JPS59186305A - 感湿素子 - Google Patents
感湿素子Info
- Publication number
- JPS59186305A JPS59186305A JP58061278A JP6127883A JPS59186305A JP S59186305 A JPS59186305 A JP S59186305A JP 58061278 A JP58061278 A JP 58061278A JP 6127883 A JP6127883 A JP 6127883A JP S59186305 A JPS59186305 A JP S59186305A
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- Japan
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- humidity
- moisture
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
この発明は、湿度によって電気抵抗が変化する感湿物質
を、利用した感湿素子に関するものである。
を、利用した感湿素子に関するものである。
［従来の技術及び欠点］
感湿素子としては、従来より塩化リチウムを感湿物質と
するものが汎用されていたが、近年、金属酸化物を用い
た感湿素子が開発されている。
するものが汎用されていたが、近年、金属酸化物を用い
た感湿素子が開発されている。
この金属酸化物系の感湿素子は、上記塩化リチウム系の
感湿素子に比較して特性の経時変化や適用できる相対湿
度領域の大きさの面で優れる。
感湿素子に比較して特性の経時変化や適用できる相対湿
度領域の大きさの面で優れる。
しかし、湿度サイクル中で感湿抵抗体層の表面良
に安オな金属水酸化物層が形成されて感度低下をきたず
ため、定期的に加熱クリーニングを施ｊ す必要がある。そのため、このようぇ金属酸化物系の感
湿素子では、その対策として傍熱型のヒーターを付設し
ているが、それによっ’ＣＷＪ造が複雑となることから
０産性や製造価格の点で大きな問題を残している。また
、温度サイクルや湿度サイクル中に基板と感湿抵抗体層
との接着状態が悪くなったり、感湿抵抗体層にひび割れ
を生じたりすることが、多々経験され、この面での特性
の改善が望まれている。一方非加熱型のセラミック湿度
センサーでは、大気中の有機ガスを吸着し、経時変化を
起しやすいため、感湿膜表面の安定性の改善が望まれて
いる。÷発［部間の目的］ この発明は、上記欠点を改善し広範囲の相対湿度領域に
渡って高い感度と長時間安定した感湿性能を有するうえ
、絶縁性基板と乾湿抵抗体層どの接着層が良好で、特別
なりリーニング手段を付設することを不要とした感湿素
子を提供することを目的とする。
ため、定期的に加熱クリーニングを施ｊ す必要がある。そのため、このようぇ金属酸化物系の感
湿素子では、その対策として傍熱型のヒーターを付設し
ているが、それによっ’ＣＷＪ造が複雑となることから
０産性や製造価格の点で大きな問題を残している。また
、温度サイクルや湿度サイクル中に基板と感湿抵抗体層
との接着状態が悪くなったり、感湿抵抗体層にひび割れ
を生じたりすることが、多々経験され、この面での特性
の改善が望まれている。一方非加熱型のセラミック湿度
センサーでは、大気中の有機ガスを吸着し、経時変化を
起しやすいため、感湿膜表面の安定性の改善が望まれて
いる。÷発［部間の目的］ この発明は、上記欠点を改善し広範囲の相対湿度領域に
渡って高い感度と長時間安定した感湿性能を有するうえ
、絶縁性基板と乾湿抵抗体層どの接着層が良好で、特別
なりリーニング手段を付設することを不要とした感湿素
子を提供することを目的とする。
また、感湿特性において各相対湿度に対する抵抗値を下
げるために、スピネル型及びベロブスノＪイト型の酸化
物を添加し、抵抗値の制御を行い、さらに安定性を改善
するために、第２添加物としての金属酸化物を加え、低
抵抗で量産性に富むとともに、低価格化が可能な、使い
易い感湿特性を有する素子を提供することを目的とする
。
げるために、スピネル型及びベロブスノＪイト型の酸化
物を添加し、抵抗値の制御を行い、さらに安定性を改善
するために、第２添加物としての金属酸化物を加え、低
抵抗で量産性に富むとともに、低価格化が可能な、使い
易い感湿特性を有する素子を提供することを目的とする
。
［発明の構成と効果］
この発明の素子は、セラミック等の絶縁基板上に一対の
電極と、これら両電極間に渡る感湿抵抗体層が形成され
た感湿素子において、感湿抵抗体層がＬｌを含む複合酸
化物ＬｉＮｂＯ３、Ｌｉ Ｔａ ０３ 、Ｌｉ、Ｔｉ
ＯＪ 、Ｌｉｚ ｌｒ ０７、Ｌ１□ＭＯｏ＋、Ｌｉ
２ＷＯ４より選ばれる少なくとも一種の酸化物粉末と、
ＡＩ 、 ３ａ 。
電極と、これら両電極間に渡る感湿抵抗体層が形成され
た感湿素子において、感湿抵抗体層がＬｌを含む複合酸
化物ＬｉＮｂＯ３、Ｌｉ Ｔａ ０３ 、Ｌｉ、Ｔｉ
ＯＪ 、Ｌｉｚ ｌｒ ０７、Ｌ１□ＭＯｏ＋、Ｌｉ
２ＷＯ４より選ばれる少なくとも一種の酸化物粉末と、
ＡＩ 、 ３ａ 。
Ｂｉ 、Ｃａ ＸＰｂ 、Ｃｕ 、Ｆｅ 、Ｍｎ 、３
ｒ 。
ｒ 。
Ｚ１］、の元素からなる金属酸化物より選ばれる少なく
とも一種の酸化物粉末に、バナジン酸化合物粉末を添加
した組成物の仮焼成微粉末と、スピネル型複合酸化物（
Ｍｅ Ｍ２Ｏ千）およびペロブスカイト型複合酸化物（
ｆＶＩｅＭＯ３）において、ＭｅがＮｉ ＸＭｎ、Ｃｏ
、 Ｆｅ、よりなる少なくとも一種の酸化物粉末と３価
の金属酸化物から選ばれる少なくとも一種の粉末とを添
加物として○右りる組成物の焼結体からなることを特徴
とするものである。 上記組成物にお（ｔ”’Ｃ１Ｌ’
Ｎｌｌ ０３ 、ＬＩ Ｔａ ＯＪＮ Ｌ！ｚＺ ”
０３ 、ｌ−ｉ ２− Ｔ ！ ０３ 、Ｌ ！
Ｌ Ｍ ＯＱ ＋、ＬｌえＷＯ＋Ｊ：り選ばれる少なく
とも一種の化合物粉末は、感湿膜中のし１イオン源どし
て添加されでいる。モの場合、配合比が２０モルパーレ
ント以下であると素子の抵抗値の増加が〆暑しく、７０
モルパーセント以上ではその添加２効果が飽和する。
とも一種の酸化物粉末に、バナジン酸化合物粉末を添加
した組成物の仮焼成微粉末と、スピネル型複合酸化物（
Ｍｅ Ｍ２Ｏ千）およびペロブスカイト型複合酸化物（
ｆＶＩｅＭＯ３）において、ＭｅがＮｉ ＸＭｎ、Ｃｏ
、 Ｆｅ、よりなる少なくとも一種の酸化物粉末と３価
の金属酸化物から選ばれる少なくとも一種の粉末とを添
加物として○右りる組成物の焼結体からなることを特徴
とするものである。 上記組成物にお（ｔ”’Ｃ１Ｌ’
Ｎｌｌ ０３ 、ＬＩ Ｔａ ＯＪＮ Ｌ！ｚＺ ”
０３ 、ｌ−ｉ ２− Ｔ ！ ０３ 、Ｌ ！
Ｌ Ｍ ＯＱ ＋、ＬｌえＷＯ＋Ｊ：り選ばれる少なく
とも一種の化合物粉末は、感湿膜中のし１イオン源どし
て添加されでいる。モの場合、配合比が２０モルパーレ
ント以下であると素子の抵抗値の増加が〆暑しく、７０
モルパーセント以上ではその添加２効果が飽和する。
金属酸化物には、上記元素の酸化物が適用されるが、上
記１ｉイオン源と反応しセラミックの融点を下げるＭｎ
Ｏ，Ｓｒ Ｏ，Ｐｂ Ｏが焼結性の点から好ましい。
記１ｉイオン源と反応しセラミックの融点を下げるＭｎ
Ｏ，Ｓｒ Ｏ，Ｐｂ Ｏが焼結性の点から好ましい。
ＰｂＯ粉末の場合では、配合比が２０モルパーセント以
下であると、感湿抵抗体層の絶縁基板に対する接着強度
が低下し、７０モルパーセント以上であると上記イオン
源としての化合物粉末としての添加目的が阻害される。
下であると、感湿抵抗体層の絶縁基板に対する接着強度
が低下し、７０モルパーセント以上であると上記イオン
源としての化合物粉末としての添加目的が阻害される。
さらにバナジン酸化物は、焼結促進剤および表面の支足
化の目的で添加されたものであり、Ｖ−Ｏｒ 、Ｖ 、
ＬＯＪ、Ｖ Ｏ２，Ｖ ｒ？’、ＶＣｌ［ＯＶＯ＋、Ｍ
ｎ Ｖ２０ｈ等を使用することができ、その場合、上記
した二種の酸化物粉末の添加目的を阻害しない有効な石
として１〜２０モルパーセントの範囲で適当に選択する
ことが望ましい。
化の目的で添加されたものであり、Ｖ−Ｏｒ 、Ｖ 、
ＬＯＪ、Ｖ Ｏ２，Ｖ ｒ？’、ＶＣｌ［ＯＶＯ＋、Ｍ
ｎ Ｖ２０ｈ等を使用することができ、その場合、上記
した二種の酸化物粉末の添加目的を阻害しない有効な石
として１〜２０モルパーセントの範囲で適当に選択する
ことが望ましい。
次に添加づるスピネル型複合酸化物（ＭｅＭ。
０、＞及びペロブスカイト型複合酸化物（ＭｅＭＯｊ）
において、ＭｅがＮｉ、Ｍｎ、ｃｏ。
において、ＭｅがＮｉ、Ｍｎ、ｃｏ。
ＦｅＪ：りなる酸化物粉末は感湿特性の抵抗値の制御の
ために使用されるものであり、これらの酸化物中に、Ｌ
１イオンが固溶されると、セラミック半導体を形成し電
子伝導成分を増加させ、その配合比（２０〜８０モルパ
ーセント）によって、所望の抵抗値の感湿膜を得ること
ができる。
ために使用されるものであり、これらの酸化物中に、Ｌ
１イオンが固溶されると、セラミック半導体を形成し電
子伝導成分を増加させ、その配合比（２０〜８０モルパ
ーセント）によって、所望の抵抗値の感湿膜を得ること
ができる。
さらに３価の金属酸化物Ｆｅ、 ＯＪＮ ＣｒＬＯＪ、
Ａｌｚ ０３ 、Ｇａｚ Ｏｔ 、Ｓｂｚ ＯＪ、Ｉ
ｎ ２０３．１−ａｚ ｏ、 、Ｂ ！、０３を添加（
３〜４０ ’Ｅルパーレント）することによって、感湿
膜中に、高抵抗の粒子を介在させ、感湿特性の曲線１１
ｄ３よび安定性を改善する。
Ａｌｚ ０３ 、Ｇａｚ Ｏｔ 、Ｓｂｚ ＯＪ、Ｉ
ｎ ２０３．１−ａｚ ｏ、 、Ｂ ！、０３を添加（
３〜４０ ’Ｅルパーレント）することによって、感湿
膜中に、高抵抗の粒子を介在させ、感湿特性の曲線１１
ｄ３よび安定性を改善する。
次に、感湿抵抗体層を形成するには、上記の混合粉末に
、ビークルたとえは“エチルセルローズやアクリル樹脂
と、ブヂルカルビトールアレテ−１〜ど、テレピネオー
ル等からなるビークルを加え、Ｌ」−ラやボールミル等
で充分に混合することによって適度な粘度を有するペー
スト状とした組成物を焼成′リ−ればよい。
、ビークルたとえは“エチルセルローズやアクリル樹脂
と、ブヂルカルビトールアレテ−１〜ど、テレピネオー
ル等からなるビークルを加え、Ｌ」−ラやボールミル等
で充分に混合することによって適度な粘度を有するペー
スト状とした組成物を焼成′リ−ればよい。
この発明による感湿素子は、広範な相対湿度領域にわた
って高感度で、特に高湿雰囲気での放置に対しＣ非當に
安定した特性を示し、また、有機カスの吸着による経時
変化が少ないため、クリーニングがほどんと不要となり
、そのため、従来のように傍熱型ヒータ等の余分なりリ
ーニング手段を付設する必要がなく、しかも、この素子
は、厚膜技術によって生産できる。したがって、その量
産化と低価格化に適し、工業的利用画伯の高い利点を有
する。
って高感度で、特に高湿雰囲気での放置に対しＣ非當に
安定した特性を示し、また、有機カスの吸着による経時
変化が少ないため、クリーニングがほどんと不要となり
、そのため、従来のように傍熱型ヒータ等の余分なりリ
ーニング手段を付設する必要がなく、しかも、この素子
は、厚膜技術によって生産できる。したがって、その量
産化と低価格化に適し、工業的利用画伯の高い利点を有
する。
［実施例の説明］
次に、この発明の感湿素子の具体的な構造を図面に従っ
て説明する。
て説明する。
第１図は、この発明の感湿素子の一例を示づものであり
１５図中１１はセラミック等からなる絶縁基板、１２お
よび１３はそれぞれ櫛型の形状を有して対向する一対の
・電極であり、この電極１２ど１３にお（）るそれぞれ
リードアラ１へ部１２ｂと１３ｂを除き主要部１２ａと
１３ａにまたがって既述した焼結体よりなる感湿抵抗体
層１４が被覆されている。１５および１６は、電極１３
と電極１３とを各々の外部リード１７および１８に接続
するための電極である。第２図は、第１図の２−２′の
Ｉｌｉ面を示づ゛。
１５図中１１はセラミック等からなる絶縁基板、１２お
よび１３はそれぞれ櫛型の形状を有して対向する一対の
・電極であり、この電極１２ど１３にお（）るそれぞれ
リードアラ１へ部１２ｂと１３ｂを除き主要部１２ａと
１３ａにまたがって既述した焼結体よりなる感湿抵抗体
層１４が被覆されている。１５および１６は、電極１３
と電極１３とを各々の外部リード１７および１８に接続
するための電極である。第２図は、第１図の２−２′の
Ｉｌｉ面を示づ゛。
このような感湿素子は、たとえば次の方法によって製造
される。まず、あらかじめ電４１１５および１６が設け
られた絶縁基板１１を用い、この表面に櫛形の電極１２
および１３をスクリーン印刷によって形成し、焼成炉中
で８５０〜９５０’Ｃ程度にて電極焼成する。ついで、
既述したペース１〜状の組成物を用いて、電極１２と１
３の主要部１２ａと１３ｂとを完全に覆うように均一な
厚みでスクリーン印刷を行って被膜層を形成し、続いＣ
絶縁基板１１と感湿抵抗体層１４との密着性を増すため
に焼成炉中でたとえば９００〜１２０Ｃ）℃の適当な温
度で焼成する。この焼成炉の冷却過程で、感湿抵抗体層
１４は硬化するとともに絶縁基板１１に対する密着性が
良好でしかも適度な細孔分布を有する被膜となる。この
冷却後、外部リード１７および１８を取付（、−Ｊ、続
い−Ｃ特性の安定化のために高温高湿下で負荷エージン
グを行なう。
される。まず、あらかじめ電４１１５および１６が設け
られた絶縁基板１１を用い、この表面に櫛形の電極１２
および１３をスクリーン印刷によって形成し、焼成炉中
で８５０〜９５０’Ｃ程度にて電極焼成する。ついで、
既述したペース１〜状の組成物を用いて、電極１２と１
３の主要部１２ａと１３ｂとを完全に覆うように均一な
厚みでスクリーン印刷を行って被膜層を形成し、続いＣ
絶縁基板１１と感湿抵抗体層１４との密着性を増すため
に焼成炉中でたとえば９００〜１２０Ｃ）℃の適当な温
度で焼成する。この焼成炉の冷却過程で、感湿抵抗体層
１４は硬化するとともに絶縁基板１１に対する密着性が
良好でしかも適度な細孔分布を有する被膜となる。この
冷却後、外部リード１７および１８を取付（、−Ｊ、続
い−Ｃ特性の安定化のために高温高湿下で負荷エージン
グを行なう。
なお、上述した第１図および第２図の構成においては、
一対の電極１２および１３を被覆する状態で感湿抵抗体
層１４を形成した構成について説明しているが、この発
明の感湿素子は、両者の形成；１ｎ序を逆にして感）♀
抵抗体層状に一対の電極を形成したものや、感湿抵抗体
層を電極でザンドイッチ状にした対向電極をも包含する
。
一対の電極１２および１３を被覆する状態で感湿抵抗体
層１４を形成した構成について説明しているが、この発
明の感湿素子は、両者の形成；１ｎ序を逆にして感）♀
抵抗体層状に一対の電極を形成したものや、感湿抵抗体
層を電極でザンドイッチ状にした対向電極をも包含する
。
明する。
下記の表−１に示す配合比でＬｌを複合酸化物Ｌｉ Ｎ
ｂ Ｏ，、？、Ｌｉ Ｔａ１０．の微粉末の一種と、金
属酸化物ｐ、ｂ ｏの微粉末に添加物として、バナジン
酸化合物Ｖ Ｌ ０１を加え、乳鉢にて混合粉砕した後
、９５０〜１２ｏｏ℃空気中の湿度において３〜５時間
仮焼成した。
ｂ Ｏ，、？、Ｌｉ Ｔａ１０．の微粉末の一種と、金
属酸化物ｐ、ｂ ｏの微粉末に添加物として、バナジン
酸化合物Ｖ Ｌ ０１を加え、乳鉢にて混合粉砕した後
、９５０〜１２ｏｏ℃空気中の湿度において３〜５時間
仮焼成した。
上記仮焼成物を微粉砕し、スピネル型複合酸化物として
Ｎｉ Ｃｒ２０＋、Ｆｅ Ｃｒ、０＋、（、ｏ Ｃｒ
ｚ ０４ 、Ｍｎ Ｃｒ ｚ Ｏ＋より３對よれる少な
くとも一種の酸化物粉末と、３価の金属酸化物Ｆｅ２Ｏ
３、ｃｒ２ｏ２、Ｂ１２０．、？、△１□ＯＪ より
選ばれる少なくとも一種の酸化物粉末をボールミル中で
混合しニブルセルＬ１−スどブチシカルビ１−−ルアセ
テ−１−とテレピネオールとからなるビニクル整加え、
めのう製乳鉢にて均一な粘度のペースト状組成物とした
。次に、この組成物を第１図および第２図で示？ｉ構成
においで、電１ｉ１ｉ １２ Ａ’；よひ１３がＲＬＩ
Ｏ電極、電極１５Ｊ＞よび１ＧがＡ（］−Ｐｄ電極であ
るアルミナ製絶縁基板十に膜厚が５０〜１００ ｕｍと
後、９５０ ’Ｃて焼結させ、冷却後に６０ ’Ｃ１９
０％ＲＨにて通電化のエージングを行ない、常法に準じ
て感湿素子とした。
Ｎｉ Ｃｒ２０＋、Ｆｅ Ｃｒ、０＋、（、ｏ Ｃｒ
ｚ ０４ 、Ｍｎ Ｃｒ ｚ Ｏ＋より３對よれる少な
くとも一種の酸化物粉末と、３価の金属酸化物Ｆｅ２Ｏ
３、ｃｒ２ｏ２、Ｂ１２０．、？、△１□ＯＪ より
選ばれる少なくとも一種の酸化物粉末をボールミル中で
混合しニブルセルＬ１−スどブチシカルビ１−−ルアセ
テ−１−とテレピネオールとからなるビニクル整加え、
めのう製乳鉢にて均一な粘度のペースト状組成物とした
。次に、この組成物を第１図および第２図で示？ｉ構成
においで、電１ｉ１ｉ １２ Ａ’；よひ１３がＲＬＩ
Ｏ電極、電極１５Ｊ＞よび１ＧがＡ（］−Ｐｄ電極であ
るアルミナ製絶縁基板十に膜厚が５０〜１００ ｕｍと
後、９５０ ’Ｃて焼結させ、冷却後に６０ ’Ｃ１９
０％ＲＨにて通電化のエージングを行ない、常法に準じ
て感湿素子とした。
上記実施例に−（’＋ｆ、％られた感湿素子について、
電極間の電気抵抗を２５℃において測定雰囲気の相対湿
度を変化させて測定した値を下表−２に示す。
電極間の電気抵抗を２５℃において測定雰囲気の相対湿
度を変化させて測定した値を下表−２に示す。
第３図に、表２に示された試料３についてのシ１
相対１度と抵抗値との関係を線図どして表した。
実線は初！ＩＩＪ狛性、破線は雰囲気試験後の特性を示
す、、なお、第３図には、比較のために、従来の金属酸
化物系の感湿素子の特性をも一点鎖線−Ｃ並記した。
す、、なお、第３図には、比較のために、従来の金属酸
化物系の感湿素子の特性をも一点鎖線−Ｃ並記した。
第３図から明らかなように、上記実施例の素子は、広範
な相９＝ｊ湿１隻領域にわたって、従来のものに比べ、
抵抗値が小さく、かつ直線性（安定性）！すぐれ、特に
、高湿雰囲気Ｃの放置に対して非常に安定した特性を示
Ｊ０ また、上述したどころから明らかなＪ、うに、この素子
は厚膜技術によって容易（こ生産されるものである。
な相９＝ｊ湿１隻領域にわたって、従来のものに比べ、
抵抗値が小さく、かつ直線性（安定性）！すぐれ、特に
、高湿雰囲気Ｃの放置に対して非常に安定した特性を示
Ｊ０ また、上述したどころから明らかなＪ、うに、この素子
は厚膜技術によって容易（こ生産されるものである。
１、ｙｉ ″”Ｆ 乍 Ｉ：１）
ハ しｔＡ／しｏ３／ｆ’＆ｏ／ＶＬＯ！：＝ ６
０／３ど／１Ｂ ： ＬＱＭｂＯＪビトｏ／ｖ、ｏ
ｒ＝＋′ｌ／＋＊／ ｚｃ ＬＡＴａ（Ｌ／Ｉ’ｂＯ
／ｖ−Ｏｒ＝４１７’＋−？／午未 −１ 寿 ＝ λ
０／３ど／１Ｂ ： ＬＱＭｂＯＪビトｏ／ｖ、ｏ
ｒ＝＋′ｌ／＋＊／ ｚｃ ＬＡＴａ（Ｌ／Ｉ’ｂＯ
／ｖ−Ｏｒ＝４１７’＋−？／午未 −１ 寿 ＝ λ
第１図は、この発明の感湿素子の一例を示す平面図、第
２図は第１図の２−２′断面図、第３図は相対湿度と電
気抵抗値の関係を示す特性図である。 萌 １１・・・絶′縁基板、１２．１３・・・対〆する一対
の電極、１４・・・感湿抵抗体層。 特許出願人 立石電機株式会社
２図は第１図の２−２′断面図、第３図は相対湿度と電
気抵抗値の関係を示す特性図である。 萌 １１・・・絶′縁基板、１２．１３・・・対〆する一対
の電極、１４・・・感湿抵抗体層。 特許出願人 立石電機株式会社
Claims (1)
- セラミックなどの絶縁基板上に、一対の電極と、これら
両電極間にわたる感湿抵抗体層が形成された感湿素子に
おいて、感湿抵抗体層がＬｌを含む複合酸化物１ ｉ
ｌ １１１０３、し１丁ａＯＪｌ ｉ 、 −ｒ ｉ／
ＩＯ，、Ｌｉ□ Ｚｒ１０．、Ｌｌ ２Ｍｏ ｏ今、１
ｉ２ＷＯ＋より選ばれる少なくとも一種の酸化物粉末と
、ＡＩ 、１３ａ 、３ｉ 、 Ｃａ 、ｐｂ、Ｃｕ
、 Ｆｅ 、 Ｍｎ 、、３ｒ 、 Ｚｌ）の元素から
なる金属酸化物より選ばれる少なくと−ｂ一種の酸化物
粉末に、バナジン酸化合物粉末を添加した。ｆ−１成物
の仮焼成機番５）末と、スピネル型複合酸化物（Ｍｅ
Ｍ２Ｏ４）およびヘロブスカイ１へ型複合酸化物（Ｍｅ
ＭＯ３）において、Ｍ ｅがＮ１、Ｍｌｌ、ｃｏ、トｅ
、よりなる少なくとも一種の酸化物粉末と、３価の金属
酸化物からｊバばれる（！・なくとも一種の粉末とを添
加物として含有する組成物の焼結体からなることを特徴
とする感湿素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58061278A JPS59186305A (ja) | 1983-04-06 | 1983-04-06 | 感湿素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58061278A JPS59186305A (ja) | 1983-04-06 | 1983-04-06 | 感湿素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59186305A true JPS59186305A (ja) | 1984-10-23 |
| JPH0464162B2 JPH0464162B2 (ja) | 1992-10-14 |
Family
ID=13166579
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58061278A Granted JPS59186305A (ja) | 1983-04-06 | 1983-04-06 | 感湿素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59186305A (ja) |
-
1983
- 1983-04-06 JP JP58061278A patent/JPS59186305A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0464162B2 (ja) | 1992-10-14 |
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