JPS59172281A - ジヨセフソンｌｓｉ - Google Patents

ジヨセフソンｌｓｉ

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Publication number
JPS59172281A
JPS59172281A JP58044431A JP4443183A JPS59172281A JP S59172281 A JPS59172281 A JP S59172281A JP 58044431 A JP58044431 A JP 58044431A JP 4443183 A JP4443183 A JP 4443183A JP S59172281 A JPS59172281 A JP S59172281A
Authority
JP
Japan
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insulating layer
wiring
characteristic impedance
thickness
josephson
Prior art date
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Granted
Application number
JP58044431A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0245346B2 (ja
Inventor
Kunio Yamashita
山下　邦男
Yutaka Harada
豊 原田
Hideaki Nakane
中根　英章
Nobuo Kodera
小寺　信夫
Ushio Kawabe
川辺　潮
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National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Original Assignee
Agency of Industrial Science and Technology
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Publication date
Application filed by Agency of Industrial Science and Technology filed Critical Agency of Industrial Science and Technology
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Publication of JPS59172281A publication Critical patent/JPS59172281A/ja
Publication of JPH0245346B2 publication Critical patent/JPH0245346B2/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はジョセフソンＬＳＩに係り、特に信号用配線の
特性インピーダンスのバラツキを小さくするのに好適な
配線構造に関する。
〔従来技術〕
従来のジョセフソンＬＳＩにおける配線（信号電流を伝
送する伝送線）にはベース電極層、あるいはコントロー
ル線を用いた１層配線とペース電極層、コントロール線
を組み合わせた２層配線がある。そしてこの配線の特性
インピーダンスＺ０は（１）式で表わされる。
ここで、Ｌは配線のインダクタンス、Ｃは容量であり、
それぞれ（２）、（３）式で求まる。
ここで、Ｗは配線の幅、λ、はグランドプレーンの超電
導侵入深さ、λ、は配線の超電導侵入深さ％　　”１　
ｓ　Ｆはそれぞれグランドブレーン、配線の厚さ％　　
”！１　ｔ　　ｔｅｘ２は絶縁層の厚さ、ε１゜ε、は
絶縁層の誘電率、μ。は透磁率であり、ｋは定数（一般
には１．３）である。
したがって、配線の幅あるいは厚さが同じであっても、
その下にある絶縁層の厚みが異なると配線の特性インピ
ーダンスＺ０は変化する。
従来のＬＳＩにおいては、第１図に示すように、デバイ
ス部と配線領域とで絶縁層の厚さが極端に異なっていた
。すなわち、第１図において、ジョセフソン干渉計１０
０にベース電極層から成る第１配線１０１から信号を入
力する場合、接続しない第１層配線１０２と短絡しない
ようにコントロール線１０３を第２層配線として用いジ
ョセフソン干渉計１００に入力信号を伝送する。
ここで、配線１０３の特性インピーダンスに寄与する絶
縁層の厚みを考えてみる。干渉計１００においては、実
質的にはペース電極１０４あるいはカウンタ電極１０５
と配線１０３の間の絶縁層１０６である。配線領域にお
いてはグランドプレーン１０７の陽極酸化膜１０８と絶
縁層１０９である。具体的には絶縁層１０６が約６００
ＯＡに対して、１０８と１０９を合わせた厚さは約３０
００人でおる。
したがって、従来のＬＳＩではデバイス部と配線領域の
絶縁層の厚さが約１７２異なるため、その特性インピー
ダンスＺｏ　も変化し、バラツキが本発明の目的はジョ
セフソンＬＳＩにおける配線の特性インピーダンスＺ。
のバラツキが少ない配線構造を提供することにある。
〔発明の概要〕
本発明はコントロール線を配線として用いる場合、コン
トロール線層とデバイスとを絶縁するための絶縁層が厚
いことに着目し、配線を接続する部分以外には常に上記
絶縁層を設けることによシ、デバイス部と配線領域との
絶縁層の厚さが同じになるようにしたところに特徴があ
る。
〔発明の実施例〕
以下、本発明の一実施例を第２図によシ説明すや・ ジョセフソン干渉計１００にベース電極層から成る第１
層配線１０１から信号を伝送する回路において、第１層
配線１０１から干渉計１００の入力端までの配線領域に
おいて配線１０３の下に絶縁層１１０を設けてジョセフ
ソンＬＳＩを構成した。
干渉計１００上での配線の特性インピーダンス両者はほ
ぼ同じ膜厚にできる。
例えば絶縁層１１０は接合を作製するために用いる絶縁
層１１１で構成し、その膜厚を調整して絶縁層１０６と
陽極酸化膜１０８、絶縁層１０９゜１１０との膜厚をそ
ろえる。あるいは、絶縁層１０６が、１０８，１０９と
比べて大きくすれば絶縁層１１０を絶縁層１０６で構成
しても特性インピーダンスＺ０の差は非常に小さくなる
。
したがって、本実施例によれば、干渉計上の特性インピ
ーダンスＺ０と配線領域でのＺｏはほとんど同一となり
、バラツキを少なくする効果がある。さらに、ｚｏが同
一であるため信号電流の反射がほとんどなく、ＬＳＩの
動作が安定する。
〔発明の効果〕
以上の説明で明らかな通シ本発明によれば、配線の特性
インピーダンスＺ０の場所的カバラツキを少なくでき、
ＬＳＩの勧化を安定にする効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来の配線構造を示す断面図、第２図は本発明
の実施例の配線構造を示す断面図である。 特許出願人 工業技術院長　石　坂　誠　−

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １゜　ジョセフソン素子におけるコントロール線層を配
    線として用いたジョセフソンＬＳＩにおいて、上記、配
    線と他の超電導層あるいは抵抗層とを絶縁するための絶
    縁層を、上記配線の直下でかつ接続領域以外のすべての
    場所に設けることを特徴とするジョセフソンＬＳＩ。
JP58044431A 1983-03-18 1983-03-18 ジヨセフソンｌｓｉ Granted JPS59172281A (ja)

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JP58044431A JPS59172281A (ja) 1983-03-18 1983-03-18 ジヨセフソンｌｓｉ

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JP58044431A JPS59172281A (ja) 1983-03-18 1983-03-18 ジヨセフソンｌｓｉ

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JPS59172281A true JPS59172281A (ja) 1984-09-28
JPH0245346B2 JPH0245346B2 (ja) 1990-10-09

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ID=12691298

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61174781A (ja) * 1985-01-30 1986-08-06 Agency Of Ind Science & Technol ジヨセフソン集積回路

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57177581A (en) * 1981-04-09 1982-11-01 Sperry Rand Corp Josephoson junction integrated circuit and method of producing same

Patent Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57177581A (en) * 1981-04-09 1982-11-01 Sperry Rand Corp Josephoson junction integrated circuit and method of producing same

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61174781A (ja) * 1985-01-30 1986-08-06 Agency Of Ind Science & Technol ジヨセフソン集積回路
JPH0548635B2 (ja) * 1985-01-30 1993-07-22 Kogyo Gijutsuin

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Publication number Publication date
JPH0245346B2 (ja) 1990-10-09

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