JPS59169846A - 透明導電性フイルム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、プラスチックフィルムの表面に、シランカッ
プリング剤をコーティングし、硬化処理を行った後に、
真空蒸着又はスパッタリング法によって、酸化インジュ
ウムをコートしり透明導電性フィルムに関する。

透明導電性プラスチックフィルムの用途としては、電子
写真記録用、滞電防止カバー用、Ｆ！Ｌ。

液晶等のディスプレイ用、透明発熱体用等への応用が期
待されているが、プラスチックフィルム上に形成された
透明導電膜は、抵抗、透過率、安定性の点で、必ずしも
、カラス基板上に形成されたものに比べ、十分な性能を
持つに至っていないために、実用的な応用が限られてい
る。

特に、ディスプレイ用途には、表面抵抗が〜１０２Ω／
ｄ１透過率が８０チ以上で、且安定性の良い導電膜が必
要とされている。従来からプラスチックフィルムに密着
性が良く、安定した透明導電膜を形成する方法として、
フィルム表面を予め火炎処理、コロナ放ち１処理、酸又
はアルカリ処理などを行う事が知られている。しかしな
がら、この様な方法によって得られたフィルム表面に、
酸化インジコウムの示明専知１膜を、蒸着又はスパッタ
ー等により形成した場合、同−付性でガラス基板上に形
成さ扛た場合と異り、抵抗が増大する欠点の他に、耐ア
ルカリ性か乏しく、容易に剥離するという欠点があった
。

透明導電プラスチックフィルムをナイスプレイの用途に
用いるためには、導筒、斡を所定の形状にパターニング
化する必要があり、倫糾ノ・ターンの場合には、一般に
フメトエツチンクが廟利であり、レジストの剥離液とし
てアルカリが必要な場合もあり、耐アルカリ性の向上は
重装である。

本発明は、かかる欠点を解決するために、池々検討した
結果、フィルム表面を７ランカツプリング剤特には、エ
ポキシ基を有するシランカップリング剤でコートして、
硬化処理を行なった後、酸化インジュウムを、蒸着又は
スパッターによりコートすることによって、抵抗、透溝
率、劇アルカリ性のある安定した透明導電性プラスチッ
クフィルムを提供する事にある。

第１図に、本発明によるフィルムの粉成例を示す。（１
）はプラスチックフィルム、（２）は７ランカツプリン
グ剤で処理された下地層、（８）は酸化インジュウムで
ある。この概成図において、下地層はフィルムの片側と
なっているが両方であっても良い。

以下に本発明の詳細な説明するための実施例を示す。

実施例 延伸ポリエステル、ポリエーテルザルフオン、ポリサル
フメンの３釉のフィルムを、イソプロピルアルコールに
浸漬し、超音波で洗浄後、乾燥して基板とした。各種シ
ランカップリング剤は、】ａＳＳ度のインプロピルアル
コール溶液として、基板にスピンナー、３５００ｒｐｍ
、１５秒の条件で塗布後、１００℃、３０分の硬化処理
を行った。その後、イオングレーティンク法及びスパッ
ター法によって、約３００Ｘの厚さの酸化インジュウム
（酸化スズを５チ含む）をコーティングして、透明電導
性フィルムとした。

透明電導膜の耐アルカリ性評価方法として、ＰＨ〜１１
の苛性ソーダ溶液９５℃に浸漬して、透明電導膜が剥離
又は著るしい劣化を起すまでの時間を目視によって判定
した。可視光透過率は朝日分光（株）製の視感度透過率
測定器Ｍｏｄｅ１−３０４型にて測定した。

各県件下での評価を（＆−１）に示した。

（５） 吹　　−１ 以上の実施例で示した如く、エポキシ官能基を有するシ
ランカップリング剤で、フィルムの下地処理を行うと、
他の下地処理に比べて、耐アルカリ性が向上している事
が分る。又更に、透明電導膜の光透過率は、８４チとか
なり良好である。導貨膜の表面抵抗はフィルムにもよる
が、下地処理する事によって膜厚３００Ｘで５００Ω／
口と、低抵抗が得られている。

以上の様に本発明によれば、一般式Ｒ，Ｓオ（ＯＲ２）
３からなるシランカップリング剤で、Ｆ、にエポキシ官
能基を有するものが、耐アルカリ性、透明性及び抵抗的
に有利カフイルム上の処理剤になり、透明電導膜の品質
、信頓件の向上に有効であり、価値の高いものとする事
ができる。ここでいうエポキシ官能基（Ｒ８）とは、−
（！Ｈ−ＯＨ２又は　”Ｏ−を、分子鎖中に有するもの
である。

又、Ｒ１！はアルキル基特には、メチル、エチル基を示
す。

なお、実施例において、シランカップリング剤によるコ
ートをスプンナーによって行ったが、スプレー、ティッ
ピング、フローコーチインク゛等によってもその効果は
変らない。又更に、コーテイング液のフィルムへのぬれ
を向上するために、活面活性剤、他の溶剤を添加して行
っても良い。蒸着する酸化インジュウムは、１００チ酸
化インジユウムでもよいが、実施例の如く導を性を向上
するだめのキャリヤー発生源として酸化スズを３〜１０
％の範囲で添加することが好ましい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のフィルムの断面図 １・・・フィルム基板 ２・・・シラン処理層 ３・・・透明を導屑 ２３

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）　　プラスチック・フィルムの表面に必要に応じ
   て酸化スズを混入した、酸化インジュウムをコーティン
   グする前に、予め、フィルムの表面を一般式Ｒ１ｓｔ　
   （ｏＲｚ）　ｓなるシランカップリング剤で処理した層
   を設けた事を％徴とした透明導電性フィルム。 （２）　　Ｒ，がアルキル基であり、Ｒ５がエポキシ官
   能基を有するシランカップリング剤である事を特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載の透明導電性フィルム。 （８）　　プラスチックフィルムとして、ポリエステル
   、ポリサルフオン、ポリエーテルサルフオンのいずれか
   一種から選ばれた事を特徴とする特許請求の範囲第１項
   又は第２項記載の透明導電、性フィルム。