JPH0278244A - 半導体ペレット取出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 ｉ　　　本発明は、半導体ペレット取出装置に関し、特
゛　　に、固体撮像素子で使用される半導体ペレット取
′　　出装置に適用して有効な技術に関するものである
。

ｉ　　　〔従来の技術〕 特開昭５８−９８９４０号公報に記載される半゛　　導
体ペレット取出装置は、粘着テープの表面上に”　　固
着された複数個の半導体ペレットのうちの１個１　　の
半導体ペレットを選択的に取り出している。こと　　の
半導体ペレットの取り出しは、粘着テープの裏面から突
上捧で取り出す半導体ペレットを上方に突き上げ、この
半導体ペレットの表面を真空吸着）　　　コレットで吸
着することで行っている。

前記半導体ペレットは、ハーフダイシング処理１　　が
施された半導体ウェーハの裏面に前記粘着テープを貼り
付け、この後にダイシング部に沿って分割することによ
って形成されている。前記粘着テープは張力を加えて引
き伸ばされており、粘着テープの表面に固着されている
半導体ペレットの間隔を広げている。これは、半導体ペ
レットを取り出す際に、真空吸着コレットの接触による
半導体ペレットの損傷を低減するようになっている。

前記取り出される半導体ペレットは突上捧で突き上げた
際に粘着テープの表面から確実に剥がれるように、粘着
テープの表面は弱粘着性を有している。

〔発明が解決しようとする課題〕

本発明者は、ビデオカメラに内蔵される固体撮像素子（
半導体ペレット）の取り出しに使用できるように、前述
の半導体ペレット取出装置を改良中に、次のような問題
点が生じることを見出した。

固体撮像素子は取り出しの際に表面特に受光面を損傷し
ないように、受光面に直接々触する方式の真空吸着コレ
ットを使用することができない。

この点は、ＭＯＳＦＥＴ又はバイポーラトランジスタを
主体とするメモリやロジックを内蔵する半導体ペレット
とは異なる。そこで、固体撮像素子の取り出しには、固
体撮像素子の上側の角部分のみが接触する角錐型真空吸
着コレットを使用する必要がある。この角錐型真空吸着
コレットは固体撮像素子に接触する有効面積が非常に小
さい、−方、前記粘着テープは張力を加えて固体撮像素
子間隔を広くしているが、張力を加えて粘着テープが均
一に引き伸ばされるわけではなく不均一に張き伸ばされ
るので、固体撮像素子の位置精度が悪い。このため、固
体撮像素子の取り出しの際に固体撮像素子が角錐型真空
吸着コレットに吸着されない取り出し不良が生じる。ま
た、固体撮像素子の位置精度が悪いので、角錐型真空吸
着コレラｈが取り出す固体撮像素子やそれに隣接する固
体撮像素子に接触し、固体撮像素子に損傷を与える。

本発明の目的は、半導体ペレット取出装置において、半
導体ペレットに損傷を与えることなく、半導体ペレット
を取り出すことが可能な技術を提供することにある。

本発明の他の目的は、半導体ペレット取出装置において
、半導体ペレットの取り出し不良を低減することが可能
な技術を提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろ
う。

〔課題を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

半導体ペレット取出装置であって、取り出される半導体
ペレットを突き上げる突上面及びこの半導体ペレットに
隣接する他の半導体ペレットを所定の傾斜角度に保持す
る傾斜面を有する突上コマを設け、この突上コマの突上
面及び傾斜面に粘着テープを吸着する粘着テープ吸着手
段を設ける。

〔作　　用〕

上述した手段によれば、（１）前記突上コマの突上面及
び傾斜面で取り出される半導体ペレットの上側とそれに
隣接する他の半導体ペレットの上側との間隔を広げたの
で、隣接する他の半導体ペレットに損傷を与えることな
く、所定の半導体ペレットを取り出すことができる。（
２）前記粘着テープは突上コマの突上面及び傾斜面に吸
着させ、粘着テープに張力を与えないので、粘着テープ
上の各半導体ペレットの固着位置の精度を向上し、取り
出し不良を低減することができる。

以下１本発明の構成について、粘着テープに固着された
固体撮像素子を選択的に取り出す半導体ペレット取出装
置に本発明を適用した一実施例とともに説明する。

なお、実施例を説明するための全回において、同一機能
を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は
省略する。

〔実施例〕

本発明の一実施例である半導体ペレット取出装置の要部
を第１図（概略構成図）で示す。

第１図に示すように、半導体ペレット取出装置の取出部
（ピックアップ部）は、突上コマ３の突上面３Ａに対向
する位置に角錐型真空吸着コレット１６が配置されてい
る。

前記突上コマ３の突上面３Ａと角錐型真空吸着コレット
１６との間には、複数の固体撮像素子（半導体ペレット
）２が表面上に固着された粘着テープ１が配置されるよ
うに構成されている。固体撮像素子２は、所定のパター
ンが形成された半導体ウェーハの裏面に前記粘着テープ
１を貼り付け、この後、前記パターンに沿って半導体ウ
ェーハを分割することで形成されている。固体撮像素子
２は単結晶珪素基板で形成されている。固体撮像素子２
の表面にはフォトダイオード素子を行列状に配列した受
光面が設けられている。前記粘着テープ１は例えば塩化
ビニール系のテープ基材の表面に弱粘着性のゴム系接着
用樹脂層を付着して形成されている。この粘着テープ１
は裏面に粘着性を設けない簡単な構造で構成されている
。

前記突上コマ８は上側に前記突上面３Ａ及びその周囲に
傾斜面３Ｂを有している。突上面３Ａは、粘着テープ１
の表面に固着された複数のうちの１個（又は複数個）の
固体撮像素子２を上方向に突き上げるように構成されて
いる。突上面３Ａは、固体撮像素子２の裏面に粘着テー
プ１を介在させて適度な面積を持って当接するように構
成されており、固体撮像素子２をフラットな状態のまま
突き上げることができる。

突上コマ３の下側はベース基材６に支持されている。突
上コマ３の下側には棒状の駆動部材１２が連結されてい
る。駆動部材１２は上下動作（矢印入方向の動作）によ
り、突上コマ３の突上面３Ａで固体撮像素子２を上方に
突き上げるように構成されている。駆動部材１２はベー
ス基板６、コマ用制御部材１３、弾性部材１４及び停止
部材１５によりその動作が制御されている。コマ用制御
部材１３には駆動源１１から駆動アーム１０及びニード
ル用駆動制御部材７を介在させて下方向への駆動力が伝
達されるように構成されている。駆動アーム１０は矢印
Ｃ方向に動作するように構成されている。弾性部材１４
は駆動部材１２を上方向に駆動するように構成されてい
る。停止部材１５は駆動部材１２つまり突上コマ３の突
上面３Ａの上限の移動量を規定するように構成されてい
る。ベース基材６は突上コマ３の突上面３Ａの下限の移
動量を規定するように構成されている。

突上コマ３の中央部分には突上ニードル４が上下方向（
矢印Ｂ方向）に出入りする開口部（真空吸着孔としても
使用される）が設けられている。突上ニードル４は突上
コマ３の突上面３Ａで突き上げられた固体撮像素子２を
粘着テープ１を突き破りさらに上方に突き上げるように
構成されている。

突上ニードル４は下側に位置するニードル用制御部材７
１弾性部材８及び停止部材９によりその動作が制御され
るように構成されている。ニードル用制御部材７には駆
動源１１から駆動アーム１０を介在させて下方向への駆
動力が伝達されるように構成されている。このニードル
用制御部材７はコマ用制御部材１３に連動して動作する
ように構成されている。弾性部材８は突上ニードル４を
上方向に駆動するように構成されている。停止部材９は
突上ニードル４の上限の移動量を規定するように構成さ
れている。

前記突上コマ３の傾斜面３Ｂは、突上面３Ａで突き上げ
られる固体撮像素子２に対して、それに隣接する他の固
体撮像素子２を所定の傾斜角度に保持するように構成さ
れている。この傾斜面３Ｂの傾斜角度は、傾斜面３Ｂの
面積、粘着テープ１の弾力性、吸着力等によって変化す
るが７例えば０［！］よりも大きく２．５［度］以下の
範囲で設定することが好ましい、この傾斜面８Ｂは、突
上面３Ａで突き上げられる固体撮像素子２の上側とそれ
に隣接する他の固体撮像素子２（この工程で取り出され
ない素子）の上側との間隔を下側の間隔に比べて広く形
成するように構成されている。

傾斜面３Ｂには吸着孔３Ｃが設けられている。

吸着孔３Ｃは突上コマ３に形成された真空導孔３Ｄを通
して真空源（真空装置り５に連結されている。

この吸着孔３Ｃ１真空導孔３Ｄ及び真空源５は、本実施
例において粘着テープ吸着手段を構成し、傾斜面３Ｂの
表面に粘着テープ１の裏面を吸着保持できるように構成
されている。つまり、粘着テープ吸着手段は、突上コマ
８の突上面ｓＡ上の固体撮像素子２と傾斜面３Ｂ上の固
体撮像素子２との間隔を確実に広げるように構成されて
いる。

また、前記突上コマ３の傾斜面３Ｂの端部には気密封止
材（例えばＯリング）３Ｅが設けられている。気密封止
材３Ｅは、傾斜面３Ｂと粘着テープ１の裏面との真空度
を高め、傾斜面３Ｂへの粘着テープ１の密着性を向上す
るように構成されている。

前記突上コマ３に対向する位置に配置された角錐型真空
吸着コレット１日は、突上コマ３の突上面３Ａ及び突上
ニードル４で突き上げられた固体撮像素子２を吸着保持
するように構成されている。

角錐型真空吸着コレット１６は固体撮像素子２の上側の
角部分だけに接触するように構成されている。

角錐型真空吸着コレット１６は、固体撮像素子２を真空
吸着するための真空源（真空装置）１８及び固体撮像素
子２をペレット治具１９に搬送するための駆動源１７に
連結されている。ペレット治具１９は、角錐型真空吸着
コレット１６で搬送された固体撮像素子２を所定の収納
位置に収納する駆動源２０に連結されている。

次に、前述の半導体ペレット取出装置の取出動作につい
て、第１図及び第２図乃至第４図（各動作工程毎に示す
要部概略構成図）を用いて簡単に説明する。

まず、第１図に示す駆動源１１が駆動アーム１０を矢印
Ｃ方向において上側に駆動する。この動作により、弾性
部材８が作用し、ニードル用制御部材７を介して突上ニ
ードル４が上方向（矢印Ｂ方向）に移動する。この突上
ニードル４の移動に連動して１弾性部材１４が作用し、
°コマ用制御部材１３が上方向（矢印Ａ方向）に移動す
る。この突上コマ３及び突上ニードル４の移動開始によ
り真空源５が作動する。

次に、突上コマ３及び突上ニードル４の移動が進むと、
第２図に示すように、突上コマ３の突上面３Ａが取り出
される固体撮像素子２を固着した部分の粘着テープ１の
裏面に接触し粘着テープ吸着手段により吸着される。

次に、第３図に示すように、突上コマ３の突上面３Ａが
粘着テープｌを介在させて取り出される固体撮像素子２
を一定量突き上げた状態において、コマ用制御部材１３
が停止部材１５に当接し、突上コマ３の動作が停止する
。この時、突上コマ３の傾斜面３Ｂには取り出される固
体撮像素子２と隣接する他の固体撮像素子２が粘着テー
プ１を介して吸着される。これによって、突上コマ３の
突上面３Ａ上の固体撮像素子２と傾斜面３Ｂ上の固体撮
像素子２との間隔が広げられる。

この突上コマ３の動作が停止した後、突上ニードル４は
なお上方向に移動しつづけ、第４図に示すように、突上
ニードル４は粘着テープ１を突き破り突上面３Ａ上の固
体撮像素子２を突き上げる。

次に、固体撮像素子２を突き上げた突上ニードル４は、
ニードル用制御部材７が停止部材９に当接した時点で停
止する。この時、突上コマ３の突上面３Ａに対向する位
置には角錐型真空吸着コレット１６が待機しており、真
空吸着により角錐型真空吸着コレット１６に固体撮像素
子２が吸着され取り出される。角錐型真空吸着コレット
１６は、取り出される固体撮像素子２とそれに隣接する
他の固体撮像素子２との間が充分に広げられているので
、他の固体撮像素子２に損傷を与えることなく、スムー
ズに固体撮像素子２の取り出しを行うことができる。

、次に、角錐型真空吸着コレット１６は駆動源１７によ
り取り出された固体撮像素子２をペレット治具１９に搬
送する。

これら一連の動作を繰返し行うことにより、粘着テープ
１の表面に固着された固体撮像素子２を順次ペレット治
具１９に収納することができる。

第５図（効果を説明するための図）に、前記突上コマ３
の突上面３Ａ、突上ニードル４の夫々の高さと突上コマ
３の傾斜面３Ｂとの関係を示す。第５図に示す点線、−
点鎖線、実線の夫々で囲まれた領域は、固体撮像素子２
に損傷を与えることなく取り出しが行える範囲を示して
いる。点線で囲まれた領域は、突上コマ３の傾斜面３Ｂ
の傾斜角度θをＯ［度コとした場合の範囲である。つま
り、傾斜面３Ｂの傾斜角度Ｏが０［度］は突上コマ３に
実質的に傾斜面３Ｂを設けていない場合の範囲を示して
いる。−点鎖線で囲まれた領域は突上コマ３の傾斜面３
Ｂの傾斜角度θを　１．５［度コとした場合の範囲であ
る。実線で囲まれた領域は突上コマ３の傾斜面３Ｂの傾
斜角度θを　２．５［度］とした場合の範囲である。第
５図に示すように、突上コマ３の傾斜面３Ｂは、傾斜角
度θを０［度］より大きくするにしたがって取り出しの
際の固体撮像素子２の損傷を低減することができる。ま
た、突上コマ３の傾斜面３Ｂは傾斜角度θが２．５［度
コを越えると粘着テープ１との吸着力が低下する結果を
得ているので、傾斜角度θは　２．５［度コを越えない
範囲で構成することが好ましい。

このように、半導体ペレット取出装置であって。

取り出される固体撮像素子２を突き上げる突上面３Ａ及
びこの固体撮像素子２に隣接する他の固体撮像素子２を
所定の傾斜角度に保持する傾斜面３Ｂを有する突上コマ
３を設け、この突上コマ３の突上面３Ａ及び傾斜面３Ｂ
に粘着テープ１を吸着する粘着テープ吸着手段Ｃ３Ｃ，
３Ｄ、５）を設ける。この構成により、（ａ）前記突上
コマ３の突上面３Ａ及び傾斜面３Ｂで取り出される固体
撮像素子２の上側とそれに隣接する他の固体撮像素子２
の上側との間隔を広げたので、隣接する他の固体撮像素
子２に損傷を与えることなく、所定の固体撮像素子２を
スムーズに確実に取り出すことができる。また、（ｂ）
前記粘着テープ１は突上コマ３の突上面３Ａ及び傾斜面
３Ｂに吸着させ、粘着テープ１に張力を与えないので、
粘着テープｌ上の各固体撮像素子２の固着位置の精度を
向上し、取り出し不良を低減することができる。

また、前記突上コマ８に、突上面３Ａの略中央部から粘
着テープ１を突き破り固体撮像素子２をさらに上方に突
き上げる突上ニードル４を設ける。

この構成により、取り出される固体撮像素子２を前記粘
着テープ１から引き剥がし、隣接する他の固体撮像素子
２と離隔された位置で固体撮像素子２を角錐型真空吸着
コレット１６で取り出すことができるので、前記隣接す
る他の固体撮像素子２に損傷を与えることがなくなる。

以上１本発明者によってなされた発明を、前記実施例に
基づき具体的に説明したが、本発明は。

前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱
しない範囲において種々変更可能であることは勿論であ
る。

例えば１本発明は、粘着テープ１に固着された固体撮像
素子を取り出す半導体ペレット取出装置に特に有効なの
で適用したが、これに限定されず。

ＭＯＳ又はバイポーラトランジスタを主体とするメモリ
やロジックを内蔵する半導体ペレットを取り出す半導体
ペレット取出装置に適用してもよい。

〔発明の効果〕 本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりであ
る。

半導体ペレット取出装置において、半導体ペレットに損
傷を与えることなく、スムーズに半導体ペレットを取り
出すことができる。

また、前記半導体ペレット取出装置において、半導体ペ
レットの取り出し不良を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例である半導体ペレット取出
装置の要部を示す概略構成図、第２図乃至第４図は、前
記半導体ペレット取出装置を各動作工程毎に示す要部概
略構成図。 第５図は、本発明の詳細な説明するための図である。 図中、１・・・粘着テープ、２・・・固体撮像素子（半
導体チップ）、３・・・突上コマ、３Ａ・・・突上面、
３Ｂ・・・傾斜面、３Ｃ・・・吸着孔、３Ｄ・・・吸着
導孔、４・・・突上ニードル、５，１８・・・真空源、
ｉｆ、　１７．２０・・・駆動源、１６・・・角錐型真
空吸着コレットである。 第２図　　　　　　第３図 第４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、粘着テープ上に固着された複数個の半導体ペレット
   のうち、所定の半導体ペレットを前記粘着テープの下方
   から上方に突き上げ、この突き上げられた半導体ペレッ
   トをコレットで取り出す半導体ペレット取出装置であっ
   て、前記取り出される半導体ペレットを突き上げる突上
   面及びこの半導体ペレットに隣接する他の半導体ペレッ
   トを所定の傾斜角に保持する傾斜面を有する突上コマを
   設け、該突上コマの突上面及び傾斜面に前記粘着テープ
   を吸着する粘着テープ吸着手段を設けたことを特徴とす
   る半導体ペレット取出装置。 ２、前記突上コマの傾斜面は、突上面に対して０［度］
   より大きく２．５［度］以下の角度を持って傾斜してい
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の半導
   体ペレット取出装置。 ３、前記半導体ペレットは固体撮像素子であることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項に記載の半導
   体ペレット取出装置。