JPS59159565A - 磁気検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、磁気抵抗素トを用いたイ］θ気検出装置に関
するものである。

磁気抵抗素づｒを用いたイ１好気検出装置か知られてい
る。この磁気検出装置は、例えば、回転体の停止制御や
回転体の速度検出を行なう場合に用いらＪｚる。第１図
はこのような回転体の停止：ｌｉ制御等を行なう磁気検
出装置の］例を示している。

この例の検出装置では、磁気抵抗素子を・具１＋ｉｆｉ
　Ｌだ１ｉａＬ転検出器２が用いられるようになってい
て、被検知体である円盤状の７リクエー７ヨンジエネレ
ータ１を回転きせることにより、このノリクエーション
／、−ネレータ１の、交互に配列きれたＮ極とＳ極とが
、磁気抵抗素子にｈえる磁界の変化を検出して連続し／
ζパルスを得た上、この・々ルスをカウントシて回転体
を所要の位置に停止させている。なお、この回転体は例
えはノリクエーンヨンジエネレ〜り１の１１！ｌＩｊ上
に同軸的に設けられている。

さて、このような磁気検出装置において、従来は、磁気
抵抗素子と、この素子からの信号を処理するだめの回路
とを電気的に接続する場合、磁気抵抗素子からり一ト線
を引き出してプリント基板上の回路に接続する方式が採
用きれていた。

しかし乍ら、この従来例では、小信号線を比較的長く引
き回すために、磁気抵抗素子の出力インピーダンスか高
くなり、外部ノイズを拾いやすい欠点があると共に、実
装面積や実装体積上、小型化や軒数化ができない欠点が
あった。

本発明は、このような従来欠点を）ψｒ消した磁気検出
装置を提供することを目的とする。

以下、第２図以降の各図をもって本発明を説明する。

・尼゛２トノＣ１＋」ニー＜＼会明ｌ実ＭＵ　ｉ々ｌｊ
ハ（１剋気検出装置に係るｆｌｉｌ、ｌ　６ｖｊ、１回
路（イ）１１仝りを示し−てい−（−１この回路中の磁
気ｉ：１．ｊ；　ＩＩ′し素−１：　ｒ；１．、Ｍｌ’
（］、、ΔノｉＲ：（、Δ／ＩＲ２，ＭＲｌｌの順序で
回転線ｊ、１．．ｆ　ｉシン１；２（第１図墨１％ｉ　
）に装置Ｉｔｆｆｉされ−こいる４、なお、５−（１）
回１（す、険出器゛、已は後司埋Ｖ７ξ、よ）（′（基
板状のもので構成、ＮＪＬ　；１１ｊ　）（４−９〜・
−Ｃいる。

とこて、第１［／１にシ」・オー７リクエー／−＋　、
／　７／［不し・−り１か回転すると、第２１ソ１にお
いて、１１が′〉丈４１（わ′ｌ素ｊ’　ＩｖｌＲＩ　
、　ＭＲｌｌの中点’ｉｔｌ、圧ａ５に関し、Ｖ比較器
Ａ１には１１−弦波の電圧が人７Ｊし、−−−一−ツバ
　ｌ・リミング抵わ”ｉ：　Ｒ，３，ｉｔ、＋の中点重
用−（・に関し、分用され／こ電り１１１′市）トかノ
、い：ｉ、Ｉ屯圧とし−，−ｒ　１１．１殴器Ａ、に入
力する６゜２１　Ｊ’Ｌ　Ｑ・′ｌ利し２、比較器Ａ１
の出力Ｓ１からは、彼形整ｙｈ′、−ｒ〜？−Ｌだ矩形
（１（へ状のイ１）シじが出力し７、この侶−弓をカラ
／）、することに上り、回転体の停山制御等が行４″わ
れる。

ノ）ｚｉｌｈ気抵抗メ・２イ１ＶＩＲ３、１ＶＩＲ，，
１やトリミ、・′り抵抗Ｒ５，１畑や比較器Ａ２から成
る他方の回路糸も同様々（・幾ｒｉｉ（を達成し、比較
器Ａ２から出力されるパルス（・−」、比較器Ａ１から
出力さｉ−ｂるパルスに対し、位相−」−の〕ＩＬみ又
は遅ｉろ−佳じ、Ｃ第１．に６↓二り、′該Ｉ］４．侭
の回転方向か！）−ｊｊ　ＩＦ頓’あるか逆方向−（゛
をンイ、力・の牙′１ｊ別を行りうことか一〇きるよう
になってし）４）３、ｙ；ｉ、−１この説明中のトリミ
ンク抵抗とは、第２［ツ１にンｊ＼−ず中点電圧ａとＣ
とが相等しくなるよ・）に抵４〕１−白伯＼をトリミン
グするもの４−呂う。

本発明の！＋、′ｉ徴とすると（二うは、１す［る磁気
状わｊ４素ｒを−・・々ターンとして形成−Ｊる基板企
半導体基板−Ｃ１１９１人すると共（・（、該）１′導
体邦板に形成し２プ（−、イＩ前、９（抵抗素−」二か
ら１）］られる仁号を処理するイ４−債回路ｅこ対シフ
、前記磁気抵抗素子を電気的に１ガ、経、すると、とに
ある。

第、３図は、本発明１火施１り１］の磁気検出装置Ｃ）
製造上、Ｐｉ′’（Ｃ’示すものであり、図（ａ２）に
ｐ＝・’ｖ）’Ｃ、ン１ノーＴン舌から成る）ｐｊｊ体
基板ｏ）ｖｒ　ｉ＞　、第２図に示すｊ二１Ｓ較器ＡＩ
、　Ａ２やトリミンク抵抗貼、■え、、、　Ｒ５，ｌに
６を含む集積回路１１と、この回路の端子一部とんる・
り、／ト１１Ａが設けＱ・λ主でいる。、−そ１ノＣ１
この集積回路にて磁気抵抗素子からの１計弓の処３″１
１１、例えは、増＋ｊＪや波形整形処理等が行なわれる
ようにな−）て（′）この、１・′ヴ薯１”　ｉＡ’一
体基＋１０にＸ−、Ｉ　Ｌ　；￥；　３図（勾で示すよ
′）に、−ぞ′の人血に・・・ｊ’　−ｌ　Ｉ　Ａ全萌
゛いてカラ×花−し−＜　’ｒＪ、　５ｉ０２よ：）成
るイ・１、嫁層１２　カ＝ｙ　　テ（ｙ　クサノするよ
うにな−）′７−いあ３、 次いで、［￥ｌ　（ｃ）に示すｊ　’ｉに、Ｆｅ　−Ｎ
ｉ若しくばＮ７’　−Ｃｏ合金上り成るｉｉ？；気抵４
プＬ？ｈ”−７−膜１３か絶ｈ（層１２の一上に蒸着さ
れるよ′）にな・・でいる１、（−の用台、バ・１・Ｉ
　、１．　Ａのうｔ、）、（６偲、ｔｉ（わ℃素子ＩＩ
ぐ１：３内に１＼璽１へ゛するパノ＋’ｌｌＡの部分１
．４二も、砕、気抵抗（・、〕〕膜−／ハ回ＩＦ？に蒸
着さ′、ｌＩＸ　磁気状ＪＪ’＋：　１４−１ｊＩＱ口
、３と、−七（乙）・〈゛ノド＋１Ａ、！−に１．電気
的に接１缶、さハろように々−・１いる１、次いで、」
ノー１−ンクー■−千”ｒにで、髄（気棲、（ｊ”［メ
・、イ膜１３か図（ｔｉ）　’ｚＣ示−ｔよう５゛形状
に、１．・升ンク処理さ！］５、磁気状１１゛１素丁の
バタ　〕・第１Ａが九せ成−Ｊ　７Ｌるように乙・、−
）−こいく二）、。

次いで、（の、ｌ：う７．３１？好休基板１０Ｐｉ、図
＜ｅ）（１１”、示−ｔように、基台１４に接着せ−ら
れ、かっ、ホンｆｆ１ンクワイ−’］５（ｔｉ二より、
基台］ｌＩの端子と、ハツト＋１Ａ＋＋−／ハ？ｆ）：
急曲に接？（・う′１で゛（れイ、よ・）Ｇ（７石　）
でいる。

このように１１．で構成さ７ｉ、−７ら磁気検出装置（
弓イ１タ４気Ｊ：Ｋ　Ｆ＋’［素−了；／にへＩＩ心１
．λ４１輸、へ’ｌ［（２，八１１え１の１１直序で西
己夕］］さげらノＬ１　この可５分を、７１ツタ−Ｌ−
／３．ノ／−・ネレータ１　（第１（ツ１参１慣）（・
′こ°に−ｊ向配置さ４（るＣ−とにより、先にも述−
＼た回１１＋、体）・第７出】り信Ｊ存わｉする、しう
に斥〜）でいる。な１９、第２図（〆（−小−１回路中
シー）１・ＪＪ　ミ　　り■１（１う）Ｉ軸乃〒）Ｒ，
１につ）いてｋｉ　、　ＮＪ、　Ｅ、Ｖ、体阜扱１（）
の集積回路に設置−ｔでもｌ：Ｉハし、」、／ζ、基台
１・１の側に設けるようにしてもよい１、 以１：４＼発明の回転検出装置ｒａ＋１、磁気状１−１
ｔメ・了が・ぐタ　−ン、’−Ｌ、　（゛ｔ’畳浮：本
）、（，１反上（・・こ設りＬ゛）ね１．がつ、磁気状
４ノ″Ｌ素子メハらイ行二９．Ｌ′ｌるｆＦｉ　’ｊ；
’　Ｓ−’　４（Ｊｌ、　ｉ“ｉｌ−、Ｊる回路を集積
回路と１．て′″−１ｔ）、ｌ１体基扱１１Ｃ、Ｉｉｉ
ｌ、〜・し１．−イ）（・）−（−；ら・ｖ１　リ−１
・線な、との引回しか：４・い／１−ｂ′）、外ｉ’−
４１．ノイズ全拾いにくぐ、−ゴ／、−１１１注気Ｊ１
（１）“１署・〜了−イ（・ｌ！、１１′ツノｎ　Ｌ、
、、　−Ｔｉも複雑な」こ−弓処１−１＋３を？−ｆな
つ、−とかでき、さら（・′（−１このイ」１の磁気検
出装置１１！の小１（１′１化や軽ｆｔ　４ｅ　’ａ−
も図るこ、とが１−きる。

図１１＋１の簡甲乙・訣り］ 第１図に１従来例Ｊ、・よひ］＼発明ろ、そ−Ｊしてノ
Ｌ　Ｋｌｆ、１，１１１−るのに用い／こ、フリクエー
ンヨンジエネレークと回転検出器との配設態様を示す斜
視図、第２図は本発明１実施例の磁気検出装置に係る制
イ卸回路の１例を示す図、第：う図は本発明１実施例の
磁気検出装置を製造−Ｌ程順に示し／こ斜視図である。

１０　　半導体基板、　　１１　　集積回路、Ｍ）ζＩ
Ｉ　ＭＲ２，ＩＶＩＩＲ３，ＭＲ４・（ｊ軽気抵抗素子
。

第１図 第　？　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 磁気抵抗素子をパターンとして形成するノｉ（板を半導
   体基板で構成すると共に、該半導体基板に形成した、磁
   気抵抗素子から得られる信月を処理する集積回路に対し
   、前記磁気抵抗素子を電気的に接続することを特徴とす
   る磁気検出装置。