JPS5923405B2 - 透明導電膜のパタ−ニング方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は透明導電膜のパターニング方法に関するもので
ある。

本発明の目的は光学的及び物性的に均一な透明導電膜構
造を基板上に施することにある。

従来から基板上に形成された透明導電膜はエッチングに
よつてパターニングされて用いられていた。

そのため基板と物理的段差が生じ液晶表示に用いた時配
向不良の原因となつていた。又透明電極は一般に反射率
が基板材料より高いため特に全反射方向でパターンが確
認され液晶表示、ＥＬ表示、ＥＰＩＤ表示等に不都合点
となつていた。本発明はかかる欠点を解決したものであ
り、基板上に透明導電膜足る均一な材料がありながらそ
の電気的特性が極度に（導電性と非導電性）異なつた部
分がある、つまり電気的にパターニングされた透明導電
膜が存在するといつた新規な技術である。第１図は本発
明の透明導電膜の構造であり１は基板でガラス、セラミ
ック、金属、高分子フィルム等から成る、２及び３は透
明導電膜足る材料であり、酸化スズ、酸化スズ・酸化ア
ンチモン・酸化インジウム・酸化インジウム・酸化スズ
等から成り、２は導通部、３は非導通部である。２及び
３は電気的に全く異なるが、光学的、表面物性的にはほ
とんど同等である。

本発明の透明導電膜構造は次のようにして製造される。
基板１にＣＶＤ、スパッタリング、スプレー、真空蒸着
等で透明導電膜を全面に形成した後、２なる部分をオー
バーコートする形にレジスト４で被覆し、酸化性雰囲気
（酸素を含んだ雰囲気、酸素プラズマ、アーク、コロナ
放電下、陽極酸化等）で処理すると、２なる部分はレジ
スト４により酸フ化が防止されるから導通性が保持され
、３なるオーバーコートの存在しない部分は非導通とな
る。

多分３なる部分は透明導電膜材料に酸素が供給されｎ型
半導性がなくなり真性半導体となつたものと思われる。
このようにすれば基板上に任意の電！５極がパタニング
が出来るわけである。セグメント表示、ドットマトリッ
クス表示等かなり複雑なパターニングも自由にできる。
例えば、加熱前において、透明導電膜がｓｎｏ２−Ｘ、
Ｉｎ２ｏ３−χであるが、加熱によＶ３の部分はｓｎｏ
２、Ｉｎ２ｏ３等■０真性半導体となつて絶縁体となる
。酸化スズ透明 酸化インジ 導電膜 龜゛Ｉ導 導電部比 ２．５×１０３Ω肩 １．５×１０４Ω層抵抗 非導電部 １Ｅｋ１×１０８Ω溝以上 １×１０８Ω砺以上本発明
の構造をもつた透明電極構造は液晶表示ＥＬ表示、ＥＣ
表示、ＥＰＩＤ表示、ＰＬＺＴ表示等のデイスプレイと
して時計、テレビ、電卓、グラフイツクデイスプレイ等
に応用される。

その他、光学的測定セル、ヒーター コンデンサー用電
極、ＩＣ電極等に用いられる。以下実施例に従つて本発
明を説明する。

実施例 １ ガラス基板上全面にＣＶＤ法によつてＳｎｃｌ４から透
明導電膜を形成した。

この基板をＦＥＴＮ方式液晶表示用電極として必要セグ
メント形状にフオトレジストをコーテイングした。その
後５５０℃の空気雰囲気中で１時間焼成した。その結果
レジストをオーバーコートした部分は比抵抗の上昇は約
１０％だつたのに対し露出された部分は完全に非導通と
なつた。このような電気的パターニングされた基板に水
平配向処理を行い液晶パネルを組み立て、加速エージン
グを行なつたところ、従来の段差のある透明電極基板を
用いたとき透明電極と基板の境界に配向不良が発生した
のに比し非常に安定した配向が得られた。又反射板を用
い腕時計用液晶表示に用いたとき従来品はある角度によ
つて透明電極が見え外観的に悪印象を与えたのに比し本
発明品は全く均一で透明導電膜は確認できなかつた。こ
のように電気的にはパターニングされてはいるが表面物
性的、光学的な均一基板は従来にない効果をあげた。

【図面の簡単な説明】

第１図・・・本発明の透明導電膜の構造。 １・・・基板、２・・・導通部、３・・・非導通部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 基板に形成した透明導電膜上に、電極として必要な
   形状を有してレジストをコーティングし、酸化性雰囲気
   中で加熱することにより、前記レジストをコーティング
   した部分が導電性となり、コーティングしなかつた部分
   が非導電性となる様に構成したことを特徴とする透明導
   電膜のパターニング方法。