JPS59148581A - 弾性波モ−タ - Google Patents
弾性波モ−タInfo
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- JPS59148581A JPS59148581A JP58021206A JP2120683A JPS59148581A JP S59148581 A JPS59148581 A JP S59148581A JP 58021206 A JP58021206 A JP 58021206A JP 2120683 A JP2120683 A JP 2120683A JP S59148581 A JPS59148581 A JP S59148581A
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- JP
- Japan
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- rotor
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- elastic
- elastic wave
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Links
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- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract description 8
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract 1
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- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 5
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- DSSYKIVIOFKYAU-XCBNKYQSSA-N (R)-camphor Chemical compound C1C[C@@]2(C)C(=O)C[C@@H]1C2(C)C DSSYKIVIOFKYAU-XCBNKYQSSA-N 0.000 description 1
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Landscapes
- Diaphragms For Cameras (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は弾性体に発生する弾性波により回転子を駆動す
るようにした弾性波モータに関する。
るようにした弾性波モータに関する。
背景技術とその問題点
従来の小型電磁モータを、大トルク、低速回転を必要と
する用途に用いる場合は、どうしても間接駆動方式とな
り、大きな減速比の減速器を必要とする。このため機構
が複雑となる。特にテレビカメラにおいてズームやフォ
ーカスを行うためのモータの場合は、カメラの鏡筒外部
にモータ本体及び減速器がはみ出してしまうので、商品
の外観的価値翰を下げることになる。そこでこのような
用途に適したモータとして、弾性波モータが提案されて
いる。
する用途に用いる場合は、どうしても間接駆動方式とな
り、大きな減速比の減速器を必要とする。このため機構
が複雑となる。特にテレビカメラにおいてズームやフォ
ーカスを行うためのモータの場合は、カメラの鏡筒外部
にモータ本体及び減速器がはみ出してしまうので、商品
の外観的価値翰を下げることになる。そこでこのような
用途に適したモータとして、弾性波モータが提案されて
いる。
第１図に弾性波モータの原理を示す。
図において、厚さｈの弾性体（１１から成る梁に波長λ
の横振動を与えたとき、この弾性体（１）の質点ｑは屈
曲振動の伝搬に伴って図示のように動く。
の横振動を与えたとき、この弾性体（１）の質点ｑは屈
曲振動の伝搬に伴って図示のように動く。
このとき弾性体（１）の表面に被駆動体（２）を接触さ
せて置けば、弾性体（１）の表面における質点ｑの動き
による摩擦力がこの被駆動体（２）に対して作用し、こ
れによってこの被駆動体（２）は矢印ａ又はｂ方向に移
動する。この場合、移動方向は振動の伝搬方向と逆向き
１こなる。
せて置けば、弾性体（１）の表面における質点ｑの動き
による摩擦力がこの被駆動体（２）に対して作用し、こ
れによってこの被駆動体（２）は矢印ａ又はｂ方向に移
動する。この場合、移動方向は振動の伝搬方向と逆向き
１こなる。
第２図及び第６図は上記原理を適用した回転型弾性波モ
ータの原理を示す。
ータの原理を示す。
第２図及び第６図において、弾性体から成るすング（３
）の一方の面にはリング状を成す回転子（４）が接触さ
れ、他方の面には圧電体（５，）〜（５１６） が接
着されている。伺、各圧電体（５））〜（５１６）
に付された十又は−は厚み方向の分極方向を示している
。
）の一方の面にはリング状を成す回転子（４）が接触さ
れ、他方の面には圧電体（５，）〜（５１６） が接
着されている。伺、各圧電体（５））〜（５１６）
に付された十又は−は厚み方向の分極方向を示している
。
圧電体（５１）〜（５８）は人相を形成するもので、十
の圧電体と−の圧電体とを１周期として１ベアと成し、
これを４ペア設けている。この１周期の長さλは駆動信
号Ｓ、の波長λと等しく選ばれている。圧電体（５，）
〜（５１６）はＢ相を形成するもので、上記Ａ相と同様
に構成されている。またＡ相とＢ相とは互いにｎｘ−２
ｒλ（ｎ＝１、ろ、５・・・・・・・・・・・・・ ・
・）だけ離間されて配されている。
の圧電体と−の圧電体とを１周期として１ベアと成し、
これを４ペア設けている。この１周期の長さλは駆動信
号Ｓ、の波長λと等しく選ばれている。圧電体（５，）
〜（５１６）はＢ相を形成するもので、上記Ａ相と同様
に構成されている。またＡ相とＢ相とは互いにｎｘ−２
ｒλ（ｎ＝１、ろ、５・・・・・・・・・・・・・ ・
・）だけ離間されて配されている。
上記構成において、駆動信号源（６）より、波長λの周
波数を有する駆動信号ＳｏをＢ相の圧電体（５９）〜（
５＋６１ｔこ加えると共正こ、この駆動信号Ｓ。を移相
器（力で９０’移相した駆動信号Ｓ１をＡ相の圧電体（
５１）〜（５８）に加える。これにより、リング（３）
のＡ相と対応する部分には、第４図の実線で示すような
波長λの振動が発生し、Ｂ相と対応する部分には、第４
図の点線で示すような波長λで且つ人相の振動と■λの
位相差を持つ振動が発生する。この振動によって回転子
（４）がリング（３）上を回転する。また駆動信号Ｓ。
波数を有する駆動信号ＳｏをＢ相の圧電体（５９）〜（
５＋６１ｔこ加えると共正こ、この駆動信号Ｓ。を移相
器（力で９０’移相した駆動信号Ｓ１をＡ相の圧電体（
５１）〜（５８）に加える。これにより、リング（３）
のＡ相と対応する部分には、第４図の実線で示すような
波長λの振動が発生し、Ｂ相と対応する部分には、第４
図の点線で示すような波長λで且つ人相の振動と■λの
位相差を持つ振動が発生する。この振動によって回転子
（４）がリング（３）上を回転する。また駆動信号Ｓ。
とＳｌとを入れ替えれば、第４図の人相の振動及びＢ相
の振動が第５図のように位相関係が逆となって、回転子
の回転方向が逆転する。
の振動が第５図のように位相関係が逆となって、回転子
の回転方向が逆転する。
上述した弾性波モータにおいては、隣り合う圧電体の分
極方向を互いに逆方向として、同電界が加えられたとき
に、互いに逆方向に変位するように成し、これを１ペア
として全体を大きく人相とＢ相とに分けている。そして
それらの屈曲波励振モードを機械的及び電気的に９０°
位相をずらせることによって、弾性体リングに屈曲振動
の一方向の進行波を発生させ、その波動力でモータの回
転力を取り出すようにしている。
極方向を互いに逆方向として、同電界が加えられたとき
に、互いに逆方向に変位するように成し、これを１ペア
として全体を大きく人相とＢ相とに分けている。そして
それらの屈曲波励振モードを機械的及び電気的に９０°
位相をずらせることによって、弾性体リングに屈曲振動
の一方向の進行波を発生させ、その波動力でモータの回
転力を取り出すようにしている。
しかしながらこのような構成では、人相とＢ相とで互い
に９０°位相のずれた進行波が得られるが、各相の構成
について見ると、各圧電体ペアが定在波の発生モードの
位相関係にあるため、効率的な進行波の励振ができない
のではないかと考えられる。
に９０°位相のずれた進行波が得られるが、各相の構成
について見ると、各圧電体ペアが定在波の発生モードの
位相関係にあるため、効率的な進行波の励振ができない
のではないかと考えられる。
発明の目的
本発明は屈曲波振動の一方向進行波の励振を効率よく行
うようにした斯種弾性波モータを提供することを目的と
する。
うようにした斯種弾性波モータを提供することを目的と
する。
発明の概要
本発明は各圧電体ペア間の位相関係を機械的及び電気的
に９０°ずらせることによって、効率のよい励振を行う
ようにしたものである。
に９０°ずらせることによって、効率のよい励振を行う
ようにしたものである。
実施例
第６図は本発明の第１の実施例を示すもので、第２図及
び第６図と対応する部分には同一符号を付しである。
び第６図と対応する部分には同一符号を付しである。
本実施例においては、リング（３）上に配列される圧電
体（５１Ｘ５２）、（！５５Ｘ５４）・ （５，
５）（５，６）の各ペアを■の間隔を置いて配列すると
共に、各ペアを駆動信号Ｓ。と、この信号Ｓ。を９０°
移相器（力、１８０°移相器（８）及び２７０°移相器
（９）で夫々移相した信号Ｓ１、Ｓ２及びＳ３により順
次に駆動するようにしている。即ち、前述した第２図の
場合は、圧電体のペアを人相とＢ相とに分け、それらの
位相関係を機械的及び電気的に９０°ずらせているが、
本実施例では各ペア間の位相関係を機械的及び電気的に
９０°ずらせている。
体（５１Ｘ５２）、（！５５Ｘ５４）・ （５，
５）（５，６）の各ペアを■の間隔を置いて配列すると
共に、各ペアを駆動信号Ｓ。と、この信号Ｓ。を９０°
移相器（力、１８０°移相器（８）及び２７０°移相器
（９）で夫々移相した信号Ｓ１、Ｓ２及びＳ３により順
次に駆動するようにしている。即ち、前述した第２図の
場合は、圧電体のペアを人相とＢ相とに分け、それらの
位相関係を機械的及び電気的に９０°ずらせているが、
本実施例では各ペア間の位相関係を機械的及び電気的に
９０°ずらせている。
上記構成によれば、各ベア間で９０°位相のずれた屈曲
振動が発生するので、効率のよい励振を行うことができ
る。賞、モータを逆転する場合は、駆動信号の位相関係
を入れ替えればよく、第６図の場合は、９０°移相器（
力と２７０°移相器（９）とを置き替えればよい。
振動が発生するので、効率のよい励振を行うことができ
る。賞、モータを逆転する場合は、駆動信号の位相関係
を入れ替えればよく、第６図の場合は、９０°移相器（
力と２７０°移相器（９）とを置き替えればよい。
第７図は本発明の第２の実施例を示す。
前述した第２図及び第６図の実施例では、分極方向が十
の圧電体と−の圧電体とを交互に配列しているが、本実
施例においては、圧電体色弁（ロ）＃（５１）〜（５４
）及び（５９）〜（５１２） Ｆ孝喚具邑けの分極方向
の＋、−を入れ替えると共に、圧電体（５，）〜（５１
６）の全てのペアを信号Ｓ。と８１とで交互に駆動する
ようにしている。
の圧電体と−の圧電体とを交互に配列しているが、本実
施例においては、圧電体色弁（ロ）＃（５１）〜（５４
）及び（５９）〜（５１２） Ｆ孝喚具邑けの分極方向
の＋、−を入れ替えると共に、圧電体（５，）〜（５１
６）の全てのペアを信号Ｓ。と８１とで交互に駆動する
ようにしている。
上記構成によれば、第６図の場合と実質的に等価となり
、各ペアの位相関係を機械的及び電気的に９０°ずらせ
ることができる。これと共に１個の移相器（７）のみで
駆動することができる。
、各ペアの位相関係を機械的及び電気的に９０°ずらせ
ることができる。これと共に１個の移相器（７）のみで
駆動することができる。
い。
第８図は第６図及び第７図の弾性波モータを中空円筒型
構造とした場合の具体的な実施例を示す。
構造とした場合の具体的な実施例を示す。
第８図において、一端に７ランジ（１０ａ）が一体形成
されたリング状を成す枠体００には、一端にフランジ（
１１ａ）が一体形成された筒体αυが両者ζこ形成され
たネジ部０を介して螺合されている。上記枠体０（１）
の外側には真鋳等から成る弾性体から成るリング（３）
が設けられ、このリングＩ：（＋の下面には圧電体（５
）が接着されている。この圧電体（５）は例えば第６図
又は第７図のように複数個の圧電体（５１）〜（５１６
）が配された構成を有している。この圧電体（５）と上
記フランジ（１０ａ）との間には、フェルト等から成る
ダンパ１１上面が滑らかに仕上げられた平行板（１５）
及びゴム等から成る加圧部材Ｑ６）等が積層されている
。またリング（３）と上記フランジ（１１ａ）との間に
は、スライダ板（１７）、ダンツクｕ樟及び回転子（４
）等が積層され、この回転子（４）とフランジ（Ｉｌａ
）との間にはベアリング翰が介在されている。従って、
上記枠体Ｑｌと筒体圓との螺合と上記加圧部材αｅの弾
力とによって、７ランジ（１０ａ）と（１１ａ）との間
に、上記各部材が適当な圧力を以って挾持されている。
されたリング状を成す枠体００には、一端にフランジ（
１１ａ）が一体形成された筒体αυが両者ζこ形成され
たネジ部０を介して螺合されている。上記枠体０（１）
の外側には真鋳等から成る弾性体から成るリング（３）
が設けられ、このリングＩ：（＋の下面には圧電体（５
）が接着されている。この圧電体（５）は例えば第６図
又は第７図のように複数個の圧電体（５１）〜（５１６
）が配された構成を有している。この圧電体（５）と上
記フランジ（１０ａ）との間には、フェルト等から成る
ダンパ１１上面が滑らかに仕上げられた平行板（１５）
及びゴム等から成る加圧部材Ｑ６）等が積層されている
。またリング（３）と上記フランジ（１１ａ）との間に
は、スライダ板（１７）、ダンツクｕ樟及び回転子（４
）等が積層され、この回転子（４）とフランジ（Ｉｌａ
）との間にはベアリング翰が介在されている。従って、
上記枠体Ｑｌと筒体圓との螺合と上記加圧部材αｅの弾
力とによって、７ランジ（１０ａ）と（１１ａ）との間
に、上記各部材が適当な圧力を以って挾持されている。
伺、ダンパ鰻は不必要な振動を回転子（４）に伝えない
ようにするもので、リング（３）の屈曲振動のみを回転
子（４）に伝えるものである。また、回転子Ｑｅの外径
は他の部材の外径より大きく形成されている。
ようにするもので、リング（３）の屈曲振動のみを回転
子（４）に伝えるものである。また、回転子Ｑｅの外径
は他の部材の外径より大きく形成されている。
上記構成により中空円筒型弾性波モータが構成される。
このモータの上記圧電体（５）に第６図又は第７図につ
いて述べた方法で前記駆動信号Ｓ。〜Ｓ３を適宜に供給
することにより、リング（３）に振動が発生し、この振
動がスフィダ０η及びダンノくα樽を介して回転子（４
）に伝えられる。この回転出力は回転子（４）の例えは
外周縁部分から取り出すことができるＯ 発明の効果 効率のよい弾性屈曲波の一方向進行波の励振が可能な、
且つ高出力、高トルク、低速回転（例えば数１０ｒ・ｐ
ｓｍ）が得られ、しかも正転命逆転の切換えが容易な弾
性波モータを得ることができる。またこのモータを第８
図のような中空円筒型に構成すれば、このモータを用い
る装置の小型化に有利となる。特にカメラのズーム機構
やフォーカス機構を駆動するためのモータとして用いれ
ば、従来のものより構造が単純化され、優れた意匠的効
果を得ることができる。
いて述べた方法で前記駆動信号Ｓ。〜Ｓ３を適宜に供給
することにより、リング（３）に振動が発生し、この振
動がスフィダ０η及びダンノくα樽を介して回転子（４
）に伝えられる。この回転出力は回転子（４）の例えは
外周縁部分から取り出すことができるＯ 発明の効果 効率のよい弾性屈曲波の一方向進行波の励振が可能な、
且つ高出力、高トルク、低速回転（例えば数１０ｒ・ｐ
ｓｍ）が得られ、しかも正転命逆転の切換えが容易な弾
性波モータを得ることができる。またこのモータを第８
図のような中空円筒型に構成すれば、このモータを用い
る装置の小型化に有利となる。特にカメラのズーム機構
やフォーカス機構を駆動するためのモータとして用いれ
ば、従来のものより構造が単純化され、優れた意匠的効
果を得ることができる。
第１図は弾性波モータの原理を示す側面図、第２図は回
転型弾性波モータの原理を示す平面図、第６図は第２図
の側面図、第４図及び第５図は振動波形図、第６図は本
発明の第１の実施例を示す平面図、第７図は第２の実施
例を示す平面図、第８図は中空円筒型モータを構成する
場合の実施例を示す側面断面図である。 なお図面に用いた符号において、 （３）・・・・・・・・・・・・・ 弾性体リング（４
）・・・・・・・・・・・・・ 回転子（５，）〜（５
１６）・・・・ 圧電体（６）・・・・・・・・・・・
・・ 駆動信号源（力 ・ ・・・・・・ ９０”移
相器（８） ・・・・・・・・・ １８０６移相器（
９）・・・・・・・・・・ ２７０°移相器である。 代理人 上屋 勝 Ｉ 常包芳男 杉浦俊貴 第４図 第５０ 第６図 （自発）手続補正書 昭和５８年４月１日 １、事件の表示 昭和５８年特許願第２１２０６ 号 ２、発明の名称 弾性波モータ 東京部品用区北１°、１．川、３］川１−ｔ’ ｆｉ′
ｒ３ｂ号（２１８）ソニーｔｌｋ式会社 ５ 補正命令の日付（発送日） 昭和 年 月
日６ 補正１こより増加する発明の数 ７ 補正の対象 明細舊の発明の詳細な説明の掴（１１
、明細を第２頁１１．１６行目のｒｑＪをｒｇＪに１正
する。 ＋２１、ｉ３頁１２〜１６行目「互いに・・・・・・・
・・・・・・・・配されている。」を「互いに％λの機
械的位相差を似って配されている。」とｊＩ正する。 １３）、同頁１４〜１５行目「の周波数Ｊを「により決
定される周波数」と訂正する。 （４）、第８負１０行目「振動のみ」を「振動により発
生する駆動力のみ」と訂正する。 （５）、同頁１１行目「回転子（１（ｉｌｌを「回転子
（４）」とバ］正する。 一以 上−
転型弾性波モータの原理を示す平面図、第６図は第２図
の側面図、第４図及び第５図は振動波形図、第６図は本
発明の第１の実施例を示す平面図、第７図は第２の実施
例を示す平面図、第８図は中空円筒型モータを構成する
場合の実施例を示す側面断面図である。 なお図面に用いた符号において、 （３）・・・・・・・・・・・・・ 弾性体リング（４
）・・・・・・・・・・・・・ 回転子（５，）〜（５
１６）・・・・ 圧電体（６）・・・・・・・・・・・
・・ 駆動信号源（力 ・ ・・・・・・ ９０”移
相器（８） ・・・・・・・・・ １８０６移相器（
９）・・・・・・・・・・ ２７０°移相器である。 代理人 上屋 勝 Ｉ 常包芳男 杉浦俊貴 第４図 第５０ 第６図 （自発）手続補正書 昭和５８年４月１日 １、事件の表示 昭和５８年特許願第２１２０６ 号 ２、発明の名称 弾性波モータ 東京部品用区北１°、１．川、３］川１−ｔ’ ｆｉ′
ｒ３ｂ号（２１８）ソニーｔｌｋ式会社 ５ 補正命令の日付（発送日） 昭和 年 月
日６ 補正１こより増加する発明の数 ７ 補正の対象 明細舊の発明の詳細な説明の掴（１１
、明細を第２頁１１．１６行目のｒｑＪをｒｇＪに１正
する。 ＋２１、ｉ３頁１２〜１６行目「互いに・・・・・・・
・・・・・・・・配されている。」を「互いに％λの機
械的位相差を似って配されている。」とｊＩ正する。 １３）、同頁１４〜１５行目「の周波数Ｊを「により決
定される周波数」と訂正する。 （４）、第８負１０行目「振動のみ」を「振動により発
生する駆動力のみ」と訂正する。 （５）、同頁１１行目「回転子（１（ｉｌｌを「回転子
（４）」とバ］正する。 一以 上−
Claims (1)
- 一方の面に複数個の圧電体が接着された弾性体リングの
他方の面にリング状を成す回転子を圧接させて成り、上
記複数個の圧電体の隣接する２個の圧電体をペアとして
これらの２個の圧電体の厚み方向の分極方向を互いに逆
方向と成し、上記ペアを所定間隔を以って複数ペア配列
し、隣接する２個のペアに互いに９０°位相のずれた駆
動信号を加えるようにしたことを特徴とする弾性波モー
タ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58021206A JPS59148581A (ja) | 1983-02-10 | 1983-02-10 | 弾性波モ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58021206A JPS59148581A (ja) | 1983-02-10 | 1983-02-10 | 弾性波モ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59148581A true JPS59148581A (ja) | 1984-08-25 |
Family
ID=12048511
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58021206A Pending JPS59148581A (ja) | 1983-02-10 | 1983-02-10 | 弾性波モ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59148581A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61224884A (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-06 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
| JPS62296779A (ja) * | 1986-06-16 | 1987-12-24 | Nikon Corp | 振動モーター |
| JPS63124780A (ja) * | 1986-11-12 | 1988-05-28 | Taga Electric Co Ltd | 多相駆動型超音波モ−タ |
| US5013982A (en) * | 1989-05-02 | 1991-05-07 | Olympus Optical Co., Ltd. | Circuit for driving ultrasonic motor |
| JPH06194557A (ja) * | 1993-09-01 | 1994-07-15 | Nikon Corp | 超音波モータ |
| JPH06217566A (ja) * | 1993-09-01 | 1994-08-05 | Nikon Corp | 超音波モータ |
| JPH06303784A (ja) * | 1993-09-14 | 1994-10-28 | Nikon Corp | 超音波モータ |
| EP2284984A1 (en) * | 2008-05-27 | 2011-02-16 | Murata Manufacturing Co. Ltd. | Ultrasonic motor |
-
1983
- 1983-02-10 JP JP58021206A patent/JPS59148581A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61224884A (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-06 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
| JPS62296779A (ja) * | 1986-06-16 | 1987-12-24 | Nikon Corp | 振動モーター |
| JPS63124780A (ja) * | 1986-11-12 | 1988-05-28 | Taga Electric Co Ltd | 多相駆動型超音波モ−タ |
| US5013982A (en) * | 1989-05-02 | 1991-05-07 | Olympus Optical Co., Ltd. | Circuit for driving ultrasonic motor |
| JPH06194557A (ja) * | 1993-09-01 | 1994-07-15 | Nikon Corp | 超音波モータ |
| JPH06217566A (ja) * | 1993-09-01 | 1994-08-05 | Nikon Corp | 超音波モータ |
| JPH06303784A (ja) * | 1993-09-14 | 1994-10-28 | Nikon Corp | 超音波モータ |
| EP2284984A1 (en) * | 2008-05-27 | 2011-02-16 | Murata Manufacturing Co. Ltd. | Ultrasonic motor |
| EP2284984A4 (en) * | 2008-05-27 | 2014-06-25 | Murata Manufacturing Co | ULTRASOUND ENGINE |
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