JPS589123A - 液晶パネルの電極構造 - Google Patents
液晶パネルの電極構造Info
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- JPS589123A JPS589123A JP10800381A JP10800381A JPS589123A JP S589123 A JPS589123 A JP S589123A JP 10800381 A JP10800381 A JP 10800381A JP 10800381 A JP10800381 A JP 10800381A JP S589123 A JPS589123 A JP S589123A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- transparent conductive
- specific resistance
- conductive film
- liquid crystal
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1343—Electrodes
- G02F1/13439—Electrodes characterised by their electrical, optical, physical properties; materials therefor; method of making
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
液晶パネル用透明導電pとして酸化スズ、酸化ッ6.酸
化ア7f、’+7等。酸イ、56本透明導電震、酸化イ
ンジウム、酸化インジウム−酸化スズ等の酸化インジウ
ム系透明導電膜が用いられている。
化ア7f、’+7等。酸イ、56本透明導電震、酸化イ
ンジウム、酸化インジウム−酸化スズ等の酸化インジウ
ム系透明導電膜が用いられている。
前者は安価であるが比抵抗が大きい、又後者は比抵抗が
小さい電気化学的に不安定(電極の溶出、18のマイグ
レーシ盲ン)であるといった欠点を有している。・最近
の液晶パネルの応用鉱大に伴い0即車用、計測器用等高
温多湿下での使用が多くな9又多機能化によりフ讐イン
パターン化が進入る背景にもとづき、比抵抗が、小さく
電気化学的安定性の良い電極を得ることを口約としたも
のである。
小さい電気化学的に不安定(電極の溶出、18のマイグ
レーシ盲ン)であるといった欠点を有している。・最近
の液晶パネルの応用鉱大に伴い0即車用、計測器用等高
温多湿下での使用が多くな9又多機能化によりフ讐イン
パターン化が進入る背景にもとづき、比抵抗が、小さく
電気化学的安定性の良い電極を得ることを口約としたも
のである。
腑1図は本発明の液晶パネルの電極断面図を示す。1は
透明基板でありガラス、プラスチック、 −セラミック
等から成る。2は第1層を成す酸化スズ系透明導電膜で
あり、CjVD、1スパツタリング、蒸着、スプレー法
、溶液浸漬法等により限られる。
透明基板でありガラス、プラスチック、 −セラミック
等から成る。2は第1層を成す酸化スズ系透明導電膜で
あり、CjVD、1スパツタリング、蒸着、スプレー法
、溶液浸漬法等により限られる。
通常50z〜50Ω1であり、酸化スズ又は1参以下の
五酸化アンチモンをドープした形で用いられる”。〜1
0Ω71mFIFの比抵抗を示す、3はIIE2層を成
す酸化インジウム本透明導電膜であり前記と同様の方法
で形成される。50A〜soo Xの膵厚寸、プした形
で用いられる。〜104Ωc11程度の比抵抗を示す。
五酸化アンチモンをドープした形で用いられる”。〜1
0Ω71mFIFの比抵抗を示す、3はIIE2層を成
す酸化インジウム本透明導電膜であり前記と同様の方法
で形成される。50A〜soo Xの膵厚寸、プした形
で用いられる。〜104Ωc11程度の比抵抗を示す。
111111と第2層、すなわち2と3のトー 2−
タル膜厚は501〜5001 が望ましくさらに、望オ
しくけ200X〜5001である。g厚の比は要求仕様
によって任意に費えられるが1:1位を用いふと良い、
4けシール材、5は液晶層である。
しくけ200X〜5001である。g厚の比は要求仕様
によって任意に費えられるが1:1位を用いふと良い、
4けシール材、5は液晶層である。
以下実施例及び比較例によや本発明を説明すみ。
寮側1 ホウケイ酸系ガラスpvD法で酸化鷹ズ透、明
導電膜を2001全面形成し、次にスパッタリング法で
酸化インジウムに5モルb%酸化スズをドープしたいわ
ゆる工Toを1501形成した・この二層構造の透明導
電・膜の比抵抗は2,5X10″′lΩ信であった0次
にリソグラフィーでレジストパターンを形成し、Zr
−11Gt系エッチーング法で電極を所定の形状にパタ
ーニングした0次に水平配向剤を塗布しラビングして1
11図のとと<ym’rmil液晶パネルを形成した。
導電膜を2001全面形成し、次にスパッタリング法で
酸化インジウムに5モルb%酸化スズをドープしたいわ
ゆる工Toを1501形成した・この二層構造の透明導
電・膜の比抵抗は2,5X10″′lΩ信であった0次
にリソグラフィーでレジストパターンを形成し、Zr
−11Gt系エッチーング法で電極を所定の形状にパタ
ーニングした0次に水平配向剤を塗布しラビングして1
11図のとと<ym’rmil液晶パネルを形成した。
このような液晶パネルを80’C9011の窩部多湿雰
囲気で6vの交流通電下長期信頼性を確認したところ5
00H後にリード部のITOが黒く変色したものの実用
上問題なからた。
囲気で6vの交流通電下長期信頼性を確認したところ5
00H後にリード部のITOが黒く変色したものの実用
上問題なからた。
実施例1において工T O3so Xの1層透明電極
3− @KXτOの変色が入られ完全K11fill状態にな
っていた。 一 実施例2 実施例IKThいて透明導@@2.Sをバイ′ロゾルO
VDシステムで連続ベルト炉で形成した。膜厚はそれぞ
れ1501と1001であった。比抵抗&2X10″I
Ω傷であった。信頼性試験では実施例1と同様であった
。
3− @KXτOの変色が入られ完全K11fill状態にな
っていた。 一 実施例2 実施例IKThいて透明導@@2.Sをバイ′ロゾルO
VDシステムで連続ベルト炉で形成した。膜厚はそれぞ
れ1501と1001であった。比抵抗&2X10″I
Ω傷であった。信頼性試験では実施例1と同様であった
。
実施例3
実施例1で液晶パネル形成後、パネルを1:1塩酸6[
1”C中に5分間入れ3なる工TO電極のリード部だけ
エツチングして除いた。同様の信頼性試験下で500H
r後、リード部の変色等全≦見られなかった。
1”C中に5分間入れ3なる工TO電極のリード部だけ
エツチングして除いた。同様の信頼性試験下で500H
r後、リード部の変色等全≦見られなかった。
以上本発明を実施例によって説明したが比較例との対比
で入ても本考案の効果は大である。本考案によって得ら
れた液晶パネルは、車載用、計測器用、厚真写し込み用
等々特にシビアーな環境下で用いられる。、なシ、第1
図の各′lI極2.3はと 4− ヘらが下層となってもよく、又3層以上設けてもよいも
のである。
で入ても本考案の効果は大である。本考案によって得ら
れた液晶パネルは、車載用、計測器用、厚真写し込み用
等々特にシビアーな環境下で用いられる。、なシ、第1
図の各′lI極2.3はと 4− ヘらが下層となってもよく、又3層以上設けてもよいも
のである。
第1図・・本発明の液晶)(ネルの電極構造を示す断面
図。 ・ 以 上 出願人 株式会社 諏訪精工舎 代理人 弁理士 最上 務 オJr5!i 、3 L
図。 ・ 以 上 出願人 株式会社 諏訪精工舎 代理人 弁理士 最上 務 オJr5!i 、3 L
Claims (1)
- 液晶バネkKシいて少なくとも一方が透明な基板上に形
成された透明導電膜が、2つの成分の異なる透明導電膜
からaす、#1層が酸化スズを主 −成分としたもの、
第2層が酸化インジウムを主成分として成ることを特徴
とする液晶パネルの電極構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10800381A JPS589123A (ja) | 1981-07-09 | 1981-07-09 | 液晶パネルの電極構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10800381A JPS589123A (ja) | 1981-07-09 | 1981-07-09 | 液晶パネルの電極構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS589123A true JPS589123A (ja) | 1983-01-19 |
Family
ID=14473514
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10800381A Pending JPS589123A (ja) | 1981-07-09 | 1981-07-09 | 液晶パネルの電極構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS589123A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61114843A (ja) * | 1984-11-09 | 1986-06-02 | コニカ株式会社 | 導電性積層体 |
US4835061A (en) * | 1984-11-09 | 1989-05-30 | Konishiroku Photo Industry Co., Ltd. | Conductive laminate |
US5830252A (en) * | 1994-10-04 | 1998-11-03 | Ppg Industries, Inc. | Alkali metal diffusion barrier layer |
US6352755B1 (en) | 1994-10-04 | 2002-03-05 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Alkali metal diffusion barrier layer |
-
1981
- 1981-07-09 JP JP10800381A patent/JPS589123A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61114843A (ja) * | 1984-11-09 | 1986-06-02 | コニカ株式会社 | 導電性積層体 |
US4835061A (en) * | 1984-11-09 | 1989-05-30 | Konishiroku Photo Industry Co., Ltd. | Conductive laminate |
JPH0218232B2 (ja) * | 1984-11-09 | 1990-04-24 | Konishiroku Photo Ind | |
US5830252A (en) * | 1994-10-04 | 1998-11-03 | Ppg Industries, Inc. | Alkali metal diffusion barrier layer |
US6352755B1 (en) | 1994-10-04 | 2002-03-05 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Alkali metal diffusion barrier layer |
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