッ
トでウェハシートから１個づつピックアップして所定の
ベース上Ｃで搬送し、クイボーＪブイーＪグするＫあた
って、このベレットヒックアップ方法として例えば特開
昭５７−８３０４１号公報に開示された方法が知られて
いる。即ち、第゛】図〜第３図に示すようＫＸＹ方向に
駆動される図示しないＸＹチー→ル上にウェハリング台
ｆｉ＋を固定し〜これにウニハリジグ（２）を位置決め
固定し、該ウニハリジグ（２）上面にはペレット（３）
を貼着したウェハシート（４１ヲ張設しシート固定リン
グ（５）でウェハシート（４）外周部を固定支持−「る
。ｅ、看］し・リド（６）の真下には前記ウェハシート
（４）の裏面より適宜下方位置に、そのウェハシート（
４）裏面からペレ１ソト（３）ヲ突き上げる突上げ針（
７）と該突上げ針（７）ヲ上下動自在に支持するスリー
づ（８）とを配置し、ウェハリング台（１）をＸＹ方向
に適宜移動させて所定のペレット（３）が突上げ針（７
）の真下に位置すると、スリーブ（８）をウニハリジグ
（２）上面より上方に突き出してウェハシート（４）を
持ち上げて〔第２図参照〕当該ウェハシート（４１＆で
張力を与え、次いで吸着コレット（６）を下降させる一
方突上げ針（７）を上向き突出してべしット（３）を突
き上げ、該ベレ・ソト（３）をウェハシート（４）との
貼着から外すと共にペレ・ソト（３）を吸着コレ・ソト
（６）に吸着させる（第３図参照）。
次いで突上げ針（７）全下降し、続いてスリーブ（８）
を下降させるようにしている。
を下降させるようにしている。
この方法によれば、スリーづ（８）をウニハリジグ（２
）上面よシ上方Ｃで突き出すことで、ウェハシート（４
）Ｋ高張力を与え、この状態で突上げ針（７）ニてウェ
ハシート（４）裏面からべし・ソト（３）ヲ突き上げ、
シー ｌ−＋４） ’に突き破ることでウェハシート（
４）上面とべし一ソト（３〕下面との貼着ヲ剥す。この
衝撃力は突上げ針（７）先ＤａＫ集中し、しかもウェハ
シー） ＋４１ 全突き破ると同時に突上げ針（７）先
端は勢いよくペレット下面に衝突するので、この衝突に
よｐ突上げ針（７）先端が摩耗すると共に、突き上げら
れたべし・ソト（３）上面角部等が吸着コし１ソト（６
）ｋで衝突し、ペレｔソト（３）も損傷する。
）上面よシ上方Ｃで突き出すことで、ウェハシート（４
）Ｋ高張力を与え、この状態で突上げ針（７）ニてウェ
ハシート（４）裏面からべし・ソト（３）ヲ突き上げ、
シー ｌ−＋４） ’に突き破ることでウェハシート（
４）上面とべし一ソト（３〕下面との貼着ヲ剥す。この
衝撃力は突上げ針（７）先ＤａＫ集中し、しかもウェハ
シー） ＋４１ 全突き破ると同時に突上げ針（７）先
端は勢いよくペレット下面に衝突するので、この衝突に
よｐ突上げ針（７）先端が摩耗すると共に、突き上げら
れたべし・ソト（３）上面角部等が吸着コし１ソト（６
）ｋで衝突し、ペレｔソト（３）も損傷する。
しかも突上げ針（７）の上昇速度音大きくすると前記突
上げ針（７）先端の摩耗や、ぺし・リドの損傷が大きく
なり、ヒラ８クア・すづの速度を高速化できない欠点が
あった。
上げ針（７）先端の摩耗や、ぺし・リドの損傷が大きく
なり、ヒラ８クア・すづの速度を高速化できない欠点が
あった。
そこで本発明では、ウェハシートの上面側に配設した吸
着コレットと、ウェハシート裏面側に配設したスリーブ
及び該スリーづ内Ｑτこれと相対して移動するように設
けた支持針とを互に接近動させてウェハシート上面のべ
しットを吸Ｍ］し・リドに吸着してヒ・ソファ・ソづす
るに際して、前記スリーブにてウニハリジグの上面より
上方位置でウェハシートを緊張させた状態にしてベレ・
ソトを吸着コレットに吸着させ、該ペレットを支持針に
て支持したまま前記スリーブのみを吸着コレ・ソトがら
後退させることにより、ウェハシートの緊張を解いてぺ
しットからウェハシートを分離するように従来の突上げ
針によるペレット突き上げ工程全熱くシ、ぺし・ソト下
面支持針の損耗及びぺし・ソトの損傷をないようにする
と共に、ヒックア・ソづ工程の高速化を図ることを目的
とするものである。
着コレットと、ウェハシート裏面側に配設したスリーブ
及び該スリーづ内Ｑτこれと相対して移動するように設
けた支持針とを互に接近動させてウェハシート上面のべ
しットを吸Ｍ］し・リドに吸着してヒ・ソファ・ソづす
るに際して、前記スリーブにてウニハリジグの上面より
上方位置でウェハシートを緊張させた状態にしてベレ・
ソトを吸着コレットに吸着させ、該ペレットを支持針に
て支持したまま前記スリーブのみを吸着コレ・ソトがら
後退させることにより、ウェハシートの緊張を解いてぺ
しットからウェハシートを分離するように従来の突上げ
針によるペレット突き上げ工程全熱くシ、ぺし・ソト下
面支持針の損耗及びぺし・ソトの損傷をないようにする
と共に、ヒックア・ソづ工程の高速化を図ることを目的
とするものである。
以下本発明を第４図〜第７図に示す実施例に基いて説明
すると、図において、ＧＯ）はウェハシートｕ］ｌの上
面に貼着されたウニ八全格子状にスフうイヒ−Ｊりした
後、そのスフうイヒンクの方向に沿ってウェハシー１−
ｊｌｌｌを２軸延伸し桝目状に配列されたぺし唱ソト
を示す。（１２＋は図示しないＸＹ駆動装置により移動
自在なチーづルに固定さ九る載置台で、該載置台ａ’ａ
、Ｊ：ｖｃウニバリーＪり１３）を位置決め固定する。
すると、図において、ＧＯ）はウェハシートｕ］ｌの上
面に貼着されたウニ八全格子状にスフうイヒ−Ｊりした
後、そのスフうイヒンクの方向に沿ってウェハシー１−
ｊｌｌｌを２軸延伸し桝目状に配列されたぺし唱ソト
を示す。（１２＋は図示しないＸＹ駆動装置により移動
自在なチーづルに固定さ九る載置台で、該載置台ａ’ａ
、Ｊ：ｖｃウニバリーＪり１３）を位置決め固定する。
該ウニハリ、７クロＪの上面に前記ウェハジートロ１１
を配設し、その外周をウェハリンク外周に被嵌するシー
ト固定り′Ｊ’）（Ｍ）とで挟着固定してウェハシート
０Ｄを張設する。
を配設し、その外周をウェハリンク外周に被嵌するシー
ト固定り′Ｊ’）（Ｍ）とで挟着固定してウェハシート
０Ｄを張設する。
支持針０６）は前記ウニハリｙりＱ３１の内径部でその
尖頭針状上端がウニハリ、７り（１３１上端面より適宜
寸法（Ｈ，）だけ上赤位置ＶＣあるように高さ位置固定
支持されている。この支持針１Ｇ）［対し上下摺動自在
Ｃτ被嵌するスリーづ１５１は図示しないエアシリシタ
等の適宜駆動手段により上下動し、該スリーブ０９の上
昇位置ではその上端面が前記支持針（１８１上端より若
干上位置となるように構成する。又、Ｕηは前記支持針
（１６）の真上で前記ウニハリ′Ｊり０３１上面より適
宜上方位置に配設された真空吸着コレットである。
尖頭針状上端がウニハリ、７り（１３１上端面より適宜
寸法（Ｈ，）だけ上赤位置ＶＣあるように高さ位置固定
支持されている。この支持針１Ｇ）［対し上下摺動自在
Ｃτ被嵌するスリーづ１５１は図示しないエアシリシタ
等の適宜駆動手段により上下動し、該スリーブ０９の上
昇位置ではその上端面が前記支持針（１８１上端より若
干上位置となるように構成する。又、Ｕηは前記支持針
（１６）の真上で前記ウニハリ′Ｊり０３１上面より適
宜上方位置に配設された真空吸着コレットである。
前記ウェハシート０１１上面に配列貼着されたぺし・ソ
ト０αは前もってその良品、不良品を認識できるように
各ぺｂット１１１０）上面に印を付し、ウニハリジグ（
１３１に張設された状態において載置台（１２）をＸＹ
移動させ、図示しない認識装置により検出し、良品のペ
レット（１０）が前記支持針０６！の真上Ｃで来るよう
に移動させる（第４図参照）。
ト０αは前もってその良品、不良品を認識できるように
各ぺｂット１１１０）上面に印を付し、ウニハリジグ（
１３１に張設された状態において載置台（１２）をＸＹ
移動させ、図示しない認識装置により検出し、良品のペ
レット（１０）が前記支持針０６！の真上Ｃで来るよう
に移動させる（第４図参照）。
したがって、支持針（１６）上端がスリーブｌ上端面よ
り上方に突出しない状態でスリーづ（１５１をその上端
面がウェハリング０Ｊ上面より適宜寸法（Ｈｌ）たけ上
方位置になるよう上昇していることにより、ウェハシー
トＱｌｌ持ち上げ、緊張させる。
り上方に突出しない状態でスリーづ（１５１をその上端
面がウェハリング０Ｊ上面より適宜寸法（Ｈｌ）たけ上
方位置になるよう上昇していることにより、ウェハシー
トＱｌｌ持ち上げ、緊張させる。
この緊張されたシートｔｉｌｌと共に持ち上げられたベ
レッ１−〇〇上面に前記吸名−コレ・ソト（１ηが矢印
方向に下降し、その下端面をペレット００）上面に接触
させるかきわめて近接させる（第５い参照）。
レッ１−〇〇上面に前記吸名−コレ・ソト（１ηが矢印
方向に下降し、その下端面をペレット００）上面に接触
させるかきわめて近接させる（第５い参照）。
この吸着コレットａηは図示しない真空ホｙプ（Ｃ接続
されており、上記持ち上げられたペレ・リド（１０１は
吸着コレ・ソト０７）下端面に吸着される（第°７図二
点鎖線参照）。
されており、上記持ち上げられたペレ・リド（１０１は
吸着コレ・ソト０７）下端面に吸着される（第°７図二
点鎖線参照）。
次いで吸着コし・ソト０η下端面に対する支持針１６１
の高さ位置を保持した才ま、スリーブ０５）のみ全下降
させ、スリーづ０５）上端面が支持針［１６）の上端よ
り下方位置に来るようにする（第６図参照）。これによ
ってウェハシートｔｌｌ）は張力による復元力に従って
下方に移動するが支持針ａＯは下降していないから、当
該支持針（１６１上端でウェハシート＋Ｉｌｌを下向き
に折曲させつつ突き破り、べしウド（１０１下面に対す
るウェハシート訪の貼着に打ち勝ち、支持針［１６］上
にペレ・ソトａＯ）のみが残ることπなる。
の高さ位置を保持した才ま、スリーブ０５）のみ全下降
させ、スリーづ０５）上端面が支持針［１６）の上端よ
り下方位置に来るようにする（第６図参照）。これによ
ってウェハシートｔｌｌ）は張力による復元力に従って
下方に移動するが支持針ａＯは下降していないから、当
該支持針（１６１上端でウェハシート＋Ｉｌｌを下向き
に折曲させつつ突き破り、べしウド（１０１下面に対す
るウェハシート訪の貼着に打ち勝ち、支持針［１６］上
にペレ・ソトａＯ）のみが残ることπなる。
その後吸着コレットαηを所定のタイポシヂイシタ工程
への位置に搬送して真空を切ってペレットを離し、他方
前記下降したスリーブ（１５］を上昇させ、支持針（１
６）上端と、一致もしくはやや高めに位置させる。
への位置に搬送して真空を切ってペレットを離し、他方
前記下降したスリーブ（１５］を上昇させ、支持針（１
６）上端と、一致もしくはやや高めに位置させる。
続いて従来と同様（τ載置台（１２）を−ヒッチ送って
、次にヒツクア・ツブされるペレットが支持針ａωの真
上に位置するようにし、前記と同じ操作をくり返すので
ある。
、次にヒツクア・ツブされるペレットが支持針ａωの真
上に位置するようにし、前記と同じ操作をくり返すので
ある。
なお、ウニバリーＪりα３］［ウェハシートａ１）を張
設したセット状態において、スリーブ０５）と支持針（
１Ｇ）とをウェハシートａＩＪｍ面より適宜下方に位置
させておき、次いでスリーブ（１５１と支持針Ｕωとを
その両上端が略一致する状態で上昇させてウェハシート
συをウニバリーＪグ上端より上方位置で緊張させ、記 前記上昇、、Ｌ、Ａウェハシート（１１１下面のペレッ
ト００）Ｋ対し位置保持するか又は近接するように下降
する吸着コレット０ηにペレットａＯ）を吸着させるよ
うにしても良い。
設したセット状態において、スリーブ０５）と支持針（
１Ｇ）とをウェハシートａＩＪｍ面より適宜下方に位置
させておき、次いでスリーブ（１５１と支持針Ｕωとを
その両上端が略一致する状態で上昇させてウェハシート
συをウニバリーＪグ上端より上方位置で緊張させ、記 前記上昇、、Ｌ、Ａウェハシート（１１１下面のペレッ
ト００）Ｋ対し位置保持するか又は近接するように下降
する吸着コレット０ηにペレットａＯ）を吸着させるよ
うにしても良い。
また、第５図の一点鎖線で示すようにスリーづ（１５１
にその上端に開口する通路（１８）を設け、この通路亀 を図しない真空ボシプに接続１−３前記上昇した位＾ 置のスリーブロ９によって緊張されたウェハシート（１
１１上のペレット１１０１を吸気コレット（１７＋に吸
徊させた後スリーブ（１５１のみを下降させるときその
下降始めの一定区門だけ真室を働がせて、ウェハシーｔ
−ｕ１１裏面をスリーブ（１５１上端面に吸着させ、ウ
ェハシートαＤをスリーづ（１５１の下降と共に強制的
に下降させることでペレットａｏ＋全ウェハシートａ１
１から分離させるのにより一層の効果を発揮することが
できる。
にその上端に開口する通路（１８）を設け、この通路亀 を図しない真空ボシプに接続１−３前記上昇した位＾ 置のスリーブロ９によって緊張されたウェハシート（１
１１上のペレット１１０１を吸気コレット（１７＋に吸
徊させた後スリーブ（１５１のみを下降させるときその
下降始めの一定区門だけ真室を働がせて、ウェハシーｔ
−ｕ１１裏面をスリーブ（１５１上端面に吸着させ、ウ
ェハシートαＤをスリーづ（１５１の下降と共に強制的
に下降させることでペレットａｏ＋全ウェハシートａ１
１から分離させるのにより一層の効果を発揮することが
できる。
以上要するに本発明の方法は、ぺし・ソトが上面に貼着
されたウェハシートをウニハリシタに張設し、該ウェハ
シートの上方位置に配設した吸着コレ・ソトと、ウェハ
シートの裏面側に配設したスリーブ及び該スリーづ内π
これと相対して移動するように設けた支持針とを互に接
近動して、前記ペレ・ソトをウニハリｙりの上面より上
方位置で吸着コレ・ソトπ吸着させ、次いで該ぺしット
を支持針にて支持した状態の−まま前記スリーブを吸着
コレ・υ１・から後退させることを特徴さするもので、
スリーブによってウェハシートをウニハリ：７ジ上面よ
り上方位置で緊張させ、この状態でウェハシート上面の
べし・ソトが吸着コレットの下端面に接触するかきわめ
て近接し、このペレットを吸着コレットに吸着し、その
状態でスリーブのみを下降させるのであるから、スリー
ブ上昇につれて与えられたウェハシート叩に対する張力
の復元力に従ってウェハシートａｌｌハ下降するが、こ
のときベレーソトｆｉｏ）下面をウェハシート叩を介し
て一点支持状に支持する支持針止の先端によってウェハ
シート［１１は折曲しく第７図実線参照）、ペレット（
１０）下面との貼着はなくなると共にウェハシートｔｌ
ｌｌは支持針１６１先端によって破られることになり、
ウェハシー） （１１１はペレット（１０）から離れ落
ちる。このように本発明では従来のようにベレット口０
）をウェハシートαＤの貼着面から離すためにその下面
から突上げ針で衝撃的−で突き上げるという工程がなく
なり、ペレ・リトヒ・ツクアップのためのスリーづ及び
支持針の上下運動が大きくなっても又〈り返し速度が速
くなったとしても、支゛持針はペレ・ソト下面を衝撃的
に突き上げないので、この支持針の先端の摩耗Ｆｉまぬ
がれ、一方ぺし・ソト下面の損傷及びベレット上面が吸
着コレットに衝突することによるべし・ソト上面の損傷
がなくなる。また、上記のように本発明では衝撃の工程
がないのでヒツクア・リプ装置を高速化できる。さらに
従来のものでは衝撃に対しペレットが損傷しないように
吸着コレット？衝撃力吸収可能にする構造が必要である
が、本発明ではその構造が不要でじ゛ソファ１ソづ装置
の構造もそれだけ簡単になる効果を有する。
されたウェハシートをウニハリシタに張設し、該ウェハ
シートの上方位置に配設した吸着コレ・ソトと、ウェハ
シートの裏面側に配設したスリーブ及び該スリーづ内π
これと相対して移動するように設けた支持針とを互に接
近動して、前記ペレ・ソトをウニハリｙりの上面より上
方位置で吸着コレ・ソトπ吸着させ、次いで該ぺしット
を支持針にて支持した状態の−まま前記スリーブを吸着
コレ・υ１・から後退させることを特徴さするもので、
スリーブによってウェハシートをウニハリ：７ジ上面よ
り上方位置で緊張させ、この状態でウェハシート上面の
べし・ソトが吸着コレットの下端面に接触するかきわめ
て近接し、このペレットを吸着コレットに吸着し、その
状態でスリーブのみを下降させるのであるから、スリー
ブ上昇につれて与えられたウェハシート叩に対する張力
の復元力に従ってウェハシートａｌｌハ下降するが、こ
のときベレーソトｆｉｏ）下面をウェハシート叩を介し
て一点支持状に支持する支持針止の先端によってウェハ
シート［１１は折曲しく第７図実線参照）、ペレット（
１０）下面との貼着はなくなると共にウェハシートｔｌ
ｌｌは支持針１６１先端によって破られることになり、
ウェハシー） （１１１はペレット（１０）から離れ落
ちる。このように本発明では従来のようにベレット口０
）をウェハシートαＤの貼着面から離すためにその下面
から突上げ針で衝撃的−で突き上げるという工程がなく
なり、ペレ・リトヒ・ツクアップのためのスリーづ及び
支持針の上下運動が大きくなっても又〈り返し速度が速
くなったとしても、支゛持針はペレ・ソト下面を衝撃的
に突き上げないので、この支持針の先端の摩耗Ｆｉまぬ
がれ、一方ぺし・ソト下面の損傷及びベレット上面が吸
着コレットに衝突することによるべし・ソト上面の損傷
がなくなる。また、上記のように本発明では衝撃の工程
がないのでヒツクア・リプ装置を高速化できる。さらに
従来のものでは衝撃に対しペレットが損傷しないように
吸着コレット？衝撃力吸収可能にする構造が必要である
が、本発明ではその構造が不要でじ゛ソファ１ソづ装置
の構造もそれだけ簡単になる効果を有する。
第１図〜第３図は従来例の方法を示す断面図で、＄２図
はスリーづ、と突上げ針を上昇させた状態の゛ 断面
図、第３図は突上げ針をさらに突き上げた状態の断面図
、第４図は本発明の方法を実施する装置の断面図、第５
図はスリ一つと支持針を上昇させた状態の断面図、第６
図はスリーづのみを下降させた状態のＦ？面図、第７図
はスリーブ下降時の作用説明図である。 ０■・・・ペレ・ソト、’（Ｉｌｌ・・・ウェハシート
、０ｚ・・・載置台、ｕＪ・°°ウエハリシク、０滲・
・・シート固定リンク、ｕ５１・・・スリーブ、（Ｉ６
１・・・支持針、０η・・・吸着〕しット。 第４図
はスリーづ、と突上げ針を上昇させた状態の゛ 断面
図、第３図は突上げ針をさらに突き上げた状態の断面図
、第４図は本発明の方法を実施する装置の断面図、第５
図はスリ一つと支持針を上昇させた状態の断面図、第６
図はスリーづのみを下降させた状態のＦ？面図、第７図
はスリーブ下降時の作用説明図である。 ０■・・・ペレ・ソト、’（Ｉｌｌ・・・ウェハシート
、０ｚ・・・載置台、ｕＪ・°°ウエハリシク、０滲・
・・シート固定リンク、ｕ５１・・・スリーブ、（Ｉ６
１・・・支持針、０η・・・吸着〕しット。 第４図
Claims (1)
- （１）、べし・ソトが上面に貼着されたウェハシートを
ウニハリジグに張設し、該ウェハシートの上刃位置に配
設した吸着コレットと、ウェハシートの裏面側に配設し
たスリーブ及び該スリーづ内にこれと相対して移動する
ように設けた支持針とを互に接近動して、前記ベレ唱ソ
トにウニハリ′Ｊりの上面より上方位置で吸着コレット
に吸着させ−次いでＢペレットを支持針にて支持した状
態のま＼前記スリーブを吸着コレｔソトから後退させる
ことを特徴とするペレットじツクアミツブ方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9755583A JPS59229836A (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | ペレツトピツクアツプ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9755583A JPS59229836A (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | ペレツトピツクアツプ方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59229836A true JPS59229836A (ja) | 1984-12-24 |
| JPS6242379B2 JPS6242379B2 (ja) | 1987-09-08 |
Family
ID=14195483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9755583A Granted JPS59229836A (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | ペレツトピツクアツプ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59229836A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100346482B1 (ko) * | 1994-12-03 | 2002-11-23 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 다이본딩의이젝팅장치 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4980971A (ja) * | 1972-12-08 | 1974-08-05 |
-
1983
- 1983-05-30 JP JP9755583A patent/JPS59229836A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4980971A (ja) * | 1972-12-08 | 1974-08-05 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100346482B1 (ko) * | 1994-12-03 | 2002-11-23 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 다이본딩의이젝팅장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6242379B2 (ja) | 1987-09-08 |
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