JPS59169129A - 高融点金属あるいは高融点金属シリサイドの成膜方法 - Google Patents

高融点金属あるいは高融点金属シリサイドの成膜方法

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JPS59169129A
JPS59169129A JP58044883A JP4488383A JPS59169129A JP S59169129 A JPS59169129 A JP S59169129A JP 58044883 A JP58044883 A JP 58044883A JP 4488383 A JP4488383 A JP 4488383A JP S59169129 A JPS59169129 A JP S59169129A
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point metal
high melting
compound
gas
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Yoshimi Shiotani
喜美 塩谷
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Fujitsu Ltd
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