JPS59190223A - バナジウム―ニオブ系化合物材料及びその製造法 - Google Patents
バナジウム―ニオブ系化合物材料及びその製造法Info
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- JPS59190223A JPS59190223A JP58064273A JP6427383A JPS59190223A JP S59190223 A JPS59190223 A JP S59190223A JP 58064273 A JP58064273 A JP 58064273A JP 6427383 A JP6427383 A JP 6427383A JP S59190223 A JPS59190223 A JP S59190223A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、新規なバナジウム−ニオブ系非晶質近年エレ
クトロニクス及びその関連技術の発展に伴って、酸化バ
ナジウム(V20s )を主とする酸化物系セラミクス
及びその単結晶の研究が活発に行なわれており、特に光
−電気、音−電気、雰囲気ガス−電気、光音偏光、X線
分光等の分野における変換素子材料として、又触媒材料
、磁性材料等として研究が行なわれている。V2O5と
Nb′205との安定な化合物としては、数種の結晶体
について2〜30文猷に記載されているのみで、これ等
の単結晶化の研究はさかんに行なわれているものの、非
晶質化合物についての研究は行なわれていない。
クトロニクス及びその関連技術の発展に伴って、酸化バ
ナジウム(V20s )を主とする酸化物系セラミクス
及びその単結晶の研究が活発に行なわれており、特に光
−電気、音−電気、雰囲気ガス−電気、光音偏光、X線
分光等の分野における変換素子材料として、又触媒材料
、磁性材料等として研究が行なわれている。V2O5と
Nb′205との安定な化合物としては、数種の結晶体
について2〜30文猷に記載されているのみで、これ等
の単結晶化の研究はさかんに行なわれているものの、非
晶質化合物についての研究は行なわれていない。
本発明は、従来全く知られていないバナジウム−ニオブ
系非晶質酸化物を提供するものである。
系非晶質酸化物を提供するものである。
即ち、本発明は、(V20s)t−x ・(Nb 20
5)x (fflし0.85≧X >O)なる組成を有
する新規なバナジウム−ニオブ系非晶質化合物材料、及
び(V205)+−x ・<Nb205)X(但しXは
上記に同じンに相当する酸化バナジウムと酸化ニオブと
の混合物を加熱溶解した後、超急冷することを特徴とす
る)\プージウムーニオブ系非晶質化合物材料の製造方
法(〔係るものである。
5)x (fflし0.85≧X >O)なる組成を有
する新規なバナジウム−ニオブ系非晶質化合物材料、及
び(V205)+−x ・<Nb205)X(但しXは
上記に同じンに相当する酸化バナジウムと酸化ニオブと
の混合物を加熱溶解した後、超急冷することを特徴とす
る)\プージウムーニオブ系非晶質化合物材料の製造方
法(〔係るものである。
本発明のバナジウム−ニオブ系非晶質酸化物(ま、磁性
材料、光応答性磁性素子、温度応答性磁性素子、磁気メ
モリ材料、イオン伝感材料、磁気テープ、触媒、光透過
性導電材料、誘電体材料、光−電気スイッチング素子、
熱−電気スイッチング素子等として有用である。
材料、光応答性磁性素子、温度応答性磁性素子、磁気メ
モリ材料、イオン伝感材料、磁気テープ、触媒、光透過
性導電材料、誘電体材料、光−電気スイッチング素子、
熱−電気スイッチング素子等として有用である。
本発明は、更に、(V205 )+−X ・(ND20
5)X(但し0.85≧x>O)なる組成を有するバナ
ジウム−ニオブ系非晶質化合物材料をその結晶化温度以
下で加熱処理することを特徴とする配向性多結晶薄膜材
料の製造法をも提供するものである。
5)X(但し0.85≧x>O)なる組成を有するバナ
ジウム−ニオブ系非晶質化合物材料をその結晶化温度以
下で加熱処理することを特徴とする配向性多結晶薄膜材
料の製造法をも提供するものである。
この様にして得られる配向性多結晶薄膜材料は光メモリ
−、磁気メモリー、光導波路素子、光音響デバイス、光
スィッチ、光変調素子、無電素子、温度センサー、湿度
センサー、化学センサー等として有用である。
−、磁気メモリー、光導波路素子、光音響デバイス、光
スィッチ、光変調素子、無電素子、温度センサー、湿度
センサー、化学センサー等として有用である。
尚、本発明においては、パバナジウムーニオブ系非晶質
化合物″とは、非晶質単独の場合のみならず、非晶質中
に多結晶相を含む場合をも包含するものとする。
化合物″とは、非晶質単独の場合のみならず、非晶質中
に多結晶相を含む場合をも包含するものとする。
本発明のバナジウム−ニオブ系非晶質酸化物は、以下の
様にして製造される。
様にして製造される。
本発明において使用する原料は、酸化バナジウムと酸化
ニオブとの混合物であり、その組成割合は、(Nl)2
0s)x ・(V205 ) +−X (但し0.8
5≧×〉O)となる量比である。上記組成比較の原料混
合物を加熱溶融し、これを超急冷する。加熱溶融は、こ
れ等原料混合物が充分に溶融する温度以上で行なえば良
く、好ましくは溶h’s温度よりも50=200℃以上
高い温度範囲特に好ましくは80〜150℃以上高い温
度で加熱する。
ニオブとの混合物であり、その組成割合は、(Nl)2
0s)x ・(V205 ) +−X (但し0.8
5≧×〉O)となる量比である。上記組成比較の原料混
合物を加熱溶融し、これを超急冷する。加熱溶融は、こ
れ等原料混合物が充分に溶融する温度以上で行なえば良
く、好ましくは溶h’s温度よりも50=200℃以上
高い温度範囲特に好ましくは80〜150℃以上高い温
度で加熱する。
加熱詩の雰囲気に対する制限は特に無く、通常空気中で
行う。次いで原料混合物の融液を超急冷する。M3急冷
は、本発明方法の必須の要件であって、これによりはじ
めて非晶質新規化合物を収得することが出来る。超急冷
は通常10’〜108℃/秒程度の冷却速度で行う。こ
の超急冷は、上記冷却速度で冷却出来る手段であれば広
い範囲で各種の手段が採用出来、高速厄垢中のロール表
面上に原料混合物の融液を噴霧して液体状態の原子配置
にて固化せしめる方法を代表例として挙げることが出来
る。
行う。次いで原料混合物の融液を超急冷する。M3急冷
は、本発明方法の必須の要件であって、これによりはじ
めて非晶質新規化合物を収得することが出来る。超急冷
は通常10’〜108℃/秒程度の冷却速度で行う。こ
の超急冷は、上記冷却速度で冷却出来る手段であれば広
い範囲で各種の手段が採用出来、高速厄垢中のロール表
面上に原料混合物の融液を噴霧して液体状態の原子配置
にて固化せしめる方法を代表例として挙げることが出来
る。
以下図面を参照しつつ本SA明方法の実施に際し使用さ
れる融解原料混合物の急冷装置の一例を説朗する。
れる融解原料混合物の急冷装置の一例を説朗する。
第1図は、架台(1ン上に設置された急冷装買太体(3
)の正面図を示ず。急冷装置は、誘電加熱用コイル(5
)、(5〉・・・・、原料加熱用チューブ(7)、該チ
ューブ(7)の支持体(9)、融解原g噴比用のノズル
(11)、急冷用ロール(13)、ノズル(11)の冷
却用ノズル(15)、渦流防止エアノズル<17)、ノ
ズル(11)の微調整気候<19)、エアシリンダー<
21>、冷却されたvJ料の受は箱<23)、冷却材料
取出口(25)等を主要構成部としている。
)の正面図を示ず。急冷装置は、誘電加熱用コイル(5
)、(5〉・・・・、原料加熱用チューブ(7)、該チ
ューブ(7)の支持体(9)、融解原g噴比用のノズル
(11)、急冷用ロール(13)、ノズル(11)の冷
却用ノズル(15)、渦流防止エアノズル<17)、ノ
ズル(11)の微調整気候<19)、エアシリンダー<
21>、冷却されたvJ料の受は箱<23)、冷却材料
取出口(25)等を主要構成部としている。
冷却用ロール(13)の内部に該ロール冷却用のファン
を設置し且つロール表面側端部に空気吹込み口を設ける
ことにより、融解原料の急冷を安定して行なうことが出
来る。第2図は、支持体(9)の詳細を示す。第2図に
おいて、支持体(9)は、バ、ルブ(27)を備えた冷
却水導入路(29)、冷W水排出路(3i>、ニードル
バルブ(33)を1ケコえたブローエア導入路(35)
、ロール(13)の表面とノズル(11)との間隔微調
整611ii(37>及び原料融液を均一に押出す為の
整流用目皿(39)を備えている。
を設置し且つロール表面側端部に空気吹込み口を設ける
ことにより、融解原料の急冷を安定して行なうことが出
来る。第2図は、支持体(9)の詳細を示す。第2図に
おいて、支持体(9)は、バ、ルブ(27)を備えた冷
却水導入路(29)、冷W水排出路(3i>、ニードル
バルブ(33)を1ケコえたブローエア導入路(35)
、ロール(13)の表面とノズル(11)との間隔微調
整611ii(37>及び原料融液を均一に押出す為の
整流用目皿(39)を備えている。
第1図及び第2図に示す急冷装置(3)を使用して本発
明方法を実施する場合、まず所定組成の原料混合物を融
液吹出し用ノズル(11)を有するチューブ(7)内に
収納する。このチューブ(7)は、高温酸化雰囲気状態
で充分耐久性のある材質で作られ、たとえば白金、白金
−ロジウム、イリジウム、窒化ケイ素、窒化ボロン等で
作られたものが好ましい。尚、原料融液と直接接触しな
い部分の材質は、高融点のセラミックス、ガラス、金属
でも良い。ノズル口の形状は、目的製品に応じて適宜に
決定され、たとえば細い線状材料の場合は円い形状で、
巾の広い製品の場合はスリット状の形状のものを使用す
る。ノズル口の形状は、楕円形その他の形状であっても
良い。チューブ(7)内に収納された原料混合物は、次
いでその融点以上の温度に加熱され、n液とされた後、
ノズル(11)の口部から高速回転しているロール(1
3)の面上に一定ガス圧にて吹出され、ロール表面上で
急冷せしめられる。ノズル口とロール面における原料融
液の吹出し角度は、目的化合物の巾が約3nlll!以
下の場合はロール面に対して垂直で良く、またその巾が
約3111m以上の場合はロール面垂線に対してO0〜
45°である。これ等の吹出し角度調整薇溝は、装置自
体に所定の角度を設定可能な機構として組み込むことも
出来るが、好ましくはノズル自体を加工しておくのが良
い。
明方法を実施する場合、まず所定組成の原料混合物を融
液吹出し用ノズル(11)を有するチューブ(7)内に
収納する。このチューブ(7)は、高温酸化雰囲気状態
で充分耐久性のある材質で作られ、たとえば白金、白金
−ロジウム、イリジウム、窒化ケイ素、窒化ボロン等で
作られたものが好ましい。尚、原料融液と直接接触しな
い部分の材質は、高融点のセラミックス、ガラス、金属
でも良い。ノズル口の形状は、目的製品に応じて適宜に
決定され、たとえば細い線状材料の場合は円い形状で、
巾の広い製品の場合はスリット状の形状のものを使用す
る。ノズル口の形状は、楕円形その他の形状であっても
良い。チューブ(7)内に収納された原料混合物は、次
いでその融点以上の温度に加熱され、n液とされた後、
ノズル(11)の口部から高速回転しているロール(1
3)の面上に一定ガス圧にて吹出され、ロール表面上で
急冷せしめられる。ノズル口とロール面における原料融
液の吹出し角度は、目的化合物の巾が約3nlll!以
下の場合はロール面に対して垂直で良く、またその巾が
約3111m以上の場合はロール面垂線に対してO0〜
45°である。これ等の吹出し角度調整薇溝は、装置自
体に所定の角度を設定可能な機構として組み込むことも
出来るが、好ましくはノズル自体を加工しておくのが良
い。
原料混合物の加熱方法は、特に制限されないが、通常発
熱体を有する炉、誘電加熱炉または集光加熱炉で行う。
熱体を有する炉、誘電加熱炉または集光加熱炉で行う。
原料融液の温度は、その融点より50〜200℃好まし
くは8(、l〜150’C程度高い温度とするのが良い
。この際融点にあまり近過ぎると、融液をロール面上に
吹き出している間にノズル附近で冷却固化する恐れがあ
り逆にあまりにも高くなりすぎると、ロール面上での急
冷が困4iとなる傾向がある。
くは8(、l〜150’C程度高い温度とするのが良い
。この際融点にあまり近過ぎると、融液をロール面上に
吹き出している間にノズル附近で冷却固化する恐れがあ
り逆にあまりにも高くなりすぎると、ロール面上での急
冷が困4iとなる傾向がある。
ロール面上に融液を吹き出すために使用する加圧用ガス
としては、不活性ガスが好ましく、たとえばアルゴン、
窒素、ヘリウム等でも良いが、融液原料をm化状態に相
持する為には、乾燥圧縮空気が好ましい。ガス圧は、ノ
ズル口の大きさにもよるが、通常0.1〜2.0k(]
/cm2好まシクハ0.5〜1 、0 kg/ cm2
程度である。また原料融液を吹き出す際のノス゛ルロと
ロール面間の距離は、0.01〜1.0!l1m程度が
良く、より好ましくは0.05〜0.5+nm程度であ
る。0.01rlIIJ:すも小ざな場合、パj−″ル
色が非常に少なくなり、均一な材料が得られず、一方1
.○m1iIよりも大きい場合、パドル量が過剰になっ
たり、又組成融液の界面張力により形成されるパドル厚
さ以上の場合には、パドルが形成され難くなる傾向が生
ずる場合がある。
としては、不活性ガスが好ましく、たとえばアルゴン、
窒素、ヘリウム等でも良いが、融液原料をm化状態に相
持する為には、乾燥圧縮空気が好ましい。ガス圧は、ノ
ズル口の大きさにもよるが、通常0.1〜2.0k(]
/cm2好まシクハ0.5〜1 、0 kg/ cm2
程度である。また原料融液を吹き出す際のノス゛ルロと
ロール面間の距離は、0.01〜1.0!l1m程度が
良く、より好ましくは0.05〜0.5+nm程度であ
る。0.01rlIIJ:すも小ざな場合、パj−″ル
色が非常に少なくなり、均一な材料が得られず、一方1
.○m1iIよりも大きい場合、パドル量が過剰になっ
たり、又組成融液の界面張力により形成されるパドル厚
さ以上の場合には、パドルが形成され難くなる傾向が生
ずる場合がある。
ロールの材質は、熱伝導性の良い銅及びその合金、硬質
クロムメッキ層を有する上記材料、ざらには票、ステン
レススチール等である。ロールの周速度を5i、/秒〜
35m/秒、好ましくは10Iil/秒〜20油/秒と
し、原料融液を急冷することにより目的とする良質の非
晶質化合物材料が得られる。この際ロール周速度が51
n/秒以下の場合には、非晶−化し難い傾向が生じるの
で、あまり好ましくない。ロール周速度が35m/秒よ
りも大きくなると、得られる目的物材料の形状が非常に
薄膜化し、すべて鱗片状もしくは細粉状となるが、材料
構造的にはやはり本発明の非晶質上合物材料である。
クロムメッキ層を有する上記材料、ざらには票、ステン
レススチール等である。ロールの周速度を5i、/秒〜
35m/秒、好ましくは10Iil/秒〜20油/秒と
し、原料融液を急冷することにより目的とする良質の非
晶質化合物材料が得られる。この際ロール周速度が51
n/秒以下の場合には、非晶−化し難い傾向が生じるの
で、あまり好ましくない。ロール周速度が35m/秒よ
りも大きくなると、得られる目的物材料の形状が非常に
薄膜化し、すべて鱗片状もしくは細粉状となるが、材料
構造的にはやはり本発明の非晶質上合物材料である。
融液原料を回転ロール面上へ吹き出す雰囲気として減圧
下乃至高真空下、又は不活性ガス雰囲気中で本発明化合
物の製造を行なう場合には、高温状態での原料融液の還
元が発生し、組成原子中の酸素原子の減少が起り、得ら
れる材料に紫色もしくは黒色等の着色が発生する。しか
し乍ら、この着色生成物も物性的には本発明化合物であ
り、着色された状態で使用可能である。
下乃至高真空下、又は不活性ガス雰囲気中で本発明化合
物の製造を行なう場合には、高温状態での原料融液の還
元が発生し、組成原子中の酸素原子の減少が起り、得ら
れる材料に紫色もしくは黒色等の着色が発生する。しか
し乍ら、この着色生成物も物性的には本発明化合物であ
り、着色された状態で使用可能である。
原料混合物をデユープ内で加熱溶融せしめるに際しては
、該混合物をすべて完全に融液化することが必要である
。しかし乍ら、該混合物が完全に融液化する前に、一部
融液化したものが、ノズル先端から流出してしまう恐れ
があるため、ノズル先端を局部的に冷却して融液の流出
を防止することが好ましい。ノズルを局部的に冷却する
代表的手段は、ノズル先端に冷却用ガスを吹きつける手
段であり、ガスとしてはアルゴン、ヘリウム、窟累等の
不活性ガスでも良いが、乾燥冷圧縮空気がより好ましい
。
、該混合物をすべて完全に融液化することが必要である
。しかし乍ら、該混合物が完全に融液化する前に、一部
融液化したものが、ノズル先端から流出してしまう恐れ
があるため、ノズル先端を局部的に冷却して融液の流出
を防止することが好ましい。ノズルを局部的に冷却する
代表的手段は、ノズル先端に冷却用ガスを吹きつける手
段であり、ガスとしてはアルゴン、ヘリウム、窟累等の
不活性ガスでも良いが、乾燥冷圧縮空気がより好ましい
。
本発明に係る新規なる非晶質化合物材料は、通常50〜
10μm程度の厚さであり、非常にもろい材料である。
10μm程度の厚さであり、非常にもろい材料である。
このためロール面で急冷され、固体化された後、できる
限り材料に応力が加えられない状態にすることが好まし
い。応力付加となる原因の一つに大気中でのロール回転
により発生する風切り現象からくるロール表面空気層の
大きな乱流がある。この乱流を防止するとともに急冷却
ずべき溶融原料混合物とロール面との密着性をより良好
とするために、風切り防止用向流吹出しノズル即ち第1
図に示す渦流防止エアノズル(17)を設置するか、ロ
ール内部にファンを固定設置する。後者の場合は、ロー
ルの自転によりロール表面側@部に設けられた口径可変
式の空気導入口よりロール内部へ発生する乱流をすい込
み、ロール軸正面より排出し、ロール表面上空気をロー
ル内部へ移動せしめ、これにより溶融物をロール面へよ
り押しつけ@着させ、さらに空気の吹込み移動によりロ
ール自体をも空冷することが出来る。また、得られる材
料の寸法均一性を保持させるために、ロール表面に回転
方向とは直角に材料切断用の満を設けておけば、一定寸
法で切断された材料が得られる。
限り材料に応力が加えられない状態にすることが好まし
い。応力付加となる原因の一つに大気中でのロール回転
により発生する風切り現象からくるロール表面空気層の
大きな乱流がある。この乱流を防止するとともに急冷却
ずべき溶融原料混合物とロール面との密着性をより良好
とするために、風切り防止用向流吹出しノズル即ち第1
図に示す渦流防止エアノズル(17)を設置するか、ロ
ール内部にファンを固定設置する。後者の場合は、ロー
ルの自転によりロール表面側@部に設けられた口径可変
式の空気導入口よりロール内部へ発生する乱流をすい込
み、ロール軸正面より排出し、ロール表面上空気をロー
ル内部へ移動せしめ、これにより溶融物をロール面へよ
り押しつけ@着させ、さらに空気の吹込み移動によりロ
ール自体をも空冷することが出来る。また、得られる材
料の寸法均一性を保持させるために、ロール表面に回転
方向とは直角に材料切断用の満を設けておけば、一定寸
法で切断された材料が得られる。
本発明のバナジウム−ニオブ系化合物は、その原料混合
比により化合物の原子配列構造が大きく変化し、具体的
には以下の如くに大別される。先ず、O<X≦0.66
の場合には非晶質化合物100%のものが得られ、0.
66<X≦0.85の範囲ではNb2O5結晶相を含む
多結晶混在非晶質化合物が得られ、又x>0.85では
Nb2O5結晶相を主体とする材料が得られる。
比により化合物の原子配列構造が大きく変化し、具体的
には以下の如くに大別される。先ず、O<X≦0.66
の場合には非晶質化合物100%のものが得られ、0.
66<X≦0.85の範囲ではNb2O5結晶相を含む
多結晶混在非晶質化合物が得られ、又x>0.85では
Nb2O5結晶相を主体とする材料が得られる。
第3図に本発明材料の生成範囲を示す。
使用する急冷装置の急冷用ロールの周速度が、5m/秒
〜351!+/秒の範囲内では、各組成域において得ら
れる材料の構造自体には大きな変化は認められない。
〜351!+/秒の範囲内では、各組成域において得ら
れる材料の構造自体には大きな変化は認められない。
本発明の配向性多結晶薄膜材料は、上述の如くして得ら
れた(V20s ) +−x ・(N1)205 )
x (但しO,,85≧×〉0)なる組成のバナジウ
ム−ニオブ系非晶質化合物材料を熱分析に供してその結
晶化温度<Tc )を求めた後、該化合物材料を結晶化
温度以下の温度で所定時間熱処理することにより得られ
る。
れた(V20s ) +−x ・(N1)205 )
x (但しO,,85≧×〉0)なる組成のバナジウ
ム−ニオブ系非晶質化合物材料を熱分析に供してその結
晶化温度<Tc )を求めた後、該化合物材料を結晶化
温度以下の温度で所定時間熱処理することにより得られ
る。
例えば、(V205 )I−X ・(Nb205 )X
においてX =0.33の場合のバナジウム−ニオブ系
非晶質化合物材料の結晶化温度は、440℃であり、こ
れを大気中で以下の条件下に熱処理すると、それぞれ下
記の如き材料となる。尚、結晶化温度以下においても、
91i理時間が長過ぎる場合には、非配向性の多結晶体
となるので、留意する必要がある。
においてX =0.33の場合のバナジウム−ニオブ系
非晶質化合物材料の結晶化温度は、440℃であり、こ
れを大気中で以下の条件下に熱処理すると、それぞれ下
記の如き材料となる。尚、結晶化温度以下においても、
91i理時間が長過ぎる場合には、非配向性の多結晶体
となるので、留意する必要がある。
1、 440℃×10分:配向炒多結晶体2、 440
℃X30分:多結晶体 3、 4.20℃〉く10分:非晶質体4、 420℃
×30分:配向性多結晶体5、 420℃X40分:多
結晶体 尚、本発明材料の構造の同定に際しては、X線回折及び
偏光顕微鏡により結晶性の有無の確認及び構造解析を行
ない、走査型電子預微鏡により極少部分の観察を行なっ
た。
℃X30分:多結晶体 3、 4.20℃〉く10分:非晶質体4、 420℃
×30分:配向性多結晶体5、 420℃X40分:多
結晶体 尚、本発明材料の構造の同定に際しては、X線回折及び
偏光顕微鏡により結晶性の有無の確認及び構造解析を行
ない、走査型電子預微鏡により極少部分の観察を行なっ
た。
以下実施例により本発明の特徴とするところをより一層
明らかにする。
明らかにする。
実施例
■205(純度99.9%)及びNb205(純度99
.9%)を所定の組成で配合し、均一に混合した後、8
50℃で30分間仮焼して組成物原料とした。得られた
組成物原料を白金チューブ(直径10!I1mx長さ1
50mm)に充填し、誘電加熱コイル内に設置して、発
振管戯条電圧13V、N 8 m JI 10 K V
−格子電流120〜150m A。
.9%)を所定の組成で配合し、均一に混合した後、8
50℃で30分間仮焼して組成物原料とした。得られた
組成物原料を白金チューブ(直径10!I1mx長さ1
50mm)に充填し、誘電加熱コイル内に設置して、発
振管戯条電圧13V、N 8 m JI 10 K V
−格子電流120〜150m A。
陽極電流1.2〜1.8Aの条件下に誘電加熱した。完
全に融液化した原料を急冷用回転ロール表面上に乾燥圧
縮空気により吹き出し、急冷させた。
全に融液化した原料を急冷用回転ロール表面上に乾燥圧
縮空気により吹き出し、急冷させた。
第1表及び第2表に組成及び製造時の諸条件を示す。第
1表及び第2表中試IN0.1〜20.25及び29は
、リボン状の本発明の非晶質酸化物材料を示す。又、N
o、24は、ロールの回転速度が大きい為、3片となっ
ているが、形状に制約がない融媒等の分野では使用可能
である。
1表及び第2表中試IN0.1〜20.25及び29は
、リボン状の本発明の非晶質酸化物材料を示す。又、N
o、24は、ロールの回転速度が大きい為、3片となっ
ているが、形状に制約がない融媒等の分野では使用可能
である。
尚、ノズル形状Aとあるのは、0 、2 mmx 4
mmのスリット状ノズルを示し、ノズル形状Bとあるの
は径Q、2mn+の円形ノズルを示す。
mmのスリット状ノズルを示し、ノズル形状Bとあるの
は径Q、2mn+の円形ノズルを示す。
参考例1
(V20s )+−X ・(Nb20s )xにおいて
X=0.50に相当で−る上記実施例1の試料No。
X=0.50に相当で−る上記実施例1の試料No。
8.10.12.13及び15についてのX線回折結果
を第4図に示す。急冷用ロールの周速度が5.18p/
秒(NO,8)から34.54m/秒(No、15)の
範囲内で得られた材料の原子配列構造には、大きな変化
がないことが明らかである。
を第4図に示す。急冷用ロールの周速度が5.18p/
秒(NO,8)から34.54m/秒(No、15)の
範囲内で得られた材料の原子配列構造には、大きな変化
がないことが明らかである。
参考例2
(V205 >+−x ・(Nb20s )xにおいて
x =0.33に相当する上記実施例1の試料N0゜1
7の示差熱分析結果を第5図に示す。
x =0.33に相当する上記実施例1の試料N0゜1
7の示差熱分析結果を第5図に示す。
第5図において、Tcは結晶化温度、Tgはガラス転位
点、ipは融点を夫々示す。
点、ipは融点を夫々示す。
参考例3
(V2O5)+−>: ” (Nb205)xにおいて
:<=0.25に相当する上記実施例1の試料No。
:<=0.25に相当する上記実施例1の試料No。
7の外観を示す写真を参考図面■として示す。
参考例4
上記実施例1の試料NO67の走査型電子顕微情写真(
20000倍及び870倍)を夫々参考12i面■及び
■として示す。
20000倍及び870倍)を夫々参考12i面■及び
■として示す。
参考例5
<V2O5)+−x ・CNb 205 )xにおいて
x−0,25に相当する上記実施例1の試料No。
x−0,25に相当する上記実施例1の試料No。
3の赤外線級数スペクトルを第6図として示す。
参考例6
(V205 ) +−x ・(Nb 20s)xにおい
てx =0.33に相当する上記実施例1の試料No。
てx =0.33に相当する上記実施例1の試料No。
160)15℃における直流電気伝導度を第7図に示し
、又15℃における周波数に対する誘電率(A)及び誘
電損失(B)を第8図に示す。尚、試料の厚さは0.0
024c!11とし、表裏両面に而f、i!io、 0
491cm2のAu=iをめっきにより形成した。
、又15℃における周波数に対する誘電率(A)及び誘
電損失(B)を第8図に示す。尚、試料の厚さは0.0
024c!11とし、表裏両面に而f、i!io、 0
491cm2のAu=iをめっきにより形成した。
実施例2
結晶化温度が440℃である実施例1の試料NO,16
を空気中420℃で30分間熱!2!lk理し、た後、
X線回折を行なったところ、回折角(2θ)に1本の鋭
い回折ピークを示し、非晶質構造から配向性多結晶構造
に変化したことが確認された。
を空気中420℃で30分間熱!2!lk理し、た後、
X線回折を行なったところ、回折角(2θ)に1本の鋭
い回折ピークを示し、非晶質構造から配向性多結晶構造
に変化したことが確認された。
熱処理前の非晶質試料においては、1KHzにおける誘
電率ε−75、誘電損失tanδ−45であったのに対
し、熱処理後の配向性多結晶tA造においては、I K
Hzにおける誘電率ε−115、誘電損失tan6−
0.8となった。
電率ε−75、誘電損失tanδ−45であったのに対
し、熱処理後の配向性多結晶tA造においては、I K
Hzにおける誘電率ε−115、誘電損失tan6−
0.8となった。
第1図は、不発明方法において使用される融解原料の念
、冷装置の一例の正面図、第2図は、第1図の急冷装置
の一部拡大詳細図面、第3図は、本発明材料の組成範囲
を示す図面、第4図は、本発明材料の若千のX線回折図
面、第5図は、本発明による一材料の示差熱分析図、第
6図は、本発明による他の一材料の赤外線吸収スペクト
ル、第7図は、本発明による他の一材料の直流電気伝導
度を示すグラフ、第8図は、第7図に示すと同様の材料
の周波数に対する誘電率及び誘電損失を示すグラフを夫
々示す。 (1)・・・・・・架台、(3)・・・・・・急冷装置
本体、〈5)、く5)・・・・・・誘電加熱用コイル、
く7)・・・・・・原料加熱用チューブ、(9)・・・
・・・原料加熱用チューブの支持体、(11)・・・・
・・融解原料、吹出用ノズル、(13)・・・・・・急
冷用ロール、(15)・・・・・・ノズル(11)の冷
却用ノズル、(17)・・・・・・渦流防止エアノズル
、(19)・・・・・・ノズル(11)の微調整機椙、
(21)・・・・・・エアシリンダー、(23)・・・
・・・冷却された材料の受は箱、(25)・・・・・・
冷却材料取り出口、(27)・・・・・・バルブ、(2
9)・・・・・・冷却水導入路、(31)・・・・・・
冷却水排出路、(33)・・・・・・ニードルバルブ、
(35)・・・・・・ブローエア導入路、(37)・・
・・・・ロール(13)とノズル(11)との間隔微調
整機構、(39)・・・・・・整流用目皿。 (以 上) 代理人 弁理士 三 枝 英 二 ゛第1図 第 31覆 肘開(分) 第 7 ス 「−一一一一一一一一 第1頁の続き ■出 願 人 増田修二 徳島県板野郡北島町江尻字宮ノ 本27−8 ■出 願 人 太田追啓 徳島県板野郡藍住町東中富字長 江傍示86中富団地F8−148
、冷装置の一例の正面図、第2図は、第1図の急冷装置
の一部拡大詳細図面、第3図は、本発明材料の組成範囲
を示す図面、第4図は、本発明材料の若千のX線回折図
面、第5図は、本発明による一材料の示差熱分析図、第
6図は、本発明による他の一材料の赤外線吸収スペクト
ル、第7図は、本発明による他の一材料の直流電気伝導
度を示すグラフ、第8図は、第7図に示すと同様の材料
の周波数に対する誘電率及び誘電損失を示すグラフを夫
々示す。 (1)・・・・・・架台、(3)・・・・・・急冷装置
本体、〈5)、く5)・・・・・・誘電加熱用コイル、
く7)・・・・・・原料加熱用チューブ、(9)・・・
・・・原料加熱用チューブの支持体、(11)・・・・
・・融解原料、吹出用ノズル、(13)・・・・・・急
冷用ロール、(15)・・・・・・ノズル(11)の冷
却用ノズル、(17)・・・・・・渦流防止エアノズル
、(19)・・・・・・ノズル(11)の微調整機椙、
(21)・・・・・・エアシリンダー、(23)・・・
・・・冷却された材料の受は箱、(25)・・・・・・
冷却材料取り出口、(27)・・・・・・バルブ、(2
9)・・・・・・冷却水導入路、(31)・・・・・・
冷却水排出路、(33)・・・・・・ニードルバルブ、
(35)・・・・・・ブローエア導入路、(37)・・
・・・・ロール(13)とノズル(11)との間隔微調
整機構、(39)・・・・・・整流用目皿。 (以 上) 代理人 弁理士 三 枝 英 二 ゛第1図 第 31覆 肘開(分) 第 7 ス 「−一一一一一一一一 第1頁の続き ■出 願 人 増田修二 徳島県板野郡北島町江尻字宮ノ 本27−8 ■出 願 人 太田追啓 徳島県板野郡藍住町東中富字長 江傍示86中富団地F8−148
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ■ (V205 )+−X ・(Nb205’> x
(但し0.85≧x>Q)なる組成を有するバナジウ
ム−ニオブ系非晶質化合物材料。 ■ Q<x≦0.66である特許請求の範囲第1項のバ
ナジウム−ニオブ系非晶質化合物材料。 ■ 0.66<X≦0.85である特許請求の範囲第1
項のバナジウム−ニオブ系非晶質化合物材料。 ■ 酸化バナジウムと醸化ニオブとの混合物を加熱溶詐
した後、融解物を超急冷することを特徴どする(V20
s ) +〜χ・(Nb20s)χ(但し0.85≧x
>Q)なる組成を有するバナジウム−ニオブ系非晶質化
合物材料の製造法。 ■ 101〜10F5℃/秒の冷却速度で超急冷する特
許請求の範囲第4項のバナジウム−ニオブ■ 原料融解
物を固体に接触させることにより超急冷する特許請求の
範囲第4項又は第5項のバナジウム−ニオブ系非晶質化
合物材料の製造法。 ■ スリット状、円形又は楕円形の吹出し口を設けたノ
ズルを備えた加熱用デユープに原料混合物を投入し、該
混合物の融点よりも50〜200’C高い温度で加熱溶
融させた後、5+++/秒〜35m/秒の周速度で回転
するロール表面上に上記ノズルを経て該融解物を吹ぎ出
して超急冷させる特許請求の範囲第4項乃至第6項のい
ずれかに記載のバナジウム−ニオブ系非晶質化合物材料
の製造法。 ■ (V205 ) +−x ・(Nt+ 205)x
(但し0.85≧×〉O)なる組成を有するバナジウ
ム−ニオブ系非晶質化合物材料をその結晶化温度以下で
加熱処理することを特徴とする配向性多結晶薄膜材料の
製造法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58064273A JPS59190223A (ja) | 1983-04-11 | 1983-04-11 | バナジウム―ニオブ系化合物材料及びその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58064273A JPS59190223A (ja) | 1983-04-11 | 1983-04-11 | バナジウム―ニオブ系化合物材料及びその製造法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59190223A true JPS59190223A (ja) | 1984-10-29 |
JPH0331649B2 JPH0331649B2 (ja) | 1991-05-08 |
Family
ID=13253438
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58064273A Granted JPS59190223A (ja) | 1983-04-11 | 1983-04-11 | バナジウム―ニオブ系化合物材料及びその製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59190223A (ja) |
-
1983
- 1983-04-11 JP JP58064273A patent/JPS59190223A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0331649B2 (ja) | 1991-05-08 |
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