JPH03167522A - 透明パネルヒーターを有する液晶素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、液晶表示素子に関し、特に、透明パネルヒー
ターを有する液晶表示素子に関するものである。

［従来の技術］ 液晶表示素子では、液晶の性質上、環境温度が液晶の応
答速度、駆動電圧等に与える影響が大きく巾広い温度領
域において安定な表示を行なうことは、困難である。特
に、強誘電性液晶を使用した液晶表示素子の場合、温度
の影響は通常の液晶表示素子よりさらに大きく素子の品
質保証上大きな問題となっている。

この問題を解決するため、液晶セルに透明ヒーターを取
付け、外部温度に関係なく、液晶セルの塩度を一定に保
つ方法が試みられているが、従来の透明ヒーターとして
は表示電極と同じＩＴＯ（インジウムーチンーオキサイ
ド）が一般に用いられていた。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、前記従来の液晶構造体では、表示電極と
発熱抵抗膜が同材質なので、表示電極パターン形成のエ
ッチング工程において、発熱抵抗膜がダメージを受ける
．これを防止するため、発熱抵抗膜上に保護膜を成膜し
て、表示電極パターンを形成するか、或は、表示電極パ
ターン形成後に発熱抵抗膜を成膜するという工程が従来
行なわれていた。しかしながら、前者は工程数が増え、
後者は、発熱抵抗膜成膜時に、表示電極パターン上に、
キズ、汚れ等が発生する危険が高く、特に表示電極の表
面状態が液晶の配向性に大きく影響する強誘電性液晶セ
ルにおいては、歩留りを落とす大きな問題になっていた
。

本発明は、前記従来技術の問題点を解決し、透明ヒータ
ーを有する液晶表示素子を簡易に低コストで、且つ歩留
り良く形成できる液晶構造体の提供を目的とする。

［課題を解決するための手段及び作用］本発明は、Ｉｎ
含有量に応じて透明電極の耐酸性腐食性が変化すること
の知見に基いたもので、本発明によれば、液晶表示素子
の表示用透明電極として用いる表示用透明導電膜と発熱
用抵抗膜として用いる透明導電膜の一方をＩＴＯ、他方
をＳｎＯ２　（酸化第二スズ）で構成することにより、
ＳｎＯ２の一般的な性質である酸性のＩＴＯのエッチン
グ液に腐食されず、比較的安定であることを利用し、保
護膜作成という工程無しで、透明ヒーターを有する液晶
表示素子を歩留り良く製造することが可能となる。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する。

第Ｉ図は、本発明における透明パネルヒーターを有する
液晶表示素子の基板の一例の平面図であり、第２図は、
第ｌ図のｘ−ｘ’断面図、第３図は、第１図の反対側か
ら見た平面図である。

第１図、第２図及び第３図において、透明基板１の一方
の面に液晶表示素子の画素電極となる表示用透明電極２
が形威されており、他方の面に、透明ヒーターとしての
機能を有する発熱用透明導電膜３と、該発熱用透明導電
膜３より充分に低抵抗な電圧印加用電極４が接触して形
成されている。

ここで、表示用透明電極２及び発熱用透明導電膜３の材
質は、どちらか一方が、ＩＴＯであり、他方がＳｎＯ．
であることが、本実施例の特徴である。特に本発明の好
ましい具体例では、表示用透明電極２はＩｎ（インジウ
ム）とＳｎの合金酸化物で形成され、この合金酸化物中
にＳｎが０〜４０ｗｔ％、好ましくは２〜１　５ｗｔ％
の割合で含有される。一方、発熱用透明導電膜３は、Ｉ
ｎとＳｎの合金酸化物で形威され、この合金酸化物中に
Ｉｎか０〜４０ｗｔ％、好ましくは２〜１５ｗｔ％の割
合で含有される。特に、好ましい具体例では、表示用透
明電極２がＳｎを５〜１　０ｗｔ％の割合で含有したＩ
　ｎ　／　Ｓ　ｎ合金酸化物で作成され、同時に発熱用
導電膜３がＩｎを５ｗｔ％以下、特にＯｗｔ％としたＳ
ｎＯ２で作成されるのがよい。

３００ｘ３００ｘｔｌ．Ｏｍｍのガラス基板の方の面に
ＣＶＤ法により、ＳｎＯ２膜１　０００人を成膜した後
、他方の面に、スパッタリング７去により、ＩＴＯ膜２
０００人を或膜した。

その後、該ＩＴＯＪ上に、ボジ型フォトレジスト膜を塗
布し、露光一現像一エッチングーレジスト剥離という一
般的なフォトリソグラフィー工程によって線巾３００４
ｍ，ピッチ３３０μｍの表示電極パターンを形成した。

この場合表面のＳｎＯ２膜に変化はなかった。

さらに、該両面に透明導電膜を形成したガラス基板を用
いて、強誘電性液晶を封入し液晶表示セルを作成した後
ペースト状のＡｇを巾５ｍｍ，厚さ０．１ｍｍで前記Ｓ
ｎＯ２膜と接して印刷し、電圧印加電極を形成した。

第４図は、本実施例における液晶セルの断面図であり、
１はガラス基板、２はパターンを形成したＩＴＯから成
る表示電極、３はＳｎＯ２から成る発熱導電膜、４はＡ
ｇから成る電圧印加電極、５は、配向膜、６は上下基板
を接着させるシール材、７は液晶層の厚みを保持するス
ペーサー、８は強誘電性液晶から成る液晶層である。

該強誘電性液晶セルの該ＳｎＯ２から成る透明ヒーター
に、ＡＣ　　５０Ｈｚ３０Ｖを印加し、パネルの温度を
４０±５℃に保ち、液晶パネルを駆動したところ、良好
な表示が得られた．［発明の効果］ 以上、説明したように、透明パネルヒーターを有する７
夜晶表示素子の表示用透明電極と発熱用透明導電膜の一
方をＩＴＯ、他方をＳｎＯ２で構成することにより、製
造工程の短縮、歩留りの向上、さらには、コストダウン
を可能にする効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明における透明パネルヒーターを有する
液晶表示素子の基板の一例の平面図、第２図は、第１図
のｘ−ｘ’断面図、 第３図は、第１図の反対側から見た平面図、第４図は、
本発明における透明パネルヒーターを有する液晶表示素
子の一例の断面図である。 １．基板、２：表示透明電極、 ３・発熱用透明導電膜、４：電圧印加電極、５；配向膜
、６：シール材、７：スペーサ−８＝液晶。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）透明導電膜を形成した２枚の透明基板間に液晶を
   封入し、少なくとも一方の前記透明基板はその片面に表
   示用透明導電膜を有し他方の面に発熱用透明導電膜を有
   し、前記表示用透明導電膜および発熱用透明導電膜は相
   互に異なる材料からなることを特徴とする透明パネルヒ
   ーターを有する液晶素子。
2. （２）前記異なる材料の透明導電膜は、一方の透明導電
   膜形成工程において他方の透明導電膜が安定した性質の
   材料からなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
   載の透明パネルヒーターを有する液晶素子。
3. （３）前記一方の透明導電膜形成工程はパターン形成用
   エッチング工程を含み、他方の透明導電膜は該エッチン
   グ工程のエッチング液に腐食されない材料からなること
   を特徴とする特許請求の範囲第２項記載の透明パネルヒ
   ーターを有する液晶素子。
4. （４）前記一方の透明導電膜はＩＴＯからなり、他方の
   透明導電膜はＳｎＯ＿２からなることを特徴とする特許
   請求の範囲第３項記載の透明パネルヒーターを有する液
   晶素子。
5. （５）前記液晶は、強誘電性液晶からなることを特徴と
   する特許請求の範囲第１項記載の透明パネルヒーターを
   有する液晶素子。